JPH07110498A - 光スイッチ - Google Patents

光スイッチ

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Publication number
JPH07110498A
JPH07110498A JP25675993A JP25675993A JPH07110498A JP H07110498 A JPH07110498 A JP H07110498A JP 25675993 A JP25675993 A JP 25675993A JP 25675993 A JP25675993 A JP 25675993A JP H07110498 A JPH07110498 A JP H07110498A
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JP
Japan
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channel waveguide
optical switch
waveguide
refractive index
multimode
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Application number
JP25675993A
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English (en)
Inventor
Hideaki Okayama
秀彰 岡山
Hiroki Yaegashi
浩樹 八重樫
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Oki Electric Industry Co Ltd
Original Assignee
Oki Electric Industry Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 従来に比べ作製が容易で、動作電圧の範囲が
広くかつ駆動パワーの低減が図れる光スイッチを提供す
ること。 【構成】 多モードチャネル導波路13と、該多モード
チャネル導波路の光入出力に使用される一方端及び他方
端を結ぶ線分Qを境にして区分けされる2つの領域13
a,13bのうちの少なくとも一方の領域上に設けられ
た、屈折率制御用電極17と、前記多モードチャネル導
波路の前記一方端おいて前記2つの領域ごとに接続され
ている合計2本の単一モード導波路15a,15bと、
前記多モードチャネル導波路の前記他方端において前記
2つの領域ごとに接続されている合計2本の単一モード
導波路15c,15dとを具える。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、光導波路中を伝搬す
る光信号の伝搬方向を電気的に制御するための光スイッ
チに関するものである。
【0002】
【従来の技術】小型かつ高性能な光交換機や光コンピュ
ータ等を実現するためには、小型かつ高性能な光スイッ
チが必要とされる。このような光スイッチの従来例とし
て、:方向性結合器型光スイッチ(例えば、文献I:
エレクトロニクスレターズ(Electronics Letters ),
(1993.3.18),VOl.29,p.523、
或は文献II:「光集積回路」,オーム社,昭和60年2
月,p305)、:バランスブリッジ型光スイッチ
(例えば文献III :ジャーナル オブ ライトウエーブ
テクノロジ(Journal of Lightwave Technology ),
(1992.12),Vol.10,p.1926)、
:全反射型光スイッチ(例えば上記II:「光集積回
路」、p.309)が知られている。
【0003】これら光スイッチは、簡単に説明すると、
次のようなものである。方向性結合器型のものは、2本
の導波路の一部同士を所定長さ(結合長)で近接させ、
該近接部分の光学的条件を制御することで両導波路間で
の光信号の授受を行なうものである。バランスブリッジ
型のものは、文献III でもインターフェロメトリック・
スイッチ(Interferometric switch)とも称されている
ように、干渉器的な動作によりスイッチングを行なうも
のである。全反射型のものは、光導波経路中に全反射を
生じさせるか否かの制御領域を設けておき、全反射を生
じさせるか否かにより光経路を切り換えるものである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、方向性
結合器型のものにあっては所定結合長に対し±10%程
度の精度が得られるよう当該光スイッチ素子を作製する
必要があるため光スイッチの作製が大変である。また、
バランスブリッジ型のものにあっては干渉器的に動作を
させるので動作電圧をある範囲内に精密に制御する必要
がある。また、全反射型のものにあっては動作に必要な
屈折率変化量として10-2台の値が必要とされるため大
きな駆動パワーが必要である。このように、従来の光ス
イッチはいずれも技術的に満足出来るものではなかっ
た。
【0005】この発明はこのような点に鑑みなされたも
のであり、したがってこの発明の目的は、従来に比べ、
作製が容易で、動作電圧(電流)の範囲が広く、かつ、
駆動パワーの低減が図れる新規な構造を有した光スイッ
チを提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】この目的の達成を図るた
めこの発明の光スイッチによれば、多モードを伝搬する
多モードチャネル導波路と、該多モードチャネル導波路
の光入出力に使用される一方端及び他方端を結ぶ線分を
境にして区分けされる2つの領域のうちの少なくとも一
方の領域上に設けられた、屈折率制御用電極と、前記多
モードチャネル導波路の前記一方端において前記2つの
領域ごとに接続されている合計2本の単一モード導波路
と、前記多モードチャネル導波路の前記他方端において
前記2つの領域ごとに接続されている合計2本の単一モ
ード導波路とを具えたことを特徴とする。
【0007】なお、この発明の光スイッチは、4本の単
一モード導波路のうちの1つを使用しないこととするこ
とにより1×2の光スイッチ(2×1の光スイッチ)と
なり得ることは勿論である。しかし、チャネル導波路の
一方端では単一モード導波路を1本しか設けないことと
し入出力ポートの数自体で見て1×2の光スイッチ(2
×1の光スイッチ)を構成しても良い。また、この発明
の光スイッチでは、屈折率制御用電極を前記2つの領域
のうちの少なくとも一方に設ける代わりに、前記多モー
ドチャネル導波路の対角線に沿うように設けても良い。
【0008】
【作用】この発明の光スイッチの構成によれば、4本の
単一モード導波路をそれぞれ入出力用導波路として使用
できる。また、多モードチャネル導波路の、この発明で
いう2つの領域のうちの少なくとも一方の領域上に、屈
折率制御用電極を設けてあるので、多モードチャネル導
波路の2つの領域間に必要に応じ屈折率差を生じさせる
ことが出来る。ここで、前記4本の単一モード導波路の
うちのある一つから光を入力するとこの光は多モードチ
ャネル導波路に至りその入口で該多モードチャネル導波
路の複数の固有モードを励起する。そして屈折率制御用
電極を駆動しない場合、この多モードチャネル導波路で
は、前記入力光のパワーは、前記励起された複数の固有
モードの干渉によりこの発明でいう2つの領域のうちの
一方の領域に片寄ったり他方の領域に片寄ったりしなが
ら(すなわち多モード導波路の右半分の領域に片寄った
り左半分の領域に片寄ったりしながら)該多モードチャ
ネル導波路を伝搬する。ここで、多モードチャネル導波
路の長さを、前記ある単一モード導波路に対し多モード
チャネル導波路を挟んで対角線相当位置にある他の単一
モード導波路側に前記光の片寄りが生じる距離と一致さ
せておくと、クロス状態のスイッチングがおこなえる
(後述の図2(A)参照)。反対に、多モードチャネル
導波路の長さを、光を入力した前記ある単一モード導波
路に対し最短距離で対向する他の単一モード導波路側に
前記光の片寄りが生じる距離と一致させておくと、バー
状態のスイッチングが行なえる(この状態は後述の第4
実施例において積極的に利用する。)。また、屈折率制
御用電極を前記2つの領域の一方に適切に配置するか双
方に配置しこの電極を駆動すると、上記各スイッチング
モード(クロス状態またはバー状態)と反対の状態(バ
ー状態またはクロス状態)のスイッチングが行なえる
(図3(A)参照)。このため、1×2若しくは2×2
のスイッチング動作が可能な光スイッチが得られる。し
かも、後述するように、光パワーが多モードチャネル導
波路の右半分の領域に片寄ったり左半分の領域に片寄っ
たりする距離が長い(領域が広い)ので(図2(A)参
照)、多モードチャネル導波路の長さをこれに合わせる
ことは容易である。さらに、バー状態及びクロス状態の
スイッチングは、多モードチャネル導波路の2つの領域
間に10-3オーダという小さな屈折率差を生じさせるこ
とで行なえ、しかも、これらバー状態及びクロス状態は
上記10-3オーダの屈折率差を境にデイジタル的に維持
される。
【0009】また、多モードチャネル導波路の一方端に
設ける単一モード導波路を1本とした構成の光スイッチ
は、1×2スイッチとなる。
【0010】
【実施例】以下、図面を参照してこの発明の光スイッチ
の実施例について説明する。なお、説明に用いる各図は
この発明を理解出来る程度に各構成成分の寸法、形状及
び配置関係を概略的に示してあるにすぎない。また、各
図において同様な構成成分には同一の番号を付して示し
その重複説明を省略する。
【0011】1.第1実施例 先ず、多モードチャネル導波路の両端の所定位置に夫々
2本ずつの単一モード導波路を具え、かつ、多モードチ
ャネル導波路の2つの領域(後述する)の一方の領域上
に屈折率制御電極制御用電極を具えた光スイッチの例
(第1実施例)を説明する。
【0012】図1(A)〜(C)は第1実施例の光スイ
ッチ10の説明に供する図である。ここで、(A)図は
その平面図、(B)図は(A)図のI−I線での断面
図、(C)図は(A)図のII−II線での断面図である。
【0013】図1において、11は電気光学効果を有す
る基板、13は多モードを伝搬する多モードチャネル導
波路、15a〜15dは多モードチャネル導波路13に
所定関係(後述する)で接続されているこの発明でいう
単一モード導波路、17はこの発明でいう屈折率制御用
電極をそれぞれ示す。なお、屈折率制御用電極の他方の
極は基板11裏面に設けてある(図示せず。)。
【0014】電気光学効果を有する基板11として化合
物半導体基板や、LiNbO3 基板等の種々のものを用
いることが出来る。ここでは化合物半導体基板を用いて
いる。化合物半導体基板としては、InP基板、GaA
s基板などが挙げられる。多モードチャネル導波路13
及び各単一モード導波路は基板材料等を考慮した任意の
構成と出来る。ここでは化合物半導体層を用い構成して
いる。具体的には、基板11上に厚さがTの化合物半導
体層を形成し、該層の、多モードチャネル導波路13と
される部分及び単一モード導波路15a〜15dとされ
る各部分を除いた部分を、厚さtだけ除去して、高さが
tのリッジ状の導波路構造を形成している。化合物半導
体層としては、基板がInPであれば例えばInGaA
sP層を、基板がGaAsであればGaAs層を用いる
ことが出来る。なお、図1では図示を省略しているが、
必要に応じて、基板と導波路層との間に下側クラッド層
を設け、導波路上に上側クラッド層を設ける。
【0015】多モードチャネル導波路13は、この実施
例では、光導波方向の寸法(長さ)がLで幅がWの導波
路としてある。この多モードチャネル導波路13の、光
入出力に使用される一方端及び他方端を結ぶ線分Q(図
1(A)参照。この例では中心線。)を境にして区分け
される2つの領域13a及び13bのうちの一方の領域
上この場合領域13b上に、屈折率制御用電極17を設
けてある。領域13b内に占める屈折率制御用電極17
の面積は設計に応じ決定するのが良い。
【0016】また、多モードチャネル導波路13と各単
一モード導波路15a〜15dとは次のような配置関係
としてある。すなわち、多モードチャネル導波路13の
一方端において領域13aに単一モード導波路15aを
接続し、かつ、領域13bに単一モード導波路15bを
接続してあり、また、多モードチャネル導波路13の他
方端において領域13aに単一モード導波路15cを接
続し、かつ、領域13bに単一モード導波路15dを接
続してある。ここで、単一モード導波路15a〜15d
の端面がそれぞれ入出力ポート19a〜19dとなる。
【0017】この光スイッチ10では、入出力ポート1
9bより入力された光は、単一モード導波路15bを通
って多モードチャネル導波路13に至るが、多モードチ
ャネル導波路13の入口で複数の固有モードを励起す
る。ここで、屈折率制御用電極17に制御用電圧(電
流)を印加しないでおくと、前記入力光のパワーは、多
モードチャネル導波路13において領域13a側に片寄
ったり領域13b側に片寄ったりしながら多モードチャ
ネル導波路13中を伝搬してゆく。ここで、多モードチ
ャネル導波路13の長さLが、前記入力光のパワーが領
域13a側に片寄った状態になる伝搬距離と一致するよ
うに、多モードチャネル導波路13を設計しておくと、
屈折率制御用電極17に制御用電圧(電流)を印加しな
い場合には、前記入力光は単一モード導波路15cを通
って入出力ポート19cより出力されるので、クロス状
態のスイッチングが実現される。多モードチャネル導波
路13の長さLを、前記入力光のパワーが領域13a側
に片寄った状態になるまでの伝搬距離と一致させる方法
は、いくつか考えられる。たとえば、多モードチャネル
導波路でのモード数が充分多い場合は、下記の(1)式
においてmを奇数として与えられるLを用いることによ
りこれは可能である。ただし、(1)式において、ng
は多モードチャネル導波路13の屈折率、Wは多モード
チャネル導波路13の幅、λは入力光の波長である。
【0018】L=4mng 2 /λ ・・・(1) ただし、多モードチャネル導波路13の長さLを、前記
入力光のパワーが領域13a側に片寄った状態になるま
での伝搬距離と一致させる場合の精度は、方向性結合器
型の光スイッチにおける結合長の製作精度に比較して大
幅に低くて良いことが知られている(例えば、アイイー
イーイー フォトニクス テクノロジーレターズ(IEEE
photonics Technology Letters ),Vol.p.70
1,(1993.6))。
【0019】次に、多モードチャネル導波路13の長さ
Lを、前記入力光のパワーが領域13a側に片寄った状
態になるまでの伝搬距離と一致させる場合の精度が図1
の光スイッチではどの程度で済むのかを計算してみる。
ただし、ここでは、この場合の多モードチャネル導波路
13には3つの固有モードが励起される例(多モードチ
ャネル導波路でのモード数が多くない例)を考える。こ
のため、上記(1)式の代わりに、BPM(Beam Propa
gation Method )により計算してみる。なお、この計算
の際の各パラメータは次のように仮定する。すなわち、
入力光の波長を1.55μm、基板11の屈折率を3.
36、各導波路13、15a〜15dの屈折率を3.4
4、各導波路13、15a〜15dの厚さTを1μm、
各導波路13、15a〜15dのリッジ高さtを0.1
μm、多モードチャネル導波路13の長さLを0.6m
mその幅Wを12μm、単一モード導波路15a〜15
d各々の幅を3μmとする。
【0020】図2(A)は、上記条件設定でかつ屈折率
制御用電極に電圧(電流)を印加しない場合における光
スイッチ10での、BPMにより計算した光の伝搬の様
子を示した図、(B)は同じく等価屈折率分布を示した
図である。なお、図2(A)及び(B)において、縦軸
は光スイッチ10における全長方向での位置、横軸は光
スイッチ10における幅方向での位置である。また、図
2(A)において、Z軸相当の物理量は光強度、図2
(B)において、Z軸相当の物理量は屈折率である。ま
た、図2(A)(以下の図3(A)でも同じ)では、図
1との対応を明確にするため、図1に示した線分Qや入
出力ポート19a〜19dを合わせて示してある。
【0021】図2(A)から明らかなように、この光ス
イッチ10においては、入出力ポート19bより入力さ
れた光は、多モードチャネル導波路13において次第に
領域13a側(図1参照)に片寄って行くことが分か
る。そして領域13a側に片寄っている範囲は多モード
チャネル導波路13の全長0.6mmに対し0.3〜
0.6mmの範囲すなわち多モードチャネル導波路13
の全長0.6mmの50%にも及ぶことが分かる。した
がって、多モードチャネル導波路13の長さLを前記入
力光のパワーが領域13a側に片寄った状態になるまで
の伝搬距離と一致させる場合の精度は50%まで認めら
れることになるので、方向性結合器型の許容度が10%
であったことと比べると、本発明の優位さが分かる。
【0022】また、図2(A)及び(B)の結果を示し
たこの光スイッチ10について今度は屈折率制御用電極
17に電圧(電流)を印加した場合についてBPMによ
る計算を行なう。この結果を図3(A)及び(B)に図
2(A)及び(B)同様な表記方法で示した。
【0023】図3(A)から明らかなように、この状態
では、固有モードの界分布の変形効果で、光のパワーは
多モードチャネル導波路13の領域13b側(図1参
照)に片寄ったままとなる。このため、入出力ポート1
9bから入力された入力光は単一モード導波路15dを
通って入出力ポート19dから出力される。これは、多
モードチャネル導波路13の、屈折率制御用電極17下
に当たる部分すなわち領域13bの屈折率が多モードチ
ャネル導波路13の他の部分すなわち領域13aより高
まり領域13bの部分が一つの導波路となってこれによ
り単一モード導波路15b及び15d間をつなぐからと
考えても良い。
【0024】次に、この光スイッチ10の屈折率制御用
電極17に電気信号を印加しない場合の該電極17下の
導波路部分の屈折率と、該電極17に印加する電気信号
を徐々に増加させた場合の同部分での屈折率との差で表
される屈折率変化量をΔnとしたとき、このΔnを違え
ると入出力ポート19bに入れた入力光が出力ポート1
9cまたは19dにどうように出力されるようになるか
を調べる。その結果を図4に示した。なお、図4におい
て、縦軸は光出力を示し、横軸は上記Δnを示す。図4
から明らかなように、この光スイッチでは、Δnを2×
10-3以上とすることでバー状態及びクロス状態間の切
り換えがディジタル的に行なえることが分かる。すなわ
ち、この発明では屈折率差Δnをある値以上にし得る制
御をすることでスイッチングができるので、動作電圧を
ある範囲内に制御する必要があるバランスブリッジ型の
ものに比べると、制御が容易であることが分かる。さら
にこの発明ではスイッチングに必要な屈折率変化量は1
-3オーダーでよいので、10-2オーダの屈折率変化量
が必要であった全反射型の光スイッチに比べると、本発
明の方が駆動パワーが少なくて良いことが分かる。
【0025】上記図2〜図3を用いた説明から明らかな
ようにこの第1実施例の光スイッチ10では単一モード
導波路15b,15c及び15dの間でクロス状態及び
バー状態の任意のスイッチングが行なえることが分か
る。この第1実施例の光スイッチ10は、1×2(2×
1)の光スイッチとして好適である。
【0026】なお、この第1実施例の構成においても2
×2の光スイッチとして使用出来る。すなわち、電極に
電圧を印加しない状態で2入力2出力のクロス状態の光
スイッチとなり、電極に電圧印加時に1入力1出力のみ
用いると、全反射型のものと同様な動作をする。ただ
し、電圧印加時ではもう一方の入力ポートに対してはス
イッチング動作はするもののスイッチング特性はディジ
タル的にはなりにくい。
【0027】しかし、この第1実施例の光スイッチを2
×2の光スイッチとする場合クロストークの点で多少問
題がある。
【0028】2.第2実施例 次に、この発明の光スイッチであって2×2の光スイッ
チとして好適な構成例(第2実施例)を説明する。図5
(A)はその説明に供する平面図である。
【0029】この第2実施例の光スイッチ20では、多
モードチャネル導波路13の2つの領域13a,13b
それぞれに屈折率制御用電極17を独立に設ける。この
第2実施例の光スイッチでの動作原理は第1実施例と同
様であるのでその説明を省略する。
【0030】3.第3実施例 上述の各実施例では多モードチャネル導波路13の両端
に夫々2本ずつ単一モード導波路を接続していた。しか
し、1×2(2×1)の使用のみを行なう光スイッチを
この発明の思想により構成する場合は、多モードチャネ
ル導波路13の両端のうちの一方端では単一モード導波
路を1本具えるのみとしても勿論良い。この第3実施例
はその例である。図5(B)はその説明に供する平面図
である。ここでは、図1を参照して説明した第1実施例
の構成から単一モード導波路15aを除去した構成例を
示してある。この第3実施例の光スイッチでの動作原理
は第1実施例と同様であるのでその説明を省略する。
【0031】4.第4実施例 上述の第1〜第3実施例では、屈折率制御用電極を多モ
ードチャネル導波路13の2つの領域13a,13bの
少なくとも一方に設ける例を説明した。これは、第1〜
第3実施れでは、多モードチャネル導波路に電圧を印加
しない状態において該多モードチャネル導波路でクロス
状態のスイッチングが可能になるように多モードチャネ
ル導波路の長さLを規定していたことによる。すなわ
ち、上記(1)式(L=4mng 2 /λという式)に
おいてmを奇数としてLを規定していたことによる。し
かし、多モードチャネル導波路に電圧を印加しない状態
では該多モードチャネル導波路がバー状態のスイッチン
グが可能になるように多モードチャネル導波路の長さL
を規定することも出来る(例えば(1)式においてmを
偶数としてLを規定することもできる。)。その場合
は、該多モードチャネル導波路に電圧を印加したときに
は該多モードチャネル導波路13でクロス状態のスイッ
チングが可能になるようにする必要がある。この第4実
施例はその例である。
【0032】このため、この第4実施例では、図6
(A)、(B)又は(C)に示すように、屈折率制御用
電極17を多モードチャネル導波路13の対角線に沿う
ように設ける。ただし、屈折率制御用電極17の両端は
多モードチャネル導波路13の入出力端の単一モード導
波路と対向する若しくは接するように設ける。また、特
に2×2の構成とする場合は屈折率制御用電極17を図
6(C)に示したように非対称X分岐状の形状の電極と
する。
【0033】
【発明の効果】上述した説明からも明らかなように、こ
の発明の光スイッチによれば、これに備わる多モードチ
ャネル導波路の長さの誤差は50%まで許容されるの
で、方向性結合器型のものに比べ作製が容易な素子とい
える。
【0034】さらに、この発明の光スイッチでは、多モ
ード導波路の長さが例えば0.6mmである場合、スイ
ッチングに必要な、多モード導波路の右半分及び左半分
の領域間の屈折率差Δnは、2×10-3であった。これ
について、多モード導波路の長さがLである場合に拡張
して考えてみる。すると、Δβ=2πΔn/λ(ただ
し、λは入力光の波長)とし、多モード導波路の長さを
Lとすると、ΔβL/πの値として2程度必要というこ
とになる。方向性結合器型のものの場合はΔβL/π≒
1.7であるから、この発明の光スイッチは方向性結合
器のものと同程度の駆動パワーですなわち全反射型のも
のより1桁程度低い駆動パワーでスイッチング動作する
ものとなる。
【0035】さらに、この発明の光スイッチは、多モー
ド導波路の右半分及び左半分の領域間の屈折率差Δnを
ある値以上(実施例でいえば2×10-3以上)とするこ
とでスイッチングがなされる。つまり、屈折率差をある
範囲に制御する必要はなくある値以上にする制御をすれ
ば良いので、バランスブリッジ型のものに比べると、ス
イッチング電圧範囲が広くかつ制御が容易な素子といえ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】(A)〜(C)は第1実施例の光スイッチの説
明図である。
【図2】(A)及び(B)は、第1実施例の光スイッチ
の動作説明図であり、屈折率制御用電極に電圧を印加し
ない場合の動作説明図である。
【図3】(A)及び(B)は、第1実施例の光スイッチ
の動作説明図であり、屈折率制御用電極に電圧を印加し
た場合の動作説明図である。
【図4】第1実施例の光スイッチの動作説明図である。
【図5】(A)及び(B)は、第2実施例、第3実施例
の説明図である。
【図6】(A)〜(C)は、第4実施例の説明図であ
る。
【符号の説明】
10:第1実施例の光スイッチ 11:電気光学効果を有する基板 13:多モードチャネル導波路 15a〜15d:単一モード導波路 17:屈折率制御用電極 19a〜19d:入出力ポート 20:第2実施例の光スイッチ 30:第3実施例の光スイッチ

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 多モードを伝搬する多モードチャネル導
    波路と、 該多モードチャネル導波路の光入出力に使用される一方
    端及び他方端を結ぶ線分を境にして区分けされる2つの
    領域のうちの少なくとも一方の領域上に設けられた、屈
    折率制御用電極と、 前記多モードチャネル導波路の前記一方端において前記
    2つの領域ごとに接続されている合計2本の単一モード
    導波路と、 前記多モードチャネル導波路の前記他方端において前記
    2つの領域ごとに接続されている合計2本の単一モード
    導波路とを具えたことを特徴とする光スイッチ。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の光スイッチにおいて、 前記多モードチャネル導波路の一方端及び他方端のいず
    れか一方では、単一モード導波路の本数を1本としてあ
    ることを特徴とする光スイッチ。
  3. 【請求項3】 請求項1または2に記載の光スイッチに
    おいて、 屈折率制御用電極を前記2つの領域のうちの少なくとも
    一方に設ける代わりに、前記多モードチャネル導波路の
    対角線に沿うように設けてあることを特徴とする光スイ
    ッチ。
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