JPS62123284A - 連続熱処理炉 - Google Patents
連続熱処理炉Info
- Publication number
- JPS62123284A JPS62123284A JP26078085A JP26078085A JPS62123284A JP S62123284 A JPS62123284 A JP S62123284A JP 26078085 A JP26078085 A JP 26078085A JP 26078085 A JP26078085 A JP 26078085A JP S62123284 A JPS62123284 A JP S62123284A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- furnace
- heat treatment
- heated
- continuous heat
- treatment furnace
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Structure Of Belt Conveyors (AREA)
- Tunnel Furnaces (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は少なくとも２本の単線ワイヤに被熱物を支持さ
せて炉内を搬送する連続熱処理炉に関するものである。
せて炉内を搬送する連続熱処理炉に関するものである。
［従来の技術と問題点］
ｒｃ等の電気、電子部品或いは機械小物部品等の多量の
被熱物を連続的に効率的に熱処理するに従来からメツシ
ュコンベヤ式熱処理炉やチェーンコンベヤ式熱処理炉が
使用されて来た。しかるにメツシュベルト式やチェーン
コンベヤ式は次のような問題点がある。
被熱物を連続的に効率的に熱処理するに従来からメツシ
ュコンベヤ式熱処理炉やチェーンコンベヤ式熱処理炉が
使用されて来た。しかるにメツシュベルト式やチェーン
コンベヤ式は次のような問題点がある。
（イ）リンクとピンによってコンベヤが形成されており
その連結部が旋回に伴なう折曲時の摺動により摩耗した
り、或いはガイドレールと摺動することにより摩耗する
ので金属微粉が生じ易くこの微粉が炉内に敗って被熱物
に付着するおそれがありＩＣ等の被熱物では不良の原因
となる。
その連結部が旋回に伴なう折曲時の摺動により摩耗した
り、或いはガイドレールと摺動することにより摩耗する
ので金属微粉が生じ易くこの微粉が炉内に敗って被熱物
に付着するおそれがありＩＣ等の被熱物では不良の原因
となる。
（ロ）運転に際しメツシュベルトやチェーンは加熱と冷
却が繰り返されるが、これらは熱容量が概して大きいの
で熱損失が大きくなる。
却が繰り返されるが、これらは熱容量が概して大きいの
で熱損失が大きくなる。
（ハ）被熱物との接触面積が大きいのでその熱伝導によ
り被熱物に温度Ａうが生じ易い。
り被熱物に温度Ａうが生じ易い。
（ニ）メツシュベルトは一般に高価格であるので炉全体
の製作コストが高くなる。
の製作コストが高くなる。
［問題点を解決するための手段］
本発明は上記問題点を解決しようとするもので、少なく
とも２本のループ状の単線ワイヤを夫々プーリに巻掛し
て炉内に平行に張設し該単線ワイヤを循回駆動させるこ
とにより該単線ワイヤ上に支持された被熱物を炉内に搬
送するようにしたことを特徴とする連続熱処理炉である
。
とも２本のループ状の単線ワイヤを夫々プーリに巻掛し
て炉内に平行に張設し該単線ワイヤを循回駆動させるこ
とにより該単線ワイヤ上に支持された被熱物を炉内に搬
送するようにしたことを特徴とする連続熱処理炉である
。
［実施例コ
次に本発明の一実施例を図面と共に説明する。
図において、１は基台２上に水平に支持された円筒状の
炉体で、その内部上方空間には複数本の棒状ヒータ３，
３・・・・が横架されている。４はそのヒータ保護用の
石英ガラス板である。炉体１の両端部には入口５．出口
６が開設されている。入口５の真上および出口６の真上
には窒素と空気との混合ガスを下方に吹き出しこの入口
部および出口部にガスカーテンを形成するためのノズル
７．８が設けられている。９は入口部近くに設けたガス
排出口である。
炉体で、その内部上方空間には複数本の棒状ヒータ３，
３・・・・が横架されている。４はそのヒータ保護用の
石英ガラス板である。炉体１の両端部には入口５．出口
６が開設されている。入口５の真上および出口６の真上
には窒素と空気との混合ガスを下方に吹き出しこの入口
部および出口部にガスカーテンを形成するためのノズル
７．８が設けられている。９は入口部近くに設けたガス
排出口である。
しかして入口５．出口６の外方には回転自在に支持され
た軸１０．１１に夫々大径のプーリ１２．１２’ 。
た軸１０．１１に夫々大径のプーリ１２．１２’ 。
１３、１３’ を設ける。該各プーリはブーＩＪ１３１
１３’について第３図に拡大して示したように周溝が２
条形成されていてその夫々にループ状の金属製単線ワイ
ヤ１４．１４’ 、 １５．１５’ が巻掛され該単線
ワイヤを炉内に水平面内で平行なるように張設している
。また軸１１の一端には伝動プーリ１６が止着され該伝
導プーリ１Ｇと電動機１７の原動プーリ１８とが伝動ベ
ルト１９によって連繋されている。単線ワイヤ１４．１
４’ 、 １５．１５’は断面が直径２■の円形でその
材質としては耐熱鋼（ＳＵＳ ３１０）製、またはそれ
より抗張力の強いインコネル製である。
１３’について第３図に拡大して示したように周溝が２
条形成されていてその夫々にループ状の金属製単線ワイ
ヤ１４．１４’ 、 １５．１５’ が巻掛され該単線
ワイヤを炉内に水平面内で平行なるように張設している
。また軸１１の一端には伝動プーリ１６が止着され該伝
導プーリ１Ｇと電動機１７の原動プーリ１８とが伝動ベ
ルト１９によって連繋されている。単線ワイヤ１４．１
４’ 、 １５．１５’は断面が直径２■の円形でその
材質としては耐熱鋼（ＳＵＳ ３１０）製、またはそれ
より抗張力の強いインコネル製である。
２０、２１は入口５および出口６において単線ワイヤ１
４、１４’ 、 １５．１５’の帰戻側を案内するため
円弧状に列設された複数個のガイドローラよりなるワイ
ヤ案内装置である。２３は重錘２４により各単線ワイヤ
１４．１４’ 、 １５．１５’ に所定の張力（１０
Ｋｇ／ｌ１ｆｌ＋２）を付与するため設けられたテンシ
ョンプーリである。また２４は入口側において被熱物で
あるシリコンウェハーを一枚宛単線ワイヤ上に載せるロ
ーダ−１２５は出口側においてこれを単線ワイヤ上から
降ろすアンローダ−を示す。
４、１４’ 、 １５．１５’の帰戻側を案内するため
円弧状に列設された複数個のガイドローラよりなるワイ
ヤ案内装置である。２３は重錘２４により各単線ワイヤ
１４．１４’ 、 １５．１５’ に所定の張力（１０
Ｋｇ／ｌ１ｆｌ＋２）を付与するため設けられたテンシ
ョンプーリである。また２４は入口側において被熱物で
あるシリコンウェハーを一枚宛単線ワイヤ上に載せるロ
ーダ−１２５は出口側においてこれを単線ワイヤ上から
降ろすアンローダ−を示す。
このように構成された連続熱処理炉では電動機１７によ
って軸１１が矢印の向きに回転駆動されプーリ１３．１
３’ が駆動され単線ワイヤ１４．１４’ 、 １５゜
１５′ が炉内を循回動する。そして単線ワイヤの往行
側に第４図に示したように被熱物ａ、ａ・・・・を次々
と横架状に載置することで該被熱物ａ、ａ・・・・を炉
内に搬入しヒータ３，３・・・・によりこれを加熱処理
するものである。なお、単線ワイヤ１４゜１４’ 、
１５．１５’の帰゛戻側は第４図に示されるように炉内
ｌ内筒隅部を通りリターンする。このように帰戻側を炉
内に通すことによって該単線ワイヤのリターン中に温度
低下が防がれる利点があるほか、この単線ワイヤの交換
を容易ならしめる利点がある。即ち、帰戻側を炉外に通
すようにしたものでは単線ワイヤをループ状のままで交
換しようとすると炉体を縦に２分割でさるように構成し
なければならないが、この実施例のように帰戻側を炉内
に通すようにすればその必要はなく交換が極めて容易に
なる。なおこの実施例は平行な４本の単線ワイヤ１４．
１４’ 、 １５．１５’によって被熱物を支持するよ
うにしたが単線ワイヤは少なくとも２本あれば被熱物を
支持することができる。
って軸１１が矢印の向きに回転駆動されプーリ１３．１
３’ が駆動され単線ワイヤ１４．１４’ 、 １５゜
１５′ が炉内を循回動する。そして単線ワイヤの往行
側に第４図に示したように被熱物ａ、ａ・・・・を次々
と横架状に載置することで該被熱物ａ、ａ・・・・を炉
内に搬入しヒータ３，３・・・・によりこれを加熱処理
するものである。なお、単線ワイヤ１４゜１４’ 、
１５．１５’の帰゛戻側は第４図に示されるように炉内
ｌ内筒隅部を通りリターンする。このように帰戻側を炉
内に通すことによって該単線ワイヤのリターン中に温度
低下が防がれる利点があるほか、この単線ワイヤの交換
を容易ならしめる利点がある。即ち、帰戻側を炉外に通
すようにしたものでは単線ワイヤをループ状のままで交
換しようとすると炉体を縦に２分割でさるように構成し
なければならないが、この実施例のように帰戻側を炉内
に通すようにすればその必要はなく交換が極めて容易に
なる。なおこの実施例は平行な４本の単線ワイヤ１４．
１４’ 、 １５．１５’によって被熱物を支持するよ
うにしたが単線ワイヤは少なくとも２本あれば被熱物を
支持することができる。
［発明の効果コ
以上実施例について説明したように本発明の連続熱処理
炉は、単線ワイヤを炉内に平行に張設してこれを循回駆
動することにより被熱物を炉内に搬送するもので、該単
線ワイヤはチェーンやメツシュベルトと異なり屈曲によ
る必然的な摺動かないので摩耗により微粉が炉内に散る
のを可及的に減少させることができる。このためシリコ
ンウェハーのような埃をきらう微細加工電子部品等の熱
処理には最適である。また、単線ワイヤは熱容量が小さ
いので熱損失が少ないと共に被熱物との接触面積が小さ
いので熱伝達による被熱物の温度ムラの発生を少なくす
ること、および、低コスト化が可能となることなど種々
の有益なる効果がある。
炉は、単線ワイヤを炉内に平行に張設してこれを循回駆
動することにより被熱物を炉内に搬送するもので、該単
線ワイヤはチェーンやメツシュベルトと異なり屈曲によ
る必然的な摺動かないので摩耗により微粉が炉内に散る
のを可及的に減少させることができる。このためシリコ
ンウェハーのような埃をきらう微細加工電子部品等の熱
処理には最適である。また、単線ワイヤは熱容量が小さ
いので熱損失が少ないと共に被熱物との接触面積が小さ
いので熱伝達による被熱物の温度ムラの発生を少なくす
ること、および、低コスト化が可能となることなど種々
の有益なる効果がある。
図面は本発明に係る連続熱処理炉の一実施例を示したも
ので、第１図は縦断面図、第２図はその右側面図、第３
図は第２図の一部拡大図、第４図は第１図のＡ−Ａ線断
面拡大図である。 １・・・・炉体、 １２．１２’ 、 １３．１３’
・・・・プーリ。 １４、１４’ 、 １５．１５’・・・・単線ワイヤ、
ａ・・・・被熱物。 第４図 第ｓ′ｖＡ 、１ 第ａ図
ので、第１図は縦断面図、第２図はその右側面図、第３
図は第２図の一部拡大図、第４図は第１図のＡ−Ａ線断
面拡大図である。 １・・・・炉体、 １２．１２’ 、 １３．１３’
・・・・プーリ。 １４、１４’ 、 １５．１５’・・・・単線ワイヤ、
ａ・・・・被熱物。 第４図 第ｓ′ｖＡ 、１ 第ａ図
Claims (1)
- 少なくとも２本のループ状の単線ワイヤを夫々プーリに
巻掛して炉内に平行に張設し該単線ワイヤを循回駆動さ
せることにより該単線ワイヤ上に支持された被熱物を炉
内に搬送するようにしたことを特徴とする連続熱処理炉
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26078085A JPS62123284A (ja) | 1985-11-20 | 1985-11-20 | 連続熱処理炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26078085A JPS62123284A (ja) | 1985-11-20 | 1985-11-20 | 連続熱処理炉 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62123284A true JPS62123284A (ja) | 1987-06-04 |
Family
ID=17352621
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26078085A Pending JPS62123284A (ja) | 1985-11-20 | 1985-11-20 | 連続熱処理炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62123284A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0349210U (ja) * | 1989-09-18 | 1991-05-14 | ||
| JPH0639643A (ja) * | 1992-07-24 | 1994-02-15 | O S G Kk | 穿孔ねじ切り結合工具 |
| US5973706A (en) * | 1988-07-13 | 1999-10-26 | Seiko Epson Corporation | Video multiplexing system for superimposition of scalable video data streams upon a background video data stream |
-
1985
- 1985-11-20 JP JP26078085A patent/JPS62123284A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5973706A (en) * | 1988-07-13 | 1999-10-26 | Seiko Epson Corporation | Video multiplexing system for superimposition of scalable video data streams upon a background video data stream |
| JPH0349210U (ja) * | 1989-09-18 | 1991-05-14 | ||
| JPH0639643A (ja) * | 1992-07-24 | 1994-02-15 | O S G Kk | 穿孔ねじ切り結合工具 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR900003516B1 (ko) | 연속식 대기 열처리로 | |
| US2928158A (en) | Apparatus for and method of heattreating articles | |
| JPS62123284A (ja) | 連続熱処理炉 | |
| FI72959C (fi) | Rulldrivningsmekanism till en behandlingsanordning foer glasskivor. | |
| JP2002318076A (ja) | 高温保護雰囲気熱処理炉 | |
| JPS6042024A (ja) | 巻き付けられたコイルの製造装置 | |
| JP2785660B2 (ja) | 鍛造設備におけるワーク冷却装置 | |
| US3750904A (en) | Heat treating furnace | |
| US1696900A (en) | baily | |
| US5855477A (en) | Belt conveyance baking furnace | |
| US3957479A (en) | Glass treating furnace | |
| CN110550383A (zh) | 输送装置 | |
| SU697787A1 (ru) | Барабанна вращающа с печь | |
| JPH06323740A (ja) | セラミックチェンガイド付ローラハース炉 | |
| US2128057A (en) | Spring coil handling apparatus | |
| KR850000850B1 (ko) | 관체 열처리 로(爐) | |
| JPH0625835Y2 (ja) | 連続炉のチェーンコンベア式搬送装置 | |
| SU929980A1 (ru) | Конвейер в особенности дл транспорта материалов, подвергаемых тепловой обработке в туннельных печах | |
| JP2002221390A (ja) | 両面熱処理用コンベア | |
| JPH04129098U (ja) | ベルト式焼成炉 | |
| JP2002090072A (ja) | 浄化室 | |
| JPH1059514A (ja) | 加熱装置 | |
| SU1201637A1 (ru) | Устройство для сушки изделий | |
| JPS6117887A (ja) | 焼成炉 | |
| JPS62112717A (ja) | 熱処理方法及び熱処理装置 |