JPS62120088A - 発光ダイオ−ドアレイ - Google Patents
発光ダイオ−ドアレイInfo
- Publication number
- JPS62120088A JPS62120088A JP60260438A JP26043885A JPS62120088A JP S62120088 A JPS62120088 A JP S62120088A JP 60260438 A JP60260438 A JP 60260438A JP 26043885 A JP26043885 A JP 26043885A JP S62120088 A JPS62120088 A JP S62120088A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diffusion region
- electrode
- sides
- shape
- hexagon
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Led Devices (AREA)
- Dot-Matrix Printers And Others (AREA)
- Printers Or Recording Devices Using Electromagnetic And Radiation Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
イノ産業上の利用分野
本発明は元プリンタヘッドに好適な発光ダイオードアレ
イに関する。
イに関する。
口】従来の技術
近年元プリンタのヘッドとして第3図に示すようにモノ
リシンクの発光ダイオードアレイ(1(川ゆ・・・を1
列又は数列に祭列させて用いるようになった。
リシンクの発光ダイオードアレイ(1(川ゆ・・・を1
列又は数列に祭列させて用いるようになった。
この時、発T:碩漱は選択波数で形成されるが、その拡
散′ν頁域への給電は一部又七ケ全周にオーミック接触
部を有した′を極を設けて行なっている。拡散領域の一
部に電極を設けることは高密度化のためには好ましいが
、拡散領域内の電流分布が偏り、1ド、フト分の発光輝
度分布が著しく変化し、それは印字の濃淡としてあられ
れ好ましくない。
散′ν頁域への給電は一部又七ケ全周にオーミック接触
部を有した′を極を設けて行なっている。拡散領域の一
部に電極を設けることは高密度化のためには好ましいが
、拡散領域内の電流分布が偏り、1ド、フト分の発光輝
度分布が著しく変化し、それは印字の濃淡としてあられ
れ好ましくない。
一方拡散領域の全周にオーミーJり接触部をもつものは
例えば特開昭58−142872号公報、特開昭60−
83384号公報等があるが、隣接する電極同志の帰路
等には注意を払わねばならないものの、電流分布は略均
−になる) ところが、拡散領域の全周にオーミンク接触部を設ける
と、電極パターンに設けた透孔がドツトの形状を規定す
るため光取出量が制限される0特にpn接合が半導体基
台の表面に略垂直となる拡散領域の周縁部ではfr:、
址の密度が高いけれど7に極で覆っているので光取出量
にはあまり寄与しない。
例えば特開昭58−142872号公報、特開昭60−
83384号公報等があるが、隣接する電極同志の帰路
等には注意を払わねばならないものの、電流分布は略均
−になる) ところが、拡散領域の全周にオーミンク接触部を設ける
と、電極パターンに設けた透孔がドツトの形状を規定す
るため光取出量が制限される0特にpn接合が半導体基
台の表面に略垂直となる拡散領域の周縁部ではfr:、
址の密度が高いけれど7に極で覆っているので光取出量
にはあまり寄与しない。
さらに成極パターンが拡散バター/と位置ずれを生じる
とドツトの形状が歪になり好ましくない。
とドツトの形状が歪になり好ましくない。
これらは元プリンタの印字品質を低下させるので不都合
である。
である。
ハン発明が解決しようとする問題点
不西明は上述した欠点を改め光取出量が多く、かつパタ
ーンずれがあってもドツトの形状があまり変わらない発
光ダイオードアレイを提供するものである。
ーンずれがあってもドツトの形状があまり変わらない発
光ダイオードアレイを提供するものである。
二】間団点を解決するための手段
本発明は拡散領域の表面形状と電極の透孔とを互いに異
なる方向に広がった多角形状としたもので、電1〆4孔
の平行な2辺と拡散領域表面の略多角形の2辺が交わる
ように配置したものである。
なる方向に広がった多角形状としたもので、電1〆4孔
の平行な2辺と拡散領域表面の略多角形の2辺が交わる
ように配置したものである。
ホ)作 用
これによりド・7)の外IAは電極の端縁と拡散領域の
r< 14の組合わせで形成されるから、拡散領域端縁
の4出により光取出量が増え、上記端縁は多肉形が基本
なので平行な辺をもっているから位置ずれてドツト形状
が歪にならない。
r< 14の組合わせで形成されるから、拡散領域端縁
の4出により光取出量が増え、上記端縁は多肉形が基本
なので平行な辺をもっているから位置ずれてドツト形状
が歪にならない。
ヘン実施例
′g1図は本発明実施例の発光ダイオードアレイの平面
図で第2図(A)(B)はそれぞれ¥1図でおけるA−
A晴面図B−B断面図である。
図で第2図(A)(B)はそれぞれ¥1図でおけるA−
A晴面図B−B断面図である。
第1図および第2図(A)(i3)において、(11ぼ
化合物半導体の基台で、例えばGaASベース上にGa
AsP全気相エピタキシャル法で成長させたものである
。+2++z+・・・は化合物半導体の基台中の主面、
即ちGaAsP層表面に設けられた拡散領域で、亜鉛の
選択拡散法等によって2列千島配置に設けである。この
拡散領W121+21・・・の表面形状は正六角形を基
本とし、ド・フトの整列方向(印字の主走査方向)(イ
]に直交する方向(印字の副走査方向)(ロ)に対して
2U±2度の角度(θ)をもって傾斜させ、かつその方
向(ハンに対して略直交する方向に広がるよう変形させ
たものである。正六角形を基本とする理由は斜線を印字
する時になめらかな線とするためであり、これを角度(
θ〕だけ傾けるのは直線を印字するとき隣接するドツト
とのりなかゆを良くして寿しい直線を得るためのもので
、いずれも印字品質を良くするために求められるもので
、五〜十角形のいわゆる多角形であればよい。一方その
多角形を特定の方向に広げるのは、後述するように′電
極のパターンとの位置合せに冗長性を持たせるためであ
る。
化合物半導体の基台で、例えばGaASベース上にGa
AsP全気相エピタキシャル法で成長させたものである
。+2++z+・・・は化合物半導体の基台中の主面、
即ちGaAsP層表面に設けられた拡散領域で、亜鉛の
選択拡散法等によって2列千島配置に設けである。この
拡散領W121+21・・・の表面形状は正六角形を基
本とし、ド・フトの整列方向(印字の主走査方向)(イ
]に直交する方向(印字の副走査方向)(ロ)に対して
2U±2度の角度(θ)をもって傾斜させ、かつその方
向(ハンに対して略直交する方向に広がるよう変形させ
たものである。正六角形を基本とする理由は斜線を印字
する時になめらかな線とするためであり、これを角度(
θ〕だけ傾けるのは直線を印字するとき隣接するドツト
とのりなかゆを良くして寿しい直線を得るためのもので
、いずれも印字品質を良くするために求められるもので
、五〜十角形のいわゆる多角形であればよい。一方その
多角形を特定の方向に広げるのは、後述するように′電
極のパターンとの位置合せに冗長性を持たせるためであ
る。
+3+I3ト・・は化合物半導体の基台中の主面に、窒
化硅素等の絶#嗅14IIa・・・を介して設けられた
電極で、アルミニウム等からなり、拡散領域12+12
1・・・に1対1に対応するよう設けられると共に、絶
縁11+41141・・・に4′よけた拡散窓において
拡散領域+21121・・・とオーミ・・り接@をとっ
ている。この電極l、’(+I;31・・・には透孔+
5+IFil・・・が設けており、透孔15+f51・
・・は六角形を基本としているが、拡散領@12112
1・・・の傾斜方向(ハ)に広げた形をしているため、
平行な2長辺は各々拡散領Jg121121・・・の六
角形の2辺と交わる。従って上述したオーミック接触部
は広がった拡散領域の対向する2つの略台形部分となる
。(6(は基台中の4面に設けた金合金等からなる共通
電極である。
化硅素等の絶#嗅14IIa・・・を介して設けられた
電極で、アルミニウム等からなり、拡散領域12+12
1・・・に1対1に対応するよう設けられると共に、絶
縁11+41141・・・に4′よけた拡散窓において
拡散領域+21121・・・とオーミ・・り接@をとっ
ている。この電極l、’(+I;31・・・には透孔+
5+IFil・・・が設けており、透孔15+f51・
・・は六角形を基本としているが、拡散領@12112
1・・・の傾斜方向(ハ)に広げた形をしているため、
平行な2長辺は各々拡散領Jg121121・・・の六
角形の2辺と交わる。従って上述したオーミック接触部
は広がった拡散領域の対向する2つの略台形部分となる
。(6(は基台中の4面に設けた金合金等からなる共通
電極である。
斬る構成においてrl印字ド・フトとしての形状は露出
(7た拡散領域の形状となるから正六角形全角11θ)
だけ傾けた形となり、2辺は電極端縁で、残る4辺は拡
散領域端縁で外郭が形づくられる。
(7た拡散領域の形状となるから正六角形全角11θ)
だけ傾けた形となり、2辺は電極端縁で、残る4辺は拡
散領域端縁で外郭が形づくられる。
ト】′j@明の効果
以上の様な構成において拡散領域の端縁のPn接合が4
辺にわたって露出し、他の対向する2辺は給電路となる
ので、1ドツト内で電流分布は均一となり輝度分布は平
担化するだけでなく光取出量は多い。具体的に例示する
と1辺30μ山の六角形の印字ドツトに対し、全周にオ
ーミック接触部を設けた時に比べ10mA/ドツトの電
流で感尤面での照度は1096向上し、ドツト内の露光
ムラは従来例同様観察されなかった。
辺にわたって露出し、他の対向する2辺は給電路となる
ので、1ドツト内で電流分布は均一となり輝度分布は平
担化するだけでなく光取出量は多い。具体的に例示する
と1辺30μ山の六角形の印字ドツトに対し、全周にオ
ーミック接触部を設けた時に比べ10mA/ドツトの電
流で感尤面での照度は1096向上し、ドツト内の露光
ムラは従来例同様観察されなかった。
また略多角形を基本形とし、′;jL1mO透孔の平行
な辺で拡散領域を横切るので、拡散パターンとα極パタ
ーンとが多少ずれても多角形の形は維持でき、印字品質
の劣悪化を防ぐことができる0
な辺で拡散領域を横切るので、拡散パターンとα極パタ
ーンとが多少ずれても多角形の形は維持でき、印字品質
の劣悪化を防ぐことができる0
@1図は本発明実施例の発光ダイオードプレイの平面図
で、第2図(A)(B)はそれぞれ第11AのA−A断
面図と13−8断面図、第5図は元プリンタのヘッドの
?[図である。 Il+・・・(化合物半導体のJ、!i!i台、121
12+・・・・・・拡散領域、 13+131 ・・
・・・・′t1【<4−(、+41141 ・・・・・
・絶縁1漠、 15]151・・・ ・・・透孔、(
6I・・・共通4極。
で、第2図(A)(B)はそれぞれ第11AのA−A断
面図と13−8断面図、第5図は元プリンタのヘッドの
?[図である。 Il+・・・(化合物半導体のJ、!i!i台、121
12+・・・・・・拡散領域、 13+131 ・・
・・・・′t1【<4−(、+41141 ・・・・・
・絶縁1漠、 15]151・・・ ・・・透孔、(
6I・・・共通4極。
Claims (1)
- 1)化合物半導体の基台と、基台の主面に設けられ、表
面が略多角形をなす複数の拡散領域と、その拡散領域表
面の略多角形の少なくとも2辺と交わる平行な2辺を含
む略短冊状の透孔を有し基台の表面に設けられ拡散領域
とオーミック接触された電極とを具備した事を特徴とす
る発光ダイオードアレイ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60260438A JPS62120088A (ja) | 1985-11-20 | 1985-11-20 | 発光ダイオ−ドアレイ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60260438A JPS62120088A (ja) | 1985-11-20 | 1985-11-20 | 発光ダイオ−ドアレイ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62120088A true JPS62120088A (ja) | 1987-06-01 |
Family
ID=17347936
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60260438A Pending JPS62120088A (ja) | 1985-11-20 | 1985-11-20 | 発光ダイオ−ドアレイ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62120088A (ja) |
-
1985
- 1985-11-20 JP JP60260438A patent/JPS62120088A/ja active Pending
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