JPS62118260A - 加速度センサ - Google Patents

加速度センサ

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Publication number
JPS62118260A
JPS62118260A JP60257605A JP25760585A JPS62118260A JP S62118260 A JPS62118260 A JP S62118260A JP 60257605 A JP60257605 A JP 60257605A JP 25760585 A JP25760585 A JP 25760585A JP S62118260 A JPS62118260 A JP S62118260A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
acceleration
acceleration sensor
face
directions
forming
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP60257605A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshiaki Fujiwara
嘉朗 藤原
Michiko Endou
みち子 遠藤
Yuji Kojima
小島　雄二
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
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Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概　要〕 ＜１１０　＞面を主面とするシリコンウェハを用い、３
次元の加速度を測定する３素子を同一平面に膨面した加
速度センサ。
〔産業上の利用分野〕
本発明はシリコン基板を用いた加速度センサに係り、特
に３次元の加速度を同一平面で測定する加速度センサに
関する。
〔従来の技術と問題〕
従来ｘ、ｙ、ｚ方向の３次元加速度センサは第４図に示
すように例えばセラミックからなる１辺約１０〜３０鰭
の立方体等の固定台にｘ、ｙ、ｚ方向の異なる３面にそ
れぞれ個別の加速度測定素子ｌ。
２．３を配設させそれぞれの方向の加速度を測定してい
た。このように立方体の３面を使用するためセンサ形状
が大きくなり製造コストも増大する問題があった。
本発明は小型でしかも製造コストの安い加速度センサを
提供することを目的とする。
〔問題点を解決するための手段〕
上記問題点は本発明によれば．〈１１０　＞シリコン基
板同一面上に３次元の加速度を測定する３素子を配設し
たことを特徴とする加速度センサによって解決される。
〔実施例〕
以下本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は本発明の一実施例を説明するための概略斜視図
である。
第１図に示された実施例は３次元加速度センサでシリコ
ンウェハ０１０　ン面１０にＸ方向、Ｘ方向そして２方
向の３種類のセンサ１，２．３がそれぞれ形成されてい
る。このセンサ１，２．３の製造はシリコンウェハ＜１
１０　＞面１０上を例えばエチレンジアミン−カテコー
ル等のアルカリ系エツチング液で異方性エツチングを行
ない（１１０＞面に垂直な溝の形成によって容易に得る
ことができる。
特に第２図は２方向の加速度を感知する構造を示す。シ
リコンウェハの凸部（重り部分）５の柄の部分Ａをエツ
チングによって２方向に１２μｍ程度まで、長さ１００
〜５００μｍ程になるように薄くする。凸部５に２方向
の加速度が加わると凸部５がたわみ、板厚の薄い部分Ａ
が歪むＡの上面に半導体の拡散抵抗、圧電薄膜等の歪測
定素子６を形成することにより２方向の加速度を測定で
きる。
第３図はＸ方向及びＹ方向の加速度を感知する構造を示
す。第３図ではシリコンウェハの凸部５の柄の部分Ｂを
Ｘ又はＸ方向を細くすることにより第２図と同様に加速
度が測定できる。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明によれば同一面上に同時に３
種類（Ｘ％　１％　２方向）の加速度センサの形成が可
能であり、しかも小型化製造コストの低減が可能である
。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例を説明するための斜視図であ
り、第２図、第３図はそれぞれＺ方向、ｘ、Ｘ方向の加
速度を感知する構造を示す斜視図であり、第４図は従来
例を説明するための斜視図である。 ｌ・・・Ｘ方向加速度センサ、 ２・・・Ｘ方向加速度センサ、 ３・・・２方向加速度センサ、 ５・・・凸部（重り部分）、 ６・・・歪測定素子、 １０・・・シリコンウェハ＜１１０　＞　面。 第１図 １９．、Ｘ方向加速度センサ　　２−’／方向加速度３
・・・Ｘ方向加速度センサ　１０・・・ンリフンウエノ
・〈１１０〉面実施例（２方向） ：＄２図 ５１１０重り部分 ６・・・歪測定素子 実　　施　　例 第３図 従　　来　　例 第４図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １．〈１１０〉シリコン基板同一面上に３次元の加速度
    を測定する３素子を配設したことを特徴とする加速度セ
    ンサ。
JP60257605A 1985-11-19 1985-11-19 加速度センサ Pending JPS62118260A (ja)

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Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4920801A (en) * 1987-07-29 1990-05-01 The Marconi Company Limited Accelerometer
US4969359A (en) * 1989-04-06 1990-11-13 Ford Motor Company Silicon accelerometer responsive to three orthogonal force components and method for fabricating
JPH03137569A (ja) * 1989-10-23 1991-06-12 Yamatake Honeywell Co Ltd 加速度センサおよびその製造方法
US5065628A (en) * 1987-12-03 1991-11-19 Fraunhofer Gesellschaft Zur Forderung Der Angewandten Forschung E.V. Instrument for measuring accelerations and process of making the same
JPH04500111A (ja) * 1989-05-24 1992-01-09 ツェレボイ　ナウチノ―テフニチェスキ　コーペラティフ“スティメル” 回転式容積形機械
US5095762A (en) * 1988-07-14 1992-03-17 University Of Hawaii Multidimensional force sensor
JPH04315477A (ja) * 1991-04-15 1992-11-06 Nissan Motor Co Ltd ３次元加速度センサ
JPH04315056A (ja) * 1991-04-12 1992-11-06 Tokai Rika Co Ltd 加速度センサ
JPH0549623A (ja) * 1990-12-14 1993-03-02 Cardiac Pacemakers Inc 多軸変換器相互連結装置
JP2008530548A (ja) * 2005-08-01 2008-08-07 トヨタ自動車株式会社 センサユニット

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4920801A (en) * 1987-07-29 1990-05-01 The Marconi Company Limited Accelerometer
US5065628A (en) * 1987-12-03 1991-11-19 Fraunhofer Gesellschaft Zur Forderung Der Angewandten Forschung E.V. Instrument for measuring accelerations and process of making the same
US5095762A (en) * 1988-07-14 1992-03-17 University Of Hawaii Multidimensional force sensor
US4969359A (en) * 1989-04-06 1990-11-13 Ford Motor Company Silicon accelerometer responsive to three orthogonal force components and method for fabricating
JPH04500111A (ja) * 1989-05-24 1992-01-09 ツェレボイ　ナウチノ―テフニチェスキ　コーペラティフ“スティメル” 回転式容積形機械
JPH03137569A (ja) * 1989-10-23 1991-06-12 Yamatake Honeywell Co Ltd 加速度センサおよびその製造方法
JPH0549623A (ja) * 1990-12-14 1993-03-02 Cardiac Pacemakers Inc 多軸変換器相互連結装置
JPH04315056A (ja) * 1991-04-12 1992-11-06 Tokai Rika Co Ltd 加速度センサ
JPH04315477A (ja) * 1991-04-15 1992-11-06 Nissan Motor Co Ltd ３次元加速度センサ
JP2008530548A (ja) * 2005-08-01 2008-08-07 トヨタ自動車株式会社 センサユニット
JP4659841B2 (ja) * 2005-08-01 2011-03-30 トヨタ自動車株式会社 センサユニット
US8001839B2 (en) 2005-08-01 2011-08-23 Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha Sensor unit

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