JPS62113049A - 記録媒体の検査装置 - Google Patents
記録媒体の検査装置Info
- Publication number
- JPS62113049A JPS62113049A JP25424985A JP25424985A JPS62113049A JP S62113049 A JPS62113049 A JP S62113049A JP 25424985 A JP25424985 A JP 25424985A JP 25424985 A JP25424985 A JP 25424985A JP S62113049 A JPS62113049 A JP S62113049A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recording medium
- defect
- signal
- detector
- laser beams
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- Pending
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
く技術分野）
本発明は、光ディスク等の記録媒体又はその基板の転写
に用いるスタンパ等の表面の欠陥の検査装置に関する。
に用いるスタンパ等の表面の欠陥の検査装置に関する。
（従来技術）
光ディスク等の記録媒体の表面に傷等の欠陥があると、
情報信号を正しく記録再生することができないから、欠
陥の有無を検査する必要がある。
情報信号を正しく記録再生することができないから、欠
陥の有無を検査する必要がある。
従来の記録媒体の検査装置としては、記録媒体に刻まれ
た溝を光ピツクアップによりトレースしながら記録媒体
による反射光を検出し、溝上の欠陥による光量変化を検
出するようにしたものが一般的である。
た溝を光ピツクアップによりトレースしながら記録媒体
による反射光を検出し、溝上の欠陥による光量変化を検
出するようにしたものが一般的である。
第３図は、従来の記録媒体の検査装置の例を示す。第３
図において、レーザ光源ｌから出射されたレーザ光ば、
ミラー２で反射されたのちビームスプリッタ３をｉ３３
１１ｒし、ピックアップレンズ４で記録媒体５」二に集
束されて照射される。記録媒体５からの反射光はレンズ
イを再び透過したのちビームスプリッタ３により分割さ
れて検出器６により検出される。検出器６による検出信
号は２値化回路７で２値化され、２値化されたパルス信
号の時間幅をカウンタ８でカウントするようになってい
る。
図において、レーザ光源ｌから出射されたレーザ光ば、
ミラー２で反射されたのちビームスプリッタ３をｉ３３
１１ｒし、ピックアップレンズ４で記録媒体５」二に集
束されて照射される。記録媒体５からの反射光はレンズ
イを再び透過したのちビームスプリッタ３により分割さ
れて検出器６により検出される。検出器６による検出信
号は２値化回路７で２値化され、２値化されたパルス信
号の時間幅をカウンタ８でカウントするようになってい
る。
第４図は」二記従来例の検出動作を示すもので、上記記
録媒体５の表面に欠陥５ａがあると、検出器６に入射す
る光量が減少し、ぞの検出出力は第４図（ａ）に示され
ているようなピークをもった信号となり、これを２値化
回路７で２値化すると第４図（ｂ）のように、上記欠陥
５ａの長さしに相当する時間幅のパルス信号が得られる
。そこで、このパルス信号の時間幅をカウンタ８でカウ
ントすれば、欠陥５ａの長さを求めることができる。
録媒体５の表面に欠陥５ａがあると、検出器６に入射す
る光量が減少し、ぞの検出出力は第４図（ａ）に示され
ているようなピークをもった信号となり、これを２値化
回路７で２値化すると第４図（ｂ）のように、上記欠陥
５ａの長さしに相当する時間幅のパルス信号が得られる
。そこで、このパルス信号の時間幅をカウンタ８でカウ
ントすれば、欠陥５ａの長さを求めることができる。
しかし、レーザ光を絞り込んでもその直径Ｒは１．５μ
ｍ程度が限度であり、よって、第５図に示されているよ
うに、測定される欠陥の長さは、実際の欠陥の大きさよ
りも１乃至２μｍ程度大きくなってしまい、正確な欠陥
長さや欠陥率を求めることができなかった。
ｍ程度が限度であり、よって、第５図に示されているよ
うに、測定される欠陥の長さは、実際の欠陥の大きさよ
りも１乃至２μｍ程度大きくなってしまい、正確な欠陥
長さや欠陥率を求めることができなかった。
（目的）
本発明の目的は、レーザ光の直径の影響を受けることな
く精度よく欠陥を測定することが可能な記録媒体の検査
装置を提供することにある。
く精度よく欠陥を測定することが可能な記録媒体の検査
装置を提供することにある。
（構成）
本発明は、互いに逆位相の二つのパルス状のレーザ光を
出射し、この二つのレーザ光を平行に並べた状態で被検
体としての記録媒体に入射するし一ザ光源部と、−に記
記録媒体からの反射光を検出する検出器と、この検出器
の検出出力から、」二記記録媒体上にある欠陥に基づく
二つの検出信号の時間的ずれ信号を欠陥信号として検出
する信号処理部とを有してなる。
出射し、この二つのレーザ光を平行に並べた状態で被検
体としての記録媒体に入射するし一ザ光源部と、−に記
記録媒体からの反射光を検出する検出器と、この検出器
の検出出力から、」二記記録媒体上にある欠陥に基づく
二つの検出信号の時間的ずれ信号を欠陥信号として検出
する信号処理部とを有してなる。
以下、本発明に係る記録媒体の検査装置の実施例を第１
図及び第２図を参照しながら説明する。
図及び第２図を参照しながら説明する。
第１図において、レーザ光源１５から出射されたレーザ
光はビームスプリッタ１６により二分割され、一方のレ
ーザ光は音響光学素子でなるＡ１０変調器１８に入射し
、他方のレーザ光はミラー１７で反射されたのちＡ１０
変調器１９に入射するようになっている。この二つの変
調器１８．１９に入射したレーザ光は高周波源２０から
の高周波によって変調されて一定時間ごとに点滅を繰り
返すパルス状のレーザ光になるが、一方の変〆１１ａ器
１８に入力される高周波はインバータ２１によって位相
を反転されるため、二つの変調器１８．１９からは互い
に逆位相のパルス状のレーザ光が出射される。変調器１
８からのレーザ光はミラー２２で反射されたあとビーム
スプリッタ２３に向かい、他方の変調器１９からのレー
ザ光もビームスプリンタ２３に向かう。ビームスプリッ
タ２３は二つの変調されたレーザ光をビーム径に相当す
る間隔で平行に並べた状態で被検体としての記録媒体１
２の方に向かって出射するようになっている。以上述べ
た各構成部分はレーザ光源部１１を構成する。
光はビームスプリッタ１６により二分割され、一方のレ
ーザ光は音響光学素子でなるＡ１０変調器１８に入射し
、他方のレーザ光はミラー１７で反射されたのちＡ１０
変調器１９に入射するようになっている。この二つの変
調器１８．１９に入射したレーザ光は高周波源２０から
の高周波によって変調されて一定時間ごとに点滅を繰り
返すパルス状のレーザ光になるが、一方の変〆１１ａ器
１８に入力される高周波はインバータ２１によって位相
を反転されるため、二つの変調器１８．１９からは互い
に逆位相のパルス状のレーザ光が出射される。変調器１
８からのレーザ光はミラー２２で反射されたあとビーム
スプリッタ２３に向かい、他方の変調器１９からのレー
ザ光もビームスプリンタ２３に向かう。ビームスプリッ
タ２３は二つの変調されたレーザ光をビーム径に相当す
る間隔で平行に並べた状態で被検体としての記録媒体１
２の方に向かって出射するようになっている。以上述べ
た各構成部分はレーザ光源部１１を構成する。
上記レーザ光源部１１から出射された平行な二つのレー
ザ光は、ビームスプリッタ２４．１／４波長板２５、ピ
ンクアンプレンズ２６を通ったあと記録媒体１２に照射
される。記録媒体１２による二つのレーザの反射光は、
ピックアップレンズ２６．１／４波長板２５を通ったあ
とビームスプリンタ２４で反射され、検出器１３で検出
されて電気信号に変換されるようになっている。
ザ光は、ビームスプリッタ２４．１／４波長板２５、ピ
ンクアンプレンズ２６を通ったあと記録媒体１２に照射
される。記録媒体１２による二つのレーザの反射光は、
ピックアップレンズ２６．１／４波長板２５を通ったあ
とビームスプリンタ２４で反射され、検出器１３で検出
されて電気信号に変換されるようになっている。
上記検出器１３による検出出力は、この検出出力から上
記記録媒体１２上にある欠陥に基づく二つの検出信号の
時間的ずれ信号を欠陥信号として検出する信号処理部１
４に入力される。信号処理部１４は、上記検出器１３か
らの信号を、まずデジタル信号に変換するＡ／１〕変換
器２７を有し、変換されたデジタル信号を一時的に保持
する二つのラッチ回Ｖ＆２８．２９を有している。ラン
チ回路２８．２９は、前記高周波源２０からの高周波に
同期して上記デジタル信号を一時的に保持するものであ
るが、一方のラッチ回路２８に入力される高周波ばイン
バータ３０によって位相を反転されるようになっている
。各ラッチ回路２８．２９の出力は共にアンドゲート３
１に入力され、アンドゲート３１の出力によって欠陥の
有無及び欠陥の長さを検出するようになっている。
記記録媒体１２上にある欠陥に基づく二つの検出信号の
時間的ずれ信号を欠陥信号として検出する信号処理部１
４に入力される。信号処理部１４は、上記検出器１３か
らの信号を、まずデジタル信号に変換するＡ／１〕変換
器２７を有し、変換されたデジタル信号を一時的に保持
する二つのラッチ回Ｖ＆２８．２９を有している。ラン
チ回路２８．２９は、前記高周波源２０からの高周波に
同期して上記デジタル信号を一時的に保持するものであ
るが、一方のラッチ回路２８に入力される高周波ばイン
バータ３０によって位相を反転されるようになっている
。各ラッチ回路２８．２９の出力は共にアンドゲート３
１に入力され、アンドゲート３１の出力によって欠陥の
有無及び欠陥の長さを検出するようになっている。
次に、上記実施例の動作を第２図を参照しながら説明す
る。
る。
いま、記録媒体１２上に欠陥があったとすると、記録媒
体１２に照射される二つのレーザ光の反射光の光量は、
第２図（ａ）（ｂ）に示されているように、欠陥の部分
で減少する。また、上記二つのレーザ光は平行に並んで
いるため、欠陥部分で生ずる光量の減少は時間的にずれ
ると共に、二つのレーザ光は互いに逆位相となっている
ため、その反射光の位相も互いに逆位相となっている。
体１２に照射される二つのレーザ光の反射光の光量は、
第２図（ａ）（ｂ）に示されているように、欠陥の部分
で減少する。また、上記二つのレーザ光は平行に並んで
いるため、欠陥部分で生ずる光量の減少は時間的にずれ
ると共に、二つのレーザ光は互いに逆位相となっている
ため、その反射光の位相も互いに逆位相となっている。
この二つの反射光は検出器１３によって合成して検出さ
れ、その検出信号は第２図（Ｃ）のようになる。
れ、その検出信号は第２図（Ｃ）のようになる。
ここで、二つのレーザ光の検出信号の重なり合う部分は
互いに打ち消されるため、その部分の検出レベルは全体
的に低いレベルになる。
互いに打ち消されるため、その部分の検出レベルは全体
的に低いレベルになる。
検出器１３の検出出力はＡ／Ｄ変換器２７によってデジ
タル信号に変換される。その変換出力は、第２図（ｄ）
に示されているように、検出器１３の出力を一定レベル
でスライスした形になり、また、上記二つのＩ／−ザ光
の検出信号の重なり合う部分は、レーザ光の点滅周期よ
りも長い時間幅で低レベルとなる。そこで、次に、二つ
のラッチ回路２８．２９により上記長い時間幅の低レベ
ル部分を境にして第２図（ｅ）（ｆ）に示されているよ
うな時間的にずれた二つのパルス信号に分離する。二つ
のラッチ回路２８．２９は、高周波源２０からの高周波
に同期した検出信号を、互いに逆位相の上記高周波に同
期して一時的に保持するため、Ａ／Ｄ変換器２７からの
一連の信号ｄを時間的にずれた二つの信号ｅ、ｆに分離
することができる。この分離されたパルス信号をアント
ゲ−１・３１に人力すれば、第２図（ｇ）に示されてい
るように、」二記分離されタパルス信号の重なり部分に
相当するパルス幅の信号が得られる。この（Ｎ’；ｊＨ
のパルス幅を求めれば、記録媒体１２」二の欠陥の播さ
乃至は大きさを求めることができる。
タル信号に変換される。その変換出力は、第２図（ｄ）
に示されているように、検出器１３の出力を一定レベル
でスライスした形になり、また、上記二つのＩ／−ザ光
の検出信号の重なり合う部分は、レーザ光の点滅周期よ
りも長い時間幅で低レベルとなる。そこで、次に、二つ
のラッチ回路２８．２９により上記長い時間幅の低レベ
ル部分を境にして第２図（ｅ）（ｆ）に示されているよ
うな時間的にずれた二つのパルス信号に分離する。二つ
のラッチ回路２８．２９は、高周波源２０からの高周波
に同期した検出信号を、互いに逆位相の上記高周波に同
期して一時的に保持するため、Ａ／Ｄ変換器２７からの
一連の信号ｄを時間的にずれた二つの信号ｅ、ｆに分離
することができる。この分離されたパルス信号をアント
ゲ−１・３１に人力すれば、第２図（ｇ）に示されてい
るように、」二記分離されタパルス信号の重なり部分に
相当するパルス幅の信号が得られる。この（Ｎ’；ｊＨ
のパルス幅を求めれば、記録媒体１２」二の欠陥の播さ
乃至は大きさを求めることができる。
因に、レーザ光をｌ０Ｍ２以上の高周波で変調すれば、
測定線速］ｍに刻し測定誤差は０．１ μｍ以下となり
、高精度で欠陥を検出することができる。
測定線速］ｍに刻し測定誤差は０．１ μｍ以下となり
、高精度で欠陥を検出することができる。
本発明は、光ディスクのみならず、その他の情報信号記
録媒体の検査装置として適用可能であると共に、記録媒
体が溝を有しているか否かにかかわりなく適用可能であ
る。また、記録媒体の基板の転写に用いるスタンバの表
面検査にも用いることが可能であり、その（Ｌｓ＋ウェ
ハーやガラス等の表面検査に用いることも可能である。
録媒体の検査装置として適用可能であると共に、記録媒
体が溝を有しているか否かにかかわりなく適用可能であ
る。また、記録媒体の基板の転写に用いるスタンバの表
面検査にも用いることが可能であり、その（Ｌｓ＋ウェ
ハーやガラス等の表面検査に用いることも可能である。
（効果）
本発明によれば、互いに逆位相の二つのパルス状のレー
ザ光を被検体としての記録媒体の表面に入射し、記録媒
体−ににある欠陥に基づく二つのし一ザ光の検出信号の
時間的ずれ信号によって欠陥を検出するようにしたから
、レーザ光の絞り径に影響されず、欠陥検査の精度を飛
躍的に向上させることができる。
ザ光を被検体としての記録媒体の表面に入射し、記録媒
体−ににある欠陥に基づく二つのし一ザ光の検出信号の
時間的ずれ信号によって欠陥を検出するようにしたから
、レーザ光の絞り径に影響されず、欠陥検査の精度を飛
躍的に向上させることができる。
第１図は本発明に係る記録媒体の検査装置の実施例を示
すブロック図、第２図は同上実施例の動作を説明するた
めのタイミングチャート、第３図は従来の記録媒体の検
査装置の例を示すブロック図、第４図は同上従来例の動
作を説明するためのタイミングチャート、第５図は上記
従来例の検出精度を示す線図である。 １１− レーザ光源部、 １２−記録媒体、 １３−検
出器、 １４−信号処理部。 劾＜１ｉｔｔｕ＋＜ゼ・ ｈ１
すブロック図、第２図は同上実施例の動作を説明するた
めのタイミングチャート、第３図は従来の記録媒体の検
査装置の例を示すブロック図、第４図は同上従来例の動
作を説明するためのタイミングチャート、第５図は上記
従来例の検出精度を示す線図である。 １１− レーザ光源部、 １２−記録媒体、 １３−検
出器、 １４−信号処理部。 劾＜１ｉｔｔｕ＋＜ゼ・ ｈ１
Claims (1)
- 互いに逆位相の二つのパルス状のレーザ光を出射し、こ
の二つのレーザ光を平行に並べた状態で被検体としての
記録媒体に入射するレーザ光源部と、上記記録媒体から
の反射光を検出する検出器と、この検出器の検出出力か
ら、上記記録媒体上にある欠陥に基づく二つの検出信号
の時間的ずれ信号を欠陥信号として検出する信号処理部
とを有してなる記録媒体の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25424985A JPS62113049A (ja) | 1985-11-13 | 1985-11-13 | 記録媒体の検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25424985A JPS62113049A (ja) | 1985-11-13 | 1985-11-13 | 記録媒体の検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62113049A true JPS62113049A (ja) | 1987-05-23 |
Family
ID=17262355
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25424985A Pending JPS62113049A (ja) | 1985-11-13 | 1985-11-13 | 記録媒体の検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62113049A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02142554U (ja) * | 1990-05-24 | 1990-12-04 |
-
1985
- 1985-11-13 JP JP25424985A patent/JPS62113049A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02142554U (ja) * | 1990-05-24 | 1990-12-04 | ||
| JPH0623002Y2 (ja) * | 1990-05-24 | 1994-06-15 | サンケン電気株式会社 | ホトカプラ |
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