JPS62107068A - ダイヤモンド被覆切削工具 - Google Patents
ダイヤモンド被覆切削工具Info
- Publication number
- JPS62107068A JPS62107068A JP24557485A JP24557485A JPS62107068A JP S62107068 A JPS62107068 A JP S62107068A JP 24557485 A JP24557485 A JP 24557485A JP 24557485 A JP24557485 A JP 24557485A JP S62107068 A JPS62107068 A JP S62107068A
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- JP
- Japan
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- film
- diamond
- cutting tool
- substrate
- diamond film
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の分野）
本発明は表面にダイヤモンド膜を有する切削工具に関し
、より詳細には、ダイヤモンド膜の剥離のない切削性能
に優れた切削工具に関する。
、より詳細には、ダイヤモンド膜の剥離のない切削性能
に優れた切削工具に関する。
（従来技術）
従来から、切削工具としては超硬合金、Ａ１ｚＯ３等の
酸化物、ＳｉＣ、Ｓｉ３Ｎｇ等の炭化物、窒化物が、あ
るいは超硬合金に炭化物、窒化物を被覆したものが、強
度および耐摩耗性にすくれることから一最的に使用され
ている。
酸化物、ＳｉＣ、Ｓｉ３Ｎｇ等の炭化物、窒化物が、あ
るいは超硬合金に炭化物、窒化物を被覆したものが、強
度および耐摩耗性にすくれることから一最的に使用され
ている。
近年に至っては、さらに耐摩耗性を有する材料として、
ダイヤモンドが注目され、薄膜技術の発展に伴い所定の
基体表面にダイヤモンド膜を気相成長法等により設けて
成る耐摩耗性に優れた切削工具が提案されている。
ダイヤモンドが注目され、薄膜技術の発展に伴い所定の
基体表面にダイヤモンド膜を気相成長法等により設けて
成る耐摩耗性に優れた切削工具が提案されている。
ダイヤモンド膜は、配向性、表面形態において多様に変
化するが、現在、これらの特性と切削性能に関しては、
はとんど研究されていないのが現状である。
化するが、現在、これらの特性と切削性能に関しては、
はとんど研究されていないのが現状である。
（発明の概要）
本発明者等は、ダイヤモンド膜の結晶粒径、配向性、表
面形態と切削性能について研究を行った結果、刃先部に
おけるダイヤモンド膜が平均結晶粒径が０．１μｍ以上
のファセット状であり、且つその５０％以上が（１００
）又は（１１０）の配向性を有したものが優れた切削性
能を有することが明らかとなった。
面形態と切削性能について研究を行った結果、刃先部に
おけるダイヤモンド膜が平均結晶粒径が０．１μｍ以上
のファセット状であり、且つその５０％以上が（１００
）又は（１１０）の配向性を有したものが優れた切削性
能を有することが明らかとなった。
（発明の実施例）
以下、本発明の詳細な説明する。
ダイヤモンド膜は、その成膜条件によって、多様に変化
するが、特に表面形態においてコーン状とファセット状
に大別できる。コーン状は第１図の電子顕微鏡写真に示
すように、それ自体微結晶で結晶面を有さす、微粒子が
集まって球状の突起を形成している。一方、ファセット
状は第２図および第３図の電子顕微鏡写真に示すように
結晶面を有し、結晶の稜線がはっきりと見られる。
するが、特に表面形態においてコーン状とファセット状
に大別できる。コーン状は第１図の電子顕微鏡写真に示
すように、それ自体微結晶で結晶面を有さす、微粒子が
集まって球状の突起を形成している。一方、ファセット
状は第２図および第３図の電子顕微鏡写真に示すように
結晶面を有し、結晶の稜線がはっきりと見られる。
本発明者の研究によれば、コーン状を成す場合、結晶状
態が悪く極めてもろく、膜にクラックが発生し粒界で成
長し易く、ファセット状と比較して膜の剥離が生じ易い
ことがわかった。
態が悪く極めてもろく、膜にクラックが発生し粒界で成
長し易く、ファセット状と比較して膜の剥離が生じ易い
ことがわかった。
また、ダイヤモンドには、結晶面として主に（１００）
、（１１０） 、（１１１）（１１１）が存在するが後
述する例からも明らかなように第２図の（１１１）の場
合、耐摩耗性が悪く、第３図の（１００）および（１１
０）と比較して劣る。これは（１００） 、（１１０）
に比較して（１１１）は襞間エネルギーが小さいために
襞間が生じ易く、チッピング摩耗によって摩耗が大きく
なる傾向にある。さらに（１１１） 、（１００） 、
（１１０）のプラズマによるエツチング速度では（１１
１）が一番高いことが知られている。ダイヤモンドの生
成においてはＳＰ３結合以外の析出物をエツチングしな
がらダイヤモンドが形成することが報告されている。
、（１１０） 、（１１１）（１１１）が存在するが後
述する例からも明らかなように第２図の（１１１）の場
合、耐摩耗性が悪く、第３図の（１００）および（１１
０）と比較して劣る。これは（１００） 、（１１０）
に比較して（１１１）は襞間エネルギーが小さいために
襞間が生じ易く、チッピング摩耗によって摩耗が大きく
なる傾向にある。さらに（１１１） 、（１００） 、
（１１０）のプラズマによるエツチング速度では（１１
１）が一番高いことが知られている。ダイヤモンドの生
成においてはＳＰ３結合以外の析出物をエツチングしな
がらダイヤモンドが形成することが報告されている。
（１１１）が生成することはエツチングの弱い条件で行
う結果となっているので、基体表面の吸着物、不純物が
十分除去されないで残っている可能性が高い。従って（
１１１）では母材との密着性が悪く剥離しやすい。よっ
て本発明によれば切削工具の刃先部の５０％以上特に８
０％以上の面積が（１００）又は（１１０）の結晶面で
あることが重要である。
う結果となっているので、基体表面の吸着物、不純物が
十分除去されないで残っている可能性が高い。従って（
１１１）では母材との密着性が悪く剥離しやすい。よっ
て本発明によれば切削工具の刃先部の５０％以上特に８
０％以上の面積が（１００）又は（１１０）の結晶面で
あることが重要である。
平均結晶粒径は、基体表面に多結晶の膜が生成したとし
ても、０．１ μｍ以上、特に１μｍ以上でないと、コ
ーン状の場合と同様に剥離し易くなる。
ても、０．１ μｍ以上、特に１μｍ以上でないと、コ
ーン状の場合と同様に剥離し易くなる。
なお、この粒径の上限は３０μｍである。よって本発明
によれば、少なくとも表面形態がファセット状であるこ
と、結晶配向性において少なくとも刃先部の面積の５０
％以上が（１００）もしくは（１１０）であることおよ
び平均結晶粒径０．１μｍ以上の多結晶質であることが
必須の要件である。
によれば、少なくとも表面形態がファセット状であるこ
と、結晶配向性において少なくとも刃先部の面積の５０
％以上が（１００）もしくは（１１０）であることおよ
び平均結晶粒径０．１μｍ以上の多結晶質であることが
必須の要件である。
なお、膜厚は、用いる基体によって左右され、例えば基
体が５ｉＪ４質焼結体である場合、膜自体の強度を高め
るために１０μｍ以上、特に３０μｍ以上が望ましい。
体が５ｉＪ４質焼結体である場合、膜自体の強度を高め
るために１０μｍ以上、特に３０μｍ以上が望ましい。
本発明によれば用いる基体としては前述した５ｉ３Ｎａ
ｉｔの他、超硬、サーメット、ジルコニア質、炭化珪素
質等の焼結体等が挙げられる。なお、基体の材質の選定
にあたっては、ダイヤモンド膜との密着性の点から、室
温から８００℃までの熱膨張係数が２．８乃至４．８Ｘ
１０−ｈ／”Ｉｌｌ：の範囲のものが望ましい。
ｉｔの他、超硬、サーメット、ジルコニア質、炭化珪素
質等の焼結体等が挙げられる。なお、基体の材質の選定
にあたっては、ダイヤモンド膜との密着性の点から、室
温から８００℃までの熱膨張係数が２．８乃至４．８Ｘ
１０−ｈ／”Ｉｌｌ：の範囲のものが望ましい。
本発明のダイヤモンド切削工具の製造にあたっては、所
望の材質の切削工具母材に対し、公知の薄膜形成方法に
よってダイヤモンド膜を設ける。
望の材質の切削工具母材に対し、公知の薄膜形成方法に
よってダイヤモンド膜を設ける。
薄膜形成方法としては、熱ＣＶＤ 、 ｒｆプラズマＣ
ＶＤ 。
ＶＤ 。
マイクロ波ＣＶＤ 、 ＥＣＲプラズ？ＣＶＤ等のＣＶ
Ｏ法、イオンビーム等、スパッタ法等のＰＶＤ法が挙げ
られる。これらの中でも、生成されるダイヤモンド膜が
（１００）又は（１１０）の結晶面を有する必要がある
点を考慮すればＣＶＤ法が好ましい。特に膜の配向性を
左右する要因としては基体温度が挙げられる。ＣＶＤ法
によるダイヤモンド膜の生成は、通常ＣＨ４、ＣｔＨｚ
、Ｃｚ Ｉ（４、Ｃ３Ｈい等炭化水素ガスと水素ガスと
の混合ガスを反応槽に導入し、高周波、熱、マイクロ波
等によってガスを励起状態゛として、基体上にダイヤモ
ンドを析出させるが、ダイヤモンドの配向性を左右する
因子として基体の加熱温度が挙げられる。即ち、加熱温
度が低いと（１１１）の結晶面ができやすく、高い場合
は（１００）、（１１０）が生成されやすい。よって本
発明においては加熱温度を８５０乃至１０００℃に設定
されるのが好ましい。
Ｏ法、イオンビーム等、スパッタ法等のＰＶＤ法が挙げ
られる。これらの中でも、生成されるダイヤモンド膜が
（１００）又は（１１０）の結晶面を有する必要がある
点を考慮すればＣＶＤ法が好ましい。特に膜の配向性を
左右する要因としては基体温度が挙げられる。ＣＶＤ法
によるダイヤモンド膜の生成は、通常ＣＨ４、ＣｔＨｚ
、Ｃｚ Ｉ（４、Ｃ３Ｈい等炭化水素ガスと水素ガスと
の混合ガスを反応槽に導入し、高周波、熱、マイクロ波
等によってガスを励起状態゛として、基体上にダイヤモ
ンドを析出させるが、ダイヤモンドの配向性を左右する
因子として基体の加熱温度が挙げられる。即ち、加熱温
度が低いと（１１１）の結晶面ができやすく、高い場合
は（１００）、（１１０）が生成されやすい。よって本
発明においては加熱温度を８５０乃至１０００℃に設定
されるのが好ましい。
なお、本発明の切削工具はダイヤモンド膜を生成した後
、更に研磨によって、表面粗さを１μｍ以下に制御する
ことによって更に切削性能を高めることができる。
、更に研磨によって、表面粗さを１μｍ以下に制御する
ことによって更に切削性能を高めることができる。
本発明を次の例で説明する。
実施例１
切削工具母材としてＳｉ３Ｎ４質焼結体を用いてマイク
ロ波プラズマＣＶＤ法によって、下記条件でダイヤモン
ド膜を生成した。
ロ波プラズマＣＶＤ法によって、下記条件でダイヤモン
ド膜を生成した。
マイクロ波出力 ４００Ｗ
圧 力 ４０Ｔｏｒｒｃｕｔ／ Ｈ
ｚ ０．００５基体温度 ８７０
℃ （切削テスト） 得られたダイヤモンド被覆切削工具に対して第１表に示
す切削テストを行った。なお、切削工具の形状はＴＰＧ
Ｎ３２２シャープエツジとした。
ｚ ０．００５基体温度 ８７０
℃ （切削テスト） 得られたダイヤモンド被覆切削工具に対して第１表に示
す切削テストを行った。なお、切削工具の形状はＴＰＧ
Ｎ３２２シャープエツジとした。
第 １ 表
切削テストはそれぞれ１５分間行い、剥離の有無、摩耗
量を測定した。結果は第２表に示す。
量を測定した。結果は第２表に示す。
なお、結晶面の解析は、光学顕微鏡観察、走査型電子顕
微鏡、Ｘ線回折によって行った。
微鏡、Ｘ線回折によって行った。
（以下余白）
実施例２
切削工具母材として５ｉ３Ｎａ質焼結体（＋１５χＴｉ
Ｎ添加）、超硬質合金、Ｓｉ ３Ｎ４質焼結体（１）
（６０ＸＳｉＪａ＋３５χＴｔＣ＋５！Ｗ ） 、Ｓｔ
Ｊ＜質焼結体＋２）（５０χＳｉＪ。
Ｎ添加）、超硬質合金、Ｓｉ ３Ｎ４質焼結体（１）
（６０ＸＳｉＪａ＋３５χＴｔＣ＋５！Ｗ ） 、Ｓｔ
Ｊ＜質焼結体＋２）（５０χＳｉＪ。
＋４５χＴｉＣ＋５χ−）を用いてマイクロ波プラズマ
ＣｖＤ法により実施例１の条件で、またＥＣＩＩプラズ
マＣｖＯ法により下記条件でダイヤモンド膜を生成した
。
ＣｖＤ法により実施例１の条件で、またＥＣＩＩプラズ
マＣｖＯ法により下記条件でダイヤモンド膜を生成した
。
ＥＣＲ出力 ４０〇−
圧 力 ７Ｘ１０−’Ｔｏｒｒｃｏ
、、／ １１２ ０．０５基体温度
９６０℃ （切削テスト） 得られた切削工具を用いて被削材として純銅を用い切削
速度５００ｍ／ｗｉｎ 、切込み０．１ｍｍ 、送り０
゜１ｍｍ／ｒｅｖの条件で１５分間テストを行い、剥離
の有無、摩耗量を測定した。結果は第３表に示す。
、、／ １１２ ０．０５基体温度
９６０℃ （切削テスト） 得られた切削工具を用いて被削材として純銅を用い切削
速度５００ｍ／ｗｉｎ 、切込み０．１ｍｍ 、送り０
゜１ｍｍ／ｒｅｖの条件で１５分間テストを行い、剥離
の有無、摩耗量を測定した。結果は第３表に示す。
（以下余白）
第２表および第３表から明らかなように、結晶面（１１
１）が占める面積が５０％を超えるサンプル漱３．５は
いずれも結晶面（１００） 、（１１０）のものと比較
して摩耗量が大きく、剥離も発生した。また、コーン状
であるサンプル隘６は粒径自体も小さくなり、剥離が生
じた。結晶面が（１００）であっても結晶粒径が小さい
ｍ？ 、１２はいずれも切削性能に劣り、膜の剥離、ク
ランクが発生した。その他の本発明のサンプルはいずれ
も摩耗量が小さく、優れた切削性能を示した。
１）が占める面積が５０％を超えるサンプル漱３．５は
いずれも結晶面（１００） 、（１１０）のものと比較
して摩耗量が大きく、剥離も発生した。また、コーン状
であるサンプル隘６は粒径自体も小さくなり、剥離が生
じた。結晶面が（１００）であっても結晶粒径が小さい
ｍ？ 、１２はいずれも切削性能に劣り、膜の剥離、ク
ランクが発生した。その他の本発明のサンプルはいずれ
も摩耗量が小さく、優れた切削性能を示した。
（発明の効果）
以上述べた通り、本発明のダイヤモンド被覆切削工具は
、ダイヤモンド膜をファセット状の平均粒径０９１８ｍ
以上の多結晶質とし、且つ少なくとも刃先部表面の５０
％以上の面積が（１００）又は（１１０）の結晶面とす
ることによって膜自体の強度を高めることができ、それ
によって耐摩耗性、耐剥離性を向上させ、切削工具とし
て優れた切削性能を得ることができる。
、ダイヤモンド膜をファセット状の平均粒径０９１８ｍ
以上の多結晶質とし、且つ少なくとも刃先部表面の５０
％以上の面積が（１００）又は（１１０）の結晶面とす
ることによって膜自体の強度を高めることができ、それ
によって耐摩耗性、耐剥離性を向上させ、切削工具とし
て優れた切削性能を得ることができる。
第１図は、コーン状のダイヤモンド膜、第２図および第
３図はファセット状のダイヤモンド膜の電子顕微鏡写真
である。
３図はファセット状のダイヤモンド膜の電子顕微鏡写真
である。
Claims (1)
- 基体の少なくとも刃部を含む表面にダイヤモンド膜を形
成させたダイヤモンド被覆切削工具において、少なくと
も刃部がファセット状の平均粒径０．１μｍ以上の多結
晶質で、且つその表面の５０％以上の面積が（１００）
又は（１１０）の結晶面であることを特徴とするダイヤ
モンド被覆切削工具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60245574A JPH0713298B2 (ja) | 1985-10-31 | 1985-10-31 | ダイヤモンド被覆切削工具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60245574A JPH0713298B2 (ja) | 1985-10-31 | 1985-10-31 | ダイヤモンド被覆切削工具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62107068A true JPS62107068A (ja) | 1987-05-18 |
| JPH0713298B2 JPH0713298B2 (ja) | 1995-02-15 |
Family
ID=17135744
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60245574A Expired - Lifetime JPH0713298B2 (ja) | 1985-10-31 | 1985-10-31 | ダイヤモンド被覆切削工具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0713298B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02224349A (ja) * | 1989-02-27 | 1990-09-06 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ボンディングツール |
| JPH02232106A (ja) * | 1989-03-03 | 1990-09-14 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 工具用多結晶ダイヤモンド |
| JPH0425138A (ja) * | 1990-05-18 | 1992-01-28 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ボンディングツール |
| JP2009248221A (ja) * | 2008-04-03 | 2009-10-29 | Mitsubishi Materials Corp | 耐欠損性と耐摩耗性にすぐれたダイヤモンド被覆工具 |
| JP2010207947A (ja) * | 2009-03-10 | 2010-09-24 | Mitsubishi Materials Corp | ダイヤモンド被覆工具 |
| JP2017504548A (ja) * | 2013-11-22 | 2017-02-09 | エレメント シックス テクノロジーズ リミテッド | 多結晶化学蒸着ダイヤモンド工具部品ならびにそれを製作、取付、および使用する方法 |
| JP2018501176A (ja) * | 2014-11-06 | 2018-01-18 | ツーシックス、インコーポレイテッドＩｉ−Ｖｉ Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | 高双晶化配向多結晶ダイヤモンド膜及びその製造方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58126972A (ja) * | 1982-01-22 | 1983-07-28 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ダイヤモンド被覆超硬合金工具 |
| JPS61124573A (ja) * | 1984-11-21 | 1986-06-12 | Toshiba Tungaloy Co Ltd | ダイヤモンド被覆基材及びその製造方法 |
-
1985
- 1985-10-31 JP JP60245574A patent/JPH0713298B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58126972A (ja) * | 1982-01-22 | 1983-07-28 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ダイヤモンド被覆超硬合金工具 |
| JPS61124573A (ja) * | 1984-11-21 | 1986-06-12 | Toshiba Tungaloy Co Ltd | ダイヤモンド被覆基材及びその製造方法 |
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02224349A (ja) * | 1989-02-27 | 1990-09-06 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ボンディングツール |
| JPH02232106A (ja) * | 1989-03-03 | 1990-09-14 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 工具用多結晶ダイヤモンド |
| JPH0425138A (ja) * | 1990-05-18 | 1992-01-28 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ボンディングツール |
| JP2009248221A (ja) * | 2008-04-03 | 2009-10-29 | Mitsubishi Materials Corp | 耐欠損性と耐摩耗性にすぐれたダイヤモンド被覆工具 |
| JP2010207947A (ja) * | 2009-03-10 | 2010-09-24 | Mitsubishi Materials Corp | ダイヤモンド被覆工具 |
| US9981317B2 (en) | 2013-11-22 | 2018-05-29 | Element Six Technologies Limited | Polycrystalline chemical vapour deposited diamond tool parts and methods of fabricating, mounting, and using the same |
| JP2017504548A (ja) * | 2013-11-22 | 2017-02-09 | エレメント シックス テクノロジーズ リミテッド | 多結晶化学蒸着ダイヤモンド工具部品ならびにそれを製作、取付、および使用する方法 |
| JP2018501176A (ja) * | 2014-11-06 | 2018-01-18 | ツーシックス、インコーポレイテッドＩｉ−Ｖｉ Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | 高双晶化配向多結晶ダイヤモンド膜及びその製造方法 |
| US10373725B2 (en) | 2014-11-06 | 2019-08-06 | Ii-Vi Incorporated | Highly twinned, oriented polycrystalline diamond film and method of manufacture thereof |
| GB2548501B (en) * | 2014-11-06 | 2019-08-14 | Ii Vi Inc | Method of manufacture of highly twinned, oriented polycrystalline diamond film |
| GB2572290A (en) * | 2014-11-06 | 2019-09-25 | Ii Vi Inc | Highly twinned, oriented polycrystalline diamond film and method of manufacture thereof |
| GB2572290B (en) * | 2014-11-06 | 2019-12-25 | Ii Vi Inc | Highly twinned, oriented polycrystalline diamond film and method of manufacture thereof |
| JP2020097517A (ja) * | 2014-11-06 | 2020-06-25 | ツーシックス、インコーポレイテッドＩｉ−Ｖｉ Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | 高双晶化配向多結晶ダイヤモンド膜及びその製造方法 |
| US10910127B2 (en) | 2014-11-06 | 2021-02-02 | Ii-Vi Delaware, Inc. | Highly twinned, oriented polycrystalline diamond film and method of manufacture thereof |
| JP2021119114A (ja) * | 2014-11-06 | 2021-08-12 | ツーシックス、インコーポレイテッドIi−Vi Incorporated | 高双晶化配向多結晶ダイヤモンド膜及びその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0713298B2 (ja) | 1995-02-15 |
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