JPH08243804A - 耐欠損性のすぐれたダイヤモンド被覆超硬合金製切削工具 - Google Patents
耐欠損性のすぐれたダイヤモンド被覆超硬合金製切削工具Info
- Publication number
- JPH08243804A JPH08243804A JP7962595A JP7962595A JPH08243804A JP H08243804 A JPH08243804 A JP H08243804A JP 7962595 A JP7962595 A JP 7962595A JP 7962595 A JP7962595 A JP 7962595A JP H08243804 A JPH08243804 A JP H08243804A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diamond
- layer
- cutting
- upper layer
- cutting tool
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- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 耐欠損性のすぐれたダイヤモンド被覆超硬合
金製切削工具を提供する。 【構成】 ダイヤモンド被覆超硬合金製切削工具が、Ｗ
Ｃ基超硬合金基体の表面に、（１１１）結晶面を成長さ
せた多結晶ダイヤモンド層からなる平均層厚：１０〜５
０μｍの下層と、多結晶ダイヤモンドとアモルファスカ
ーボン（ダイヤモンド状炭素）の混合層からなり、ラマ
ン分光分析で１５００〜１５５０cm-1に現われるアモル
ファスカーボンのピーク強度をＩC 、同じく１３３３cm
-1に現われるダイヤモンドのピーク強度をＩD とした場
合、ＩC ／ＩD ＝０．６〜０．９５を満足する平均層
厚：１〜１０μｍの上層で構成された気相合成硬質被覆
層を形成してなる。
金製切削工具を提供する。 【構成】 ダイヤモンド被覆超硬合金製切削工具が、Ｗ
Ｃ基超硬合金基体の表面に、（１１１）結晶面を成長さ
せた多結晶ダイヤモンド層からなる平均層厚：１０〜５
０μｍの下層と、多結晶ダイヤモンドとアモルファスカ
ーボン（ダイヤモンド状炭素）の混合層からなり、ラマ
ン分光分析で１５００〜１５５０cm-1に現われるアモル
ファスカーボンのピーク強度をＩC 、同じく１３３３cm
-1に現われるダイヤモンドのピーク強度をＩD とした場
合、ＩC ／ＩD ＝０．６〜０．９５を満足する平均層
厚：１〜１０μｍの上層で構成された気相合成硬質被覆
層を形成してなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、すぐれた耐欠損性を
有し、例えばＡｌやＡｌ合金などの連続切削は勿論のこ
と、断続切削で、かつ高送りや高切込みなどの重切削に
用いた場合にも、切刃に欠けやチッピングなどの発生な
く、すぐれた切削性能を長期に亘って発揮するダイヤモ
ンド被覆超硬合金製切削工具に関するものである。
有し、例えばＡｌやＡｌ合金などの連続切削は勿論のこ
と、断続切削で、かつ高送りや高切込みなどの重切削に
用いた場合にも、切刃に欠けやチッピングなどの発生な
く、すぐれた切削性能を長期に亘って発揮するダイヤモ
ンド被覆超硬合金製切削工具に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、一般に、例えば純Ａｌや高Ｓｉ含
有Ａｌ合金などの連続切削に、ダイヤモンド被覆超硬合
金製切削工具が用いられている。また、上記ダイヤモン
ド被覆超硬合金製切削工具が、炭化タングステン（以
下、ＷＣで示す）基超硬合金基体の表面に、（１１１）
結晶面を成長させた多結晶ダイヤモンド層からなる平均
層厚：１０〜５０μｍの気相合成硬質被覆層を形成した
ものからなることも知られている。さらに、上記ダイヤ
モンド被覆超硬合金製切削工具が、例えば特開昭５８−
９１１００号公報に記載され、かつ図２に概略説明図で
示される通り、低圧気相合成法の１種である熱電子放射
材として熱フィラメントを用いた化学蒸着装置を用い、
これの反応容器１内に設けられた例えば金属Ｔａ製のフ
ィラメント３の下方に位置した支持台４上に、所定形状
のＷＣ基超硬合金基体５を載置し、前記熱フィラメント
３の上方位置に開口した導入管２より、フィラメント温
度：２２００〜２２５０℃、基体温度：８５０〜９５０
℃とした条件で、基本的にＨ2 とＣＨ4 からなり、かつ
ＣＨ4 ／Ｈ2 ×１００＝０．１〜１（容量％）を満足す
る反応混合ガスを雰囲気圧力を５〜３００torrに保持し
ながら導入して、前記基体表面に（１１１）結晶面を成
長させた多結晶ダイヤモンド層からなる気相合成硬質被
覆層を所定厚さに形成することにより製造されることも
知られている。
有Ａｌ合金などの連続切削に、ダイヤモンド被覆超硬合
金製切削工具が用いられている。また、上記ダイヤモン
ド被覆超硬合金製切削工具が、炭化タングステン（以
下、ＷＣで示す）基超硬合金基体の表面に、（１１１）
結晶面を成長させた多結晶ダイヤモンド層からなる平均
層厚：１０〜５０μｍの気相合成硬質被覆層を形成した
ものからなることも知られている。さらに、上記ダイヤ
モンド被覆超硬合金製切削工具が、例えば特開昭５８−
９１１００号公報に記載され、かつ図２に概略説明図で
示される通り、低圧気相合成法の１種である熱電子放射
材として熱フィラメントを用いた化学蒸着装置を用い、
これの反応容器１内に設けられた例えば金属Ｔａ製のフ
ィラメント３の下方に位置した支持台４上に、所定形状
のＷＣ基超硬合金基体５を載置し、前記熱フィラメント
３の上方位置に開口した導入管２より、フィラメント温
度：２２００〜２２５０℃、基体温度：８５０〜９５０
℃とした条件で、基本的にＨ2 とＣＨ4 からなり、かつ
ＣＨ4 ／Ｈ2 ×１００＝０．１〜１（容量％）を満足す
る反応混合ガスを雰囲気圧力を５〜３００torrに保持し
ながら導入して、前記基体表面に（１１１）結晶面を成
長させた多結晶ダイヤモンド層からなる気相合成硬質被
覆層を所定厚さに形成することにより製造されることも
知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】一方、近年切削加工の
ＦＡ化はめざましく、さらに省力化に対する要求も強
く、これに伴ない、切削加工には連続切削は勿論のこ
と、断続切削も可能な切削工具が必要とされるが、上記
の従来ダイヤモンド被覆超硬合金製切削工具において
は、これを連続切削に用いた場合は問題はないが、これ
を断続切削に用いた場合には切刃に欠けやチッピングが
発生し易く、実用に供することができないのが現状であ
る。
ＦＡ化はめざましく、さらに省力化に対する要求も強
く、これに伴ない、切削加工には連続切削は勿論のこ
と、断続切削も可能な切削工具が必要とされるが、上記
の従来ダイヤモンド被覆超硬合金製切削工具において
は、これを連続切削に用いた場合は問題はないが、これ
を断続切削に用いた場合には切刃に欠けやチッピングが
発生し易く、実用に供することができないのが現状であ
る。
【０００４】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明者等は、
上述のような観点から、連続切削は勿論のこと、断続切
削も可能なダイヤモンド被覆超硬合金製切削工具を開発
すべく、上記の従来ダイヤモンド被覆超硬合金製切削工
具に着目し研究を行なった結果、上記の従来ダイヤモン
ド被覆超硬合金製切削工具の気相合成硬質被覆層である
多結晶ダイヤモンド層を下層とし、これに上層として、
同じく図２の化学蒸着装置を用い、フィラメント温度：
２１００〜２１５０℃、基体温度：７５０〜８５０℃、
雰囲気圧力：１０〜１００torr、反応混合ガス：容量比
で、ＣＨ4 ／Ｈ2 ×１００＝１．２〜３の条件で気相合
成硬質被覆層を形成すると、アモルファスカーボン（ダ
イヤモンド状炭素ともいい、以下ＤＬＣで示す）と多結
晶ダイヤモンドの混合層からなり、かつラマン分光分析
で図１に示される曲線を示すと共に、１５００〜１５５
０cm-1に現われるＤＬＣのピーク強度をＩC 、同じく１
３３３cm-1に現われるダイヤモンドのピーク強度をＩD
とした場合、ＩC ／ＩD ＝０．６〜０．９５を満足する
上層が形成されるようになり、このような上層が形成さ
れたダイヤモンド被覆超硬合金製切削工具は、すぐれた
耐欠損性を具備するようになり、連続切削は勿論のこ
と、断続切削を高送りや高切込みなどで行なっても切刃
に欠けやチッピングなどの発生なく、すぐれた切削性能
を長期に亘って発揮するという研究結果を得たのであ
る。
上述のような観点から、連続切削は勿論のこと、断続切
削も可能なダイヤモンド被覆超硬合金製切削工具を開発
すべく、上記の従来ダイヤモンド被覆超硬合金製切削工
具に着目し研究を行なった結果、上記の従来ダイヤモン
ド被覆超硬合金製切削工具の気相合成硬質被覆層である
多結晶ダイヤモンド層を下層とし、これに上層として、
同じく図２の化学蒸着装置を用い、フィラメント温度：
２１００〜２１５０℃、基体温度：７５０〜８５０℃、
雰囲気圧力：１０〜１００torr、反応混合ガス：容量比
で、ＣＨ4 ／Ｈ2 ×１００＝１．２〜３の条件で気相合
成硬質被覆層を形成すると、アモルファスカーボン（ダ
イヤモンド状炭素ともいい、以下ＤＬＣで示す）と多結
晶ダイヤモンドの混合層からなり、かつラマン分光分析
で図１に示される曲線を示すと共に、１５００〜１５５
０cm-1に現われるＤＬＣのピーク強度をＩC 、同じく１
３３３cm-1に現われるダイヤモンドのピーク強度をＩD
とした場合、ＩC ／ＩD ＝０．６〜０．９５を満足する
上層が形成されるようになり、このような上層が形成さ
れたダイヤモンド被覆超硬合金製切削工具は、すぐれた
耐欠損性を具備するようになり、連続切削は勿論のこ
と、断続切削を高送りや高切込みなどで行なっても切刃
に欠けやチッピングなどの発生なく、すぐれた切削性能
を長期に亘って発揮するという研究結果を得たのであ
る。
【０００５】この発明は、上記の研究結果をもとづいて
なされたものであって、ＷＣ基超硬合金基体の表面に、
（１１１）結晶面を成長させた多結晶ダイヤモンド層か
らなる平均層厚：１０〜５０μｍの下層と、ＤＬＣと多
結晶ダイヤモンドの混合層からなり、この混合層はラマ
ン分光分析で１５００〜１５５０cm-1に現われるＤＬＣ
のピーク強度をＩC 、同じく１３３３cm-1に現われるダ
イヤモンドのピーク強度をＩD とした場合、ＩC ／ＩD
＝０．６〜０．９５を満足する上層で構成された気相合
成硬質被覆層を形成してなる、耐欠損性にすぐれたダイ
ヤモンド被覆超硬合金製切削工具に特徴を有するもので
ある。
なされたものであって、ＷＣ基超硬合金基体の表面に、
（１１１）結晶面を成長させた多結晶ダイヤモンド層か
らなる平均層厚：１０〜５０μｍの下層と、ＤＬＣと多
結晶ダイヤモンドの混合層からなり、この混合層はラマ
ン分光分析で１５００〜１５５０cm-1に現われるＤＬＣ
のピーク強度をＩC 、同じく１３３３cm-1に現われるダ
イヤモンドのピーク強度をＩD とした場合、ＩC ／ＩD
＝０．６〜０．９５を満足する上層で構成された気相合
成硬質被覆層を形成してなる、耐欠損性にすぐれたダイ
ヤモンド被覆超硬合金製切削工具に特徴を有するもので
ある。
【０００６】なお、この発明の切削工具において、これ
を構成する下層の平均層厚を１０〜５０μｍとしたの
は、その平均層厚が１０μｍ未満では所望のすぐれた耐
摩耗性を確保することができず、一方その平均層厚が５
０μｍを越えると耐欠損性が低下するようになるという
理由によるものであり、また上層の平均層厚を１〜１０
μｍとしたのは、その平均層厚が１μｍ未満では所望の
すぐれた耐欠損性を確保することができず、一方その平
均層厚が１０μｍを越えると耐欠損性向上効果に飽和現
象が現れるようになるという理由にもとづくものであ
る。さらに、同じくこの発明の切削工具における上層の
ピーク強度比であるＩC ／ＩD の値を０．６〜０．９５
としたのは、その値が０．６未満では多結晶ダイヤモン
ドに対するＤＬＣの割合が少なくなりすぎて所望のすぐ
れた耐欠損性を確保することができず、一方その値が
０．９５を越えると、反対にＤＬＣの相対割合が多くな
りすぎて耐摩耗性が急激に低下するようになるという理
由によるものであり、この値は上記の上層形成条件を調
整することによって所望の値とすることができる。
を構成する下層の平均層厚を１０〜５０μｍとしたの
は、その平均層厚が１０μｍ未満では所望のすぐれた耐
摩耗性を確保することができず、一方その平均層厚が５
０μｍを越えると耐欠損性が低下するようになるという
理由によるものであり、また上層の平均層厚を１〜１０
μｍとしたのは、その平均層厚が１μｍ未満では所望の
すぐれた耐欠損性を確保することができず、一方その平
均層厚が１０μｍを越えると耐欠損性向上効果に飽和現
象が現れるようになるという理由にもとづくものであ
る。さらに、同じくこの発明の切削工具における上層の
ピーク強度比であるＩC ／ＩD の値を０．６〜０．９５
としたのは、その値が０．６未満では多結晶ダイヤモン
ドに対するＤＬＣの割合が少なくなりすぎて所望のすぐ
れた耐欠損性を確保することができず、一方その値が
０．９５を越えると、反対にＤＬＣの相対割合が多くな
りすぎて耐摩耗性が急激に低下するようになるという理
由によるものであり、この値は上記の上層形成条件を調
整することによって所望の値とすることができる。
【０００７】
【実施例】つぎに、この発明の切削工具を実施例により
具体的に説明する。基体として、表１に示される配合組
成の混合粉末から、いずれも通常の条件でプレス成形
し、焼結して製造され、かつＷＣが同じく表１に示され
る平均粒径を有すると共に、ＳＰＧＮ１２０３０８のス
ローアウェイチップ形状をもったＷＣ基超硬合金基体Ａ
〜Ｅを用意し、これらの基体Ａ〜Ｅのそれぞれを図２に
示される化学蒸着装置の支持台４上に載置し、フィラメ
ント：金属Ｔａ、フィラメント加熱温度：２２００℃、
基体加熱温度：９００℃、反応混合ガス：容量％で、Ｈ
2 −６％ＣＨ4 、雰囲気圧力：１０torrの条件で１５〜
５０時間の範囲内の所定時間気相合成を行ない、（１１
１）結晶面を成長させた多結晶ダイヤモンド層からな
り、かつ表２に示される平均層厚をもった硬質被覆層を
形成することにより従来ダイヤモンド被覆超硬合金製切
削工具（以下、従来切削工具という）１〜５をそれぞれ
製造した。
具体的に説明する。基体として、表１に示される配合組
成の混合粉末から、いずれも通常の条件でプレス成形
し、焼結して製造され、かつＷＣが同じく表１に示され
る平均粒径を有すると共に、ＳＰＧＮ１２０３０８のス
ローアウェイチップ形状をもったＷＣ基超硬合金基体Ａ
〜Ｅを用意し、これらの基体Ａ〜Ｅのそれぞれを図２に
示される化学蒸着装置の支持台４上に載置し、フィラメ
ント：金属Ｔａ、フィラメント加熱温度：２２００℃、
基体加熱温度：９００℃、反応混合ガス：容量％で、Ｈ
2 −６％ＣＨ4 、雰囲気圧力：１０torrの条件で１５〜
５０時間の範囲内の所定時間気相合成を行ない、（１１
１）結晶面を成長させた多結晶ダイヤモンド層からな
り、かつ表２に示される平均層厚をもった硬質被覆層を
形成することにより従来ダイヤモンド被覆超硬合金製切
削工具（以下、従来切削工具という）１〜５をそれぞれ
製造した。
【０００８】さらに、上記の従来切削工具１〜５の上記
多結晶ダイヤモンド層を下層とし、この下層の上に、同
じく図２の化学蒸着装置にて、フィラメント：金属Ｔ
ａ、フィラメント加熱温度：２１００℃、基体加熱温
度：７６０℃、反応混合ガス：容量％で、Ｈ2 −５〜１
０％ＣＨ4 （ＣＨ4 を５〜１０％の範囲内の所定の含有
割合とする）、雰囲気圧力：１５torrの条件で２〜１０
時間の範囲内の所定時間気相合金を行ない、ＤＬＣと多
結晶ダイヤモンドの混合層からなり、かつ表２に示され
る平均層厚をもった硬質被覆層を上層として形成するこ
とにより本発明ダイヤモンド被覆超硬合金製切削工具
（以下、本発明切削工具という）１〜１０をそれぞれ製
造した。また、上記本発明切削工具１〜１０の上層をラ
マン分光分析で観察したところ、同じく表２に示される
ＩC ／ＩD 比を示した。
多結晶ダイヤモンド層を下層とし、この下層の上に、同
じく図２の化学蒸着装置にて、フィラメント：金属Ｔ
ａ、フィラメント加熱温度：２１００℃、基体加熱温
度：７６０℃、反応混合ガス：容量％で、Ｈ2 −５〜１
０％ＣＨ4 （ＣＨ4 を５〜１０％の範囲内の所定の含有
割合とする）、雰囲気圧力：１５torrの条件で２〜１０
時間の範囲内の所定時間気相合金を行ない、ＤＬＣと多
結晶ダイヤモンドの混合層からなり、かつ表２に示され
る平均層厚をもった硬質被覆層を上層として形成するこ
とにより本発明ダイヤモンド被覆超硬合金製切削工具
（以下、本発明切削工具という）１〜１０をそれぞれ製
造した。また、上記本発明切削工具１〜１０の上層をラ
マン分光分析で観察したところ、同じく表２に示される
ＩC ／ＩD 比を示した。
【０００９】ついで、この結果得られた各種の切削工具
について、 被削材：Ａｌ−１７．５重量％Ｓｉ合金（Ｔ６処理
材）、 切削速度：１０００ｍ／min.、 切込み：１mm、 送り：０．１mm／rev.、 切削時間：３０分、 の条件でＡｌ合金の湿式連続切削試験、並びに、 被削材：Ａｌ−１２．３重量％Ｓｉ合金（Ｔ６処理材） からなり、長さ方向等間隔に幅：３０mmの縦溝４本入り
直径：２００mmの丸棒、 切削速度：１２００ｍ／min.、 切込み：１mm、 送り：０．２mm／rev.、 時間：３０分、 の条件でＡｌ合金の湿式高切込み断続切削試験を行な
い、いずれの試験でも切刃の逃げ面摩耗幅を測定した。
これらの測定結果を表２に示した。
について、 被削材：Ａｌ−１７．５重量％Ｓｉ合金（Ｔ６処理
材）、 切削速度：１０００ｍ／min.、 切込み：１mm、 送り：０．１mm／rev.、 切削時間：３０分、 の条件でＡｌ合金の湿式連続切削試験、並びに、 被削材：Ａｌ−１２．３重量％Ｓｉ合金（Ｔ６処理材） からなり、長さ方向等間隔に幅：３０mmの縦溝４本入り
直径：２００mmの丸棒、 切削速度：１２００ｍ／min.、 切込み：１mm、 送り：０．２mm／rev.、 時間：３０分、 の条件でＡｌ合金の湿式高切込み断続切削試験を行な
い、いずれの試験でも切刃の逃げ面摩耗幅を測定した。
これらの測定結果を表２に示した。
【００１０】
【表１】
【００１１】
【表２】
【００１２】
【発明の効果】表２に示される結果から、本発明切削工
具１〜１０は、いずれも連続切削は勿論のこと、断続切
削でもすぐれた耐摩耗性を示すのに対して、従来切削工
具１〜５は、いずれも連続切削ではすぐれた耐摩耗性を
示すものの、断続切削では切刃に欠けやチッピングが発
生し、比較的短時間で使用寿命に至ることが明らかであ
る。上述のように、この発明のダイヤモンド被覆超硬合
金製切削工具は、すぐれた耐欠損性を有し、連続切削お
よび断続切削のいずれにもすぐれた切削性能を長期に亘
って発揮するので、切削加工のＦＡ化および省力化に十
分満足に対応することができるものである。
具１〜１０は、いずれも連続切削は勿論のこと、断続切
削でもすぐれた耐摩耗性を示すのに対して、従来切削工
具１〜５は、いずれも連続切削ではすぐれた耐摩耗性を
示すものの、断続切削では切刃に欠けやチッピングが発
生し、比較的短時間で使用寿命に至ることが明らかであ
る。上述のように、この発明のダイヤモンド被覆超硬合
金製切削工具は、すぐれた耐欠損性を有し、連続切削お
よび断続切削のいずれにもすぐれた切削性能を長期に亘
って発揮するので、切削加工のＦＡ化および省力化に十
分満足に対応することができるものである。
【図１】この発明の切削工具の気相合金硬質被覆層を構
成する上層のラマン分光分析曲線を示す図である。
成する上層のラマン分光分析曲線を示す図である。
【図２】熱電子放射材として熱フィラメントを用いる化
学蒸着装置の概略説明図である。
学蒸着装置の概略説明図である。
１ 反応容器 ２ 反応混合ガス導入管 ３ 熱フィラメント ４ 支持台 ５ 基体
Claims (1)
- 【請求項１】 炭化タングステン基超硬合金基体の表面
に、（１１１）結晶面を成長させた多結晶ダイヤモンド
層からなる平均層厚：１０〜５０μｍの下層と、アモル
ファスカーボン（ダイヤモンド状炭素）と多結晶ダイヤ
モンドの混合層からなる平均層厚：１〜１０μｍの上層
で構成された気相合成硬質被覆層を形成してなり、かつ
上記上層は、ラマン分光分析で１５００〜１５５０cm-1
に現われるアモルファスカーボンのピーク強度をＩC 、
同じく１３３３cm-1に現われるダイヤモンドのピーク強
度をＩD とした場合、ＩC ／ＩD ＝０．６〜０．９５を
満足することを特徴とする耐欠損性のすぐれたダイヤモ
ンド被覆超硬合金製切削工具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7962595A JPH08243804A (ja) | 1995-03-10 | 1995-03-10 | 耐欠損性のすぐれたダイヤモンド被覆超硬合金製切削工具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7962595A JPH08243804A (ja) | 1995-03-10 | 1995-03-10 | 耐欠損性のすぐれたダイヤモンド被覆超硬合金製切削工具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08243804A true JPH08243804A (ja) | 1996-09-24 |
Family
ID=13695267
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7962595A Pending JPH08243804A (ja) | 1995-03-10 | 1995-03-10 | 耐欠損性のすぐれたダイヤモンド被覆超硬合金製切削工具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08243804A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100311940B1 (ko) * | 1999-08-10 | 2001-11-14 | 민병성 | 드릴 비트 및 로터 비트에 대한 다이아몬드상 카본 코팅 방법 |
| CN101818332A (zh) * | 2010-03-23 | 2010-09-01 | 中国地质大学（北京） | 一种超硬自润滑金刚石/类金刚石复合多层涂层材料及制备方法 |
| JP2012115928A (ja) * | 2010-11-30 | 2012-06-21 | Mitsubishi Materials Corp | ダイヤモンド被覆切削工具 |
-
1995
- 1995-03-10 JP JP7962595A patent/JPH08243804A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100311940B1 (ko) * | 1999-08-10 | 2001-11-14 | 민병성 | 드릴 비트 및 로터 비트에 대한 다이아몬드상 카본 코팅 방법 |
| CN101818332A (zh) * | 2010-03-23 | 2010-09-01 | 中国地质大学（北京） | 一种超硬自润滑金刚石/类金刚石复合多层涂层材料及制备方法 |
| JP2012115928A (ja) * | 2010-11-30 | 2012-06-21 | Mitsubishi Materials Corp | ダイヤモンド被覆切削工具 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20030218 |