JPS62105926A - 電気光学特性を有するセラミツクスの原料粉末の製造法 - Google Patents
電気光学特性を有するセラミツクスの原料粉末の製造法Info
- Publication number
- JPS62105926A JPS62105926A JP60228432A JP22843285A JPS62105926A JP S62105926 A JPS62105926 A JP S62105926A JP 60228432 A JP60228432 A JP 60228432A JP 22843285 A JP22843285 A JP 22843285A JP S62105926 A JPS62105926 A JP S62105926A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- precipitate
- components
- raw material
- material powder
- solution
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000843 powder Substances 0.000 title claims abstract description 25
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 15
- 239000002994 raw material Substances 0.000 title claims abstract description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 10
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 claims abstract description 32
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 claims abstract description 15
- ZCCIPPOKBCJFDN-UHFFFAOYSA-N calcium nitrate Chemical compound [Ca+2].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O ZCCIPPOKBCJFDN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 10
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims abstract description 10
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 claims abstract description 9
- XFVGXQSSXWIWIO-UHFFFAOYSA-N chloro hypochlorite;titanium Chemical compound [Ti].ClOCl XFVGXQSSXWIWIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- FYDKNKUEBJQCCN-UHFFFAOYSA-N lanthanum(3+);trinitrate Chemical compound [La+3].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O FYDKNKUEBJQCCN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- RLJMLMKIBZAXJO-UHFFFAOYSA-N lead nitrate Chemical compound [O-][N+](=O)O[Pb]O[N+]([O-])=O RLJMLMKIBZAXJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- CMOAHYOGLLEOGO-UHFFFAOYSA-N oxozirconium;dihydrochloride Chemical compound Cl.Cl.[Zr]=O CMOAHYOGLLEOGO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 7
- 238000001354 calcination Methods 0.000 claims description 5
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 5
- 150000004703 alkoxides Chemical class 0.000 claims description 3
- ATRRKUHOCOJYRX-UHFFFAOYSA-N Ammonium bicarbonate Chemical compound [NH4+].OC([O-])=O ATRRKUHOCOJYRX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 235000012501 ammonium carbonate Nutrition 0.000 claims description 2
- 239000001099 ammonium carbonate Substances 0.000 claims description 2
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 abstract description 8
- 239000010955 niobium Substances 0.000 abstract description 8
- 239000010936 titanium Substances 0.000 abstract description 8
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 abstract description 8
- ZKATWMILCYLAPD-UHFFFAOYSA-N niobium pentoxide Chemical compound O=[Nb](=O)O[Nb](=O)=O ZKATWMILCYLAPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 abstract description 6
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 abstract description 5
- 239000011575 calcium Substances 0.000 abstract description 5
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 abstract description 5
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 abstract description 5
- -1 niobium alkoxide Chemical class 0.000 abstract description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 12
- 238000000975 co-precipitation Methods 0.000 description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 5
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 4
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 2
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 2
- FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N lanthanum atom Chemical compound [La] FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 2
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 2
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000282693 Cercopithecidae Species 0.000 description 1
- 206010011224 Cough Diseases 0.000 description 1
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000003518 caustics Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 238000005755 formation reaction Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M hydroxide Chemical compound [OH-] XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002823 nitrates Chemical class 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000001272 pressureless sintering Methods 0.000 description 1
- 239000011163 secondary particle Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000003746 solid phase reaction Methods 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- QDZRBIRIPNZRSG-UHFFFAOYSA-N titanium nitrate Chemical class [O-][N+](=O)O[Ti](O[N+]([O-])=O)(O[N+]([O-])=O)O[N+]([O-])=O QDZRBIRIPNZRSG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
- Inorganic Insulating Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
虜1しヒダ用枡川一分3
本発明は、圧電体、オプトエレクトロニクス材、誘電体
、゛V導体、センサル等の素材として利用される、電気
光学特性を有するセラミックスの原料粉末の製造法に関
する。
、゛V導体、センサル等の素材として利用される、電気
光学特性を有するセラミックスの原料粉末の製造法に関
する。
従迷−q稍迷−y1背−襲
近年、鉛(Pb)、ランタン(La)、ジルコニウム(
Z「)およびチタン(Ti)の酸化物粉末を緻密に焼結
j7て得られる多結晶体(PLZTと称せられる)は、
単結晶に比べて電気光学係数が大きく、また比較的大き
な基板が作製し易い特長を6することから、圧電体、オ
プトエレクトロニクス材、誘電体、半導体、セン号−専
のセラミックス、+材として広範囲に利用されている。
Z「)およびチタン(Ti)の酸化物粉末を緻密に焼結
j7て得られる多結晶体(PLZTと称せられる)は、
単結晶に比べて電気光学係数が大きく、また比較的大き
な基板が作製し易い特長を6することから、圧電体、オ
プトエレクトロニクス材、誘電体、半導体、セン号−専
のセラミックス、+材として広範囲に利用されている。
而し7て、最近、ト記各分野での機能し、の高度化が進
展するに伴ない、その要請に対応できる−そうの易焼結
性、好ましくは常圧下での焼結可能性、高密度性ならび
に高透過率を示し、かつ低コストで調製し得る素材とし
てのセラミックス用粉末に対する要望が高まってきてい
る。
展するに伴ない、その要請に対応できる−そうの易焼結
性、好ましくは常圧下での焼結可能性、高密度性ならび
に高透過率を示し、かつ低コストで調製し得る素材とし
てのセラミックス用粉末に対する要望が高まってきてい
る。
従来、PLZTと称せられる上記多結晶体の製造法とし
ては、上述したように、Pbs La、 ZrおよびT
iの各成分の酸化物などの化合物を乾式で混合し、該混
合物を仮焼する方法が行なわれている。
ては、上述したように、Pbs La、 ZrおよびT
iの各成分の酸化物などの化合物を乾式で混合し、該混
合物を仮焼する方法が行なわれている。
しかし、この方法では均一な組成の粉末が得難く、かつ
その焼結性も十分でないため、上述したような要請に対
応し得るP L Z Tセラミックス用粉末を得ること
は実際」ユニ可能である。
その焼結性も十分でないため、上述したような要請に対
応し得るP L Z Tセラミックス用粉末を得ること
は実際」ユニ可能である。
一方、近年、PLZTセラミックス用粉末の製造法とし
て湿式法が注目されており、この方法はPb、 La、
ZrおよびTiの各成分の種々の化合物形態での混合
溶液を調製し、この混合溶液にアルカリ等の沈澱形成液
を添加して共同沈澱(以下共沈と称する)させ、得られ
た共沈物を乾燥し、次いで仮焼させることから成る方法
(以下共沈法と称する)である。
て湿式法が注目されており、この方法はPb、 La、
ZrおよびTiの各成分の種々の化合物形態での混合
溶液を調製し、この混合溶液にアルカリ等の沈澱形成液
を添加して共同沈澱(以下共沈と称する)させ、得られ
た共沈物を乾燥し、次いで仮焼させることから成る方法
(以下共沈法と称する)である。
しかし、この共沈法によると均一性の優れた粉末が得易
いが、その反面、均一性なるが故に沈澱生成時、乾燥時
又は仮焼時に粒子が凝結して二次粒子を形成し、その結
果、易焼結性のものが得難いという欠点がみられる。更
に、この共沈法では沈澱形成液の添加時の濃度が一定で
あるため、混合溶液中の各成分の沈澱形成能が一定でな
く、例えば成る成分は100%沈会するが、他の成分は
全部沈澱を生成し得ない場合等があり、したがって、所
望組成の粉末が得難いという問題点もみられる。
いが、その反面、均一性なるが故に沈澱生成時、乾燥時
又は仮焼時に粒子が凝結して二次粒子を形成し、その結
果、易焼結性のものが得難いという欠点がみられる。更
に、この共沈法では沈澱形成液の添加時の濃度が一定で
あるため、混合溶液中の各成分の沈澱形成能が一定でな
く、例えば成る成分は100%沈会するが、他の成分は
全部沈澱を生成し得ない場合等があり、したがって、所
望組成の粉末が得難いという問題点もみられる。
なお、上記共沈法における混合溶液の調製に当っては、
Pb、 La、 ZrおよびTiを主として酸化物の形
態で用いているが、近年、アルコキシドの形態でベンゼ
ン溶液として用いることも提案されている。
Pb、 La、 ZrおよびTiを主として酸化物の形
態で用いているが、近年、アルコキシドの形態でベンゼ
ン溶液として用いることも提案されている。
し■が γしようと ろい 占
本発明者は、上述した状況に鑑み、優れた電気光学特性
を有するとともに、易焼結性であり、更に均一性と嵩密
度の点で特に優れたセラミックス用粉末の製造法につい
て検討した結果、硝酸カルシウムと硝酸ランタンおよび
硝酸鉛の混合溶液かろこれら成分を含む共沈物を生成さ
せ、咳共沈物の分散液と、オキシ塩化ジルコニウムとオ
キシ塩化チタンとの混合溶液を混合してこれら各成分の
共沈物を生成させ、更にこの共沈物の分散液と、Nb*
05もしくはニオフ゛アJレコキシドの溶l皮を)昆合
物させて、上記全成分の共沈物を生成させることから成
る三段階の共沈を順次行なうことにより得られる沈澱物
を乾燥した後、仮焼することにより、上記特性を有する
セラミックス用粉末が得られることの知見を得て、本発
明をなすに至った。
を有するとともに、易焼結性であり、更に均一性と嵩密
度の点で特に優れたセラミックス用粉末の製造法につい
て検討した結果、硝酸カルシウムと硝酸ランタンおよび
硝酸鉛の混合溶液かろこれら成分を含む共沈物を生成さ
せ、咳共沈物の分散液と、オキシ塩化ジルコニウムとオ
キシ塩化チタンとの混合溶液を混合してこれら各成分の
共沈物を生成させ、更にこの共沈物の分散液と、Nb*
05もしくはニオフ゛アJレコキシドの溶l皮を)昆合
物させて、上記全成分の共沈物を生成させることから成
る三段階の共沈を順次行なうことにより得られる沈澱物
を乾燥した後、仮焼することにより、上記特性を有する
セラミックス用粉末が得られることの知見を得て、本発
明をなすに至った。
すなわち、本発明は、上述したような優れた特性を有す
るセラミックスの原料粉末として好適なセラミックス用
粉末を製造するための方法を提供することを目的とする
。
るセラミックスの原料粉末として好適なセラミックス用
粉末を製造するための方法を提供することを目的とする
。
以下本発明の詳細な説明する。
衾班免盪戊
本発明の特徴は、硝酸カルシウムと硝酸ランタンおよび
硝酸鉛の混合溶液に、沈澱形成液を混合することにより
、これらの成分を共同沈澱させ、得られた沈澱物の分散
液に、オキシ塩化ジルコニウムとオキシ塩化チタンの混
合溶液を混合することにより、上記各成分を含む沈殿物
を共同沈澱させ、次いで、得られた沈殿物の分散液に、
ニオブのNb2O5もしくはアルコキシドの溶液を混合
することにより、これら全成分を含む沈澱物を共同沈澱
させ、得られた沈澱物を分離して乾燥後、400乃至1
200℃で仮焼することにある。
硝酸鉛の混合溶液に、沈澱形成液を混合することにより
、これらの成分を共同沈澱させ、得られた沈澱物の分散
液に、オキシ塩化ジルコニウムとオキシ塩化チタンの混
合溶液を混合することにより、上記各成分を含む沈殿物
を共同沈澱させ、次いで、得られた沈殿物の分散液に、
ニオブのNb2O5もしくはアルコキシドの溶液を混合
することにより、これら全成分を含む沈澱物を共同沈澱
させ、得られた沈澱物を分離して乾燥後、400乃至1
200℃で仮焼することにある。
。、申を′!lするための゛。
本発明では、まず、硝酸カルシウムと硝酸ランタンおよ
び硝酸鉛の混合溶液、例えばこれらを水に溶解した水溶
液に、沈澱形成液としてのアルカリ溶液、例えば炭酸ア
ンモニウム、アンモニヤ、苛性アルカリ等の水溶液を攪
拌下に混合することにより、Ca、 Laおよびpbの
成分を含む沈澱物を共沈させる。
び硝酸鉛の混合溶液、例えばこれらを水に溶解した水溶
液に、沈澱形成液としてのアルカリ溶液、例えば炭酸ア
ンモニウム、アンモニヤ、苛性アルカリ等の水溶液を攪
拌下に混合することにより、Ca、 Laおよびpbの
成分を含む沈澱物を共沈させる。
次に、上述のようにして得られた共沈物の分散液に、オ
キシ塩化ジルコニウムとオキシ塩化チタンの混合溶液、
例えばこれらの両成分を稀硝酸水溶液に溶解した混合溶
液を混合して、Ca、 La、 Pb、ZrおよびTi
を含む沈澱物を共沈させ、次いで、更にこのようにして
得られた共沈物の分散液に、Nb2O5もしくはニオブ
アルコキシドの溶液、例えばフッ化水素酸に溶解した溶
液を混合して上記各成分とNbを含む全成分の沈澱物を
共沈させる。
キシ塩化ジルコニウムとオキシ塩化チタンの混合溶液、
例えばこれらの両成分を稀硝酸水溶液に溶解した混合溶
液を混合して、Ca、 La、 Pb、ZrおよびTi
を含む沈澱物を共沈させ、次いで、更にこのようにして
得られた共沈物の分散液に、Nb2O5もしくはニオブ
アルコキシドの溶液、例えばフッ化水素酸に溶解した溶
液を混合して上記各成分とNbを含む全成分の沈澱物を
共沈させる。
すなわち、本発明では、上述のように3段階の共沈操作
を行なうことにより、Ca、 La、 Pb、 Zr、
TiおよびNbを含む共沈物を生成させるものである。
を行なうことにより、Ca、 La、 Pb、 Zr、
TiおよびNbを含む共沈物を生成させるものである。
このようにして3段階で共沈させて得られた上記共沈物
を分離し、水洗した後、乾燥して400〜1200℃の
温度で仮焼すると、均一かつ易焼結性のセラミックスの
原料粉末が得られる。この仮焼に当って、温度が400
℃未満では得られる粉末の固相反応が不十分であり、一
方1200℃を越えると粉末が粗大化するので好ましく
ない。
を分離し、水洗した後、乾燥して400〜1200℃の
温度で仮焼すると、均一かつ易焼結性のセラミックスの
原料粉末が得られる。この仮焼に当って、温度が400
℃未満では得られる粉末の固相反応が不十分であり、一
方1200℃を越えると粉末が粗大化するので好ましく
ない。
叙上のように、本発明に従って、セラミックスの原料粉
末の目的成分である上記各成分を3段階で順次的に共沈
させることにより、一段階の共沈では完全に共沈させ難
い成分を全部実質上完全に共沈させることが可能となる
ので、得られた全成分の共沈物を仮焼すると、上述のよ
うに目的とするセラミックスを均一かつ易焼結性にする
のに通した原料粉末が得られるようになる。
末の目的成分である上記各成分を3段階で順次的に共沈
させることにより、一段階の共沈では完全に共沈させ難
い成分を全部実質上完全に共沈させることが可能となる
ので、得られた全成分の共沈物を仮焼すると、上述のよ
うに目的とするセラミックスを均一かつ易焼結性にする
のに通した原料粉末が得られるようになる。
衾肌■大籏±
以下に実施例を示して本発明を具体的に説明する。
実施例
カルシウム、ランタン、鉛の各硝酸塩の水溶液にアンモ
ニア水を加え、水酸化物の沈澱を形成し、ついでアンモ
ニア過剰にした前記沈澱を含む液にジルコニウム、チタ
ンの硝酸塩を加え沈澱を形成した。ついで、Nb (O
Bu) sを前記アンモニア過剰の沈澱液に加え、沈澱
形成後、濾過し、200℃で1時間乾燥した。
ニア水を加え、水酸化物の沈澱を形成し、ついでアンモ
ニア過剰にした前記沈澱を含む液にジルコニウム、チタ
ンの硝酸塩を加え沈澱を形成した。ついで、Nb (O
Bu) sを前記アンモニア過剰の沈澱液に加え、沈澱
形成後、濾過し、200℃で1時間乾燥した。
尚、前記した鉛の添加量は、目的の化合物X(CaO−
1/4 Ca20i + 1/4(Nb20s )
・(1x) ・(Pb(Zr y Ti 1
−y)Oa)のpb高品位対し4%過剰となるように添
加した。
1/4 Ca20i + 1/4(Nb20s )
・(1x) ・(Pb(Zr y Ti 1
−y)Oa)のpb高品位対し4%過剰となるように添
加した。
乾燥した後、925℃で1時間仮焼し、結晶水を分解揮
発させた。その後粉砕し、アセトン溶液中に粉を入れ、
これをボールミルで粉砕し、その後200℃で乾燥した
。その後、700℃で1時間仮焼し、金型0.5t/c
iで成型し、CIP処理(冷間均等圧プレス) 1.5
t/CIAで処理後、常圧焼結により1200℃で2時
間処理後、スライスし、研磨後光透過率を調べた。
発させた。その後粉砕し、アセトン溶液中に粉を入れ、
これをボールミルで粉砕し、その後200℃で乾燥した
。その後、700℃で1時間仮焼し、金型0.5t/c
iで成型し、CIP処理(冷間均等圧プレス) 1.5
t/CIAで処理後、常圧焼結により1200℃で2時
間処理後、スライスし、研磨後光透過率を調べた。
分極処理前では、λ= 600Or+mで65%、分極
処理後においてはλ=6000nmで61%であり、分
極処理後も光透過率の低下は少く良好であった。
処理後においてはλ=6000nmで61%であり、分
極処理後も光透過率の低下は少く良好であった。
光ユ■処果
上記実施例にみられるとおり、本発明は下記の効果を有
する。
する。
(1)CLrl−PZT用粉末の製造法として極めて有
利である。
利である。
(21P L Z T 4.:比べ、CLN−PZTは
、ポーリング後の光の透過度の低下が少ないが、本発明
により得られる粉末を用いると、焼結性が−そう良好な
CLN−PZTの製造が可能となり、したがって、ポー
リング後の光の透過度の低下もより少ないものが得られ
る。
、ポーリング後の光の透過度の低下が少ないが、本発明
により得られる粉末を用いると、焼結性が−そう良好な
CLN−PZTの製造が可能となり、したがって、ポー
リング後の光の透過度の低下もより少ないものが得られ
る。
Claims (2)
- (1)硝酸カルシウムと硝酸ランタンおよび硝酸鉛の混
合溶液に、沈澱形成液を混合することにより、これらの
成分を共同沈澱させ、得られた沈澱物の分散液に、オキ
シ塩化ジルコニウムとオキシ塩化チタンの混合溶液を混
合することにより、上記各成分を含む沈澱物を共同沈澱
させ、次いで、得られた沈澱物の分散液に、ニオブのN
b_2O_5もしくはアルコキシドの溶液を混合するこ
とにより、これら全成分を含む沈澱物を共同沈澱させ、
得られた沈澱物を分離して乾燥後、400乃至1200
℃で仮焼することを特徴とする、電気光学特性を有する
セラミックスの原料粉末の製造法。 - (2)上記沈澱形成液が炭酸アンモニウムの溶液である
特許請求の範囲第(1)項記載の製造法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60228432A JPH0624978B2 (ja) | 1985-10-14 | 1985-10-14 | 電気光学特性を有するセラミツクスの原料粉末の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60228432A JPH0624978B2 (ja) | 1985-10-14 | 1985-10-14 | 電気光学特性を有するセラミツクスの原料粉末の製造法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62105926A true JPS62105926A (ja) | 1987-05-16 |
JPH0624978B2 JPH0624978B2 (ja) | 1994-04-06 |
Family
ID=16876392
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60228432A Expired - Lifetime JPH0624978B2 (ja) | 1985-10-14 | 1985-10-14 | 電気光学特性を有するセラミツクスの原料粉末の製造法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0624978B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI747360B (zh) * | 2020-07-03 | 2021-11-21 | 馗鼎奈米科技股份有限公司 | 壓電薄膜之極化品質的監控方法 |
-
1985
- 1985-10-14 JP JP60228432A patent/JPH0624978B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI747360B (zh) * | 2020-07-03 | 2021-11-21 | 馗鼎奈米科技股份有限公司 | 壓電薄膜之極化品質的監控方法 |
US11680974B2 (en) | 2020-07-03 | 2023-06-20 | Creating Nano Technologies. Inc. | Method for monitoring polarization quality of piezoelectric film |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0624978B2 (ja) | 1994-04-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Kutty et al. | Direct precipitation of lead zirconate titanate by the hydrothermal method | |
Rao et al. | Reactive PZT precursor powder by coprecipitation | |
JPH0345025B2 (ja) | ||
JPS6214490B2 (ja) | ||
JPS61247607A (ja) | ペロブスカイト構造を持つ化合物の原料粉末の調製方法 | |
JPS62105926A (ja) | 電気光学特性を有するセラミツクスの原料粉末の製造法 | |
JPS63151672A (ja) | ジルコン酸チタン酸鉛系圧電磁器の製造方法 | |
JPS6227328A (ja) | 易焼結性ペロプスカイトおよびその固溶体原料粉末の製造方法 | |
JPS6363511B2 (ja) | ||
JPS62241825A (ja) | 赤外線センサー用焦電体磁器の製法 | |
JPS6236023A (ja) | 易焼結性ペロブスカイトの仮焼粉末の製法 | |
JPH02184524A (ja) | 圧電性ペロブスカイト化合物の製造方法 | |
JPS63218514A (ja) | ジルコニウムを含むペロブスカイトセラミツクス粉末の製造方法 | |
JP2607519B2 (ja) | 光学セラミックスの製造方法 | |
JPH0193419A (ja) | 圧電セラミックス原料粉末の製造方法 | |
KR960004400B1 (ko) | Ba_1-xPb_xTiO_3계 PTC 분말의 제조방법 | |
JPS6325223A (ja) | セラミツク原料粉末の製造方法 | |
JPS63285146A (ja) | ペロブスカイトセラミックスの製造方法 | |
JPH032818B2 (ja) | ||
JPS61127624A (ja) | ペロブスカイト型酸化物固溶体の製造方法 | |
JPS62158117A (ja) | Plztの仮焼粉末の製造方法 | |
JPS6311522A (ja) | 誘電体磁器製造用のセラミツクス粉末の製造法 | |
JPS6287415A (ja) | 特に透過性の優れたセラミツクス用粉末の製造法 | |
JPS62105927A (ja) | 電気光学特性を有するセラミツクス用粉末の製造法 | |
JPS62241826A (ja) | 赤外線センサー用焦電体磁器製造用微粉末の製法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
EXPY | Cancellation because of completion of term |