JPS62105926A - 電気光学特性を有するセラミツクスの原料粉末の製造法 - Google Patents

電気光学特性を有するセラミツクスの原料粉末の製造法

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JPS62105926A
JPS62105926A JP60228432A JP22843285A JPS62105926A JP S62105926 A JPS62105926 A JP S62105926A JP 60228432 A JP60228432 A JP 60228432A JP 22843285 A JP22843285 A JP 22843285A JP S62105926 A JPS62105926 A JP S62105926A
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Shinichi Shirasaki
信一 白崎
Norihiro Kiuchi
木内 規博
Tsutomu Tominaga
富永 力
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National Institute for Research in Inorganic Material
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National Institute for Research in Inorganic Material
Nippon Mining Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 虜1しヒダ用枡川一分3 本発明は、圧電体、オプトエレクトロニクス材、誘電体
、゛V導体、センサル等の素材として利用される、電気
光学特性を有するセラミックスの原料粉末の製造法に関
する。
従迷−q稍迷−y1背−襲 近年、鉛(Pb)、ランタン(La)、ジルコニウム(
Z「)およびチタン(Ti)の酸化物粉末を緻密に焼結
j7て得られる多結晶体(PLZTと称せられる)は、
単結晶に比べて電気光学係数が大きく、また比較的大き
な基板が作製し易い特長を6することから、圧電体、オ
プトエレクトロニクス材、誘電体、半導体、セン号−専
のセラミックス、+材として広範囲に利用されている。
而し7て、最近、ト記各分野での機能し、の高度化が進
展するに伴ない、その要請に対応できる−そうの易焼結
性、好ましくは常圧下での焼結可能性、高密度性ならび
に高透過率を示し、かつ低コストで調製し得る素材とし
てのセラミックス用粉末に対する要望が高まってきてい
る。
従来、PLZTと称せられる上記多結晶体の製造法とし
ては、上述したように、Pbs La、 ZrおよびT
iの各成分の酸化物などの化合物を乾式で混合し、該混
合物を仮焼する方法が行なわれている。
しかし、この方法では均一な組成の粉末が得難く、かつ
その焼結性も十分でないため、上述したような要請に対
応し得るP L Z Tセラミックス用粉末を得ること
は実際」ユニ可能である。
一方、近年、PLZTセラミックス用粉末の製造法とし
て湿式法が注目されており、この方法はPb、 La、
 ZrおよびTiの各成分の種々の化合物形態での混合
溶液を調製し、この混合溶液にアルカリ等の沈澱形成液
を添加して共同沈澱(以下共沈と称する)させ、得られ
た共沈物を乾燥し、次いで仮焼させることから成る方法
(以下共沈法と称する)である。
しかし、この共沈法によると均一性の優れた粉末が得易
いが、その反面、均一性なるが故に沈澱生成時、乾燥時
又は仮焼時に粒子が凝結して二次粒子を形成し、その結
果、易焼結性のものが得難いという欠点がみられる。更
に、この共沈法では沈澱形成液の添加時の濃度が一定で
あるため、混合溶液中の各成分の沈澱形成能が一定でな
く、例えば成る成分は100%沈会するが、他の成分は
全部沈澱を生成し得ない場合等があり、したがって、所
望組成の粉末が得難いという問題点もみられる。
なお、上記共沈法における混合溶液の調製に当っては、
Pb、 La、 ZrおよびTiを主として酸化物の形
態で用いているが、近年、アルコキシドの形態でベンゼ
ン溶液として用いることも提案されている。
し■が γしようと ろい 占 本発明者は、上述した状況に鑑み、優れた電気光学特性
を有するとともに、易焼結性であり、更に均一性と嵩密
度の点で特に優れたセラミックス用粉末の製造法につい
て検討した結果、硝酸カルシウムと硝酸ランタンおよび
硝酸鉛の混合溶液かろこれら成分を含む共沈物を生成さ
せ、咳共沈物の分散液と、オキシ塩化ジルコニウムとオ
キシ塩化チタンとの混合溶液を混合してこれら各成分の
共沈物を生成させ、更にこの共沈物の分散液と、Nb*
05もしくはニオフ゛アJレコキシドの溶l皮を)昆合
物させて、上記全成分の共沈物を生成させることから成
る三段階の共沈を順次行なうことにより得られる沈澱物
を乾燥した後、仮焼することにより、上記特性を有する
セラミックス用粉末が得られることの知見を得て、本発
明をなすに至った。
すなわち、本発明は、上述したような優れた特性を有す
るセラミックスの原料粉末として好適なセラミックス用
粉末を製造するための方法を提供することを目的とする
以下本発明の詳細な説明する。
衾班免盪戊 本発明の特徴は、硝酸カルシウムと硝酸ランタンおよび
硝酸鉛の混合溶液に、沈澱形成液を混合することにより
、これらの成分を共同沈澱させ、得られた沈澱物の分散
液に、オキシ塩化ジルコニウムとオキシ塩化チタンの混
合溶液を混合することにより、上記各成分を含む沈殿物
を共同沈澱させ、次いで、得られた沈殿物の分散液に、
ニオブのNb2O5もしくはアルコキシドの溶液を混合
することにより、これら全成分を含む沈澱物を共同沈澱
させ、得られた沈澱物を分離して乾燥後、400乃至1
200℃で仮焼することにある。
。、申を′!lするための゛。
本発明では、まず、硝酸カルシウムと硝酸ランタンおよ
び硝酸鉛の混合溶液、例えばこれらを水に溶解した水溶
液に、沈澱形成液としてのアルカリ溶液、例えば炭酸ア
ンモニウム、アンモニヤ、苛性アルカリ等の水溶液を攪
拌下に混合することにより、Ca、 Laおよびpbの
成分を含む沈澱物を共沈させる。
次に、上述のようにして得られた共沈物の分散液に、オ
キシ塩化ジルコニウムとオキシ塩化チタンの混合溶液、
例えばこれらの両成分を稀硝酸水溶液に溶解した混合溶
液を混合して、Ca、 La、 Pb、ZrおよびTi
を含む沈澱物を共沈させ、次いで、更にこのようにして
得られた共沈物の分散液に、Nb2O5もしくはニオブ
アルコキシドの溶液、例えばフッ化水素酸に溶解した溶
液を混合して上記各成分とNbを含む全成分の沈澱物を
共沈させる。
すなわち、本発明では、上述のように3段階の共沈操作
を行なうことにより、Ca、 La、 Pb、 Zr、
TiおよびNbを含む共沈物を生成させるものである。
このようにして3段階で共沈させて得られた上記共沈物
を分離し、水洗した後、乾燥して400〜1200℃の
温度で仮焼すると、均一かつ易焼結性のセラミックスの
原料粉末が得られる。この仮焼に当って、温度が400
℃未満では得られる粉末の固相反応が不十分であり、一
方1200℃を越えると粉末が粗大化するので好ましく
ない。
叙上のように、本発明に従って、セラミックスの原料粉
末の目的成分である上記各成分を3段階で順次的に共沈
させることにより、一段階の共沈では完全に共沈させ難
い成分を全部実質上完全に共沈させることが可能となる
ので、得られた全成分の共沈物を仮焼すると、上述のよ
うに目的とするセラミックスを均一かつ易焼結性にする
のに通した原料粉末が得られるようになる。
衾肌■大籏± 以下に実施例を示して本発明を具体的に説明する。
実施例 カルシウム、ランタン、鉛の各硝酸塩の水溶液にアンモ
ニア水を加え、水酸化物の沈澱を形成し、ついでアンモ
ニア過剰にした前記沈澱を含む液にジルコニウム、チタ
ンの硝酸塩を加え沈澱を形成した。ついで、Nb (O
Bu) sを前記アンモニア過剰の沈澱液に加え、沈澱
形成後、濾過し、200℃で1時間乾燥した。
尚、前記した鉛の添加量は、目的の化合物X(CaO−
1/4 Ca20i  + 1/4(Nb20s ) 
 ・(1x) ・(Pb(Zr  y  Ti   1
−y)Oa)のpb高品位対し4%過剰となるように添
加した。
乾燥した後、925℃で1時間仮焼し、結晶水を分解揮
発させた。その後粉砕し、アセトン溶液中に粉を入れ、
これをボールミルで粉砕し、その後200℃で乾燥した
。その後、700℃で1時間仮焼し、金型0.5t/c
iで成型し、CIP処理(冷間均等圧プレス) 1.5
t/CIAで処理後、常圧焼結により1200℃で2時
間処理後、スライスし、研磨後光透過率を調べた。
分極処理前では、λ= 600Or+mで65%、分極
処理後においてはλ=6000nmで61%であり、分
極処理後も光透過率の低下は少く良好であった。
光ユ■処果 上記実施例にみられるとおり、本発明は下記の効果を有
する。
(1)CLrl−PZT用粉末の製造法として極めて有
利である。
(21P L Z T 4.:比べ、CLN−PZTは
、ポーリング後の光の透過度の低下が少ないが、本発明
により得られる粉末を用いると、焼結性が−そう良好な
CLN−PZTの製造が可能となり、したがって、ポー
リング後の光の透過度の低下もより少ないものが得られ
る。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)硝酸カルシウムと硝酸ランタンおよび硝酸鉛の混
    合溶液に、沈澱形成液を混合することにより、これらの
    成分を共同沈澱させ、得られた沈澱物の分散液に、オキ
    シ塩化ジルコニウムとオキシ塩化チタンの混合溶液を混
    合することにより、上記各成分を含む沈澱物を共同沈澱
    させ、次いで、得られた沈澱物の分散液に、ニオブのN
    b_2O_5もしくはアルコキシドの溶液を混合するこ
    とにより、これら全成分を含む沈澱物を共同沈澱させ、
    得られた沈澱物を分離して乾燥後、400乃至1200
    ℃で仮焼することを特徴とする、電気光学特性を有する
    セラミックスの原料粉末の製造法。
  2. (2)上記沈澱形成液が炭酸アンモニウムの溶液である
    特許請求の範囲第(1)項記載の製造法。
JP60228432A 1985-10-14 1985-10-14 電気光学特性を有するセラミツクスの原料粉末の製造法 Expired - Lifetime JPH0624978B2 (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI747360B (zh) * 2020-07-03 2021-11-21 馗鼎奈米科技股份有限公司 壓電薄膜之極化品質的監控方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI747360B (zh) * 2020-07-03 2021-11-21 馗鼎奈米科技股份有限公司 壓電薄膜之極化品質的監控方法
US11680974B2 (en) 2020-07-03 2023-06-20 Creating Nano Technologies. Inc. Method for monitoring polarization quality of piezoelectric film

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