JPS62103814A - 薄膜磁気ヘツド - Google Patents
薄膜磁気ヘツドInfo
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- JPS62103814A JPS62103814A JP24285585A JP24285585A JPS62103814A JP S62103814 A JPS62103814 A JP S62103814A JP 24285585 A JP24285585 A JP 24285585A JP 24285585 A JP24285585 A JP 24285585A JP S62103814 A JPS62103814 A JP S62103814A
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- JP
- Japan
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- core
- gap
- thin film
- part core
- magnetic
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/3116—Shaping of layers, poles or gaps for improving the form of the electrical signal transduced, e.g. for shielding, contour effect, equalizing, side flux fringing, cross talk reduction between heads or between heads and information tracks
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/313—Disposition of layers
- G11B5/3143—Disposition of layers including additional layers for improving the electromagnetic transducing properties of the basic structure, e.g. for flux coupling, guiding or shielding
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、ＶＴＲ等の磁気記録再生装置に使用する磁気
ヘッドに係り、特に長寿命でかつ高信頼性の記録再生特
性をえることのできる薄膜磁気ヘッドに関する。
ヘッドに係り、特に長寿命でかつ高信頼性の記録再生特
性をえることのできる薄膜磁気ヘッドに関する。
（発明の背景）
従来の薄膜磁気ヘッドは、磁気コアとなる磁性層が高々
５μｍ以下であり、この薄膜で記録再生を行なうために
は、記録能力の低下を防ぐ意味から、そのギャップ深さ
としては３μｍ以下の値となる。この様な従来の薄膜磁
気ヘッドは、ハードディスク等のフローティング方式（
記録媒体と磁気ヘッドとの間にスペースを保つ方式）で
使用する場合には問題はないが、ＶＴＲ等の様に記録媒
体と磁気ヘッドとが接触するコンタクト方式で使用する
場合には、ギャップ深さが３μｍと小さいために、摩耗
寿命が短かいという問題がある。
５μｍ以下であり、この薄膜で記録再生を行なうために
は、記録能力の低下を防ぐ意味から、そのギャップ深さ
としては３μｍ以下の値となる。この様な従来の薄膜磁
気ヘッドは、ハードディスク等のフローティング方式（
記録媒体と磁気ヘッドとの間にスペースを保つ方式）で
使用する場合には問題はないが、ＶＴＲ等の様に記録媒
体と磁気ヘッドとが接触するコンタクト方式で使用する
場合には、ギャップ深さが３μｍと小さいために、摩耗
寿命が短かいという問題がある。
この問題を解決するために、特開昭５５−８７３２３号
公報に記載の様に、上記ギャップ深さの寸法を大きくす
る目的で、磁束の絞り効率を高めるために、巻線の領域
で磁気コアの幅を広げる試みがなされているが、ギャッ
プ深さを決めるギャップ近傍の磁気コアでは充分な磁束
の絞りが計られておらず（磁束絞り形状に磁気コアを形
成すると、磁気ヘッドの摩耗によりトラック幅が変化す
る）、大きなギャップ深さを実現するに至っていない。
公報に記載の様に、上記ギャップ深さの寸法を大きくす
る目的で、磁束の絞り効率を高めるために、巻線の領域
で磁気コアの幅を広げる試みがなされているが、ギャッ
プ深さを決めるギャップ近傍の磁気コアでは充分な磁束
の絞りが計られておらず（磁束絞り形状に磁気コアを形
成すると、磁気ヘッドの摩耗によりトラック幅が変化す
る）、大きなギャップ深さを実現するに至っていない。
また、特開昭５６−１６９２１４号公報に記載のように
、磁気コアを衝合わせてギャップを形成するギャップホ
ンディング、手巻コイルの構成でギャップ深さの寸法を
大きくものがあるが、ギャップ長の精度を上げることが
困難であり、手巻作業が必要なことおよびバッチ処理で
製作すること等の理由で、全′ｇｉ膜プロセスによる磁
気ヘッドの製作に適用できないという問題があった。
、磁気コアを衝合わせてギャップを形成するギャップホ
ンディング、手巻コイルの構成でギャップ深さの寸法を
大きくものがあるが、ギャップ長の精度を上げることが
困難であり、手巻作業が必要なことおよびバッチ処理で
製作すること等の理由で、全′ｇｉ膜プロセスによる磁
気ヘッドの製作に適用できないという問題があった。
本発明の目的は、上記従来技術の問題を解決し、ギャッ
プ近傍において磁束の絞りを効果的に行ない、長寿命で
かつ高倍転性の記録再生特性を得ることを可能とした薄
膜磁気ヘッドを提供するにある。
プ近傍において磁束の絞りを効果的に行ない、長寿命で
かつ高倍転性の記録再生特性を得ることを可能とした薄
膜磁気ヘッドを提供するにある。
この目的を達成するために、本発明は、薄膜から成る下
部コアおよび上部コアの摺動面形状を、ギャップ材面よ
り離れるに従って広くなる形状としてギャップ近傍にお
いて薄膜コアの膜厚方向に磁束絞り効果を持たせると共
に、該コアを多層構造とし、その層間材面をギャップ面
と非平行となる様に形成して渦電流損失の低減とコンタ
−効果の低減を可能にした点に特徴がある。
部コアおよび上部コアの摺動面形状を、ギャップ材面よ
り離れるに従って広くなる形状としてギャップ近傍にお
いて薄膜コアの膜厚方向に磁束絞り効果を持たせると共
に、該コアを多層構造とし、その層間材面をギャップ面
と非平行となる様に形成して渦電流損失の低減とコンタ
−効果の低減を可能にした点に特徴がある。
以下、本発明の実施例を図面を用いて説明する。
第１図は本発明による薄膜磁気ヘッドの第一の実施例を
示すヘッド摺動面の正面図であって、１は非磁性基板、
２は多層の軟磁性膜２ ａｌ ２ ｂ＋ ２ ｃから成
る下部コア、３．５．７は非磁性体、４は記録媒体の走
行方向、６は多層の軟磁性膜６ ａ、 ６ ｂ。
示すヘッド摺動面の正面図であって、１は非磁性基板、
２は多層の軟磁性膜２ ａｌ ２ ｂ＋ ２ ｃから成
る下部コア、３．５．７は非磁性体、４は記録媒体の走
行方向、６は多層の軟磁性膜６ ａ、 ６ ｂ。
６ｃから成る上部コア、８は保護板、９ ａ、 ９ ｂ
、 １０ａ。
、 １０ａ。
１０ｂは層間材、１１はギャップ長を規制するためのギ
ャップ材である。
ャップ材である。
同図において、下部コア２と上部コア６の摺動面形状を
、それらの端縁が、ギャップ材１１の面に関してほぼ対
称でかつギャップ材１１の面を離れるに従って角度α１
．α２をもって直線状に広くなる扇状に形成する。そし
て、各コアの層間材９ａ＋９ｂおよび１０ａ、 １０ｂ
をギャップ材１１の面に対して非平行かつ図示のごとく
下部コア２．上部コア６の円弧状端面と略平行となるよ
うにする。
、それらの端縁が、ギャップ材１１の面に関してほぼ対
称でかつギャップ材１１の面を離れるに従って角度α１
．α２をもって直線状に広くなる扇状に形成する。そし
て、各コアの層間材９ａ＋９ｂおよび１０ａ、 １０ｂ
をギャップ材１１の面に対して非平行かつ図示のごとく
下部コア２．上部コア６の円弧状端面と略平行となるよ
うにする。
下部コアと上部コアをこのような扇状としたことにより
、コアの膜厚方向に磁束を絞ることができ、ギャップ部
における磁界の密度を高めて記録能力を向上することが
できる。コアの膜厚方向の磁束の絞り効果は、図示した
トラック幅Ｔｗと上下の各部コアの最大コア幅Ｔとの比
で決まるが、ＶＴＲのように、アジマス記録をする場合
には、隣々接トラックからのクロストークを防ぐ意味か
ら、コア幅Ｔとしては、 Ｔ≦３ＴＩ。
、コアの膜厚方向に磁束を絞ることができ、ギャップ部
における磁界の密度を高めて記録能力を向上することが
できる。コアの膜厚方向の磁束の絞り効果は、図示した
トラック幅Ｔｗと上下の各部コアの最大コア幅Ｔとの比
で決まるが、ＶＴＲのように、アジマス記録をする場合
には、隣々接トラックからのクロストークを防ぐ意味か
ら、コア幅Ｔとしては、 Ｔ≦３ＴＩ。
の範囲で最大の値が選ばれる。
この様に、コアの膜厚方向の磁束の絞り効果により、ギ
ャップ深さを大きくとれないという前記従来技術の問題
を解決することができる。
ャップ深さを大きくとれないという前記従来技術の問題
を解決することができる。
また、コアの層間材９ ａ、 ９ ｂ、 １０ａ、 １
０ｂがコア２゜６の円弧状端面（層２ａ、６ａの端面）
と略平行で、かつギャップ材１１の面に非平行としたこ
とで、高周波帯域に使用する場合の渦電流損失を低減す
ることができると共に、各層間材９ ａ、 ９ ｂ、
１０ａ、 １０ｂが擬似磁気ギャップとなって擬似信号
を再生するいわゆるコンタ−効果をアジマス損失により
低減することができる。
０ｂがコア２゜６の円弧状端面（層２ａ、６ａの端面）
と略平行で、かつギャップ材１１の面に非平行としたこ
とで、高周波帯域に使用する場合の渦電流損失を低減す
ることができると共に、各層間材９ ａ、 ９ ｂ、
１０ａ、 １０ｂが擬似磁気ギャップとなって擬似信号
を再生するいわゆるコンタ−効果をアジマス損失により
低減することができる。
さらに、比較的摩耗し易いコア材２ （２ａ、２ｂ。
２ｃ ） 、 ６ （６ａ、６ｂ、６ｃ ）を、記
録媒体の走行方向４において摩耗しに（い非磁性体１，
８で補強しているので、コア材と非磁性体間の偏摩耗が
少な（、かつ摩耗寿命を長（することができる。
録媒体の走行方向４において摩耗しに（い非磁性体１，
８で補強しているので、コア材と非磁性体間の偏摩耗が
少な（、かつ摩耗寿命を長（することができる。
第２図は本発明による薄膜磁気ヘッドの第二の実施例を
示すヘッド摺動面の正面図であって、第１図と同一符号
は同一部分を示す。
示すヘッド摺動面の正面図であって、第１図と同一符号
は同一部分を示す。
同図において、この実施例は上部コア６のギャップ材１
１の面のコア幅でトラック幅Ｔ。を規制するものである
。
１の面のコア幅でトラック幅Ｔ。を規制するものである
。
第３図は本発明による”ＩＩＷ磁気ヘッドの第三の実施
例を示すヘッド摺動面の正面図であって、第１図と同一
符号は同一部分を示す。
例を示すヘッド摺動面の正面図であって、第１図と同一
符号は同一部分を示す。
同図において、この実施例は下部コア２のギャップ材１
１の面のコア幅でトラック幅Ｔ８を規制するものである
。
１の面のコア幅でトラック幅Ｔ８を規制するものである
。
第２図、第３図に示したいずれの実施例においても、前
記第１図に示した実施例と同様の効果を得ることができ
ると共に、トラック幅の精度出しがより容易であるとい
う利点がある。
記第１図に示した実施例と同様の効果を得ることができ
ると共に、トラック幅の精度出しがより容易であるとい
う利点がある。
第４図は本発明による薄膜磁気ヘッドの第四の実施例を
示すヘッド摺動面の正面図であって、第１図と同一符号
は同一部分を示す。
示すヘッド摺動面の正面図であって、第１図と同一符号
は同一部分を示す。
同図において、この実施例の構造は第１図とほぼ同一で
あり、上部コア６の形状は第１図と同様にギャップ材１
１の面から角度α１をもって直線状に徐々に広くなる扇
状であるが、下部コア２の形状がギャップ材１１の面に
対して初期角α２で下に凸状の綴かな曲線状に徐々に広
くなるようにしている。
あり、上部コア６の形状は第１図と同様にギャップ材１
１の面から角度α１をもって直線状に徐々に広くなる扇
状であるが、下部コア２の形状がギャップ材１１の面に
対して初期角α２で下に凸状の綴かな曲線状に徐々に広
くなるようにしている。
この様な形状とすることにより、特に下部コアでトラッ
ク幅Ｔ。を規制する場合には、トラック幅の精度出しが
より容易になるという利点があると共に、上部コアと下
部コア間のトラック幅方向におけるフリンジング効果を
防ぐ条件であるα１＋α２≧６０度 をより容易に実現することができる。
ク幅Ｔ。を規制する場合には、トラック幅の精度出しが
より容易になるという利点があると共に、上部コアと下
部コア間のトラック幅方向におけるフリンジング効果を
防ぐ条件であるα１＋α２≧６０度 をより容易に実現することができる。
第５図は第４図のＡ−Ａ ’断面図であって、１３は薄
膜コイルで、第４図と同一符号は同一部分を示す。
膜コイルで、第４図と同一符号は同一部分を示す。
第６図は本発明による第４図に示した薄膜磁気ヘッドの
製造方法を説明する図であって、この製造方法は同図（
ａｌ〜（」）の工程から成る。
製造方法を説明する図であって、この製造方法は同図（
ａｌ〜（」）の工程から成る。
以下、第４図に示した薄膜磁気ヘッドの製造方法を第５
図と第６図により説明する。
図と第６図により説明する。
先ず、第６図（ａ）において、ガラス、セラミック。
非磁性フェライト等の非磁性基板１に、機械加工あるい
はエツチング等により幅Ｔの溝を形成する。
はエツチング等により幅Ｔの溝を形成する。
このＴの値はトラック幅Ｔ１．ｌを２０μｍとした特約
５５μｍ（≦３Ｔｗ）で、溝深さは２０μｍである。
５５μｍ（≦３Ｔｗ）で、溝深さは２０μｍである。
次に（ｂ）ではセンダストまたはアモルファス合金等の
軟磁性膜２ａ、２ｂ、２ｃおよび層間材としてＳｉ＋０
□、 Ａ ｊ！ ｔ ０３等を順次交互に積層する。合
計の膜厚としては、約３０μｍでり、また層数はこの実
施例では３層としているが、使用周波数帯域によって層
数を変えてよい。（Ｃ）では、軟磁性膜２ａ＋２ｂ、２
ｃの平坦化を一ラップ等の方法により行なう。
軟磁性膜２ａ、２ｂ、２ｃおよび層間材としてＳｉ＋０
□、 Ａ ｊ！ ｔ ０３等を順次交互に積層する。合
計の膜厚としては、約３０μｍでり、また層数はこの実
施例では３層としているが、使用周波数帯域によって層
数を変えてよい。（Ｃ）では、軟磁性膜２ａ＋２ｂ、２
ｃの平坦化を一ラップ等の方法により行なう。
更に、（ｄ＋においては、トラック幅Ｔ。を規制する面
をマスクしながらイオンミリング等の手法により、基板
１が露出するまでエツチングする。（ｅ）では、Ｓ１０
□、ＡｌｔＯｘあるいはフォルステ等の非磁性体層３を
形成し、ラップ等の手法により平坦化した後、ギャップ
長を規制するためのギャップ材１１を所望の厚さに積層
する。次に第６図には記していないが、第５図に示した
ように、薄膜コイル１３および層間絶縁層５を形成し、
第６図（ｆ）に示す様に層間絶縁層５のギャップ部を角
度α１でテーパエツチングする。テーバ角α１は大きく
なりすぎるとその上に形成する上部コア６ａの膜特性が
劣化することから、 α、くα２かつ α１＋α２≧６０度 の条件を満たす角度とする。ｆｇ）では、上部コア６ａ
を形成した後、マスク材１２を略円弧状にパターニング
し、イオンミリング等の手法により上記マスク材１２の
円弧状を上部コア６ａに転写させる。（１１では、層間
材１０ａ、 ｌＯｂおよび上部コア６ｂ、６ｃを順次積
層する。（Ｊ）では、眉間材５の平坦部上の余分の上部
コア６ｂ、６ｃをエツチングにより取り除き、保護膜７
を形成して平坦化する。更に、保護板８を接着すれば、
第４図および第５図に示した本発明による薄膜磁気ヘッ
ドが得られる。
をマスクしながらイオンミリング等の手法により、基板
１が露出するまでエツチングする。（ｅ）では、Ｓ１０
□、ＡｌｔＯｘあるいはフォルステ等の非磁性体層３を
形成し、ラップ等の手法により平坦化した後、ギャップ
長を規制するためのギャップ材１１を所望の厚さに積層
する。次に第６図には記していないが、第５図に示した
ように、薄膜コイル１３および層間絶縁層５を形成し、
第６図（ｆ）に示す様に層間絶縁層５のギャップ部を角
度α１でテーパエツチングする。テーバ角α１は大きく
なりすぎるとその上に形成する上部コア６ａの膜特性が
劣化することから、 α、くα２かつ α１＋α２≧６０度 の条件を満たす角度とする。ｆｇ）では、上部コア６ａ
を形成した後、マスク材１２を略円弧状にパターニング
し、イオンミリング等の手法により上記マスク材１２の
円弧状を上部コア６ａに転写させる。（１１では、層間
材１０ａ、 ｌＯｂおよび上部コア６ｂ、６ｃを順次積
層する。（Ｊ）では、眉間材５の平坦部上の余分の上部
コア６ｂ、６ｃをエツチングにより取り除き、保護膜７
を形成して平坦化する。更に、保護板８を接着すれば、
第４図および第５図に示した本発明による薄膜磁気ヘッ
ドが得られる。
なお、第１図〜第３図に示した薄膜磁気ヘッドも、上記
とほぼ同様の方法で製造することができる。
とほぼ同様の方法で製造することができる。
第７図は本発明による薄膜磁気ヘッドの第五の実施例を
示すヘッド摺動面の正面図、第８図は第７図のＡ−Ａ
’断面図であって、１はくの字状突起を奏する非磁性基
板であり、この他第１図と同一符号は同一部分を示す。
示すヘッド摺動面の正面図、第８図は第７図のＡ−Ａ
’断面図であって、１はくの字状突起を奏する非磁性基
板であり、この他第１図と同一符号は同一部分を示す。
同図において、上部コア６は、その端縁が第１図に示し
た実施例と同様に、ギャップ材１１の面から離れるに従
い角度α１をもって直線状に徐々に広がる扇状として膜
厚方向に磁束の絞り効果を持たせ、下部コア２をくの字
状コアとして非磁性基板１の突起の両側面より磁束が絞
られる様に構成したものである。これにより、ギャップ
部におけるギャップ磁界を高めて記録能力を向上させる
ことができ、また、ギャップ深さを大きくとれることに
より、ヘッドの摩耗寿命が格段に長くなるという利点が
ある。
た実施例と同様に、ギャップ材１１の面から離れるに従
い角度α１をもって直線状に徐々に広がる扇状として膜
厚方向に磁束の絞り効果を持たせ、下部コア２をくの字
状コアとして非磁性基板１の突起の両側面より磁束が絞
られる様に構成したものである。これにより、ギャップ
部におけるギャップ磁界を高めて記録能力を向上させる
ことができ、また、ギャップ深さを大きくとれることに
より、ヘッドの摩耗寿命が格段に長くなるという利点が
ある。
また、下部コア２および上部コア６を多層構造とし、か
つ眉間材９ａ、９ｂをくの字状に、層間材１０ａ、 １
０ｂを上部コア６の上端面と平行に扇状とすることによ
り、高周波帯域に使用する場合の渦電流損失を低減する
ことができると共に、各層間材９ ａ、 ９ ｂ、 １
０ａ、 １０ｂがギャップ面に対して非平行となるので
、各層間材が擬似磁気ギャップとなって擬似信号を再生
するいわゆるコンタ−効果をアジマス損失により低減す
ることができる。
つ眉間材９ａ、９ｂをくの字状に、層間材１０ａ、 １
０ｂを上部コア６の上端面と平行に扇状とすることによ
り、高周波帯域に使用する場合の渦電流損失を低減する
ことができると共に、各層間材９ ａ、 ９ ｂ、 １
０ａ、 １０ｂがギャップ面に対して非平行となるので
、各層間材が擬似磁気ギャップとなって擬似信号を再生
するいわゆるコンタ−効果をアジマス損失により低減す
ることができる。
さらに、比較的摩耗しやすい材料から成るコア２．６を
、記録媒体の走行方向４に対して、摩耗しにくい非磁性
体１．８で補強しているのでコア材と非磁性基板間の偏
摩耗が少なくかつ摩耗寿命を長くすることができる。
、記録媒体の走行方向４に対して、摩耗しにくい非磁性
体１．８で補強しているのでコア材と非磁性基板間の偏
摩耗が少なくかつ摩耗寿命を長くすることができる。
第９図、第１０図２第１１図および第１２図は本発明に
よる薄膜磁気ヘッドの第六、第七、第八および第九の実
施例を示すヘッド摺動面の正面図であって、第７図と同
一符号は同一部分を示す。
よる薄膜磁気ヘッドの第六、第七、第八および第九の実
施例を示すヘッド摺動面の正面図であって、第７図と同
一符号は同一部分を示す。
第９図に示した実施例は、下部コア２はヘッド摺動面の
全幅りより小さいコア幅となる様構成したものである。
全幅りより小さいコア幅となる様構成したものである。
第１０図に示した実施例は、下部コア２を、下に凸で曲
面となる両端面の突起を有する非磁性基板１の上に形成
したものである。
面となる両端面の突起を有する非磁性基板１の上に形成
したものである。
第１１図に示した実施例は、下部コア２を、上凸で曲面
となる両端面の突起を有する非磁性基板１の上に形成し
たものである。
となる両端面の突起を有する非磁性基板１の上に形成し
たものである。
第１２図に示した実施例は、非磁性基板１上に非磁性体
の突起１４を形成し、この上に下部コア２を形成したも
のである。
の突起１４を形成し、この上に下部コア２を形成したも
のである。
上記した第六〜第九の実施例においても、第７図の実施
例と同等の効果を得ることができる。
例と同等の効果を得ることができる。
第１３図は第７図及び第８図に示した本発明による薄膜
磁気ヘッドの製造方法を示す図であって、この製造方法
は同図ｆａ）〜（１１の工程から成る。
磁気ヘッドの製造方法を示す図であって、この製造方法
は同図ｆａ）〜（１１の工程から成る。
先ず、同図（ａｌにおいて、ガラス、セラミック。
非磁性フェライト等の非磁性体基板１に、機械加工ある
いはエツチング等により略くの字状の突起を形成する。
いはエツチング等により略くの字状の突起を形成する。
ここでは突起の形状を直線状の両端面としているが、第
１０図あるいは第１１図に示すようにと又は下に凸の曲
線状の両端面としてもよい。
１０図あるいは第１１図に示すようにと又は下に凸の曲
線状の両端面としてもよい。
また第１２図に示すように、該突起を非磁性基板１とは
別の非磁性体で形成してもよい。
別の非磁性体で形成してもよい。
次に（ｂｌでは、下部コアとなる、センダストまたはア
モルファス合金等の軟磁性膜２を、層間材としてＳｚ
Ｏｚ 、ＡＱｚ Ｏｓ等と共に多層に積層して形成する
。軟磁性膜の膜厚としては、約３０μｍであり、層数は
この実施例では３層としているが使用同波数帯域によっ
て層数を変えてもよい。ｆｃ）では、非（イ杢性体３と
して、非磁性体の薄膜を形成するか、あいは低融点ガラ
ス等を熔かし込んだ後に、これをラップ等の手法により
平坦化する。このとき、下部コア２の基板１に露出する
コア幅がトラック幅程度となるようにラップ量を制御す
る。
モルファス合金等の軟磁性膜２を、層間材としてＳｚ
Ｏｚ 、ＡＱｚ Ｏｓ等と共に多層に積層して形成する
。軟磁性膜の膜厚としては、約３０μｍであり、層数は
この実施例では３層としているが使用同波数帯域によっ
て層数を変えてもよい。ｆｃ）では、非（イ杢性体３と
して、非磁性体の薄膜を形成するか、あいは低融点ガラ
ス等を熔かし込んだ後に、これをラップ等の手法により
平坦化する。このとき、下部コア２の基板１に露出する
コア幅がトラック幅程度となるようにラップ量を制御す
る。
（ｄｌでは、ギャップ長を規制するためのギャップ材１
１を形成し、同図では省略したが、第８図に示したよう
に薄膜コイル１１および層間絶縁膜５を形成し、史にｆ
ｄ）に示すように層間絶縁膜５のギャップ部を角度α１
でテーバエツチングする。このテーパ角α、は大きくし
すぎるとその上に形成する上部コア６ａの膜特性を劣化
させ、小さくし過ぎると上部および下部コア間のフリン
ジング磁界が増大して記録再生特性を阻害することから
、α１〈α２ かつ α１＋α２≧６０度の条件を満た
す角度α１．α２を選ぶ（α２は下部コアとギャップ材
１１の面とのなす角度）。ｔｅ＋では、上部コアの最初
の層６ａを形成後、マスク材１２を略円弧状にパターニ
ングし、（ｆ）では、イオンミリング等の手法によりマ
スク材１２の円弧状を上部コア６ａに転写する。（ｇｌ
では、層間材１０ａ、 １０ｂおよび上部コア６ｂ、６
ｃを順次交圧に積層する。
１を形成し、同図では省略したが、第８図に示したよう
に薄膜コイル１１および層間絶縁膜５を形成し、史にｆ
ｄ）に示すように層間絶縁膜５のギャップ部を角度α１
でテーバエツチングする。このテーパ角α、は大きくし
すぎるとその上に形成する上部コア６ａの膜特性を劣化
させ、小さくし過ぎると上部および下部コア間のフリン
ジング磁界が増大して記録再生特性を阻害することから
、α１〈α２ かつ α１＋α２≧６０度の条件を満た
す角度α１．α２を選ぶ（α２は下部コアとギャップ材
１１の面とのなす角度）。ｔｅ＋では、上部コアの最初
の層６ａを形成後、マスク材１２を略円弧状にパターニ
ングし、（ｆ）では、イオンミリング等の手法によりマ
スク材１２の円弧状を上部コア６ａに転写する。（ｇｌ
では、層間材１０ａ、 １０ｂおよび上部コア６ｂ、６
ｃを順次交圧に積層する。
（ｈｌでは、層間材５上の余分の上部コア６ｂ、６ｃを
エツチングにより取り除く。（１）では、保護膜７を形
成した後、平坦化し、更に、保護板８を接着し、ヘッド
摺動面を機械加工等により成形する。これにより第７図
、第８図に示した本発明の薄膜磁気ヘッドを得ることが
できる。なお第９図〜第１２図に示した薄膜磁気ヘッド
もほぼ同様にして製造できる。
エツチングにより取り除く。（１）では、保護膜７を形
成した後、平坦化し、更に、保護板８を接着し、ヘッド
摺動面を機械加工等により成形する。これにより第７図
、第８図に示した本発明の薄膜磁気ヘッドを得ることが
できる。なお第９図〜第１２図に示した薄膜磁気ヘッド
もほぼ同様にして製造できる。
以上説明したように、本発明によれば、ギャップ近傍に
おけるコアの膜厚方向に磁束の絞り効果を持たせると共
に、渦電流損失の低減およびコンタ−効果の低減を図る
ことができ、上記従来技術の欠点を除いて優れた機能の
薄膜磁気ヘッドを提供することができる。
おけるコアの膜厚方向に磁束の絞り効果を持たせると共
に、渦電流損失の低減およびコンタ−効果の低減を図る
ことができ、上記従来技術の欠点を除いて優れた機能の
薄膜磁気ヘッドを提供することができる。
第１図、第２図、第３図および第４図は本発明による薄
膜磁気ヘッドの第一、第二、第三および第四の実施例を
示すヘッド摺動面の上面図、第５図は第４図のＡ−Ａ’
断面図、第６図は第４図に示した薄膜磁気ヘッドの製造
方法を説明する図、第７図は本発明による薄膜磁気ヘッ
ドの第五の実施例を示すヘッド摺動面の正面図、第８図
は第７図のＡ−Ａ ’断面図、第９図、第１Ｏ図、第１
１図および第１２図は本発明による薄膜磁気ヘッドの第
六。 第七、第八および第九の実施例を示すヘッド摺動面の正
面図、第１３図は第７図および第８図に示した薄膜磁気
ヘッドの製造方法を説明する図である。 １・・・非磁性基板、２・・・下部コア、３，５．７・
・・非磁性体、４・・・記録媒体走行方向、６・・・上
部コア、８・・・保護板、９ ａ、 ９ ｂ、 １０ａ
、 １０ｂ−・一層間材、１１−・・ギャップ材、１２
・・・マスク材、１３・・・コイル。 １１町Ｃ１゛′− 代理人 弁理士 武 顕次部 （外１名）パ１７１．
− 第１図 第２図 第３図 第４図 ８６図 第７図 ＝Ａ 第８図 ＬＡ。 第９図 第１０図 第１１図 第１２図 箆１３図
膜磁気ヘッドの第一、第二、第三および第四の実施例を
示すヘッド摺動面の上面図、第５図は第４図のＡ−Ａ’
断面図、第６図は第４図に示した薄膜磁気ヘッドの製造
方法を説明する図、第７図は本発明による薄膜磁気ヘッ
ドの第五の実施例を示すヘッド摺動面の正面図、第８図
は第７図のＡ−Ａ ’断面図、第９図、第１Ｏ図、第１
１図および第１２図は本発明による薄膜磁気ヘッドの第
六。 第七、第八および第九の実施例を示すヘッド摺動面の正
面図、第１３図は第７図および第８図に示した薄膜磁気
ヘッドの製造方法を説明する図である。 １・・・非磁性基板、２・・・下部コア、３，５．７・
・・非磁性体、４・・・記録媒体走行方向、６・・・上
部コア、８・・・保護板、９ ａ、 ９ ｂ、 １０ａ
、 １０ｂ−・一層間材、１１−・・ギャップ材、１２
・・・マスク材、１３・・・コイル。 １１町Ｃ１゛′− 代理人 弁理士 武 顕次部 （外１名）パ１７１．
− 第１図 第２図 第３図 第４図 ８６図 第７図 ＝Ａ 第８図 ＬＡ。 第９図 第１０図 第１１図 第１２図 箆１３図
Claims (1)
- 非磁性基板上に、下部コア、ギャップ材、コイル、上部
コア、等の薄膜を積層して成る薄膜磁気ヘッドにおいて
、前記下部コアおよび上部コアのヘッド摺動面形状を、
前記ギャップ材の面から離れるに従つて広くしたことを
特徴とする薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24285585A JPS62103814A (ja) | 1985-10-31 | 1985-10-31 | 薄膜磁気ヘツド |
| EP86114142A EP0222183B1 (en) | 1985-10-14 | 1986-10-13 | Thin film magnetic head |
| DE86114142T DE3689534T2 (de) | 1985-10-14 | 1986-10-13 | Dünnschichtmagnetkopf. |
| US06/918,338 US4799118A (en) | 1985-10-14 | 1986-10-14 | Thin film magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24285585A JPS62103814A (ja) | 1985-10-31 | 1985-10-31 | 薄膜磁気ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62103814A true JPS62103814A (ja) | 1987-05-14 |
Family
ID=17095272
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24285585A Pending JPS62103814A (ja) | 1985-10-14 | 1985-10-31 | 薄膜磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62103814A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60175208A (ja) * | 1984-02-22 | 1985-09-09 | Hitachi Ltd | 薄膜磁気ヘツド |
-
1985
- 1985-10-31 JP JP24285585A patent/JPS62103814A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60175208A (ja) * | 1984-02-22 | 1985-09-09 | Hitachi Ltd | 薄膜磁気ヘツド |
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