JPS62101987A - 管材およびその製造方法 - Google Patents
管材およびその製造方法Info
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- JPS62101987A JPS62101987A JP24248085A JP24248085A JPS62101987A JP S62101987 A JPS62101987 A JP S62101987A JP 24248085 A JP24248085 A JP 24248085A JP 24248085 A JP24248085 A JP 24248085A JP S62101987 A JPS62101987 A JP S62101987A
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- B29C70/74—Moulding material on a relatively small portion of the preformed part, e.g. outsert moulding
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- B29K2027/12—Use of polyvinylhalogenides or derivatives thereof as moulding material containing fluorine
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- Laminated Bodies (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
３、 ８の普 な云゛口
（産業上の利用分野）
本発明は、液体を通流させるために配管される管材に関
し、特に、超高純度の水、化学薬品等の通流に適した接
合可能な管材およびその製造方法に関する。
し、特に、超高純度の水、化学薬品等の通流に適した接
合可能な管材およびその製造方法に関する。
（従来の技術）
近年、半導体などの電子部品の製造工程において必要な
水や化学薬品は超高純度であることが要求される。従っ
て、その通流時に外部から不純物が混入したり通液が外
部へ漏れ出ないことが必須要件となる。半導体の製造工
程に必要なこれら液体は、耐薬品性・耐蝕性に優れたフ
ッ素樹脂製の管材でなる配管内を通流する。フッ素樹脂
製の管材としては、従来、ポリテトラフルオロエチレン
（ＰＴＦＥ）が耐薬品性・耐蝕性に優れ、しかも廉価で
あるとの理由から、頻繁に使用されている。
水や化学薬品は超高純度であることが要求される。従っ
て、その通流時に外部から不純物が混入したり通液が外
部へ漏れ出ないことが必須要件となる。半導体の製造工
程に必要なこれら液体は、耐薬品性・耐蝕性に優れたフ
ッ素樹脂製の管材でなる配管内を通流する。フッ素樹脂
製の管材としては、従来、ポリテトラフルオロエチレン
（ＰＴＦＥ）が耐薬品性・耐蝕性に優れ、しかも廉価で
あるとの理由から、頻繁に使用されている。
配管に際し重要なことは、管材同士の接合部における通
液の漏れおよび外部からの不純物の混入を確実に防止す
ることである。上述の配管がＰＴＦＥ製の管材でなる場
合には、ＰＴＦＥがその物理特性のゆえに溶融されに（
り、それゆえ、ＰＴＦＥで作られた管材同士を溶着する
ことができない。
液の漏れおよび外部からの不純物の混入を確実に防止す
ることである。上述の配管がＰＴＦＥ製の管材でなる場
合には、ＰＴＦＥがその物理特性のゆえに溶融されに（
り、それゆえ、ＰＴＦＥで作られた管材同士を溶着する
ことができない。
ＰＴＦＥ製の管材同士の接合は、そのため、各管材の端
部同士を接着剤により、あるいは別に製作されたカップ
リングを用いて行われねばならない。
部同士を接着剤により、あるいは別に製作されたカップ
リングを用いて行われねばならない。
接着剤を用いる場合には、接着不足や接着剤の経時的劣
化などが原因で、各管材同士の接合部分からの通液の漏
れおよび／もしくは不純物の混入を確実に防止しえない
。また、ＰＴＦＥ製の個々の管材を超高精度で連結させ
うるカップリングを製作し管材に取りつけることは至難
であり、しかも著しいコスト高となる。
化などが原因で、各管材同士の接合部分からの通液の漏
れおよび／もしくは不純物の混入を確実に防止しえない
。また、ＰＴＦＥ製の個々の管材を超高精度で連結させ
うるカップリングを製作し管材に取りつけることは至難
であり、しかも著しいコスト高となる。
近時、フッ素樹脂として、溶融成形の可能なテトラフル
オロエチレン−パーフルオロビニルエーテル共重合体（
ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン−へキサフルオロプ
ロピレン共重合体（ＦＥＰ）。
オロエチレン−パーフルオロビニルエーテル共重合体（
ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン−へキサフルオロプ
ロピレン共重合体（ＦＥＰ）。
テトラフルオロエチレン−エチレン共重合体くＥＴＦＥ
）等が開発されている。これらのフッ素樹脂を管材に成
形し、これを配管する場合には、管材同士を熱融着によ
り簡単かつ確実に接合させることができる。従って、接
合部における通液の漏れおよび外部からの不純物の混入
を確実に防止し得る。しかしながら、これらのフッ素樹
脂はいづれも高価であるため、これを配管用に用いるこ
とは経済性の点で問題がある。
）等が開発されている。これらのフッ素樹脂を管材に成
形し、これを配管する場合には、管材同士を熱融着によ
り簡単かつ確実に接合させることができる。従って、接
合部における通液の漏れおよび外部からの不純物の混入
を確実に防止し得る。しかしながら、これらのフッ素樹
脂はいづれも高価であるため、これを配管用に用いるこ
とは経済性の点で問題がある。
またＰＴＦＥ製の二つの成形体を、ＰＦＡ製を中間層と
して互いに接合させた複合成形体が開発されている（特
公昭５６−３６０６４号公報参照）。この複合体は高圧
力下、および高温下で製造される。
して互いに接合させた複合成形体が開発されている（特
公昭５６−３６０６４号公報参照）。この複合体は高圧
力下、および高温下で製造される。
このような成形体は、それ自体の接合性は良好である。
しかし、一旦製造された成形体同士を別の成形体を介し
て接合させることは、結局ＰＴＦＥ製の成形体同士を接
着剤により接合させることになり、従って、この接合成
形体を管材として用いることは前述のＰＴＦＥ製の管材
同士を接着剤により接合させる場合と同様の問題を生じ
る。
て接合させることは、結局ＰＴＦＥ製の成形体同士を接
着剤により接合させることになり、従って、この接合成
形体を管材として用いることは前述のＰＴＦＥ製の管材
同士を接着剤により接合させる場合と同様の問題を生じ
る。
（発明が解決しようとする問題点）
本発明は上記従来の問題点を解決するものであり、その
目的は熱融着による接合が可能であり。
目的は熱融着による接合が可能であり。
通液の漏れおよび外部からの不純物の混入を確実に防止
し得る新規な管材およびその製造方法を提供することに
ある。本発明の他の目的は、配管に際しての接合が容易
な新規な管材およびその製造方法を提供することにある
。本発明のさらに他の目的は、廉価であって経済性に優
れた管材およびその製造方法を提供することにある。
し得る新規な管材およびその製造方法を提供することに
ある。本発明の他の目的は、配管に際しての接合が容易
な新規な管材およびその製造方法を提供することにある
。本発明のさらに他の目的は、廉価であって経済性に優
れた管材およびその製造方法を提供することにある。
（問題点を解決するための手段）
本発明の管材は、溶融成形不可能なポリテトラフルオロ
エチレン（ＰＴＦＥ）よりなる本体部と。
エチレン（ＰＴＦＥ）よりなる本体部と。
該本体部の少なくとも一方の端部に溶融成形可能なフッ
素樹脂よりなる接合部を一体成形してなりそのことによ
り上記目的が達成される。
素樹脂よりなる接合部を一体成形してなりそのことによ
り上記目的が達成される。
接合部はテトラフルオロエチレン−パーフルオロビニル
エーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン
−ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、 も
しくはテトラフルオロエチレンーエチレン共重合体（Ｅ
ＴＦＥ）よりなる。本体部は直線状１円弧状、もしくは
Ｌ字状に形成され、したがって得られる管材はそれぞれ
筒状管材。
エーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン
−ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、 も
しくはテトラフルオロエチレンーエチレン共重合体（Ｅ
ＴＦＥ）よりなる。本体部は直線状１円弧状、もしくは
Ｌ字状に形成され、したがって得られる管材はそれぞれ
筒状管材。
曲管材、もしくはＬ型管材である。
該管材は、ダイシリンダーの軸心にマンドレルを配し、
充填部、焼成部および冷却部を順次構成してなるキャビ
ティ部の該充填部に、溶融成形可能なフッ素樹脂、溶融
成形不可能なポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）
、および溶融成形不可能なフッ素樹脂を順次圧入するこ
とにより製造される。
充填部、焼成部および冷却部を順次構成してなるキャビ
ティ部の該充填部に、溶融成形可能なフッ素樹脂、溶融
成形不可能なポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）
、および溶融成形不可能なフッ素樹脂を順次圧入するこ
とにより製造される。
（実施例）
以下に本発明を実施例について説明する。
本発明に係る管材は、第１図に示すように９円筒状の本
体部１の各端部に２本体部１よりも充分に短い接合部２
，２をそれぞれ同軸に一体成形してなる。本体部１は、
溶融粘度が高く、融点以上でも流動しないＰＴＦＥで作
られる。接合部２は。
体部１の各端部に２本体部１よりも充分に短い接合部２
，２をそれぞれ同軸に一体成形してなる。本体部１は、
溶融粘度が高く、融点以上でも流動しないＰＴＦＥで作
られる。接合部２は。
溶融成形可能な１例えば、ＰＦＡで作られる。
本発明に係る管材は、第１図に示すような直管材に限ら
ず１例えば第２図に示すように２本体部１が円弧状に屈
曲してなる曲管材、あるいは第３図に示すように１本体
部がＬ字状に成形され、したがって全体がＬ型をなす管
材であってもよい。
ず１例えば第２図に示すように２本体部１が円弧状に屈
曲してなる曲管材、あるいは第３図に示すように１本体
部がＬ字状に成形され、したがって全体がＬ型をなす管
材であってもよい。
本発明に係る管材同士の接合は、各管材の端部を構成す
る溶融容易なＰＦＡ製接合接合部２同融着させることに
よりなされる。接合時に必要に応じて接合部内面を円滑
に成形する。これにより両者は堅固に接続され，接合部
における漏れおよび外部からの不純物の混入が確実に防
止できる。
る溶融容易なＰＦＡ製接合接合部２同融着させることに
よりなされる。接合時に必要に応じて接合部内面を円滑
に成形する。これにより両者は堅固に接続され，接合部
における漏れおよび外部からの不純物の混入が確実に防
止できる。
本体部の管材は１例えば９次のようにして製造される：
第４図に示すように，用いられる管材成形型１００は，
外型としてのグイシリンダー４とこのダイシリンダー４
に同軸に配置された内型としてめマンドレル３とを有す
る。グイシリンダー４とマンドレル３とで形成されるキ
ャビティ部１０は，所望の管材と同一形状をなし，その
上部から下部に沿って順次充填部４１，焼成部４２，お
よび冷却部４３を構成している。充填部４１の上方は押
出機４０に接続され，管材の成形に必要な樹脂材料がこ
の押出機４０から充填部４１へ加圧充填される。この充
填部４１は接合部樹脂材料１例えばＰＦＡを溶融させる
温度（約３１０℃）に保持されている。焼成部４２は１
本体部樹脂材料のＰＴＦＥを焼成するが接合部樹脂材料
のＰＦＡを熱分解させない温度（約３６０〜４００℃）
に保持されている。
外型としてのグイシリンダー４とこのダイシリンダー４
に同軸に配置された内型としてめマンドレル３とを有す
る。グイシリンダー４とマンドレル３とで形成されるキ
ャビティ部１０は，所望の管材と同一形状をなし，その
上部から下部に沿って順次充填部４１，焼成部４２，お
よび冷却部４３を構成している。充填部４１の上方は押
出機４０に接続され，管材の成形に必要な樹脂材料がこ
の押出機４０から充填部４１へ加圧充填される。この充
填部４１は接合部樹脂材料１例えばＰＦＡを溶融させる
温度（約３１０℃）に保持されている。焼成部４２は１
本体部樹脂材料のＰＴＦＥを焼成するが接合部樹脂材料
のＰＦＡを熱分解させない温度（約３６０〜４００℃）
に保持されている。
まず、所定量の粉末状ＰＦＡ５がキャビティ部１０内へ
圧入され２次いで．その上から所定量の粉末状ＰＴＦＥ
６が圧入される。次いで．されにその上から所定量の粉
末状ＰＦＡ５が圧入される。
圧入され２次いで．その上から所定量の粉末状ＰＴＦＥ
６が圧入される。次いで．されにその上から所定量の粉
末状ＰＦＡ５が圧入される。
先に投入された粉末状ＰＦＡ５は充填部４１で溶融され
つつ，その上の粉末状ＰＴＦＥ６におされて焼成部４２
に達する。溶融ＰＦＡ５はこの焼成部４２においても溶
融状態を維持する。粉末状ＰＴＦＥ６は，その上の粉末
状ＰＦＡ５に押されてキャビティ部形状に沿った塊状と
なり充填部４１を経て焼成部４２に達する。塊状ＰＴＦ
Ｅ６はこの焼成部４２にて焼成され粒子相互が分子レベ
ルで融着する。
つつ，その上の粉末状ＰＴＦＥ６におされて焼成部４２
に達する。溶融ＰＦＡ５はこの焼成部４２においても溶
融状態を維持する。粉末状ＰＴＦＥ６は，その上の粉末
状ＰＦＡ５に押されてキャビティ部形状に沿った塊状と
なり充填部４１を経て焼成部４２に達する。塊状ＰＴＦ
Ｅ６はこの焼成部４２にて焼成され粒子相互が分子レベ
ルで融着する。
ＰＴＦＥ６は溶融されることなく固形状態を保つため，
溶融ＰＦＡ５と塊状もしくは焼成ＰＴＦＥ６との界面は
キャビティ部１０内で終始乱れることがない。しかも、
固形状態を保つＰＴＦＥ６は溶融ＰＦＡ５の加圧材とし
ても有効に機能する。次いで，これら樹脂材料はキャビ
ティ部１０内を進み。
溶融ＰＦＡ５と塊状もしくは焼成ＰＴＦＥ６との界面は
キャビティ部１０内で終始乱れることがない。しかも、
固形状態を保つＰＴＦＥ６は溶融ＰＦＡ５の加圧材とし
ても有効に機能する。次いで，これら樹脂材料はキャビ
ティ部１０内を進み。
冷却部４３に達成する。ここで冷却されてのち下端開口
部４４から系外へ排出される。排出された成形品は本体
部がＰＴＦＥでなりその両端部がそれぞれＰＦＡでなる
第１図に示された筒状管材である。
部４４から系外へ排出される。排出された成形品は本体
部がＰＴＦＥでなりその両端部がそれぞれＰＦＡでなる
第１図に示された筒状管材である。
本体部１と両端部２．２との界面は平滑である。三者は
堅固に一体化しており，ＪＩＳ規定にもとづく破壊試験
にパスすることが確認された。
堅固に一体化しており，ＪＩＳ規定にもとづく破壊試験
にパスすることが確認された。
成形操作中．各樹脂材料間の界面に乱れが生じないため
，最終的に得られる管材成形品の本体部１と端部２との
各寸法は各樹脂材料の投入量により一義的に決まる。そ
れゆえ、ＰＦＡとＰＴＦＥとの樹脂材料の所定量を交互
に型１００内へ投入することにより．ＰＦＡとＰＴＦＦ
，とでなる所定長の複合管材が得られうる。
，最終的に得られる管材成形品の本体部１と端部２との
各寸法は各樹脂材料の投入量により一義的に決まる。そ
れゆえ、ＰＦＡとＰＴＦＥとの樹脂材料の所定量を交互
に型１００内へ投入することにより．ＰＦＡとＰＴＦＦ
，とでなる所定長の複合管材が得られうる。
キャビティ部１０の形状は直線状に限定されることはな
く１円弧状やＬ字状とすることにより、第２図に示され
るような曲管材や第３図に示されるようなＬ型管材が成
形されうる。
く１円弧状やＬ字状とすることにより、第２図に示され
るような曲管材や第３図に示されるようなＬ型管材が成
形されうる。
（発明の効果）
本発明の管材はこのように、溶融成形不可能なＰＴＦＥ
製の本体部の少なくとも一方の端部に。
製の本体部の少なくとも一方の端部に。
ＰＦＡ等の溶融成形可能なフッ素樹脂製の接合部を一体
成形して得られるため、配管に際し、連結すべき管材の
接合端部同士を熱融着することにより管材同士を簡単か
つ確実に接合しうる。従って。
成形して得られるため、配管に際し、連結すべき管材の
接合端部同士を熱融着することにより管材同士を簡単か
つ確実に接合しうる。従って。
配管現場においても格別の熟練を要することなく管材同
士の接合が容易になされうる。管材同士を熱溶着により
接続できるため、接続部からの通液の漏れおよび外部か
ら管内への不純物の混入のおそれがない。１つの管材に
おける本体部と接合部とは一体成形されているため９両
者の接続部における通液の漏れおよび外部から管内への
不純物の混入のおそれのないことはいうまでもない。Ｐ
ＦＡ等の高価なフッ素樹脂を１本の管材における端部に
しか使用しないため、得られる管材は経済性にも優れて
いる。
士の接合が容易になされうる。管材同士を熱溶着により
接続できるため、接続部からの通液の漏れおよび外部か
ら管内への不純物の混入のおそれがない。１つの管材に
おける本体部と接合部とは一体成形されているため９両
者の接続部における通液の漏れおよび外部から管内への
不純物の混入のおそれのないことはいうまでもない。Ｐ
ＦＡ等の高価なフッ素樹脂を１本の管材における端部に
しか使用しないため、得られる管材は経済性にも優れて
いる。
４、ズ の 車なう■
第１図は本発明の管材の一実施例を示す側面図。
第２図および第３図は、それぞれ本発明の管材の他の実
施例を示す側面図、第４図は本発明に係る管材の製造に
使用される成形装置の一例を示す縦断面図である。
施例を示す側面図、第４図は本発明に係る管材の製造に
使用される成形装置の一例を示す縦断面図である。
■・・・本体部、２・・・接合部、３・・・マンドレル
、４・・・グイシリンダー、５・・・ＰＦＡ、６・・・
ＰＴＦＥ。
、４・・・グイシリンダー、５・・・ＰＦＡ、６・・・
ＰＴＦＥ。
１０・・・キャビティ部、４１・・・充填部、４２・・
・焼成部、 ｉｏ。
・焼成部、 ｉｏ。
・・・成形型。
以上
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、溶融成形不可能なポリテトラフルオロエチレン（Ｐ
ＴＦＥ）よりなる本体部と、該本体部の少なくとも一方
の端部に溶融成形可能なフッ素樹脂よりなる接合部を一
体成形してなる管材。 ２、前記接合部はテトラフルオロエチレン−パーフルオ
ロビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロ
エチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ
）、もしくはテトラフルオロエチレン−エチレン共重合
体（ＥＴＦＥ）よりなる特許請求の範囲第１項に記載の
管材。 ３、前記本体部は直線状である特許請求の範囲第１項に
記載の管材。 ４、前記本体部は円弧状である特許請求の範囲第１項に
記載の管材。 ５、前記本体部はＬ字状である特許請求の範囲第１項に
記載の管材。 ６、ダイシリンダーの軸心にマンドレルを配し、充填部
、焼成部および冷却部を順次構成してなるキャビティ部
の該充填部に、溶融成形可能なフッ素樹脂、溶融成形不
可能なポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、およ
び溶融成形不可能なフッ素樹脂を順次圧入する管材の製
造方法。 ７、前記フッ素樹脂の溶融温度はＰＴＦＥの溶融温度よ
りも低い特許請求の範囲第６項に記載の管材の製造方法
。 ８、前記充填部の温度は成形可能なフッ素樹脂の溶融温
度に保持されている特許請求の範囲第７項に記載の管材
の製造方法。 ９、前記焼成部の温度はＰＴＦＥのみを焼成し、前記フ
ッ素樹脂を熱分解させない温度に保持されている特許請
求の範囲第８項に記載の管材の製造方法。 １０、前記成形可能なフッ素樹脂はテトラフルオロエチ
レン−パーフルオロビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）
、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン
共重合体（ＦＥＰ）、もしくはテトラフルオロエチレン
−エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）である特許請求の範囲
第７項に記載の管材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24248085A JPH0631656B2 (ja) | 1985-10-29 | 1985-10-29 | 管材およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24248085A JPH0631656B2 (ja) | 1985-10-29 | 1985-10-29 | 管材およびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62101987A true JPS62101987A (ja) | 1987-05-12 |
| JPH0631656B2 JPH0631656B2 (ja) | 1994-04-27 |
Family
ID=17089710
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24248085A Expired - Lifetime JPH0631656B2 (ja) | 1985-10-29 | 1985-10-29 | 管材およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0631656B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63295238A (ja) * | 1987-05-27 | 1988-12-01 | Oji Rubber Kasei Kk | ポリテトラフルオルエチレンを含有するシ−トのライニング方法 |
| JP2005189208A (ja) * | 2003-12-26 | 2005-07-14 | Asahi Organic Chem Ind Co Ltd | 導電率計用検出器 |
-
1985
- 1985-10-29 JP JP24248085A patent/JPH0631656B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63295238A (ja) * | 1987-05-27 | 1988-12-01 | Oji Rubber Kasei Kk | ポリテトラフルオルエチレンを含有するシ−トのライニング方法 |
| JP2005189208A (ja) * | 2003-12-26 | 2005-07-14 | Asahi Organic Chem Ind Co Ltd | 導電率計用検出器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0631656B2 (ja) | 1994-04-27 |
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