JPH0631656B2 - 管材およびその製造方法 - Google Patents
管材およびその製造方法Info
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- JPH0631656B2 JPH0631656B2 JP24248085A JP24248085A JPH0631656B2 JP H0631656 B2 JPH0631656 B2 JP H0631656B2 JP 24248085 A JP24248085 A JP 24248085A JP 24248085 A JP24248085 A JP 24248085A JP H0631656 B2 JPH0631656 B2 JP H0631656B2
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- pipe material
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- tetrafluoroethylene
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- melt
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- B29C70/00—Shaping composites, i.e. plastics material comprising reinforcements, fillers or preformed parts, e.g. inserts
- B29C70/68—Shaping composites, i.e. plastics material comprising reinforcements, fillers or preformed parts, e.g. inserts by incorporating or moulding on preformed parts, e.g. inserts or layers, e.g. foam blocks
- B29C70/74—Moulding material on a relatively small portion of the preformed part, e.g. outsert moulding
- B29C70/76—Moulding on edges or extremities of the preformed part
- B29C70/766—Moulding on edges or extremities of the preformed part on the end part of a tubular article
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- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B29K—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES B29B, B29C OR B29D, RELATING TO MOULDING MATERIALS OR TO MATERIALS FOR MOULDS, REINFORCEMENTS, FILLERS OR PREFORMED PARTS, e.g. INSERTS
- B29K2027/00—Use of polyvinylhalogenides or derivatives thereof as moulding material
- B29K2027/12—Use of polyvinylhalogenides or derivatives thereof as moulding material containing fluorine
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Lining Or Joining Of Plastics Or The Like (AREA)
- Non-Disconnectible Joints And Screw-Threaded Joints (AREA)
- Rigid Pipes And Flexible Pipes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は，液体を通流させるために配管される管財に関
し，特に，超高純度の水，化学薬品等の通流に適した接
合可能な管材およびその製造方法に関する。
し，特に，超高純度の水，化学薬品等の通流に適した接
合可能な管材およびその製造方法に関する。
（従来の技術） 近年，半導体などの電子部品の製造工程において必要な
水や化学薬品は超高純度であることが要求される。従っ
て，その通流時に外部から不純物が根入したり通液が外
部へ洩れ出ないことが必須要件となる。半導体の製造工
程に必要なこれら液体は，耐薬品性・耐蝕性に優れたフ
ッ素樹脂製の管材でなる配管内を通流する。フッ素樹脂
製の管材としては，従来，ポリテトラフルオロエチレン
（ＰＴＦＥ）が耐薬品性・耐蝕性に優れ，しかも廉価で
あるとの理由から，頻繁に使用されている。配管に際し
重要なことは，管財同士の接合部における通液の漏れお
よび外部からの不純物の混入を確実に防止することであ
る。上述の配管がＰＴＦＥ製の管材でなる場合には，Ｐ
ＴＦＥがその物理特性のゆえに溶融されにくく，それゆ
え，ＰＴＦＥで作られた管材同士を溶着することができ
ない。ＰＴＦＥ製の管材同士の接合は，そのため，各管
材の端部同士を接着材により，あるいは別に製作された
カップリングを用いて行われねばならない。接着剤を用
いる場合には，接着不足や接着剤の経時的劣化などが原
因で，各管材同士の接合部分からの通液の漏れおよび／
もしくは不純物の混入を確実に防止しえない。また，Ｐ
ＴＦＥ製の個々の管材を超高精度で連結させうるカップ
リングを製作し管材に取り付けることは至難であり，し
かも著しいコスト高となる。
水や化学薬品は超高純度であることが要求される。従っ
て，その通流時に外部から不純物が根入したり通液が外
部へ洩れ出ないことが必須要件となる。半導体の製造工
程に必要なこれら液体は，耐薬品性・耐蝕性に優れたフ
ッ素樹脂製の管材でなる配管内を通流する。フッ素樹脂
製の管材としては，従来，ポリテトラフルオロエチレン
（ＰＴＦＥ）が耐薬品性・耐蝕性に優れ，しかも廉価で
あるとの理由から，頻繁に使用されている。配管に際し
重要なことは，管財同士の接合部における通液の漏れお
よび外部からの不純物の混入を確実に防止することであ
る。上述の配管がＰＴＦＥ製の管材でなる場合には，Ｐ
ＴＦＥがその物理特性のゆえに溶融されにくく，それゆ
え，ＰＴＦＥで作られた管材同士を溶着することができ
ない。ＰＴＦＥ製の管材同士の接合は，そのため，各管
材の端部同士を接着材により，あるいは別に製作された
カップリングを用いて行われねばならない。接着剤を用
いる場合には，接着不足や接着剤の経時的劣化などが原
因で，各管材同士の接合部分からの通液の漏れおよび／
もしくは不純物の混入を確実に防止しえない。また，Ｐ
ＴＦＥ製の個々の管材を超高精度で連結させうるカップ
リングを製作し管材に取り付けることは至難であり，し
かも著しいコスト高となる。
近時，フッ素樹脂として，溶融成形の可能なテトラフル
オロエチレン−パ−フルオロビニルエーテル共重合体
（ＰＦＡ），テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロ
プロピレン共重合体（ＦＥＰ），テトラフルオロエチレ
ン−エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）等が開発されてい
る。これらのフッ素樹脂を管財に成形し，これを配管す
る場合には，管材同士を熱融着により簡単かつ確実に接
合させることができる。従って，接合部における通液の
漏れおよび外部からの不純物の混入を確実に防止し得
る。しかしながら，これらのフッ素樹脂はいづれも高価
であるため，これを配管用に用いることは経済性の点で
問題がある。
オロエチレン−パ−フルオロビニルエーテル共重合体
（ＰＦＡ），テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロ
プロピレン共重合体（ＦＥＰ），テトラフルオロエチレ
ン−エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）等が開発されてい
る。これらのフッ素樹脂を管財に成形し，これを配管す
る場合には，管材同士を熱融着により簡単かつ確実に接
合させることができる。従って，接合部における通液の
漏れおよび外部からの不純物の混入を確実に防止し得
る。しかしながら，これらのフッ素樹脂はいづれも高価
であるため，これを配管用に用いることは経済性の点で
問題がある。
またＰＴＦＥ製の二つの成形体を，ＰＦＡ製を中間層と
して互いに接合された複合成形体が開発されている（特
公昭56-36064号公報参照）。この複合体は高圧力下，お
よび高温下で製造される。このような成形体は，それ自
体の接合性は良好である。しかし，一旦製造された成形
体同士を別の成形体を介して接合させることは，結局Ｐ
ＴＦＥ製の成形体同士を接着剤により接合させることに
なり，従って，この接合成形体を管財として用いること
は前述のＰＴＦＥ製の管材同士を接着剤により接合させ
る場合と同様の問題を生じる。
して互いに接合された複合成形体が開発されている（特
公昭56-36064号公報参照）。この複合体は高圧力下，お
よび高温下で製造される。このような成形体は，それ自
体の接合性は良好である。しかし，一旦製造された成形
体同士を別の成形体を介して接合させることは，結局Ｐ
ＴＦＥ製の成形体同士を接着剤により接合させることに
なり，従って，この接合成形体を管財として用いること
は前述のＰＴＦＥ製の管材同士を接着剤により接合させ
る場合と同様の問題を生じる。
（発明が解決しようとする問題点） 本発明は上記従来の問題点を解決するものであり，その
目的は熱融着による接合が可能であり，通液の漏れおよ
び外部からの不純物の混入を確実に防止し得る新規な管
材およびその製造方法を提供することにある。本発明の
他の目的は，配管に際しての接合が容易な新規な管財お
よびその製造方法を提供することにある。本発明のさら
に他の目的は，廉価であって経済性に優れた管財および
その製造方法を提供することにある。
目的は熱融着による接合が可能であり，通液の漏れおよ
び外部からの不純物の混入を確実に防止し得る新規な管
材およびその製造方法を提供することにある。本発明の
他の目的は，配管に際しての接合が容易な新規な管財お
よびその製造方法を提供することにある。本発明のさら
に他の目的は，廉価であって経済性に優れた管財および
その製造方法を提供することにある。
（問題点を解決するための手段） 本発明の管財は，溶融成形不可能なポリテトラフルオロ
エチレン（ＰＴＦＥ）よりなる本体部と，該本体部の少
なくとも一方の端部に溶融成形可能なフッ素樹脂よりな
る接合部を一体成形してなりそのことにより上記目的が
達成される。
エチレン（ＰＴＦＥ）よりなる本体部と，該本体部の少
なくとも一方の端部に溶融成形可能なフッ素樹脂よりな
る接合部を一体成形してなりそのことにより上記目的が
達成される。
接合部はテトラフルオロエチレン−パーフルオロビニル
エーテル共重合体（ＰＦＡ），テトラフルオロエチレン
−ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ），もし
くはテトラフルオロエチレン−エチレン共重合体（ＥＴ
ＦＥ）よりなる。本体部は直線状，円弧状，もしくはＬ
字状に形成され，したがって得られる管材はそれぞれ筒
状管材，曲管材，もしくはＬ型管財である。
エーテル共重合体（ＰＦＡ），テトラフルオロエチレン
−ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ），もし
くはテトラフルオロエチレン−エチレン共重合体（ＥＴ
ＦＥ）よりなる。本体部は直線状，円弧状，もしくはＬ
字状に形成され，したがって得られる管材はそれぞれ筒
状管材，曲管材，もしくはＬ型管財である。
該管材は，ダイシリンダーの軸心にマンドレルを配し，
充填部，焼成部および冷却部を順次構成してなるキャビ
ティ部の該充填部に，溶融成形可能なフッ素樹脂，溶融
成形不可能なポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦ
Ｅ），および溶融成形不可能なフッ素樹脂を順次圧入す
ることにより製造される。
充填部，焼成部および冷却部を順次構成してなるキャビ
ティ部の該充填部に，溶融成形可能なフッ素樹脂，溶融
成形不可能なポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦ
Ｅ），および溶融成形不可能なフッ素樹脂を順次圧入す
ることにより製造される。
（実施例） 以下に本発明を実施例について説明する。
本発明に係る管材は，第１図に示すように，円筒状の本
体部１の各端部に，本体部１よりも充分に短い接合部
２，２をそれぞれ同軸に一体成形してなる。本体部１
は，溶融粘度が高く，融点以上でも流動しないＰＴＦＥ
で作られる。接合部２は，溶融成形可能な，例えば，Ｐ
ＦＡで作られる。
体部１の各端部に，本体部１よりも充分に短い接合部
２，２をそれぞれ同軸に一体成形してなる。本体部１
は，溶融粘度が高く，融点以上でも流動しないＰＴＦＥ
で作られる。接合部２は，溶融成形可能な，例えば，Ｐ
ＦＡで作られる。
本発明に係る管材は，第１図に示すような直管材に限ら
ず，例えば第２図に示すように，本体部１が円弧状に屈
曲してなる曲管材，あるいは第３図に示すように，本体
部がＬ字状に成形され，したがって全体がＬ型をなす管
材であってもよい。
ず，例えば第２図に示すように，本体部１が円弧状に屈
曲してなる曲管材，あるいは第３図に示すように，本体
部がＬ字状に成形され，したがって全体がＬ型をなす管
材であってもよい。
本発明に係る管材同士の接合は，各管材の端部を構成す
る溶融容易なＰＦＡ製接合部２同士を熱融着させること
によりなされる。接合時に必要に応じて接合部内面を円
滑に成形する。これにより両者は堅固に接続され，接合
部における漏れおよび外部からの不純物の混入が確実に
防止できる。
る溶融容易なＰＦＡ製接合部２同士を熱融着させること
によりなされる。接合時に必要に応じて接合部内面を円
滑に成形する。これにより両者は堅固に接続され，接合
部における漏れおよび外部からの不純物の混入が確実に
防止できる。
本体部の管材は，例えば，次のようにして製造される： 第４図に示すように，用いられる管材成形型100は，外
型としてのダイシリンダー４とこのダイシリンダー４に
同軸に配置された内型としてのマンドレル３とを有す
る。ダイシリンダー４とマンドレル３とで形成されるキ
ャビティ部10は，所望の管材と同一形状をなし，その上
部から下部に沿って順次充填部41，焼成部42，および冷
却部43を構成している。充填部41の上方は押出機40に接
続され，管材の成形に必要な樹脂材料がこの押出機40か
ら充填部41へ加圧充填される。この充填部41は接合部樹
脂材料，例えばＰＦＡを溶融させる温度（約310 ℃）に
保持されている。焼成部42は，本体部樹脂材料のＰＴＦ
Ｅを焼成するが接合部樹脂材料のＰＦＡを熱分解させな
い温度（約360 〜400 ℃）に保持されている。
型としてのダイシリンダー４とこのダイシリンダー４に
同軸に配置された内型としてのマンドレル３とを有す
る。ダイシリンダー４とマンドレル３とで形成されるキ
ャビティ部10は，所望の管材と同一形状をなし，その上
部から下部に沿って順次充填部41，焼成部42，および冷
却部43を構成している。充填部41の上方は押出機40に接
続され，管材の成形に必要な樹脂材料がこの押出機40か
ら充填部41へ加圧充填される。この充填部41は接合部樹
脂材料，例えばＰＦＡを溶融させる温度（約310 ℃）に
保持されている。焼成部42は，本体部樹脂材料のＰＴＦ
Ｅを焼成するが接合部樹脂材料のＰＦＡを熱分解させな
い温度（約360 〜400 ℃）に保持されている。
まず，所定量の粉末状ＰＦＡ５がキャビティ部10内へ圧
入され，次いで，その上から所定量の粉末状のＰＴＦＥ
６が圧入される。次いで，されにその上から所定量の粉
末状ＰＦＡ５が圧入される。先に投入された粉末状ＰＦ
Ａ５は充填部41で溶融されつつ，その上の粉末状ＰＴＦ
Ｅ６におされて焼成部42に達する。溶融ＰＦＡ５はこの
焼成部42においても溶融状態を維持する。粉末状ＰＴＦ
Ｅ６は，その上に粉末状ＰＦＡ６に押されてキャビティ
部形状に沿った塊状となり充填部41を経て焼成部42に達
する。塊状ＰＴＦＥ６はこの焼成部42にて焼成され粒子
相互が分子レベルで融着する。ＰＴＦＥ６は溶融される
ことなく固形状態を保つため，溶融ＰＴＡ５と塊状もし
くは焼成ＰＴＦＥ６との界面はキャビティ部10内で終始
乱れることがない。しかも，固形状態を保つＰＴＦＥ６
は溶融ＰＦＡ５の加圧材としても有効に機能する。次い
で，これら樹脂材料はキャビティ部10内を進み，冷却部
43に達成する。ここで冷却されてのち下端開口部44から
系外へ排出される。排出された成形品は本体部がＰＴＦ
Ｅでなりその両端部がそれぞれＰＦＡでなる第１図に示
された筒状管材である。本体部１と両端部2,2 との界面
は平滑である。三者は堅固に一体化しており，ＪＩＳ規
定にもとづく破壊試験にパスすることが確認された。
入され，次いで，その上から所定量の粉末状のＰＴＦＥ
６が圧入される。次いで，されにその上から所定量の粉
末状ＰＦＡ５が圧入される。先に投入された粉末状ＰＦ
Ａ５は充填部41で溶融されつつ，その上の粉末状ＰＴＦ
Ｅ６におされて焼成部42に達する。溶融ＰＦＡ５はこの
焼成部42においても溶融状態を維持する。粉末状ＰＴＦ
Ｅ６は，その上に粉末状ＰＦＡ６に押されてキャビティ
部形状に沿った塊状となり充填部41を経て焼成部42に達
する。塊状ＰＴＦＥ６はこの焼成部42にて焼成され粒子
相互が分子レベルで融着する。ＰＴＦＥ６は溶融される
ことなく固形状態を保つため，溶融ＰＴＡ５と塊状もし
くは焼成ＰＴＦＥ６との界面はキャビティ部10内で終始
乱れることがない。しかも，固形状態を保つＰＴＦＥ６
は溶融ＰＦＡ５の加圧材としても有効に機能する。次い
で，これら樹脂材料はキャビティ部10内を進み，冷却部
43に達成する。ここで冷却されてのち下端開口部44から
系外へ排出される。排出された成形品は本体部がＰＴＦ
Ｅでなりその両端部がそれぞれＰＦＡでなる第１図に示
された筒状管材である。本体部１と両端部2,2 との界面
は平滑である。三者は堅固に一体化しており，ＪＩＳ規
定にもとづく破壊試験にパスすることが確認された。
成形操作中，各樹脂材料間の界面に乱れが生じないた
め，最終的に得られる管材成形品の本体部１と端部２と
の各寸法は各樹脂材料の投入量により一義的に決まる。
それゆえ，ＰＦＡとＰＴＦＥとの樹脂材料の所定量を交
互に型100 内へ投入することにより，ＰＦＡとＰＴＦＥ
とでなる所定長の複合管材が得られうる。
め，最終的に得られる管材成形品の本体部１と端部２と
の各寸法は各樹脂材料の投入量により一義的に決まる。
それゆえ，ＰＦＡとＰＴＦＥとの樹脂材料の所定量を交
互に型100 内へ投入することにより，ＰＦＡとＰＴＦＥ
とでなる所定長の複合管材が得られうる。
キャビティ部10の形状は直線状に限定されることはな
く，円弧状やＬ字状とすることにより，第２図に示され
るような曲管材や第３図に示されるようなＬ型管材が成
形されうる。
く，円弧状やＬ字状とすることにより，第２図に示され
るような曲管材や第３図に示されるようなＬ型管材が成
形されうる。
（発明の効果） 本発明は管材はこのように，溶融成形不可能なＰＴＦＥ
製の本体部の少なくとも一方の端部に，ＰＦＡ等の溶融
成形可能なフッ素樹脂製の接合部を一体成形して得られ
るため，配管に際し，連結すべき管材の接合端部同士を
熱融着することにより管材同士を簡単かつ確実に接合し
うる。従って，配管現場においても格別の熟練を要する
ことなく管財同士の接合が容易になされうる。管材同士
を熱溶着により接続できるため，接続部からの通液の漏
れおよび外部から管内への不純物の混入のおそれがな
い。１つの管材における本体部と接合部とは一体成形さ
れているため，両者の接続部における通液の漏れおよび
外部から管内への不純物の混入のおそれのないことはい
うまでもない。ＰＦＡ等の高価なフッ素樹脂を１本の管
材における端部にしか使用しないため，得られる管材は
経済性にも優れている。
製の本体部の少なくとも一方の端部に，ＰＦＡ等の溶融
成形可能なフッ素樹脂製の接合部を一体成形して得られ
るため，配管に際し，連結すべき管材の接合端部同士を
熱融着することにより管材同士を簡単かつ確実に接合し
うる。従って，配管現場においても格別の熟練を要する
ことなく管財同士の接合が容易になされうる。管材同士
を熱溶着により接続できるため，接続部からの通液の漏
れおよび外部から管内への不純物の混入のおそれがな
い。１つの管材における本体部と接合部とは一体成形さ
れているため，両者の接続部における通液の漏れおよび
外部から管内への不純物の混入のおそれのないことはい
うまでもない。ＰＦＡ等の高価なフッ素樹脂を１本の管
材における端部にしか使用しないため，得られる管材は
経済性にも優れている。
第１図は本発明の管材の一実施例を示す側面図，第２図
および第３図は，それぞれ本発明の管材の他の実施例を
示す側面図，第４図は本発明に係る管材の製造に使用さ
れる成形装置の一例を示す縦断面図である。 １……本体部，２……接合部，３……マンドレル，４…
…ダイシリンダー，５……ＰＦＡ，６……ＰＴＦＥ，10
……キャビティ部，41……充填部，42……焼成部，100
……成形型。
および第３図は，それぞれ本発明の管材の他の実施例を
示す側面図，第４図は本発明に係る管材の製造に使用さ
れる成形装置の一例を示す縦断面図である。 １……本体部，２……接合部，３……マンドレル，４…
…ダイシリンダー，５……ＰＦＡ，６……ＰＴＦＥ，10
……キャビティ部，41……充填部，42……焼成部，100
……成形型。
Claims (10)
- 【請求項１】溶融成形不可能なポリテトラフルオロエチ
レン（ＰＴＦＥ）よりなる本体部と，該本体部の少なく
とも一方の端部に溶融成形可能なフッ素樹脂よりなる接
合部を一体成形してなる管材。 - 【請求項２】前記接合部はテトラフルオロエチレン−パ
ーフルオロビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ），テトラ
フルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体
（ＦＥＰ），もしくはテトラフルオロエチレン−エチレ
ン共重合体（ＥＴＦＥ）よりなる特許請求の範囲第１項
に記載の管材。 - 【請求項３】前記本体部は直線状である特許請求の範囲
第１項に記載の管材。 - 【請求項４】前記本体部は円弧状である特許請求の範囲
第１項に記載の管材。 - 【請求項５】前記本体部はＬ字状である特許請求の範囲
第１項に記載の管材。 - 【請求項６】ダイシリンダーの軸心にマンドレルを配
し，充填部，焼成部および冷却部を順次構成してなるキ
ャビティ部の該充填部に，溶融成形可能なフッ素樹脂，
溶融成形不可能なポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦ
Ｅ），および溶融成形不可能なフッ素樹脂を順次圧入す
る管材の製造方法。 - 【請求項７】前記フッ素樹脂の溶融温度はＰＴＦＥの溶
融温度よりも低い特許請求の範囲第６項に記載の管材の
製造方法。 - 【請求項８】前記充填部の温度は成形可能なフッ素樹脂
の溶融温度に保持されている特許請求の範囲第７項に記
載の管材の製造方法。 - 【請求項９】前記焼成部の温度はＰＴＦＥのみを焼成
し，前記フッ素樹脂を熱分解させない温度に保持されて
いる特許請求の範囲第８項に記載の管材の製造方法。 - 【請求項１０】前記成形可能なフッ素樹脂はテトラフル
オロエチレン−パーフルオロビニルエーテル共重合体
（ＰＦＡ），テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロ
プロピレン共重合体（ＦＥＰ），もしくはテトラフルオ
ロエチレン−エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）である特許
請求の範囲第７項に記載の管材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24248085A JPH0631656B2 (ja) | 1985-10-29 | 1985-10-29 | 管材およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24248085A JPH0631656B2 (ja) | 1985-10-29 | 1985-10-29 | 管材およびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62101987A JPS62101987A (ja) | 1987-05-12 |
| JPH0631656B2 true JPH0631656B2 (ja) | 1994-04-27 |
Family
ID=17089710
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24248085A Expired - Lifetime JPH0631656B2 (ja) | 1985-10-29 | 1985-10-29 | 管材およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0631656B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2587939B2 (ja) * | 1987-05-27 | 1997-03-05 | 王子ゴム化成株式会社 | ポリテトラフルオルエチレンを含有するシ−トのライニング方法 |
| JP2005189208A (ja) * | 2003-12-26 | 2005-07-14 | Asahi Organic Chem Ind Co Ltd | 導電率計用検出器 |
-
1985
- 1985-10-29 JP JP24248085A patent/JPH0631656B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62101987A (ja) | 1987-05-12 |
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