JPS62100910A - 化合物超電導体の製造方法 - Google Patents

化合物超電導体の製造方法

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JPS62100910A
JPS62100910A JP60240542A JP24054285A JPS62100910A JP S62100910 A JPS62100910 A JP S62100910A JP 60240542 A JP60240542 A JP 60240542A JP 24054285 A JP24054285 A JP 24054285A JP S62100910 A JPS62100910 A JP S62100910A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、化合物超電導体、とくに長尺のA−15型化
合物超電導体又は長尺のシェブレル型化合物超電導体を
安定にかつ効率よく製造する方法に関する。
(従来の技術) 周知のように、現在実用化されている化合物超電導体に
はNJSnとV5Gaがあり、これらはいずれも表面拡
散法、複合加工法等、金属元素間の拡散反応を利用した
方法によって作製されている。しかしNb3Sn又はV
 3G aを用いて作成したマグネットは、これらの上
部臨界磁界が20テスラ程度であるため、20テスラま
での磁界発生が限界とされている。
一方、上述のNb3Sn 、 V3Gaより優れた超電
導特性をもつA−15型化合物超電導体として、Nbμ
tt Nb3Ga 、 Nb5Gs t Nb5(At
−Go )が知られ、又はシェプレル型化合物超電導体
としてPbMo6SB等が知られておシ、これらはいず
れも30テスラ以上の上部臨界磁界をもつ。しかしこれ
らA−15型化合物超電導体やシェプレル型化合物超電
導体を上述の拡散法で作製すると、作製温度が極めて高
いため、結晶粒が粗大化する。その結果超電導マグネ、
トヘ応用する際の重要な因子である臨界電流密度が著し
く低下してしまう。別の作製方法として、スパッタリン
グ、CvDなどの気相蒸着法があるが、いずれも実験室
規模のもので、生成速度に限界がある。
このためこれらの方法では、現在@1備、長さ教訓、厚
さ2〜3μm程度の超電導体を得るのが限度であった。
このように従来法では、超電導体の長尺化が困難である
という問題があるとともに、膜厚が2〜3μmのもので
しか良好な超電導特性を得られないために、臨界電流が
せいぜい数100 mA程度と小さなものである。
以上の如く、上に述べたA−15型化合物超電導体やシ
ェプレル型化合物超電導体は、Nb3Sn 、 V3G
aよシ高い臨界温度及び高い上部臨界磁界を持つことが
わかっているが、臨界電流及び臨界電流密度が高くかつ
長尺化できるように作製する方法が解決されていなかっ
た。
(発明が解決しようとする問題点) この発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、その目
的とするととろけ、長尺でかつ高い臨界電流を持つA−
15型化合物超電導体又はシェプレル温化合物超電導体
を容易にしかも安定して製造することができる方法を提
供することにある。
(問題点を解決するための手段) この発明は、A−15型化合物超電導体又はシェプレル
型化合物超電導体の製造方法において、 前記超電導体を構成する複数の構成元素のうち少なくと
も1つ以上の元素を有する粉末の成形体又は焼結体であ
る第1の複合体を製造し、この第1の複合体を残りの構
成元素を有する融体中に浸漬することにより前記第1の
複合体の間隙に融体を浸透させた後凝固して第2の複合
体を得る第1の工程と、 第1の工程で得た第2の複合体にレーザービームを照射
して加熱して前記第2の複合体中に化合物超電層を生成
する第2の工程と、を具備してなる化合物超電導体の製
造方法である。
さらにこの発明を詳細に述べる。
第1の工程 ニオブを主成分とする粉末又はニオブを主成分とする複
数の線材を用いて所定形状の焼結体あるいは粉末を加圧
成形した成形体などからなる第1の複合体を製造する。
ここでニオブを主成分とするとは、ニオブ単体に限らす
ニオブにアルミニウム、ゲルマニウム及びガリウムの1
種又は2種を混合したものを含むことを意味する。ただ
しこの場合、第1の複合体の融点が、融体の融点よシ高
い必要がある。
次にこの第1の複合体を、アルミニウム、ゲルマニウム
及びガリウムから選択された1種又は2種以上の融体中
に漬浸して第2の複合体を作製する。この場合、第2の
複合体中に占める融体の割合は、体積百分率で5〜50
%が望ましい。融体が少なすぎると第2の工程でレーザ
照射を行ってもA−15型化合物が十分生成されず、又
多すぎるとA−15型化合物以外の化合物が生成され、
いずれも超電導特性が著しく劣化してしまうためである
。第2の複合体中に占める融体の割合を調節するには、
第1の複合体の焼結条件、加圧条件などを変えて空孔率
などを調整することによりおこなう。
なお前記第1の複合体は融体に浸漬する前又は後にニオ
ブ管内に挿入して、後工程での加工をしやすいようにし
ておくのがよい。
シェプレル型化合物超電導体を製造する場合まずM(M
は鉛、スズ、銅及び銀から選択された1の金属元素)、
Mの硫化物、硫黄、モリプデy及びモリブデンの硫化物
のグループから選択された1種又は2種以上の粉末から
焼結体あるいは粉末を圧粉成形した成形体などからなる
第1の複合体を作る。
次いで前記グループから選択された1種又は2種以上の
成分からなシその融点が第1の複合体のそれよりも低い
成分の融体中に、第1の複合体を浸漬した後凝固して第
2の複合体を作る。
具体的に挙げれば、Mの粉末、Mの硫化物の粉末又はこ
れらの混合物と、MO粉末、MO硫化物粉末又はこれら
の混合物とを混合して第1の複合体を作り、これを硫黄
の融体中に浸漬して第2の複合体を作る。あるいはモリ
ブデン硫化物粉末の第1の複合体を金JFJ4Mの融体
に浸漬した後凝固して第2の複合体を作る。あるいはモ
リブデン硫化物の粉末に、金属Mの硫化物粉末、モリブ
デン粉末及びこれらの混合物から選択された1の粉末を
加えて第1の複合体を作シ、これを金属Mの融体中に浸
漬した後凝固して第2の複合体を作製する。
なお前記第1の複合体は融体に浸漬する前又は後にモリ
ブデン管内に挿入して、後工程での加工を行ないやすい
ようにしておくのがよい。
第2の工程 第1の工程で得られた第2の複合体にレーザービームを
照射する。レーザービームの照射は、真空中あるいはA
rガス中で行われる。そして、レーザービームのパワー
密度は、照射個所で104 W/cm2以上に設定され
る。104W/cy2未満では、試料が充分に加熱され
ず、構成元素同志が反応しない。したがって、化合物超
電導体を形成することはできない。また、第2の工程に
、レーザービーム照射前後に熱処理を行なう工程を含ま
せると好ましい結果が得られる。これらの熱処理工程は
、超電導特性の向上に寄与する。
特に、レーザービーム照射前の熱処理は、構成元素同志
を予備的に反応させ、その後のレーザービーム照射によ
る超電導体の形成を助ける役目をする。ただし、この時
の熱処理温度を400〜2000℃好ましくは800〜
1500℃に限定する必要がある。熱処理温度が400
℃未満では構成元素同志の反応がほとんど進まず、20
00℃を越えると超電導体以外の化合物が形成されて好
ましい結果は得られない。一方、レーザービーム照射後
の熱処理は、レーザービーム照射で形成された化合物の
結晶の規則性を高め、超電導特性の向上に寄与する。こ
の場合も、熱処理温度を300〜1500℃好ましくは
500〜1000℃に限定する必要がある。熱処理温度
が300℃未満では元素の移動がほとんど起こらないた
め結晶の規則性の改善にはほとんど寄与しない。熱処理
温度が1500℃を越えると結晶粒の粗大化が顕著とな
シ、かえって超電導特性が劣化する。
(発明の効果) 本発明製造方法によれば、レーザービーム照射による急
加熱、及び照射終了後の急冷却の効果によシ特性の優れ
たA−15型化合物超電導体またはシェブレル型化合物
超電導体を容易に作製することができる。特に、本発明
製造方法では、第1の工程において、焼結体を融体に浸
漬した後凝固して複合体を作製しているので、複合体を
構成する各成分の密着性がよくなり、反応性が向上し、
その結果得られる化合物超電導体の性能を向上すること
ができる。また第2の工程では、第1の工程によって得
られた第2の複合体の表面に、単にレーザービームを照
射するだけなので、レーザービームを固定し成形加工物
を高速で移動させるか、第2の複合体を固定してレーザ
ービームを高速で掃引するなどによって長尺の超電導体
を容易に作製することができる。また、レーザービーム
の照射によって厚さ数100μmの超電導体層を形成す
ることが可能であるため臨界電流工。の充分高い超電導
体を作製することができる。
このように、本発明製造方法によれば、現在実用化され
ているNb 5Sn 、 V3Gaに比べて臨界温度T
O1臨界磁界Be2、臨界電流密度Jcがはるかに高く
、シかも長尺の化合物超電導体を容易に製造することが
できる。したがって、より強磁界を発生させる超電導マ
グネ、トの実現に寄与することができる。また、従来の
Nb3Sn 。
V 5G m超電導体は、複合加工法によりて作製され
ているため、線引き、押し出し、中間焼鈍等の多くの工
程を必要とし、さらに最終工程の拡散熱処理にも数10
〜数100時間を必要としている。しかし、本発明製造
方法によれば、極く短時間のレーザービーム照射で超電
導体を作製できるので、製造コストを大幅に低減させる
ことができる。
(発明の実施例) 以下この発明の実施例につき説明する。
実施例I A−15型化合物超電導体の製造 純度99チ、粒径100μmのNb粉末200gを加圧
、成形し、2200℃で1時間加熱して焼結した。この
焼結体(第1の複合体)を約800℃のAt浴中に浸し
て、焼結体の間隙にAtを浸透させて凝固し第2の複合
体を得た。この場合第2の複合体に占めるAtの割合は
20容量チであった。次いでこれをNb管内に挿入し、
しかる後線引き、圧延して幅4II1m1厚さ200μ
mのテープ状複合体(試料番号1)を得た。融体の材質
を代えた以外他の製造条件を同じとして複合体(試料番
号2〜5)を得た(下記表IA欄参照) このようにして準備された試料の表面に、レーザービー
ム照射を行なりて化合物超電導層を形成した。ここで使
用したレーザー照射装置1は第1図に示す構造である。
すなわち、図中2は、C02レーザー発振器(最大出力
10 kW )である。このCO2レーザー発振器2か
ら送出されたレーザービーム3はCu製の反射*(、Z
n5e製のレンズ5を介して真空容器6内に導かれるよ
うになっている。真空容器6内には試料7を送シ出す送
シトラム8と、試料7を巻取る巻取シトラム9とが設け
てあシ、送シトラム8から送シ出された試料7はレーザ
ービーム3の照射を受けた後、巻取シトラム9に巻取ら
れるようになっている。また、真空容器6は排気ポンプ
10およびArガスボンベ11に選択的に接続されるよ
うになっている。
しかして、各試料へのレーザービーム照射を次のように
して行なった。すなわち、まず、試料7を送りドラム8
と巻取りドラム9とにセットした後、真空容器6内を1
Qtorrまで減圧し、続いてArガスを導入して1気
圧とした。次に、試料7を巻取りドラム8から10 m
/minの速度で巻戻しながら表1に示すパワー密度の
レーザービーム3(レーザービーム径1 wm )を試
料7の表面に照射した。このようKして照射を終えた試
料、たとえばパワー密度3.lX105W/cIn(ハ
フ−2,5kW、ビーム径1■)のレーザービームを照
射した各試料を観察したところ第2図に示すように、試
料7の表面側に幅約0.5m、深さ約0.1 vmの化
合物超電導層12が形成されていた。そして、その表面
は、溶接跡の如きであった。
このように化合物超電導層の形成された各試料について
、臨界温度Teと、17テスラでの臨界電流Icとを測
定したところ表1のb欄に示す結果が得られた。この結
果から分かるように各試料ともTcが充分高く、またI
cもIOA以・上の値となっている。これは臨界電流密
度Jcに換算すると4 X 10 A/11 以上と大
きな値である。従来の気相蒸着法で得られた化合物超電
導体のIcは高々数100mAであることを考えると本
製造方法の採用によって2桁程度以上に改善されたこと
になる。
また、各試料について、長さ方向の特性を調べたところ
、長さ30mについて表1のb欄の特性と同一であるこ
とが確認された。すなわち、本製造方法の採用によって
、充分に高いToと工。とを有した長尺の化合物超電導
体を簡単に作製することができる。したがって、本製造
方法で作製された化合物超電導体を用いれば、従来不可
能とされていた20テスラあるいはそれ以上の強磁界を
発生する超電導マグネットの製作が可能である。
一方、レーザービーム照射後に各試料の一部分に、70
0℃て100時間の熱処理を施してみた。その結果、表
1のc[に示すように、各試料ともIK以上のToの増
加が認められ、さらに17テスラにおけるIcの増加も
認められた。
また、レーザービーム照射前に各試料の一部分に、10
00℃で30分間の熱処理を施してみた。レーザービー
ム照射後に各試料の上記部分についてTcと■。とを測
定したところ、表1のd欄に示すようにそれぞれ改善さ
れていることが確認された。
さらに、表1のd欄の結果を得た各試料の一部に、レー
ザービーム照射後に700℃、100時間の熱処理を施
してみた。これらの部分について、TcとIcとを測定
したところ表1のe欄に示すように各試料ともTo、I
。の増加が認められた。したがって、レーザービーム照
射前後に熱処理を行なうことは有効であることが分った
実施例2 純度99チ、直径300μmのNb細線を約SOO本束
ねてNb管に挿入し、2200℃で1時間加熱してNb
線同志を焼結した。これを約800℃のAt−10原子
チGe浴中に浸して焼結体(第1の複合体)の間隙にA
t−G5合金を浸透させて凝固し第2の複合体を得た。
この場合筒2の複合体に占めるAt−G5合金の割合は
20容量チであった。次いでこれを線引き、圧延して幅
7闘、厚さ0.2 msのテープ状とした。
しかる後テープ状複合体に、実施例1と同様、パワー密
度3. I X 10 W/cm  (ハワー2.5 
kW。
ビーム径1日)のレーザービームを照射した。
このようにして得られた試料について、To及び17テ
スラでの工。を測定した結果、それぞれ17.OK、2
2Aの値が得られた。この試料をさらに700℃で10
0時間熱処理するとTc及び17テスラのIcはそれぞ
れ19.2K。
25Aに上昇した。
以上の結果から、実施例1で用いたNb粉末に代えてN
b線を使りても、レーザービーム照射によって高い超電
導特性が得られることがわかる。
実施例3 実施例2の焼結体を製造する工程において、使用するN
b線の本数を種々変えて第2の複合体に占めるAt10
原子’16 G6合金の割合を2〜65体積率チとした
試料を作製した。体積率チの算出は、試料の断面を光学
顕微鏡で観察して行なった。
各試料にパワー密度3.1 X 10 W/cm  (
”ツー2,5kW、ビーム径1 wm )のレーザービ
ームを照射して、17テス2での■。を測定し、Nbと
At−G・合金0割合が17テス2での!。に及ぼす影
響について調べた。その結果、第3図に示すように、A
t−Go金合金体積率が5〜50チでIoが特に高くな
っておシ、この範囲のものが良好な超電導特性を有する
A−15型超電導体を得ることがわかる。
実施例4 シェプレル型化合物超電導体の製造 純度99%、粒径100 μmのpb粉末4ONと純度
99.9%、粒径10 μmのMo粉末1601とを混
合した後加圧成形し、次いで300℃で5時間加熱して
焼結した。この焼結体(第1の複合体)を300℃の硫
黄浴中に浸して焼結体の間隙に硫黄を浸透させて凝固し
た後、Mo管に挿入して線引き、圧延して幅4+m、厚
さ200μmのテープ状複合体(試料番号6)を得た。
焼結体及び融体の材質を変えた以外は試料6と同様の方
法で複合体(試料番号7〜10)を作製した(表2&欄
参照)。
このようにして準備された試料の表面に、実施例1と同
じ方法でレーザービームを照射して化合物超電導層を形
成し、この層のTcと17テスラの工。を測定した。そ
の結果表2のb欄に示すように、いずれの試料も十分高
いTcと■。が得られている。試料中のレーザー照射反
応部は、実施例1と同様、幅0.5m、深さ0.1mで
あるから、この場合のJcは4 X I OA/m以上
になる。
次に実施例1と同じく、レーザー照射前後の熱処理の影
響を調べた。表2のC欄はレーザー照射後500℃で1
00時間熱処理した時の値を示し、表2のd欄は、レー
ザービーム照射前に1000℃で30分間熱処理した時
の値、又表26欄はd欄の試料をレーザービーム照射後
500pで100時間熱処理した時の値である。
これらの結果からいずれの場合も熱処理によF) T(
! + IOの増加が認められており、レーザービーム
照射前後に熱処理を行うことは有効であることがわかっ
た。
実施例5 実施例1の表1a欄に示された試料番号2(Nb−Ga
 )及び実施例4の表21欄に示された試料番号6 (
Pb−Mo−8)の試料と同一組成の試料を各8本ずつ
用意した。各試料に1,0XIO3〜1.2 X 10
4 W/cm2の範囲内で異なるパワー密度のレーザー
ビームを照射した。この時のビーム径はいずれもl■で
あった。各試料について、17テスラでのIcを測定し
て工。のレーザーパワー密度依存性を調べた。その結果
第4図に示すように、高い臨界電流工。を得るには10
4W/crn2以上のレーザーパワー密度を必要とする
ことがわかる。ただし、第4図中人はニオブ−ガリウム
、BはPb−Mo−8である。なおこの実施例では、最
大出力10 kWのC02レーザー発振器を用いたため
、1.2 X 104W/cm2(パワー1゜kW、ビ
ーム径1 wa )のパワー密度を越えるレーザービー
ムを照射することができなかったが、第4図の結果から
、1.2 X 104W/cm2を越えるパワー密度で
も十分高い特性が得られると判断できる。
実施例6 実施例1の表1のa欄に示される試料番号5(Nb−A
t−Ge系合金)と同様の障権15本用意し、各試料を
100〜2500℃の範囲内の異なる温度で30分間熱
処理し、しかる後照射個所のパワー密度3. I X 
10”W/e:m2(パワー2.5 kW、ビーム径/
、、)のレーザービームを照射して化合物超電導体を得
た。これら超電導体について、17テスラでの工。を測
定し、■。の熱処理温度依存性を調べた。その結果を第
5図に示する。
なお熱処理を行なっていない同一組成の超電導体の値を
同図Cに示す。
同図から、レーザービーム照射前の熱処理温度は、40
0〜2000℃、とくに800〜1500℃が有効であ
ることがわかる。
実施例7 実施例6で用いた試料と同様の試料を12本用意し、こ
れら各試料を1000℃で30分間熱処理した後、照射
個所のパワー密度3.IX105W/crn2(パワー
2.5 kw、ビーム径1鴫)のレーザービームを照射
した。照射後の各試料について100〜1800℃の範
囲内の異なる温度で100時間熱処理した。このように
して得られた12本の超電導体について17テスラの条
件下で工。を測定した。その結果を第6図に示す。
なお同図中りは、レーザービーム照射後に熱処理を行な
わなかった同一組成の超電導体の値である。
同図から、レーザービーム照射後の熱処理温度は、30
0〜1500℃、とくに500〜1000℃が有効であ
ることがわかる。
実施例8 実施例1の表1のa欄に示される試料番号l(Nb−A
t系合金)と同様の試料を11本用意し、これら試料に
パワー密度3. I X 105W/cm2(パワー2
.5kW、  ビーム径1■)のレーザービームを照射
後、100〜1800℃の範囲内の異なる温度で100
時間の熱処理を行なった。このようにして得られた11
本の超電導体について17テスラの条件下で工。を測定
し、第7図に示す結果を得た。なお図中Eは、レーザー
ビーム照射後に熱処理を行なっていない同一組成の超電
導体の値を示す。
同図から熱処理をレーザービーム照射後だけ行なう場合
も300〜1500℃、とくに500〜1000℃の熱
処理温度が有効であることがわかる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明製造方法の一実施例に用いられたレーザ
照射装置の模式的構成図、第2図は本発明製造方法によ
って製造された化合物超電導体の局部的斜視図、第3図
から第7図は各実施例によって確認された結果を示す図
である。 I・・・レーザ照射装置、2・・・C02レーザ発振器
、3・・・レーザービーム、6・・・真空容器、7・・
・試料、12・・・化合物−超電導層。 出願人代理人  弁理士 鈴 江 武 彦第1図 第2図 0 5ω  1α)O15002(11) 2500し
一叩一且更崩1誓jf)訟ルf!順−(’C)第5図 レー伯惑j号−虻、、λΔノに揺貝ムカL   (’C
)第6図

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)A−15型化合物超電導体又はシェブレル型化合
    物超電導体の製造方法において、 前記超電導体を構成する複数の構成元素のうち少なくと
    も1以上の元素を有する粉末の成形体又は焼結体である
    第1の複合体を製造し、これを残りの構成元素を有する
    融体中に浸漬することにより前記第1の複合体の間隙に
    融体を浸透後凝固させて第2の複合体を得る第1の工程
    と、第1の工程で得た第2の複合体にレーザービームを
    照射して加熱して前記第2の複合体中に化合物超電導層
    を生成する第2の工程と、 を具備してなる化合物超電導体の製造方法。
  2. (2)第1の工程において、第1の複合体は、ニオブを
    主成分とする粉末とし、かつ融体はアルミニウム、ゲル
    マニウム及びガリウムから選択された1又は2以上の元
    素を主成分としている特許請求の範囲第1項記載の化合
    物超電導体の製造方法。
  3. (3)第1の工程において、第1の複合体は、ニオブを
    主成分とする複数の線材からなり、かつ融体はアルミニ
    ウム、ゲルマニウム及びガリウムから選択された1又は
    2以上の元素を主成分としている特許請求の範囲第1項
    記載の化合物超電導体の製造方法。
  4. (4)第2の複合体中に融体が体積%で5〜50%の割
    合で占められる特許請求の範囲第2項又は第3項記載の
    化合物超電導体の製造方法。
  5. (5)第1の工程において第1の複合体は、M(Mは鉛
    、スズ、銅及び銀から選択された1の金属元素)、Mの
    硫化物、硫黄、モリブデン及びモリブデン硫化物のグル
    ープから選択された1種又は2種以上の粉末からなり、
    かつ融体は前記グループから選択された1種又は2種以
    上の成分でかつ前記第1の複合体よりも融点の低い成分
    からなり、第1の複合体に融体を浸透させて得られた複
    合体が金属M、モリブデン及び硫黄を含有してなる特許
    請求の範囲第1項記載の超電導体の製造方法。
  6. (6)第1の複合体は、金属Mの粉末、Mの硫化物の粉
    末及びこれらの混合物から選択された1の粉末と、モリ
    ブデン粉末、モリブデン硫化物粉末及びこれらの混合物
    から選択された1の粉末との混合物からなり、かつ融体
    は硫黄からなる特許請求の範囲第5項記載の超電導体の
    製造方法。
  7. (7)第1の複合体は、モリブデン硫化物の粉末からな
    り、融体は金属Mからなる特許請求の範囲第5項記載の
    超電導体の製造方法。
  8. (8)第1の複合体は、金属Mの硫化物粉末、モリブデ
    ン粉末及びこれらの混合物から選択された1の粉末と、
    モリブデン硫化物粉末との混合物からなり、融体は金属
    Mからなる特許請求の範囲第5項記載の超電導体の製造
    方法。
  9. (9)第1の複合体は複数のモリブデン線からなり、融
    体は金属Mと硫黄とからなる特許請求の範囲第5項記載
    の超電導体の製造方法。
  10. (10)第1の複合体に融体を浸透させる前又は後に第
    1の複合体をニオブ管内に挿入する特許請求の範囲第2
    項、第3項又は第4項記載の化合物超電導体の製造方法
  11. (11)第1の複合体に融体を浸透させる前又は後に第
    1の複合体をモリブデン管内に挿入する特許請求の範囲
    第5項乃至第9項のいずれか1に記載の化合物超電導体
    の製造方法。
  12. (12)第2の工程においてレーザービームのパワー密
    度を照射個所で10^4W/cm^2以上としてなる特
    許請求の範囲第1項記載の化合物超電導体の製造方法。
  13. (13)第2の工程は、第2の複合体にレーザービーム
    を照射する前に、第2の複合体を400〜2000℃で
    熱処理する工程を有している特許請求の範囲第1項記載
    の化合物超電導体の製造方法。
  14. (14)第2の工程は、第2の複合体にレーザービーム
    を照射した後に第2の複合体を300〜1500℃で熱
    処理する工程を有している特許請求の範囲第1項記載の
    化合物超電導体の製造方法。
  15. (15)第1の工程は、第1の複合体に融体を浸透前又
    は後に第1の複合体をニオブ管内に挿入する工程を含み
    、第2の工程は、第2の複合体にレーザービームを照射
    する前に第2の複合体を400〜2000℃で熱処理す
    る工程と、第2の複合体にレーザービームを照射した後
    に第2の複合体を300〜1500℃で熱処理する工程
    とを含む特許請求の範囲第1項記載の化合物超電導体の
    製造方法。
  16. (16)第1の工程は、第1の複合体に融体を浸透前又
    は後に第1の複合体をモリブデン管内に挿入する工程を
    含み、第2の工程は、第2の複合体にレーザービームを
    照射する前に第2の複合体を400〜2000℃で熱処
    理する工程と、第2の複合体にレーザービームを照射し
    た後に第2の複合体を300〜1500℃で熱処理する
    工程とを含む特許請求の範囲第1項記載の化合物超電導
    体の製造方法。
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