JPS6197868U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6197868U JPS6197868U JP1984182473U JP18247384U JPS6197868U JP S6197868 U JPS6197868 U JP S6197868U JP 1984182473 U JP1984182473 U JP 1984182473U JP 18247384 U JP18247384 U JP 18247384U JP S6197868 U JPS6197868 U JP S6197868U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon substrate
- hall element
- compound semiconductor
- insulating film
- depositing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims 1
- 239000010408 film Substances 0.000 claims 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Hall/Mr Elements (AREA)
Description
第１図は本考案によるホール素子を説明する断
面図、第２図はホール素子を説明する上面図、第
３図は従来のホール素子を説明する断面図である
。 主な図番の説明、１はホール素子、２はシリコ
ン半導体基板、３は絶縁膜、４は化合物半導体、
５はコンタクト孔、７は電極である。
面図、第２図はホール素子を説明する上面図、第
３図は従来のホール素子を説明する断面図である
。 主な図番の説明、１はホール素子、２はシリコ
ン半導体基板、３は絶縁膜、４は化合物半導体、
５はコンタクト孔、７は電極である。
Claims (1)
- シリコン基板表面の絶縁膜上に化合物半導体薄
膜を付着させて形成するホール素子において、前
記シリコン基板内に受動素子および能動素子を形
成することにより構成される電子回路とを具備す
ることを特徴とした高出力ホール素子、。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984182473U JPS6197868U (ja) | 1984-11-30 | 1984-11-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984182473U JPS6197868U (ja) | 1984-11-30 | 1984-11-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6197868U true JPS6197868U (ja) | 1986-06-23 |
Family
ID=30740007
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1984182473U Pending JPS6197868U (ja) | 1984-11-30 | 1984-11-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6197868U (ja) |
-
1984
- 1984-11-30 JP JP1984182473U patent/JPS6197868U/ja active Pending