JPS6197322A - エポキシ樹脂組成物 - Google Patents
エポキシ樹脂組成物Info
- Publication number
- JPS6197322A JPS6197322A JP21851284A JP21851284A JPS6197322A JP S6197322 A JPS6197322 A JP S6197322A JP 21851284 A JP21851284 A JP 21851284A JP 21851284 A JP21851284 A JP 21851284A JP S6197322 A JPS6197322 A JP S6197322A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filler
- epoxy resin
- epoxy
- curing agent
- inorganic filler
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
- Epoxy Resins (AREA)
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分封)
不発明はエポキシ(113脂組成物、丑に半導体及び遊
子部品の↓]止用として内部応力が少なく、榎れた耐サ
ーマルショックaを有し、かつ低熱に加重、艮スtな成
形性及び艮好な耐湿信頼性を有する生晦体封止用エポキ
シ&カl1組敢物に関するものである。
子部品の↓]止用として内部応力が少なく、榎れた耐サ
ーマルショックaを有し、かつ低熱に加重、艮スtな成
形性及び艮好な耐湿信頼性を有する生晦体封止用エポキ
シ&カl1組敢物に関するものである。
(従来の技術)
近年、ダイ万一ド、トランジスタ、:l、L8工などの
半導体及び′電子部品の倒BP=刺止処は、機械特性、
−気特性、耐熱性、俵眉注、及び成形加工性などの廓か
らエポキシ煽鵬龜放物が最も広範かつ多急に用いられて
いる。しがし厳近r(おける電子部品の軌薄短少化−?
果a[度の増大に汗って、この刺止剤に要求さ7する特
注は一辰と厳しくなりつつ)η ある。さらに要求されている特注のうちでは応都応力の
低下、’r’fVc鋼サーマルシすック注の向上が重要
となっている。
半導体及び′電子部品の倒BP=刺止処は、機械特性、
−気特性、耐熱性、俵眉注、及び成形加工性などの廓か
らエポキシ煽鵬龜放物が最も広範かつ多急に用いられて
いる。しがし厳近r(おける電子部品の軌薄短少化−?
果a[度の増大に汗って、この刺止剤に要求さ7する特
注は一辰と厳しくなりつつ)η ある。さらに要求されている特注のうちでは応都応力の
低下、’r’fVc鋼サーマルシすック注の向上が重要
となっている。
次にF1′3¥A応力とは、山1tJ Jjiffの鹸
化に伴なう収縮応力、(2)被力止物TIc比べ硬化側
加の熱膨張率がはるかに大なためテーマルンヨック時に
−A住する熱応力なとの、鼓烏止傷にかかる応力のこと
を指している。これによってパッケージのクランク、パ
ツシベー/ヨン朕のクランク、千専捧扇子衣面の記載の
スライド、機能9ノ化、史には半導体素子そのもののク
ランクン失することすら起こっている。
化に伴なう収縮応力、(2)被力止物TIc比べ硬化側
加の熱膨張率がはるかに大なためテーマルンヨック時に
−A住する熱応力なとの、鼓烏止傷にかかる応力のこと
を指している。これによってパッケージのクランク、パ
ツシベー/ヨン朕のクランク、千専捧扇子衣面の記載の
スライド、機能9ノ化、史には半導体素子そのもののク
ランクン失することすら起こっている。
待に近年憫脂到止した半専体素子を各植基板忙実装置る
際、半田及せビもしくは半田リフローで牛田付り°する
ことか多くなっており、また成形体自体もミニンラソト
バッグージのように薄く小さくなっているため、パンケ
ージに大Iトのクランクが発注し、釦象佃°転性の者し
い低下か生じ工いる。
際、半田及せビもしくは半田リフローで牛田付り°する
ことか多くなっており、また成形体自体もミニンラソト
バッグージのように薄く小さくなっているため、パンケ
ージに大Iトのクランクが発注し、釦象佃°転性の者し
い低下か生じ工いる。
このように円S応力に出来する障害、特に耐サーマルシ
ヨツク注の起さか拓島胸止のム大な欠点となっている。
ヨツク注の起さか拓島胸止のム大な欠点となっている。
また上記の円部応力の低減、軸に耐サーマルショック注
の向上忙は2つの方法が考えらrしている。
の向上忙は2つの方法が考えらrしている。
(aJ柄脂の弾性重音低下させる、(b1被封止物と鹸
化樹脂との熱膨張峯の差を/j%さく1−ることである
。
化樹脂との熱膨張峯の差を/j%さく1−ることである
。
(SL)につい℃はシリコン振脂、ブタジェン糸ゴム、
熱可塑性仙脂′4を冷加することで憶々筏肘されている
。(Illについては熱に5ifi−率の少さい無機質
充項勤を高充填1′ることで達成される。しかしながら
従来の粉砕によって装造された充填剤を用いた場合には
、組成@全体fiK対し又75嵐賞う以上尚充填すると
流動性が不足して禾充横を生ずる、尚粘度になるため半
碑体素子とリードフレームを接続している金などのmy
a’yyr:切断してしまう、さらに充填剤の切断面角
が鋭いことなどから金型の摩耗が著しい咎の欠点を有し
ている。
熱可塑性仙脂′4を冷加することで憶々筏肘されている
。(Illについては熱に5ifi−率の少さい無機質
充項勤を高充填1′ることで達成される。しかしながら
従来の粉砕によって装造された充填剤を用いた場合には
、組成@全体fiK対し又75嵐賞う以上尚充填すると
流動性が不足して禾充横を生ずる、尚粘度になるため半
碑体素子とリードフレームを接続している金などのmy
a’yyr:切断してしまう、さらに充填剤の切断面角
が鋭いことなどから金型の摩耗が著しい咎の欠点を有し
ている。
(発明が解決しようとする間j!!!A)本発明はかか
る欠点!解決するものであり、樹脂と混合する充填剤の
切断面の角がないものt生体に用いること虻より、成形
性が良好で、内部応力も像(、特に耐サーマルシヨツク
注の泳れた、耐湿信頼性も良好な半轡体封止用エポキシ
佃脂組成物を提供すること忙ある。
る欠点!解決するものであり、樹脂と混合する充填剤の
切断面の角がないものt生体に用いること虻より、成形
性が良好で、内部応力も像(、特に耐サーマルシヨツク
注の泳れた、耐湿信頼性も良好な半轡体封止用エポキシ
佃脂組成物を提供すること忙ある。
(間勉点を解決するだめの手段)
すなわち本発明は、
(A) エポキシ樹脂
(B)フェノール型硬化剤
+03 無機質充てん剤
を含有した組成物で前記無機充てん剤は、(13実質的
に破断面を有しない充てん剤と113 実質的lC@
L前面を有する充てん仰」であって、しかも充てん剤(
1)が充てん剤(1) + (IIの20〜100重重
チであり、かつ無機充てん剤(0)が組成物全体の75
重貢襲以上からなることを特徴とする。
に破断面を有しない充てん剤と113 実質的lC@
L前面を有する充てん仰」であって、しかも充てん剤(
1)が充てん剤(1) + (IIの20〜100重重
チであり、かつ無機充てん剤(0)が組成物全体の75
重貢襲以上からなることを特徴とする。
本発明に用いられるエポキシ樹脂は、1分子に2個以上
のエポキシ基ン有するものであれはいずれも用いること
が出来る。例えはビスフェノールA型エポキシ樹脂、各
aフェノール類から合成されるノボラック型エポキシ’
a My 、グリシジルエステル型エポキシ徊加、グリ
シジルアミン拗エポキシ樹脂、巌状脂肪終エポキシ樹脂
、脂環式エポキシ警!脂、a素#A型エポキシ劉脂、あ
るいはこレラにm紮、臭素などのハロゲンを導入したエ
ポキシ樹脂などがかげられ、これらのうち1aIもしく
は2棟以上のものが用いられる。これらのうちノボラッ
ク型エポキシ伯脂が時に好ましい。これらのエポキシW
Bk中のイオン性不純物及び分解してイオンになりぷい
成分は少ないtミと好ましく、具体的には遊離のナトリ
ウムイオン、坊素イオンかそス1ぞれ5 ppm以下〃
ひ噌水分解性ハロrンは5LIOppm以下が好ましい
。
のエポキシ基ン有するものであれはいずれも用いること
が出来る。例えはビスフェノールA型エポキシ樹脂、各
aフェノール類から合成されるノボラック型エポキシ’
a My 、グリシジルエステル型エポキシ徊加、グリ
シジルアミン拗エポキシ樹脂、巌状脂肪終エポキシ樹脂
、脂環式エポキシ警!脂、a素#A型エポキシ劉脂、あ
るいはこレラにm紮、臭素などのハロゲンを導入したエ
ポキシ樹脂などがかげられ、これらのうち1aIもしく
は2棟以上のものが用いられる。これらのうちノボラッ
ク型エポキシ伯脂が時に好ましい。これらのエポキシW
Bk中のイオン性不純物及び分解してイオンになりぷい
成分は少ないtミと好ましく、具体的には遊離のナトリ
ウムイオン、坊素イオンかそス1ぞれ5 ppm以下〃
ひ噌水分解性ハロrンは5LIOppm以下が好ましい
。
本発明に用いられるフェノール型硬化剤とじてを工、1
分子中に少なくとも2伽以上の7エノール注水酸基を有
するものが用いられる、例えはフェノール、レゾルシノ
ール、クレゾール、キシレノール、プロピルフェノール
、アミルフェノール、ブチルフェノール、オクチルフェ
ノール、フェニルフェノール、アリルフェノールなどが
単独で、またはそれらを併用して合成されるノボラック
a脂、ホリイソプロペニルフェノール、ポリビニルフェ
ノール類、及びこれらにハロゲン基’t’4人したフェ
ノール型硬化剤などが争げられ、これらのうち1檀もし
くは2檀以上のものが用いられる。
分子中に少なくとも2伽以上の7エノール注水酸基を有
するものが用いられる、例えはフェノール、レゾルシノ
ール、クレゾール、キシレノール、プロピルフェノール
、アミルフェノール、ブチルフェノール、オクチルフェ
ノール、フェニルフェノール、アリルフェノールなどが
単独で、またはそれらを併用して合成されるノボラック
a脂、ホリイソプロペニルフェノール、ポリビニルフェ
ノール類、及びこれらにハロゲン基’t’4人したフェ
ノール型硬化剤などが争げられ、これらのうち1檀もし
くは2檀以上のものが用いられる。
硬化剤の配合量は、硬化剤のフェノール性水飲基とエポ
キシ樹脂のエポキシ基の比がLl、5〜1.5の範囲、
特に好ましくは0.7〜1.2の範囲にあるのが良い。
キシ樹脂のエポキシ基の比がLl、5〜1.5の範囲、
特に好ましくは0.7〜1.2の範囲にあるのが良い。
上記範囲外では耐湿信頼性を低下させるので好ましくな
い。
い。
次に本発明に用いられる充填剤(13としては、実質的
に破vr面を有しない球状、タマゴ状、ひょうたん状、
塊状及び棒状等の少なくとも1徳であることが必要であ
り、好ましくは球状、タマが状及びひようたん状の少な
くとも1植である。実質的に破断面を有しない球状、タ
マゴ状、ひようたん状及びがん状等の無機質充礪剤は、
結晶シリカ、溶融シリカ、アルミナ、理数カルシウム等
の塊lボールミル、振動ミル寺で粉砕し【得た粉末をそ
れらが浴融するよ5な温度の炎もしくはプラズマ中に吹
き込んで、表面のみもしくは全体を浴融し、冷却して製
造するか、もしくはSignαζ−n(nmO〜40警
数)で示されるようなシラン化合物の熱又は化学的分解
、例えはテトラクロルシランガスY500℃程度に加熱
しつつ、水蒸気と接触させて製造することが出来る。こ
れらのうち全てが溶融シリカもしくは表面が溶融されて
いる結晶シリカが好ましい。この充填剤(1)の平均粒
径は0.1〜150μ、好ましくは1〜50μである。
に破vr面を有しない球状、タマゴ状、ひょうたん状、
塊状及び棒状等の少なくとも1徳であることが必要であ
り、好ましくは球状、タマが状及びひようたん状の少な
くとも1植である。実質的に破断面を有しない球状、タ
マゴ状、ひようたん状及びがん状等の無機質充礪剤は、
結晶シリカ、溶融シリカ、アルミナ、理数カルシウム等
の塊lボールミル、振動ミル寺で粉砕し【得た粉末をそ
れらが浴融するよ5な温度の炎もしくはプラズマ中に吹
き込んで、表面のみもしくは全体を浴融し、冷却して製
造するか、もしくはSignαζ−n(nmO〜40警
数)で示されるようなシラン化合物の熱又は化学的分解
、例えはテトラクロルシランガスY500℃程度に加熱
しつつ、水蒸気と接触させて製造することが出来る。こ
れらのうち全てが溶融シリカもしくは表面が溶融されて
いる結晶シリカが好ましい。この充填剤(1)の平均粒
径は0.1〜150μ、好ましくは1〜50μである。
平均粒径が0.1μ未満であると、内部応力低下等の効
果が少なく、150μ!超えると成形時未光撫やワイヤ
ー流れ寺を生することがある。
果が少なく、150μ!超えると成形時未光撫やワイヤ
ー流れ寺を生することがある。
充填剤(Illとしては通常の粉外による充填剤、例え
は結晶シリカ、溶融シリカ、タルク、アルミナ、&a2
カルシウム、飄酸カルシウム、炭峡バリウムあるいはが
ラス板継等の粉末が挙げられる。これらのうちで結晶シ
リカ、浴融シリカの粉末ケ用いることが、筒純度及び低
熱膨張率を有することから好ましい。lた粗性は、15
0μ以下か好ましい。
は結晶シリカ、溶融シリカ、タルク、アルミナ、&a2
カルシウム、飄酸カルシウム、炭峡バリウムあるいはが
ラス板継等の粉末が挙げられる。これらのうちで結晶シ
リカ、浴融シリカの粉末ケ用いることが、筒純度及び低
熱膨張率を有することから好ましい。lた粗性は、15
0μ以下か好ましい。
光柚剤(1)は充吻剤(幻と併用して用い、そして光ダ
剤+11が全充填剤量の20〜100重蓋チである必畳
がある6201′W%未満では流1JJJ性向上の効果
が小さいためである。
剤+11が全充填剤量の20〜100重蓋チである必畳
がある6201′W%未満では流1JJJ性向上の効果
が小さいためである。
本発明のエポキシ樹脂組成物全量に対して、充填剤(1
)と(1)との総和は75窟蓋チ以上、好ましくは75
〜90重被うでなけれはならない。75重量−未満では
内部応力低下がわ1−かで、幇にmブー1ルシヨツク法
が不充分となる。
)と(1)との総和は75窟蓋チ以上、好ましくは75
〜90重被うでなけれはならない。75重量−未満では
内部応力低下がわ1−かで、幇にmブー1ルシヨツク法
が不充分となる。
本発明のエポキシ樹脂組成物には、必賛に応じてイミダ
ゾール=m、i、s−ジアサ゛ビンクロ〔5゜4.0)
−7−ウンデセン寺のアミン類、トリフェニルホスフィ
ンなとの自゛愉、リン化名物寺の硬化促進剤、カルナバ
ワックス、モンタンワックス、島1Ili脂肪歌及びそ
のカルシウム塩、フッ素化合甑シリコンオイルなとの隘
抛創、ノ)ロゲン化エポキシ?J胎や三酸化アンチモン
などの麹燃化剤、カーボンブラックなどの膚色剤、シラ
ンカップリング剤なとの表面処理剤寺を冶亘添加配合す
ることが出来る。
ゾール=m、i、s−ジアサ゛ビンクロ〔5゜4.0)
−7−ウンデセン寺のアミン類、トリフェニルホスフィ
ンなとの自゛愉、リン化名物寺の硬化促進剤、カルナバ
ワックス、モンタンワックス、島1Ili脂肪歌及びそ
のカルシウム塩、フッ素化合甑シリコンオイルなとの隘
抛創、ノ)ロゲン化エポキシ?J胎や三酸化アンチモン
などの麹燃化剤、カーボンブラックなどの膚色剤、シラ
ンカップリング剤なとの表面処理剤寺を冶亘添加配合す
ることが出来る。
本発明のエポキシ樹脂組成物の製造は、所定の組取比の
JIA科Y ”fキサ−などによって充分宸合佼、爽に
ロールやニーダ−寺による浴融混合処理を加えることに
よって容易に行なうことができる。
JIA科Y ”fキサ−などによって充分宸合佼、爽に
ロールやニーダ−寺による浴融混合処理を加えることに
よって容易に行なうことができる。
C′に流物)
実施例1〜7
エホキシ当蓋220のクレゾールノボラック型エポキシ
鉤脂(エホキシ側脂A)、エホキシ当量270の臭素化
フェノールノボランク型エポキシin8脂(エポキシ極
脂B)、フェノール、ノボラック糊脂(硬化剤)、カル
ナバワックス、r−グリシドオキシ、プロピルトリメト
キシシラン(シランカップリング剤)、カーボンブラン
ク、三酸化アンチモン、嫁化促蕪剤として1,8−シア
ずビシクロ(5,4,0〕−7−ウンデセン(DBU)
又はトリフェニルホスフィン、充’Jul(Itとして
浴融シリカ粉末をガスバーナー中に臥き込んで侍だ#l
とんとがh状の7リカA1結晶シリカ初禾を同様に処理
しcL#4Iた1=とんどが胞状の浴劇峯90チのシリ
カB1そし℃充填剤(IJとし・て・工遡菖処粉砕して
得た電融シリカCを用い、衣に示す、m取(lk地)の
ように配合し、ミキ丈−で根付、ざらに加熱ロールで根
株し、そし℃冷却栃砕してエポキシ樹脂組成物を得た。
鉤脂(エホキシ側脂A)、エホキシ当量270の臭素化
フェノールノボランク型エポキシin8脂(エポキシ極
脂B)、フェノール、ノボラック糊脂(硬化剤)、カル
ナバワックス、r−グリシドオキシ、プロピルトリメト
キシシラン(シランカップリング剤)、カーボンブラン
ク、三酸化アンチモン、嫁化促蕪剤として1,8−シア
ずビシクロ(5,4,0〕−7−ウンデセン(DBU)
又はトリフェニルホスフィン、充’Jul(Itとして
浴融シリカ粉末をガスバーナー中に臥き込んで侍だ#l
とんとがh状の7リカA1結晶シリカ初禾を同様に処理
しcL#4Iた1=とんどが胞状の浴劇峯90チのシリ
カB1そし℃充填剤(IJとし・て・工遡菖処粉砕して
得た電融シリカCを用い、衣に示す、m取(lk地)の
ように配合し、ミキ丈−で根付、ざらに加熱ロールで根
株し、そし℃冷却栃砕してエポキシ樹脂組成物を得た。
これらの組成物の評価とし【は、地形性をみるタメKB
P工EMMiニー66に基いてスパイラル7O−v6t
l:、耐サーマルショック性としては80ビンフラツト
パツケージをトランスファー成形し、これを成体5索(
−196℃)と260℃の半田浴[9互に1分間づつな
せきした時にbOうのパッケージにクラックが入る迄の
1gl数を鉤べた。また耐湿信極性を与るため、アルミ
ニウム記載な七する評価用シリコン素子を16ビンD工
Pにトランスファー成形し、そしてこの成形体を125
℃の水蒸気加圧下で24111i?間吸湿させた後、2
60℃の半田浴[10秒間浸せきし、拘ひ125℃の水
蒸気加圧下に放置する早出凌せき後POT (プレツシ
ャークツカーテス))m−行ない、50%の素子かオー
プン不良となる時間’!’ 611J 5ELだ。これ
らの評価の結果を表に示す。
P工EMMiニー66に基いてスパイラル7O−v6t
l:、耐サーマルショック性としては80ビンフラツト
パツケージをトランスファー成形し、これを成体5索(
−196℃)と260℃の半田浴[9互に1分間づつな
せきした時にbOうのパッケージにクラックが入る迄の
1gl数を鉤べた。また耐湿信極性を与るため、アルミ
ニウム記載な七する評価用シリコン素子を16ビンD工
Pにトランスファー成形し、そしてこの成形体を125
℃の水蒸気加圧下で24111i?間吸湿させた後、2
60℃の半田浴[10秒間浸せきし、拘ひ125℃の水
蒸気加圧下に放置する早出凌せき後POT (プレツシ
ャークツカーテス))m−行ない、50%の素子かオー
プン不良となる時間’!’ 611J 5ELだ。これ
らの評価の結果を表に示す。
比較例1〜4
充填剤(1)以外は実施例と同様な材料を表に示す割合
で用い、実施例と同様に処理、評価した。結果を表に示
す。
で用い、実施例と同様に処理、評価した。結果を表に示
す。
(発明の効果ン
以上説明したとおり、本発明は、切断面の月がとれた無
機充横剤を2υj!M%以上併用したエポキシ徊脂組敢
物1r:#3いて、半専坏及び電子部品の封止に使用す
ることにより、円部応力か少ないため被餉止物に対する
豚舎か少なく、特に耐丈−マルショック性か大巾に改良
されるため、牛田覆せき等の仮の1湿@租注も大巾に向
上させることか出米る。また金棒等のリードフレームと
素子とY結ぶ#祿の変形、M#の少ない凧形体ケ得るこ
とかできる。
機充横剤を2υj!M%以上併用したエポキシ徊脂組敢
物1r:#3いて、半専坏及び電子部品の封止に使用す
ることにより、円部応力か少ないため被餉止物に対する
豚舎か少なく、特に耐丈−マルショック性か大巾に改良
されるため、牛田覆せき等の仮の1湿@租注も大巾に向
上させることか出米る。また金棒等のリードフレームと
素子とY結ぶ#祿の変形、M#の少ない凧形体ケ得るこ
とかできる。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 (A)エポキシ樹脂 (B)フエノール型硬化剤 (C)無機質充てん剤 を含有した組成物で、前記無機充てん剤は ( I )実質的に破断面を有しない充てん剤と(II)実
質的に破断面を有する充てん剤 であつて、しかも充てん剤( I )が充てん剤( I )+
(II)の20〜100重量%であり、かつ無機充てん剤
(C)が組成物全体の75重量%以上からなる半導体封
止用エポキシ樹脂組成物。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21851284A JPS6197322A (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | エポキシ樹脂組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21851284A JPS6197322A (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | エポキシ樹脂組成物 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6197322A true JPS6197322A (ja) | 1986-05-15 |
Family
ID=16721084
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP21851284A Pending JPS6197322A (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | エポキシ樹脂組成物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6197322A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6274924A (ja) * | 1985-09-30 | 1987-04-06 | Toshiba Corp | 半導体装置封止用エポキシ樹脂組成物 |
JPH01161037A (ja) * | 1987-12-17 | 1989-06-23 | Toshiba Chem Corp | 封止用樹脂組成物 |
US5261808A (en) * | 1990-09-18 | 1993-11-16 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Shaping apparatus using a liquid forming medium |
WO1996020969A1 (en) * | 1995-01-05 | 1996-07-11 | Toray Industries, Inc. | Epoxy resin composition |
CN113292703A (zh) * | 2021-05-28 | 2021-08-24 | 南京工业大学 | 一种热学和力学性能优异的无磷全生物基阻燃环氧树脂及其绿色制备方法 |
-
1984
- 1984-10-19 JP JP21851284A patent/JPS6197322A/ja active Pending
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6274924A (ja) * | 1985-09-30 | 1987-04-06 | Toshiba Corp | 半導体装置封止用エポキシ樹脂組成物 |
JPH01161037A (ja) * | 1987-12-17 | 1989-06-23 | Toshiba Chem Corp | 封止用樹脂組成物 |
US5261808A (en) * | 1990-09-18 | 1993-11-16 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Shaping apparatus using a liquid forming medium |
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