JPS6195345A - 光重合可能な記緑材料及びこの材料の製法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はサプライロール（５ｕｐｐｌｙ　ｒｏｌｌ　）
の形の光重合ｏ（能な記録材料殊に支持フィルム、光重
合可能層及びカバーフィルムよりなる乾燥フォトレジス
ト材料に関する。

従来の技術 例えば米国特許第３４６９９８２号明細書に記載の前記
タイプの材料は、印刷回路の製造及び頌似用途に広範に
使用される。

この材料の熱可塑性フオトレジスト層は、他の支持材料
例えば鋼板に、圧力の適用及び通例は熱をも用いて乾燥
転写するために適合すべきである。従って、このフォト
レジスト層は、少なくとも熱Ｃｉｒｍ性に変形可能で、
有利に室温でも可塑性で形可能であり、特別な粘性を有
すべきであるうｆ＆適な程度までこれらの処理特性を示
す材料は、未蕗光状順の貯蔵及び移送の間に特定の間４
を有する。それというのも、これらのフォトレジスト層
は、店にこの材料がロールの形で貯蔵される際に現れる
常温流れ（Ｃｏｌｄｆｌｏｖｒ　）を示す傾向があるか
らである。次いで、このフォトレジスト層はフィルム層
の間で、ロールの端面の所から逸出して、巻きあげられ
たノーを互に固着する。この問題を解決する１つの試み
では、このフォトレジスト層の組成を、特に熱可塑性結
合剤の特性を、層のその流動温度を高めるように変性し
た。例えば西ドイツ特許出願公開４２５６５８０６号明
細８に記載のこの処理法は、光反応架橋された層の脆性
が未露光層の流れ温度の上昇と共に増大し、露光された
材料の処理が困難になる事実により制限されている。

この問題のもう１つの他の解決は、西ドイツ特許第２３
１４５１２０号明細書に記載されている。この明細書に
よれば、フォトレジストｌ−の縁部は硬化されていて、
この層はもはやスクイーズアクト（５ｑｕｅｅｚｅ　ｏ
ｕｔ　）されることはできないうこの方法は、各々の材
料の処理の間に感光性物質が縁、＠帯域で失なわれる欠
点を有する。

それというのも、特別な安全距離は、この層の部分的に
重合された部位が引続く露光及び現像から除外されるこ
とを確保するよＪ、考慮すべきであるからであるう更に
、この緑部帯域の硬化により支持材及びカバーフィルム
に対するフォトレジスト層の相対的付着性を変じさせる
ことができ、これは、支持フィルムによりもカバーフィ
ルムにより堅固にｔ−付着する不所望の効果を生じさせ
うる。

本発明の１つの目的は、ロールとして貯蔵されている際
に材料縁部で光重合可能な層の不利ト なスフイージングアクｔを示さず、処理時に材４！４損
失の必要がなく、ここで支持材及びカバーフィルムへの
層の付着が複合構造物が分離されるまで不変のｉま残る
光重合可能な記録材料を４ることである。

本発明は、フレキシブル、透明で、寸法安定な一時的支
持フイルム、この支持フィルムに施与された熱可塑性、
転写可能で、光重合可能なフォトレジスト層及びこのフ
ォトレジストＩｆｆの他の面上のフレキシブルなカバー
フィルム（これは、支持材に対してよりもフォトレジス
ト層に対してより弱く付着する）よりなる光重合可能な
記録材料を基礎とし、この材料はロールの形をしている
う 本発明のこの記録材料において、ロールの４面は膠着カ
バーディスクにより被われている、本発明は、貯！ｄ、
可能な光重合可能な記録材料の製法にも関し、これは、
熱可塑性、転写可能で、光重合可能なフォトレジストｍ
をフレキシブル、透明で、寸法安定な支持フィルムに梅
こし、このフォトレジスト層の開放面にフレキシブルな
カバーフィルムを積層し、得られたこの複合構造物を巻
きあげてサプライロールを形成させることよりなる。

本発明の方法では、このサプライロールの端面をカバー
ディスクのｖｉｖ　ａにより被う。

一般に使用されるカバーディスク又はカバースリーブは
、接着剤でコーティングされている紙、グラスチックフ
ィルム、ｋＩｔ物又は不織布の円形又は環状の円盤より
なっているうこの接着剤線室温で作用しうるか又はこれ
はホツト−メルト＠肴剤であってよい。

このカバーディスクは通例、フレキシブルな、有利に耐
引裂性の材料殊にプラスチックフィルム又は襦物婚であ
ろうこの場合、このカバーディスクは必要な場合に容易
に再び取り除くことができる。このカバーディスクに関
して、ロールに改良された安定性を与えることが望まし
い場合には、比較的硬いけ科例えば、紙ビード又は硬°
にプラスチックより成っていてもよいつこのカバーディ
スクは、・４当にロールの直径に相応して円形を有して
いる。同心状内円の形の１が 開放部／このディスク内に１禰見られていて、ディスク
？！出巻付はマンドレル上に押し付けることができる。

添付図面につき、本発明の記録材料を詳述する。

第１図は、端面に取り外し可能なカバーディスクを備え
た乾燥レジストロールを示している。

第２図は、４面に硬いカバーディスクを備えた相応する
ロールを示している。

＠１図は、巻付はマンドレル３に巻き付けられた乾燥レ
ジストフィルム２よシなる乾燥レジストロール１を示し
ている。この巻付はマンドレル３０両端はジャーナル４
及び５ｔ−形成し、これらはロールの幅を越えて突出し
ている。環状のカバースリーブ６及びＴはロールの端面
上に膠着されている。このカバースリーブ６及びＴはつ
まみ８及び９を有し、これにより、必要な場合にはスリ
ーブを取シ除くことができる。

第２図は４面が硬い接着スリープ２６及び２７で被われ
ている同様な乾燥レジストロール１１を示している。こ
のカバーディスクは乾燥レゾスト材料の製造工程で施与
される。この方法で、有利にポリエステルよりなる支持
フィルムを光重合可能な組成物の溶液でコーティングし
、乾燥させる。次いで、有利にポリオレフイ／よりなる
カバーフィルムを光改合ｑ能な層の開放面に４ｆｉ層す
る。得られた１層物を巻きあげて大きい寸法のロールに
する。引続きこの材料を切断して使用可能な幅及び長さ
にする。・−例、約２０〜８０ｆｚの範囲の幅を有する
ロールを躾遺し、その寸法は市販の処理！Ｒを用いて処
理できるものである。このロール直径は、巻付はマンド
レルの直径及びラミネートの厚さに依り決まるう１００
ｍ−５００ｍのレジストフィルム擾さで、このロールの
直径は約８〜２５１でありうるつ このロールの製造時に、巷き付は張力は非常に注意深く
監視調整すべきである。張力は、ロールの幅にわたり一
定にかつ巻き付けるべきウェブの全長にわたり、常に一
定に保持すべきである。張力の変動は、層物質を高張力
の所でスクイ−シングアウドさせ、従ってロールの４面
を不均一によごす。ロールの巻きがゆるすぎると、張力
の差が、ロール内で、層の相互の変位（テレスコーピン
グ）ｔ−も起こさせる。フィルム及び光重合ｃ７能な層
の厚さの必然的な変動に基づき、これらの不都合な効果
は、決して、完全には除くことができない。

次いで、ロール及び巻付はマンドレルの直径に適合され
た環状片を例えば、適当な市場で入手しうる自己接着性
フィルムから抜き取り、圧力の適用によりロールの端面
に取付ける。ロールは、こうして層物質の不所望のスク
イ−シングアウドから保護されう同時に、このディクス
は、このロールを取扱う際に４面と接触する作業員が光
重合可能なアクリル酸エステル又はメタクリル酸エステ
ルに基づく皮ふ刺激からこうむる危険をさける。膠着さ
れたカバーディスクは、スリップいわゆるロール内の層
のテレスコーピングをふせぐか又は実質的に抑制する有
利な効果を有する。更に、光及び大気中の湿気が、貯蔵
の間のレゾスト層への作用することが防がれる。

この記録材料の使用時に、ロールが積層装置内に取付け
られる前に、このカバーディスクをロールから除く。貯
蔵時の間にロールの端面から脱出しつる少喰の屑物ぽは
、ディスクの接着性コーティングにより引きはがされて
、清浄なロール端面が得られる。更に前記のロールのテ
レスコーピングを抑制することのできる硬いカバーディ
スクを使用することもできる。付加的に、ホツト−メル
ト髪４剤又はヒート−７−リング層を、室温で活性であ
る接Ｍｇｉの代妙に使用することもできる。この場合に
１　カバーディスクを加熱の間中、相応して加圧するつ
特別な態様によれば、熱可塑性フォトレジスト層を乾燥
フォトレジスト材料中で使用されるように、ホツト−メ
ルト接着剤の代抄にカバーディスク上にコーティングす
る。

カバーディスク又はスリープの製造時に使用できるベー
ス材料には、それぞれプラスチック材料例えばポリエス
テル、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル
又は類似物のフィルムが包よされる。延伸によりフィル
ムの寸法安定性を強化することができる。紙又は祇ボー
ト、不峨布又ｔｈｉ織布も好適である。

慣用の感圧アクリレートを基礎とする接着剤が、通例こ
の接着性コーティング中で使用されるウホットーメルト
接着剤としては、周知のように１ポリ酢酸ビニル、酢酸
ビニルコポリマー、アクリルエステルポリマー、ボリデ
テン、ポリエチレン、イノ７タル酸とテレフタル酸との
コポリエステル及び天然樹脂例えば乳査情脂及びコパー
ル樹脂が使用できる。ホツト−メルト接着剤の代りに使
用される熱可塑性フォトレジスト層は、適当に乾燥レジ
スト材料のフォトレジスト層と同じ組成を有する。

本発明によるカバーディスクを備えている乾燥フォトレ
ジスト材料は文献に公知であり、例えば、ｆＲｒイツ特
許特許出量公開第２０６４０７９号第２５６５８０６号
、同第２１２３７０２号、同第２８２２１９０号及び同
第５１５４１２５号明細書中に記載されている。前記の
ように、この材料は、一般に寸法安定な支持フィルム、
光重金回１屯な層及びカバーフィルムよりなる。

この支持フィルムは有利に１５〜３０μｍの範囲の厚さ
を有し、カバーフィルムは５〜２５μｍの厚さを有する
。光■合ｏｒ補な層の原則的なｔ＆￥成は、熱ｏＴ媚注
性ポリマー結合剤重合可能な化合物（これは有利に多価
脂肪族ヒドロキシル化合物のアクリル酸又はメタクリル
酸エステルである）及び光眞合開始剤よりなるう他の慣
用成分は碇合阻止刊、染料、顔料、可塑剤及び架橋剤よ
りなっていてよいう層の厚さは一般に１０〜１００μｍ
有利に１５〜７０μｍの４１４内である。

実施例 次の実施例につき、本発明の有利な悟様を記載する。「
重通部」及び「容を部」はそれぞ粗１１Ｊ及び「ｃＩＩ
Ｌ３」ｆ：意味する。他にことわりのないかぎり、「チ
」は「１を蝋チ」及び貴地は重曖単位である。

例１ ２軸延伸され熱硬化された厚さ２３μｍのポリエチレン
テレフタレートフィルムの４１１０ｃｍのウェブに、次
の組成の光重合可能なＭ／４を厚さ４０μｍでコーティ
ングした： ｎ−へキシルメタクリレート、 メタクリル酸及びスチレン（６０ ：３０：１０）のテルポリマー （平均分子間約３５０００）　　　　６．５殖承部２、
　２．　２−トリメチルへキサ メチレンジイソシアネート１モ ルとヒドロキシエチルメタクリ レート２モルとの反応によシ得 た重合可能なジクレタン　　　　　２．８重量部２．２
．４−トリメチルへキサ メチレンジイソシアネート１１ モル、トリエチレングリコール １０モル及びヒドロキシエチル リレート２モルから得た吹金回 能なポリウレタン　　　　　　　　２．８重量部９−フ
ェニル−アクリジン　　　　０．２ｆｆｆ部６−メルカ
ブトーグロピオン酸 −２，４−ジクロルアニリド　　　０．１１ｕｌｌｓ２
．４−ジニトロ−６−クロル ーベンゼンージア・戸ニウム塩と ２−メトキシ−２−アセチルア ミノ−２−シアノエチル−Ｎ− ヒトＣ！Φジエチルアニリントノ カップリングにより得られた考 色アゾ染料　　　　　　　　　　　０．０５５重量部及
び ４−ヒｒｃ１キシー安息香酸− （２−エチルヘキシル）エステ ル　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
２．８（端部。

次いで、連続的操作で、約１２μｍの厚さのポリエチレ
ンフィルムを、この乾燥層の表面に積層することにより
施与した。得られた積層品を大寸法ロールとして貯蔵し
た。ロール切断材を用いて、この乾燥レゾストフィルム
を４５ｃｍ幅のクエデに切断し、直径７．５　Ｃ１ｌを
有し、ロールの各４部が約１ｃＩＬ突出している巻付は
マンドレルを用いてウェブ長さ２００ｍを有するロール
に巻きあげた。

フィルムクールの端面を被うために、巻付はマンドレル
の端部に適合された２個の環状スリーブを接着剤コーテ
ィングされたフィルムから抜き取った。各カバースリー
ブの外局には、接着剤でコーティングされていない突出
つまみを備えていた−このスリーブを、ハンドローラー
を用いて、ロールの端面にきっちり押し付けも１５℃の
温度で１ケ月間の貯蔵の後に、このスリーブをその突起
つまみを用いて取り外し、検査した。その接着面は、実
質的に、その宵色によシ容易に認識しうる層物質を示さ
なかった。

端面が同様に被われた曲のロールを加熱基中、４５℃で
５日間貯蔵した。取り外されたスリーブの接着面上に僅
かな痕跡樅の層物質が＃！祭された。このロール自体の
端面は、完全にスクイーズアウトばを有せず又は拡がっ
た層物質は認められなかった。

他のロールをカバースリーブなしで４５℃で５日間貯峨
した。この端面の試験は代りにかなりの量のＦ＠層物質
悦出し、ロール内で個々の層にわたり拡散したことを示
していた。

ラミネート装置内でこのロールを巻き戻し、このフォト
レジスト層からカバーフィルムを分離する際にも、スク
ィーズアウトされた層物質は問題が生じ、例えばフォト
レジスト層は裂けるか又はこの層はカバーフィルムに付
着する。

例２ 列１の記載と同様に、ポリエステルフィルムを次の組成
の層４５μｍでコーティングした：メタクリル酸メチル
、ｎ−ヘキ フルメタクリレート及びメタク リル酸（７５：３７５：９０） のテルポリマー（噴＋ｄ１ｉ２０９）　　　２．８重量
部２．２．４−）リメチルへキサ ト メチレンジイソシアネーメ１モ ルとヒドロキシエチルメタクリ レート２モルとの反応により得 た不飽和ジクレタン　　　　　　　２．８重量部９−フ
ェニル−アクリジン　　　　０．２重＊ｇトリエチレン
グリコールジアセ テート０．２５重横部 及び トリス−（４−（５−メチル− ７エルルアミノ）フェニルコメ チルアセテ−）　　　　　　　　　０．０３重量部。

この層にポリエチレンフィルムを積層し、得られた積層
物を例１におけると同様に処理して幅４５ｃＩＩＬを有
するロールにした。１ｍＪ１［さの紙ボードから適当な
スリーブを抜き取り、市販の接触接着剤でコーティング
し、ロールの端面に圧力適用により膠着させた。このロ
ールは、不均一に支持された４面での不都合な貯蔵の場
合にも、その形状を十分に保持した。使用時に、このロ
ールをスリーブを取外さずにラミネート装置内に入れた
。この乾燥レゾストフィルムは、ロールから容易く引き
出し、慣用方法で処理することができた。ロール上に残
ったカバースリーブは、処）（の長時間の中断の場合に
も、７オトレジストＪｆｌのスクイ−シングアウドを防
いだ。

カバースリーブは、両面接着剤コーティングを有する接
着テープを有するプラスチックディスクよりなっていて
もよい。このカバースリーブの直径はレジストロールの
直径より大きくてもよい。

同様な方法で製造したがカバースリーブを有しない乾燥
レジストロールを、前記と同様に数週間貯蔵し、その間
不拘−に支持すると、このａ−ル内のこの層はテレスコ
−ｔフグ様にずれて、もはや所定の処理装置内にこのク
ールを挿入することはできなかった。

【図面の簡単な説明】

４１図は本発明による記録材料の１実施形を示す図、第
２図は本発明の記録材料のもう１つの実施形を示す図で
ある。 １・・・レジストクール、２・・・乾燥レジストフィル
ム、３・・・Ｊｈ付１ｔマンドレル、４．５・・・ジャ
ーナル、６．Ｔ・・・スリーブ、８．９・・・つまみ、
１１・・・乾燥レジストロール、２６．２７・・・硬い
接腐スリーブ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、フレキシブル、透明で、寸法安定な一時的支持フイ
   ルム、この支持フイルム上に施こされた熱可塑性、転写
   可能で、光重合可能なフオトレジスト層及びこのフオト
   レジスト層の他の表面上の支持フイルムに対してよりも
   フオトレジスト層に対して弱く付着するフレキシブルな
   カバーフイルムよりなる光重合可能な記録材料において
   、この材料はロールの形をしており、このロールの端面
   は膠着カバーデイスクで被われていることを特徴とする
   光重合可能な記録材料。 ２、カバーデイスクは接着剤コーテイングされたフレキ
   シブルな紙、織物又はフイルムシートよりなる、特許請
   求の範囲第１項記載の記録材料。 ３、接着剤はホツト−メルト接着剤である、特許請求の
   範囲第２項記載の記録材料。 ４、接着剤は感圧接着剤である、特許請求の範囲第２項
   記載の記録材料。 ５、カバーデイスクは硬直性である、特許請求の範囲第
   １項記載の記録材料。 ６、貯蔵可能な光重合可能な記録材料を製造するため、
   熱可塑性、転写可能で、光重合可能なフオトレジスト層
   をフレキシブル、透明で、寸法安定性の支持フイルムに
   施与し、このフオトレジスト層の開放面にフレキシブル
   なカバーフイルムを積層し、得られた複合構造物を巻き
   あげてサプライロールを形成し、ここでこのサプライロ
   ールの端面をカバーデイスクの膠着により被うことを特
   徴とする、貯蔵可能で光重合可能な記録材料の製法。 ７、圧力及び熱の適用で膠着されるホツト−メルト接着
   剤でコーテイングされたカバーデイスクを使用する、特
   許請求の範囲第６項記載の方法。 ８、カバーデイスクはフレキシブルであり、ロールの使
   用前に取り外される、特許請求の範囲第１項記載の方法
   。