JPS6191434A - クリ−ンル−ム - Google Patents
クリ−ンル−ムInfo
- Publication number
- JPS6191434A JPS6191434A JP59211376A JP21137684A JPS6191434A JP S6191434 A JPS6191434 A JP S6191434A JP 59211376 A JP59211376 A JP 59211376A JP 21137684 A JP21137684 A JP 21137684A JP S6191434 A JPS6191434 A JP S6191434A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air flow
- dust
- region
- speed
- blow
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F7/00—Ventilation
- F24F7/04—Ventilation with ducting systems, e.g. by double walls; with natural circulation
- F24F7/06—Ventilation with ducting systems, e.g. by double walls; with natural circulation with forced air circulation, e.g. by fan positioning of a ventilator in or against a conduit
- F24F7/10—Ventilation with ducting systems, e.g. by double walls; with natural circulation with forced air circulation, e.g. by fan positioning of a ventilator in or against a conduit with air supply, or exhaust, through perforated wall, floor or ceiling
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
しないようにしたクリーンルームに関する。
る要求が年々厳しくなっている。クリーンルームとして
提案されている構造としては従来は、たとえば電子材料
１９８３年８月号第５１〜５６頁に記載されているよう
に、天井全面に高性能フィルタをを吹き出す全面ダウン
フロー形式、あるいは同上文献や日経エレクトロニクス
別冊日経エレクトロニクスマイクロデバイス第１３４〜
１３８頁（１９８３年８月２２日）に記載されているよ
うな。
提案されている構造としては従来は、たとえば電子材料
１９８３年８月号第５１〜５６頁に記載されているよう
に、天井全面に高性能フィルタをを吹き出す全面ダウン
フロー形式、あるいは同上文献や日経エレクトロニクス
別冊日経エレクトロニクスマイクロデバイス第１３４〜
１３８頁（１９８３年８月２２日）に記載されているよ
うな。
わゆるトンネルモジュール形式もしくはペイ方式とよば
れるクリーンルームが提案されている。このうち全面ダ
ウンフローの従来の例について第２図によって説明する
。クリーンルーム１には、送出されており、この空気は
開口を有する床７より床下ダクト８に排出され、さらに
壁の内部などに設けられたダクトを通って天井裏９に導
びがれたは、全面に亘ってほぼ均一に調整されているの
が通常で、その風速としてはおよそ０．３〜０．５ｍ／
Ｓが選ばれている。
れるクリーンルームが提案されている。このうち全面ダ
ウンフローの従来の例について第２図によって説明する
。クリーンルーム１には、送出されており、この空気は
開口を有する床７より床下ダクト８に排出され、さらに
壁の内部などに設けられたダクトを通って天井裏９に導
びがれたは、全面に亘ってほぼ均一に調整されているの
が通常で、その風速としてはおよそ０．３〜０．５ｍ／
Ｓが選ばれている。
ところでクリーンルーム１は、装置がおかれ。
製品となるべきシリコンウェーハが処理される作業領域
１０ａ、１０ｂ、１０ｃと、作業者が通行したり、薬液
や資材を搬送したりする通路領域あように選ば九でいた
、このような従来のクリーンルームでは、下記のような
欠点を有する。
１０ａ、１０ｂ、１０ｃと、作業者が通行したり、薬液
や資材を搬送したりする通路領域あように選ば九でいた
、このような従来のクリーンルームでは、下記のような
欠点を有する。
すなわち、クリーンルームでの最大の発塵源は防塵衣を
着用しているとはいえ作業者自身といわれているが、そ
の作業者が移動したりして動いている状態では、相当の
塵埃が発生している。従つ業領域１０ａ〜１０ｃに拡散
して、製品に付着し、製造歩留りや製品の信頼度等を低
下させるもとになっている。
着用しているとはいえ作業者自身といわれているが、そ
の作業者が移動したりして動いている状態では、相当の
塵埃が発生している。従つ業領域１０ａ〜１０ｃに拡散
して、製品に付着し、製造歩留りや製品の信頼度等を低
下させるもとになっている。
の塵埃の拡散が極めて少ないクリーンルームを提供する
ことにある。
ことにある。
保つべき作業領域の吹き出し風速よりも大ν輪るように
、領域の性格によって風速差を設けるものである。
、領域の性格によって風速差を設けるものである。
以下本発明の実施例を第１図によって説明する。
クリーンルームの構造そのものは第２図に示した従来の
ものと同じであるが、フィルタからの吹き出し風速とし
て、作業領域を６ａとしたのに対して１通路領域６ｂと
し、６ａより大とした６本実施例では、６ａを０．３５
ｍ／ｓ、６ｂを０．７ｍ／Ｓとした。
ものと同じであるが、フィルタからの吹き出し風速とし
て、作業領域を６ａとしたのに対して１通路領域６ｂと
し、６ａより大とした６本実施例では、６ａを０．３５
ｍ／ｓ、６ｂを０．７ｍ／Ｓとした。
このように風速差をつけたことによる効果を、実際に測
定した結果に基づいて説明する。
定した結果に基づいて説明する。
第３図は隣接するフィルタ４ａ、４ｂからの空気の流れ
の向きを示したものである。第４図の各矢印は、それぞ
れ風速の方向を示している。Ａは両フィルタ４ａ、４ｂ
共０ 、３５ ｍ ／ ｓで等風速とした場合、気流の
向きに偏りはなく、いずれも垂直に下方に向う、 Ｅ−
Ｃは図中に示したように風速差をつけた場合で、気流の
向きは、いずれも低風速側の空気が高風速側に向かって
いることが認められた。すなわち低風速側の空気が高風
速側に誘引されるが、その逆は認められなかった。なお
、第４図において記号７は開口を有する床面を表わす。
の向きを示したものである。第４図の各矢印は、それぞ
れ風速の方向を示している。Ａは両フィルタ４ａ、４ｂ
共０ 、３５ ｍ ／ ｓで等風速とした場合、気流の
向きに偏りはなく、いずれも垂直に下方に向う、 Ｅ−
Ｃは図中に示したように風速差をつけた場合で、気流の
向きは、いずれも低風速側の空気が高風速側に向かって
いることが認められた。すなわち低風速側の空気が高風
速側に誘引されるが、その逆は認められなかった。なお
、第４図において記号７は開口を有する床面を表わす。
の位置でダストのカウントを行った測定結果を示してい
る。風速差をつけなかったＡの場合は、対称に塵埃が拡
散していることがわかるが、風速差をつけたＢ−Ｄでは
、高風速側に偏って拡散しており、低速側の方がダスト
′ａ度が低いことがわかった。
る。風速差をつけなかったＡの場合は、対称に塵埃が拡
散していることがわかるが、風速差をつけたＢ−Ｄでは
、高風速側に偏って拡散しており、低速側の方がダスト
′ａ度が低いことがわかった。
さらに第５図は、同様に、高速風側に２０ａｎ入った地
点で発塵したのちの状況を示している。風速差のないＡ
では、境界付近まで塵埃の拡散が見られるが、風速差を
つれたＢ−Ｄでは、境界付近より低風速側への塵埃の拡
散はほとんどみられなかった。
点で発塵したのちの状況を示している。風速差のないＡ
では、境界付近まで塵埃の拡散が見られるが、風速差を
つれたＢ−Ｄでは、境界付近より低風速側への塵埃の拡
散はほとんどみられなかった。
上記説明から明らかなように、本発明によれば清浄に保
つ必要のある作業領域に１通路領域で発生する塵埃を拡
散させない手段として、作業領域の風速に対して、通路
領域の風速を大にすることが極めて有効であり、これに
より製品の歩留りや信頼性の改善が可能である。本発明
は格別の設備や装置を付加することなく、フィルタから
の吹出し風速をｍ整するだけで達成することが可能なの
で、経済的にも有利である。
つ必要のある作業領域に１通路領域で発生する塵埃を拡
散させない手段として、作業領域の風速に対して、通路
領域の風速を大にすることが極めて有効であり、これに
より製品の歩留りや信頼性の改善が可能である。本発明
は格別の設備や装置を付加することなく、フィルタから
の吹出し風速をｍ整するだけで達成することが可能なの
で、経済的にも有利である。
第１図は本発明の一実施例を説明するための模式図、第
２図は従来のクリーンルームの一例を説明するための模
式図、第３図、第４図および第５図は本発明の詳細な説
明するための図である。 １・・・クリーンルーム、２・・・送風機、３・・・与
圧室、４・・・高性能フィルタ、５・・・フィルタユニ
ット、６゜６ａ、６ｂ・・・風速を示す矢印、７・・・
開口を有する床面、８・・・床下ダクト、９・・・天井
裏ダクト、１０ａ〜１０ｃ・・・作業領域、ｌｌａ〜１
１ｃ・・・通路領域。 第 １１２１ り 第 ２１２１ 第 ５ 八８ ｏ、３５−１５．ｏ、３５ｔ’１５ ｏ、３５”１
５．ｏ、５”／ｓ≦ ↓ ＩＪＬ ＼ 〜 ｌ ↓ １１１１ ＼ ％に！ ＋ｉｉ＋ ＋＋＋ｉ ７−フーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーＣＤ ｏ、３ｓ−／ｓ、ｏ−ｔ″／） θ５．３！ｆ）Ａ、
ｔ、ｏｎ／Ｓ＝＝；エコミコロ＝コ＝コココ ＸＪＸ４ ↓ １ ＼ ＼〜 Ｉ 〜 ＼ ＼ ↓ ＼ ＼ い 〜 〜 へ ↓ Ｎ ＼ 〜 Ｉ ） １ ↓ ４ ＳｉＪＪ 株式会社内
２図は従来のクリーンルームの一例を説明するための模
式図、第３図、第４図および第５図は本発明の詳細な説
明するための図である。 １・・・クリーンルーム、２・・・送風機、３・・・与
圧室、４・・・高性能フィルタ、５・・・フィルタユニ
ット、６゜６ａ、６ｂ・・・風速を示す矢印、７・・・
開口を有する床面、８・・・床下ダクト、９・・・天井
裏ダクト、１０ａ〜１０ｃ・・・作業領域、ｌｌａ〜１
１ｃ・・・通路領域。 第 １１２１ り 第 ２１２１ 第 ５ 八８ ｏ、３５−１５．ｏ、３５ｔ’１５ ｏ、３５”１
５．ｏ、５”／ｓ≦ ↓ ＩＪＬ ＼ 〜 ｌ ↓ １１１１ ＼ ％に！ ＋ｉｉ＋ ＋＋＋ｉ ７−フーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーＣＤ ｏ、３ｓ−／ｓ、ｏ−ｔ″／） θ５．３！ｆ）Ａ、
ｔ、ｏｎ／Ｓ＝＝；エコミコロ＝コ＝コココ ＸＪＸ４ ↓ １ ＼ ＼〜 Ｉ 〜 ＼ ＼ ↓ ＼ ＼ い 〜 〜 へ ↓ Ｎ ＼ 〜 Ｉ ） １ ↓ ４ ＳｉＪＪ 株式会社内
Claims (1)
- 洗浄空気を上部から床へ吹出す手段をそなえ、上記洗浄
空気の作業領域における風速が通路領域における風速よ
りも小さいことを特徴とするクリーンルーム。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59211376A JPS6191434A (ja) | 1984-10-11 | 1984-10-11 | クリ−ンル−ム |
| KR1019850006819A KR920007809B1 (ko) | 1984-10-11 | 1985-09-18 | 클린 룸 |
| US06/786,550 US4693173A (en) | 1984-10-11 | 1985-10-11 | Clean room |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59211376A JPS6191434A (ja) | 1984-10-11 | 1984-10-11 | クリ−ンル−ム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6191434A true JPS6191434A (ja) | 1986-05-09 |
| JPH0579887B2 JPH0579887B2 (ja) | 1993-11-05 |
Family
ID=16604935
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59211376A Granted JPS6191434A (ja) | 1984-10-11 | 1984-10-11 | クリ−ンル−ム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6191434A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0221146A (ja) * | 1988-07-11 | 1990-01-24 | Takenaka Komuten Co Ltd | 危険薬品使用工場等用クリーンルームの給排気方法 |
-
1984
- 1984-10-11 JP JP59211376A patent/JPS6191434A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0221146A (ja) * | 1988-07-11 | 1990-01-24 | Takenaka Komuten Co Ltd | 危険薬品使用工場等用クリーンルームの給排気方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0579887B2 (ja) | 1993-11-05 |
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