JPS6190049A - 炭酸ガスを検出する方法およびその検出素子 - Google Patents
炭酸ガスを検出する方法およびその検出素子Info
- Publication number
- JPS6190049A JPS6190049A JP21128784A JP21128784A JPS6190049A JP S6190049 A JPS6190049 A JP S6190049A JP 21128784 A JP21128784 A JP 21128784A JP 21128784 A JP21128784 A JP 21128784A JP S6190049 A JPS6190049 A JP S6190049A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carbon dioxide
- hydroxyapatite
- gas
- dioxide gas
- detection element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ガスに含まれる炭酸ガスを検出する方法、お
よびガス中の炭酸ガスを検出する炭酸ガスの検出素子に
関する。
よびガス中の炭酸ガスを検出する炭酸ガスの検出素子に
関する。
本発明の炭酸ガスの検出素子は、500〜10000C
のfXmにおいてもガス中の炭酸ガスを検出することが
できる。この素子を適当な加熱装置と組み合わせること
により、任意のガス中の炭酸ガス・農度を知ることがで
きろう 本発明の炭酸ガスを検出する方法および炭酸ガスの検出
素子を応用することのできる産業分野には、ハウス栽培
の炭酸ガス濃度の制御などの農業用、排ガス監視などの
工業用、生活@境制御などの1境衛生用、および火災の
早期発情などの彷災用がある。
のfXmにおいてもガス中の炭酸ガスを検出することが
できる。この素子を適当な加熱装置と組み合わせること
により、任意のガス中の炭酸ガス・農度を知ることがで
きろう 本発明の炭酸ガスを検出する方法および炭酸ガスの検出
素子を応用することのできる産業分野には、ハウス栽培
の炭酸ガス濃度の制御などの農業用、排ガス監視などの
工業用、生活@境制御などの1境衛生用、および火災の
早期発情などの彷災用がある。
これまでに、ガス中に含まれる特定のガス、たとえば、
炭化水素ガス、#ffiガスまたは一酸化炭素ガスなど
の存在を検出し、災害の発生を予防したり、@4的な操
業または運転を行なうために多くのセラミックスが開発
されているうしかしながら現任実用化されている炭酸ガ
スの検出素子は、検出するガスの化学的反応性を利用す
るという動作磯構から化学的に安定な炭酸ガスを検出す
ることがほとんどできない。
炭化水素ガス、#ffiガスまたは一酸化炭素ガスなど
の存在を検出し、災害の発生を予防したり、@4的な操
業または運転を行なうために多くのセラミックスが開発
されているうしかしながら現任実用化されている炭酸ガ
スの検出素子は、検出するガスの化学的反応性を利用す
るという動作磯構から化学的に安定な炭酸ガスを検出す
ることがほとんどできない。
−aにおいて、リン鉱石におけるフッ素アパタイトが知
られてから、フッ素アパタイトにおけるフッ素の代わり
に水酸基が入った水酸アパタイトや、塩素または炭酸基
(CO)が入った他のアバタイトも知られている。水酸
アパタイトが骨や歯の成分とよく似ていることから、水
酸アパタイトを人工歯根や人工骨として利用する研究が
行なりれ、一部臨床応用の段階にあるっ 〔赤尾勝他、
「合成アパタイトによる人工歯根・人工骨」、化学とF
業、第37巻、第4号、第243〜2450(1984
年)〕 また水酸アパタイトを、感湿、感温、感ガス素子におけ
る感湿材料として利用することが知られているう (特
開昭58−166249号公報)水酸アパタイトを感湿
素子として利用する場合、その、U気抵抗を1llJl
定するが、室温附近で相対幅度が0〜100%に変化し
たとき、その電気抵抗値が104〜1Oオームに変化す
る1、シかし高温では、飽和蒸 、気圧がきわめて大き
いために、その電気抵抗値は環視しうる程小さいもので
あるっ 本発明者らは、アパタイトについて基礎的研究を続けて
きたが、水酸アパタイトと炭酸アパタイトの電気抵抗値
が大きく異なること、および水酸アパタイトと炭酸アパ
タイトは高温q (500’C以上)において、雰囲気
内の炭酸ガス(二酸化炭素)のガス濃度の増減に応じて
可逆的に変換しうろことを砧出し、この知見にもとすい
て、本発明に到達した。
られてから、フッ素アパタイトにおけるフッ素の代わり
に水酸基が入った水酸アパタイトや、塩素または炭酸基
(CO)が入った他のアバタイトも知られている。水酸
アパタイトが骨や歯の成分とよく似ていることから、水
酸アパタイトを人工歯根や人工骨として利用する研究が
行なりれ、一部臨床応用の段階にあるっ 〔赤尾勝他、
「合成アパタイトによる人工歯根・人工骨」、化学とF
業、第37巻、第4号、第243〜2450(1984
年)〕 また水酸アパタイトを、感湿、感温、感ガス素子におけ
る感湿材料として利用することが知られているう (特
開昭58−166249号公報)水酸アパタイトを感湿
素子として利用する場合、その、U気抵抗を1llJl
定するが、室温附近で相対幅度が0〜100%に変化し
たとき、その電気抵抗値が104〜1Oオームに変化す
る1、シかし高温では、飽和蒸 、気圧がきわめて大き
いために、その電気抵抗値は環視しうる程小さいもので
あるっ 本発明者らは、アパタイトについて基礎的研究を続けて
きたが、水酸アパタイトと炭酸アパタイトの電気抵抗値
が大きく異なること、および水酸アパタイトと炭酸アパ
タイトは高温q (500’C以上)において、雰囲気
内の炭酸ガス(二酸化炭素)のガス濃度の増減に応じて
可逆的に変換しうろことを砧出し、この知見にもとすい
て、本発明に到達した。
本発明の目的は、簡単な手段によって、ガス中の炭酸ガ
スを検出する方法を提供することにあり、本発明のもう
1つの目的は、ガス中の炭酸ガスの存圧を検出しうる素
子を42供することにある、本発明は、一般式: %式%)() 〔式において、Mは、Ca、Ba+Sr+PbおよびC
dからなる群より選択された元素であり、そしてZは、
P、AsおよびVからなる祥より選択された元素である
。〕 によって示される水酸アパタイトを突管ガスと接触させ
ること、および水酸アパタイトの電気抵抗を測定し、水
酸アパタイトの電気抵抗の変化によって炭酸ガスを検知
することを特徴とする炭酸ガスを検出する方法であり、
またもう1つの本発明は、耐熱性の基体または耐熱性の
基板上に取り付けられた水酸アパタイトの薄膜層であっ
て、電極が取り付けられていることを特徴とする炭酸ガ
スの検出素子であり、さらにもう1つの本発明は、耐熱
性の基体または基板上に取り付けられた加熱器、および
電極が取り付けられている水酸アパタイトの薄膜層から
なることを特徴とする炭酸ガスの検出素子であるっ本発
明の炭酸ガスを検出する方法において、水酸アパタイト
のインピーダンスを測定し、そのインピーダンスの変化
によって炭酸ガスを検知することができる。
スを検出する方法を提供することにあり、本発明のもう
1つの目的は、ガス中の炭酸ガスの存圧を検出しうる素
子を42供することにある、本発明は、一般式: %式%)() 〔式において、Mは、Ca、Ba+Sr+PbおよびC
dからなる群より選択された元素であり、そしてZは、
P、AsおよびVからなる祥より選択された元素である
。〕 によって示される水酸アパタイトを突管ガスと接触させ
ること、および水酸アパタイトの電気抵抗を測定し、水
酸アパタイトの電気抵抗の変化によって炭酸ガスを検知
することを特徴とする炭酸ガスを検出する方法であり、
またもう1つの本発明は、耐熱性の基体または耐熱性の
基板上に取り付けられた水酸アパタイトの薄膜層であっ
て、電極が取り付けられていることを特徴とする炭酸ガ
スの検出素子であり、さらにもう1つの本発明は、耐熱
性の基体または基板上に取り付けられた加熱器、および
電極が取り付けられている水酸アパタイトの薄膜層から
なることを特徴とする炭酸ガスの検出素子であるっ本発
明の炭酸ガスを検出する方法において、水酸アパタイト
のインピーダンスを測定し、そのインピーダンスの変化
によって炭酸ガスを検知することができる。
さらに、本発明の炭酸ガスを検出する方法において、一
般式(+)の水酸アパタイトに、一般式(+)における
Mが5C2Y+TI+Bl+V+NI9Mn+Fe+S
n+Rb 、 Na 、 KおよびCsからなる群より
選択された元素であり、そしてZがSi+Ge+Cr+
Mn、AlおよびBからなる群より選択された元素であ
る化合物を0〜IOモル%含ませることもできる。
般式(+)の水酸アパタイトに、一般式(+)における
Mが5C2Y+TI+Bl+V+NI9Mn+Fe+S
n+Rb 、 Na 、 KおよびCsからなる群より
選択された元素であり、そしてZがSi+Ge+Cr+
Mn、AlおよびBからなる群より選択された元素であ
る化合物を0〜IOモル%含ませることもできる。
本発明に使用する水酸アパタイトは、公知の方法、たと
えば湿式法、乾式法または水熱法なとのいかなる方法に
よって合成されたものであっても、これを使用すること
ができる。モして水酸アパタイトの粉末をメチルセルロ
ースなどの適当な有機バインダーとともに水と混和して
、ペーストをつくり、これを、たとえば、耐熱性の基体
または耐熱性の基板に塗布してli!i1層状とし、こ
れを800〜1000℃の温度において焼結して多孔質
の焼結体とし1こものを1史弔するのが好ましい。
えば湿式法、乾式法または水熱法なとのいかなる方法に
よって合成されたものであっても、これを使用すること
ができる。モして水酸アパタイトの粉末をメチルセルロ
ースなどの適当な有機バインダーとともに水と混和して
、ペーストをつくり、これを、たとえば、耐熱性の基体
または耐熱性の基板に塗布してli!i1層状とし、こ
れを800〜1000℃の温度において焼結して多孔質
の焼結体とし1こものを1史弔するのが好ましい。
本発明に使用する水酸アパタイトの炭酸ガスを検出する
センサーの一例を説明する。
センサーの一例を説明する。
第1図、第2図および第3図において、lは水酸アパタ
イトの薄膜層、2および3は電(函であって、水酸アパ
タイトの薄膜層1の電気抵抗または゛インピーダンスを
測定するために、その両端に取り付けられており、5お
よび6は、電極2および3と電気抵抗またはインピーダ
ンスの1!!!I定616(第1図、第2図および第3
1図には図示なし)とを箔線するリード線であり、そし
て4は水酸アパタイトのR膜−1を取り付ける耐熱性の
基体である。また第3図における7はヒーターであって
、その上に水酸アパタイトの薄膜層1を取り付け、それ
自体は耐熱性の基体4の上に取り・付けられている。
イトの薄膜層、2および3は電(函であって、水酸アパ
タイトの薄膜層1の電気抵抗または゛インピーダンスを
測定するために、その両端に取り付けられており、5お
よび6は、電極2および3と電気抵抗またはインピーダ
ンスの1!!!I定616(第1図、第2図および第3
1図には図示なし)とを箔線するリード線であり、そし
て4は水酸アパタイトのR膜−1を取り付ける耐熱性の
基体である。また第3図における7はヒーターであって
、その上に水酸アパタイトの薄膜層1を取り付け、それ
自体は耐熱性の基体4の上に取り・付けられている。
’J’: 4 +gおよび第5図において、8は多孔質
の水酸アパタイト、 9+9110およびio は”
rは極であり、そして11および12はリード線である
っこのうち9 または10 の双方またはいずれかは
ヒーターと電極をJρ用しているう 水酸アパタイトは、500〜1000″Cの温度におい
て、突峻ガスと接触すると、炭酸アパタイトに変化し、
その電気抵抗11αまたはインピーダンスが大きく増大
するので、炭やガスの存任を検知することができる。5
00〜1000℃において作動させるために、薄膜型の
炭酸ガスの検出素子における水酸アパタイトは、耐熱性
の基体4に取り付けられていることを必要とし、その膜
厚は、200ミクロン以下(特に好ましくは、100ミ
クロン以下)であって、多孔質であることが好ましい。
の水酸アパタイト、 9+9110およびio は”
rは極であり、そして11および12はリード線である
っこのうち9 または10 の双方またはいずれかは
ヒーターと電極をJρ用しているう 水酸アパタイトは、500〜1000″Cの温度におい
て、突峻ガスと接触すると、炭酸アパタイトに変化し、
その電気抵抗11αまたはインピーダンスが大きく増大
するので、炭やガスの存任を検知することができる。5
00〜1000℃において作動させるために、薄膜型の
炭酸ガスの検出素子における水酸アパタイトは、耐熱性
の基体4に取り付けられていることを必要とし、その膜
厚は、200ミクロン以下(特に好ましくは、100ミ
クロン以下)であって、多孔質であることが好ましい。
また多孔質型の炭酸ガスの検出素子の場合は、リード濠
が素子の支持体を庶ねるために、リード線には、適当な
強度と耐久性が要求される。
が素子の支持体を庶ねるために、リード線には、適当な
強度と耐久性が要求される。
水酸アパタイトは、ガス中のrH分に接触した場合も、
その電気抵抗値またはインピーダンスを増大するが、そ
の増大の割合は、0%の用対湿度と100%の相対a<
において、本発明の炭酸ガスの検出素子の作動温If範
囲ではたかだか数%程度であって、炭酸ガスの検出素子
の作用温度を500〜1000℃とする限りは、水酸ア
パタイトが炭酸ガスと接触したことによる電気抵抗1α
まtこはインピーダンスの増大の方がはるかに大きいの
で、そのcd電気抵抗【6またはインピーダンスの増大
によって、f髪酵ガスを検出することもできる。しかし
ながら、ガス中の水蒸気の影響を完全になくすために、
炭酸ガスのq圧を検知するガス中の水蒸気を予め除去す
ることが好ましい。
その電気抵抗値またはインピーダンスを増大するが、そ
の増大の割合は、0%の用対湿度と100%の相対a<
において、本発明の炭酸ガスの検出素子の作動温If範
囲ではたかだか数%程度であって、炭酸ガスの検出素子
の作用温度を500〜1000℃とする限りは、水酸ア
パタイトが炭酸ガスと接触したことによる電気抵抗1α
まtこはインピーダンスの増大の方がはるかに大きいの
で、そのcd電気抵抗【6またはインピーダンスの増大
によって、f髪酵ガスを検出することもできる。しかし
ながら、ガス中の水蒸気の影響を完全になくすために、
炭酸ガスのq圧を検知するガス中の水蒸気を予め除去す
ることが好ましい。
水酸アパタイトは、500〜1000 Gの幅度におい
て、ト・に酸ガスの存在を検知するので、耐熱性の1、
(体、耐熱性の基板およびリードq星は+000 ’C
以上(より好ましくは1100″′C以上)の温度にお
いて変形または変質しない材料であれば、いかなる材質
のものであってもよいが、水酸アパタイトと炭酸ガスが
接触するγ温度が1000℃よりも低い(ただし500
℃以上)場合は、作用γ温度において変形または変質し
ない材嶋とすることもできる、水酸アパタイトの薄膜層
1または多孔・6体8を、500−10006Cの温度
において、炭酸ガスと接融させるには、夫峻ガスのg−
在を検知するガスを500〜1000℃にq0熱するか
、まtこは水酸アパタイトの薄膜層1または多孔質体8
を500〜1000″Cの温度に加鵜する必要がある、 第6図は、炭酸ガスの存在を検知するガスを500〜1
000″cに加熱する場合の好ましいフローシートの一
例であって、13は除M器、1・1はガスのヒーター、
15は炭酸ガスの存在を検知するセンサーであって、こ
こには第1図、P;3図、第4図および第5図に示すタ
イプの炭酸ガスの検出り子が内蔵されており、16は、
電気抵抗またはインピーダンスの11国定器であって、
第1図、・82図および第3図のリード礫5および6ま
たは第4図および第5図のリード嘩11および12のい
ずれかと結線されており、そして17は、炭酸ガスの存
在を検知するガスの流れるラインであるっ86図におい
て、炭酸ガスの存在を検知するガスは、ライン17を通
って除湿詔13に入り、水に気を除去した後、ヒーター
14に導かれ、500〜1000℃よりも高い温度で、
素子に到達したときの温度が500〜1000℃になる
ように加熱された後、炭酸ガスの存在を検知するセンサ
ー15に導かれる。ガス中にH12ガスが存在する。4
h Aは、電気抵抗またはインピーダンスのJlll定
fi16において、電気抵抗またはインピーダンスが大
きく増大するので、ガス中の炭酸ガスの存在を検出する
ことができる。そしてヒーター14における加熱温度が
充分に高い唱合は、たとえ、ガス中に水g=が存在して
い・でも、ガス中の相対湿度はきわめて小さいので、水
酸アパタイトの電気抵抗またはインピーダンスに与える
水に気の影響は実際上無視しうるため、このような場合
は、@湿器13は−必ずしも必要としない。
て、ト・に酸ガスの存在を検知するので、耐熱性の1、
(体、耐熱性の基板およびリードq星は+000 ’C
以上(より好ましくは1100″′C以上)の温度にお
いて変形または変質しない材料であれば、いかなる材質
のものであってもよいが、水酸アパタイトと炭酸ガスが
接触するγ温度が1000℃よりも低い(ただし500
℃以上)場合は、作用γ温度において変形または変質し
ない材嶋とすることもできる、水酸アパタイトの薄膜層
1または多孔・6体8を、500−10006Cの温度
において、炭酸ガスと接融させるには、夫峻ガスのg−
在を検知するガスを500〜1000℃にq0熱するか
、まtこは水酸アパタイトの薄膜層1または多孔質体8
を500〜1000″Cの温度に加鵜する必要がある、 第6図は、炭酸ガスの存在を検知するガスを500〜1
000″cに加熱する場合の好ましいフローシートの一
例であって、13は除M器、1・1はガスのヒーター、
15は炭酸ガスの存在を検知するセンサーであって、こ
こには第1図、P;3図、第4図および第5図に示すタ
イプの炭酸ガスの検出り子が内蔵されており、16は、
電気抵抗またはインピーダンスの11国定器であって、
第1図、・82図および第3図のリード礫5および6ま
たは第4図および第5図のリード嘩11および12のい
ずれかと結線されており、そして17は、炭酸ガスの存
在を検知するガスの流れるラインであるっ86図におい
て、炭酸ガスの存在を検知するガスは、ライン17を通
って除湿詔13に入り、水に気を除去した後、ヒーター
14に導かれ、500〜1000℃よりも高い温度で、
素子に到達したときの温度が500〜1000℃になる
ように加熱された後、炭酸ガスの存在を検知するセンサ
ー15に導かれる。ガス中にH12ガスが存在する。4
h Aは、電気抵抗またはインピーダンスのJlll定
fi16において、電気抵抗またはインピーダンスが大
きく増大するので、ガス中の炭酸ガスの存在を検出する
ことができる。そしてヒーター14における加熱温度が
充分に高い唱合は、たとえ、ガス中に水g=が存在して
い・でも、ガス中の相対湿度はきわめて小さいので、水
酸アパタイトの電気抵抗またはインピーダンスに与える
水に気の影響は実際上無視しうるため、このような場合
は、@湿器13は−必ずしも必要としない。
第3図は、水酸アパタイトの薄膜sl +を加熱する炭
酸ガスの検出素子の一例であって、耐熱性の猜体4の上
にヒーター7が取り付けられ、そのヒーター7の上に、
その両端に′成極2および3を取り1寸けた水酸アパタ
イトの4グ膜呵1が取り付けられているうこのヒーター
7によって、水酸アパタイトの薄膜TvJ+は500〜
1000℃の温度に加熱されるから、水酸アパタイトの
薄膜層1は、炭酸ガスの存在を検知するガスと500〜
1000 ’Cの温度において接触し、ガス中に炭酸ガ
スが存在する喝h1その電気抵抗またはインピーダンス
が大きくハη大するので、その電気抵抗またはインピー
ダンスの増大によって、ガス中の炭酸ガスの存在を検出
することができる。このタイプの炭酸ガスの検出素子を
使用する場合、または第5図に示すヒーター内蔵型の多
孔質水酸アパタイトを使用した場合は、第6図に示すヒ
ーター14を必ずしも必要としないっ 第1図、@3図、第4図および第5図のいずれの型の炭
酸ガスの検出素子を使用しても、ガス中の炭酸ガス濃度
が増大すると、電気抵抗またはインピーダンスが屯調に
増大するため、ガス中の炭酸ガス・11度を知ることが
できろう 一般式: %式%)(1) 群より選択された元素であり、ZがP、AsおよびVか
らなる群より・巽択された元素である水酸アパタイトに
、上記の一般式(1)において、トτがSc+Y、TI
、[31+V+Nt+hlr+、Fe+Sn、Rh、N
a+におよびCsからなる群より選択された元素であり
、そしてZがSi、Ce+Cr+Mn、AtおよびBか
らなる群より選択された元素である化合物(微・は成分
)が含まれると、第9図に示されるとおり、炭酸ガスの
存任による電気抵抗またはインピーダンスの増大の程度
が低下するが、第1図、@3図、第4図および第5図の
炭酸ガスの検出素子を使用しても、電気抵抗またはイン
ピーダンスがイ氏い程、炭酸ガスの検出素子をイ且み込
んだ電気回路を11n路なものとすることができるので
、前記の微量成分を水酸アパタイトに含ませると、炭酸
ガスの検出素子を組み込んだ+JE 6%回路を簡略な
ものにすることができる以下において、参考例および実
噸例を示して本発明をさらに詳細に説明するっ 参考例 l (水酸アパタイトのJ咽)(NH4)2H
P0479gに蒸留水1000好を加えて溶解した唖、
これに5%アンモニア水を加えて、溶液のpHを12に
調整し、+600mjl!のリン酸アンモニウム水溶τ
夜を得た。これとは別に、Ca(NO3)2・44H2
O236に蒸留水+000 rrtlを加えて溶解した
J漫、これに5%アンモニア水を加えて、P84のpH
を12に調整し、1200mjl!の硝酸カルシウム・
アンモニウム水溶液を得た。この硝酸カルシウム・アン
モニウム水溶1夜に、先に、凋X時したリン酸アンモニ
ウム水溶敵の全・訛を、撹拌しなから叩えて白色性デン
を生成したうこの白色性デンを4拘し、洗浄した後、2
50℃において屹6さして水酸アパタイトの白色粉末1
00gを醋た。
酸ガスの検出素子の一例であって、耐熱性の猜体4の上
にヒーター7が取り付けられ、そのヒーター7の上に、
その両端に′成極2および3を取り1寸けた水酸アパタ
イトの4グ膜呵1が取り付けられているうこのヒーター
7によって、水酸アパタイトの薄膜TvJ+は500〜
1000℃の温度に加熱されるから、水酸アパタイトの
薄膜層1は、炭酸ガスの存在を検知するガスと500〜
1000 ’Cの温度において接触し、ガス中に炭酸ガ
スが存在する喝h1その電気抵抗またはインピーダンス
が大きくハη大するので、その電気抵抗またはインピー
ダンスの増大によって、ガス中の炭酸ガスの存在を検出
することができる。このタイプの炭酸ガスの検出素子を
使用する場合、または第5図に示すヒーター内蔵型の多
孔質水酸アパタイトを使用した場合は、第6図に示すヒ
ーター14を必ずしも必要としないっ 第1図、@3図、第4図および第5図のいずれの型の炭
酸ガスの検出素子を使用しても、ガス中の炭酸ガス濃度
が増大すると、電気抵抗またはインピーダンスが屯調に
増大するため、ガス中の炭酸ガス・11度を知ることが
できろう 一般式: %式%)(1) 群より選択された元素であり、ZがP、AsおよびVか
らなる群より・巽択された元素である水酸アパタイトに
、上記の一般式(1)において、トτがSc+Y、TI
、[31+V+Nt+hlr+、Fe+Sn、Rh、N
a+におよびCsからなる群より選択された元素であり
、そしてZがSi、Ce+Cr+Mn、AtおよびBか
らなる群より選択された元素である化合物(微・は成分
)が含まれると、第9図に示されるとおり、炭酸ガスの
存任による電気抵抗またはインピーダンスの増大の程度
が低下するが、第1図、@3図、第4図および第5図の
炭酸ガスの検出素子を使用しても、電気抵抗またはイン
ピーダンスがイ氏い程、炭酸ガスの検出素子をイ且み込
んだ電気回路を11n路なものとすることができるので
、前記の微量成分を水酸アパタイトに含ませると、炭酸
ガスの検出素子を組み込んだ+JE 6%回路を簡略な
ものにすることができる以下において、参考例および実
噸例を示して本発明をさらに詳細に説明するっ 参考例 l (水酸アパタイトのJ咽)(NH4)2H
P0479gに蒸留水1000好を加えて溶解した唖、
これに5%アンモニア水を加えて、溶液のpHを12に
調整し、+600mjl!のリン酸アンモニウム水溶τ
夜を得た。これとは別に、Ca(NO3)2・44H2
O236に蒸留水+000 rrtlを加えて溶解した
J漫、これに5%アンモニア水を加えて、P84のpH
を12に調整し、1200mjl!の硝酸カルシウム・
アンモニウム水溶液を得た。この硝酸カルシウム・アン
モニウム水溶1夜に、先に、凋X時したリン酸アンモニ
ウム水溶敵の全・訛を、撹拌しなから叩えて白色性デン
を生成したうこの白色性デンを4拘し、洗浄した後、2
50℃において屹6さして水酸アパタイトの白色粉末1
00gを醋た。
参考例 2
(水酸アパタイトの多孔質焼結体のm製)参考例1で得
た水酸アパタイトの粉末505Nこ5%メチルセルロー
ス水溶液20 mlを加え、充分に混練して、水酸アパ
タイト粉末のペーストをつくり、このペーストを、ガラ
ス板(200X 200 X5m+x)上にo、05g
/crAの割合で塗布し、24時間風乾した後、剥4し
、適当な大きさに切1斬し、アルミナ板(25X 25
X 0.5朋)にのせて、電気炉に入れ、1000℃
の温度において、1時間焼成した。水酸アパタイトの4
厚は、300μmであった、参考例 3 (温度による水酸アパタイトの゛電気抵抗の変化)参考
例2で鍔た水酸アパタイトの多孔質焼結体の薄−河の両
端に電離を取り付けて、炭酸ガスの検出素子を調製した
。
た水酸アパタイトの粉末505Nこ5%メチルセルロー
ス水溶液20 mlを加え、充分に混練して、水酸アパ
タイト粉末のペーストをつくり、このペーストを、ガラ
ス板(200X 200 X5m+x)上にo、05g
/crAの割合で塗布し、24時間風乾した後、剥4し
、適当な大きさに切1斬し、アルミナ板(25X 25
X 0.5朋)にのせて、電気炉に入れ、1000℃
の温度において、1時間焼成した。水酸アパタイトの4
厚は、300μmであった、参考例 3 (温度による水酸アパタイトの゛電気抵抗の変化)参考
例2で鍔た水酸アパタイトの多孔質焼結体の薄−河の両
端に電離を取り付けて、炭酸ガスの検出素子を調製した
。
、 最−Hに、空気中において、この検出素子の電気抵
抗を測定し、空気中における電気抵@(Ro)を記録し
た。次にこの検出素子を電気炉に入れ、炉内の空気を突
唆ガスに14換した後、炉内の温度を500℃に昇温し
、時間の経過とともに、500℃における検出素子の電
気抵抗(R)を測定し、R/ Roを記録した。さらに
炉内の温度を600℃1700°(、、800℃,90
0℃および1000℃に昇l易した以外は、前記と同様
にして、それぞれのR/Roを記録した、 その結果は、第7図に示すとおりであった。
抗を測定し、空気中における電気抵@(Ro)を記録し
た。次にこの検出素子を電気炉に入れ、炉内の空気を突
唆ガスに14換した後、炉内の温度を500℃に昇温し
、時間の経過とともに、500℃における検出素子の電
気抵抗(R)を測定し、R/ Roを記録した。さらに
炉内の温度を600℃1700°(、、800℃,90
0℃および1000℃に昇l易した以外は、前記と同様
にして、それぞれのR/Roを記録した、 その結果は、第7図に示すとおりであった。
墾ζ例 4
(膜1!#による水酸アパタイトの4気抵抗の変化)ア
ルミナ板上に形成した水酸アパタイトの薄司のIIJさ
を+00 μrn 、 300 piおよび500pi
とした以外は参考例3と同様にして、炭酸ガスの検出素
子を調製した。
ルミナ板上に形成した水酸アパタイトの薄司のIIJさ
を+00 μrn 、 300 piおよび500pi
とした以外は参考例3と同様にして、炭酸ガスの検出素
子を調製した。
それぞれの検出素子について、電気炉内の偏度を800
℃とした以外は参考例3と同様にして、それぞれの検出
素子の電気抵抗(R)を測定し、それぞれの検出素子の
R/ Roを求めたつその結果は、第8図に示すとおり
であったー参考例 5 (水酸ナトリウムアパタイトの調製) (NH4)2HPO4に、Na2HPO4を、Naの・
4度がCaに対して第9図に示す割合になるように加え
、参考例1と同様にして、水酸ナトリウムアパタイト粉
末を得た。
℃とした以外は参考例3と同様にして、それぞれの検出
素子の電気抵抗(R)を測定し、それぞれの検出素子の
R/ Roを求めたつその結果は、第8図に示すとおり
であったー参考例 5 (水酸ナトリウムアパタイトの調製) (NH4)2HPO4に、Na2HPO4を、Naの・
4度がCaに対して第9図に示す割合になるように加え
、参考例1と同様にして、水酸ナトリウムアパタイト粉
末を得た。
(水酸ナトリウムアパタイトの多孔質焼結体の調1II
J) 上記でeJた水酸ナトリウムアパタイト粉末をfψ用し
、参考例2と同様にして、Na含;辻の異なるそれぞれ
の水酸ナトリウムアパタイトの多孔質焼結体を得た。
J) 上記でeJた水酸ナトリウムアパタイト粉末をfψ用し
、参考例2と同様にして、Na含;辻の異なるそれぞれ
の水酸ナトリウムアパタイトの多孔質焼結体を得た。
(炭酸ガスの←(出諾子の電気抵抗の測定)上、ずdで
イJたそれぞれの水酸ナトリウムアパタイトの多孔質焼
結体の両端に1は極を取り付けて、それぞれの炭酸ガス
の検出素子を・周製したつ最明に、空気中において、参
考例3の炭酸ガスの検出素子の電気抵抗を1凹定し、ナ
トリウムを含まない水酸アパタイトの電気抵抗(RO)
を記録した。
イJたそれぞれの水酸ナトリウムアパタイトの多孔質焼
結体の両端に1は極を取り付けて、それぞれの炭酸ガス
の検出素子を・周製したつ最明に、空気中において、参
考例3の炭酸ガスの検出素子の電気抵抗を1凹定し、ナ
トリウムを含まない水酸アパタイトの電気抵抗(RO)
を記録した。
次に、空気中において、上記で得たそれぞれの炭酸ガス
の検出素子の電気抵抗(R)を測定し、それぞれの(R
/Ro)を記録した。
の検出素子の電気抵抗(R)を測定し、それぞれの(R
/Ro)を記録した。
その結果は第9図に示すとおりであり、水酸ナトリウム
アパタイトの″i4気抵抗抵抗水酸アパタイトの4気抵
抗よりも低下し、水酸ナトリウムアパタイト中のNa含
量の増大とともに、その電気抵抗がさらに低下すること
がわかった。
アパタイトの″i4気抵抗抵抗水酸アパタイトの4気抵
抗よりも低下し、水酸ナトリウムアパタイト中のNa含
量の増大とともに、その電気抵抗がさらに低下すること
がわかった。
参考例 6
(炭酸ガス・4度による水酸アパタイトの電気抵抗の変
化) 参考例3において調製した水酸アパタイトの多:
孔質焼結体の薄功状の検出素子を内径4Q
+uのチューブに入れ、空気を送入して電気抵抗(RO
)を測定した。次に炭酸ガスll81度1%(容:■)
のガスを1000℃に加熱し、チューブに送入し、時間
の経過とともに、検出素子の電気抵抗(R)を測定し、
R/Roを記録したーガスの送入から40分後に、チュ
ーブに送入するガスを、炭酸ガス41%10%(容噴)
のガスを1000℃に加熱したガスに切換え、前記と同
様に、時間の経過とともに、検出素子の電気抵抗(R)
を測定し、R/Roを記録した。ガスの切換から40分
後に、チューブに送入するガスを、炭酸ガスンG度50
%(容It)のガスを1000℃に加熱したガスに切換
え、前記と同様に、時間の経過とともに、検出素子の電
気抵抗(R)を測定し、R/Roを記録したつガスの切
換えから40分後に、チューブに送入するガスを、10
00℃に加熱した炭酸ガス〔炭酸ガス7a度=100%
(容軟)〕にrIll換えた。そして前記と同様に、時
間の経過とともに、検出素子の電気抵抗(R)を測定し
、R/ Roを記録した。
化) 参考例3において調製した水酸アパタイトの多:
孔質焼結体の薄功状の検出素子を内径4Q
+uのチューブに入れ、空気を送入して電気抵抗(RO
)を測定した。次に炭酸ガスll81度1%(容:■)
のガスを1000℃に加熱し、チューブに送入し、時間
の経過とともに、検出素子の電気抵抗(R)を測定し、
R/Roを記録したーガスの送入から40分後に、チュ
ーブに送入するガスを、炭酸ガス41%10%(容噴)
のガスを1000℃に加熱したガスに切換え、前記と同
様に、時間の経過とともに、検出素子の電気抵抗(R)
を測定し、R/Roを記録した。ガスの切換から40分
後に、チューブに送入するガスを、炭酸ガスンG度50
%(容It)のガスを1000℃に加熱したガスに切換
え、前記と同様に、時間の経過とともに、検出素子の電
気抵抗(R)を測定し、R/Roを記録したつガスの切
換えから40分後に、チューブに送入するガスを、10
00℃に加熱した炭酸ガス〔炭酸ガス7a度=100%
(容軟)〕にrIll換えた。そして前記と同様に、時
間の経過とともに、検出素子の電気抵抗(R)を測定し
、R/ Roを記録した。
その結果を410図に示す、第1O図によると、炭酸ガ
ス1度が1%(容畷)の場合は、ガスの送入から40分
経過後においても、検出素子の電気抵抗の上昇が、−g
められなかったが、炭酸ガス4 +Ijが10%(容峨
)を廼えると、検出素子の電気抵抗の上昇が認められ、
その電気抵抗の上昇によってζ炭酸ガスの存在を検知す
ることのできることがわかる。
ス1度が1%(容畷)の場合は、ガスの送入から40分
経過後においても、検出素子の電気抵抗の上昇が、−g
められなかったが、炭酸ガス4 +Ijが10%(容峨
)を廼えると、検出素子の電気抵抗の上昇が認められ、
その電気抵抗の上昇によってζ炭酸ガスの存在を検知す
ることのできることがわかる。
更龍例 l
(水酸アパタイトの多孔質焼結体素子の、■製とそのセ
ンサー特性) 参考I+lIlで得た水酸アパタイトの粉末30gに5
%メチルセルロース水溶j?910m1を加え、充分に
混練して、水酸アパタイト粉末のペーストをつくり、こ
のペーストを、成形型(内?i:50X20×20龍)
に充填し、6時間I漫に成形型の底部を外し、成形体を
押し出し、そして48時間風乾したつ乾熾した成形体を
電気炉に入れ、1000℃の@度において1時間焼成し
た。このようにして得られた多孔質の焼結体の両端にP
tペーストを付与し、850℃で15分間焼き付けて、
電極を取り付けた。
ンサー特性) 参考I+lIlで得た水酸アパタイトの粉末30gに5
%メチルセルロース水溶j?910m1を加え、充分に
混練して、水酸アパタイト粉末のペーストをつくり、こ
のペーストを、成形型(内?i:50X20×20龍)
に充填し、6時間I漫に成形型の底部を外し、成形体を
押し出し、そして48時間風乾したつ乾熾した成形体を
電気炉に入れ、1000℃の@度において1時間焼成し
た。このようにして得られた多孔質の焼結体の両端にP
tペーストを付与し、850℃で15分間焼き付けて、
電極を取り付けた。
(多孔質焼結体の炭酸ガスの濃度変化に対する応答特性
の測定) 前記で得られた多孔質焼結体素子の空気中における電気
抵抗(RO)をIII!l定したつこの多孔fff焼結
体素子を、内径40闘のチューブの中央に・べき、90
0℃に加熱した空気をチューブ内に送入して流した。1
0分後に、900℃に加熱した炭酸ガスをチューブ内に
送入して流し、時間の経過とともに多孔質焼結体素子の
電気抵抗(R)を測定し、R/ROを記録した。炭酸ガ
スの送入から40分後に、チューブに送入するガスを9
00℃の4qの空気に切換え、前記と同様に、時間の経
過とともに、多孔質焼結体素子の電気抵抗(R)をil
I!l定し、R/ ROを記録したつ空気の送入か64
0 f> (u 、すなわち、最ト刀の炭酸ガスの送入
から80分後に、チューブに送入するガスを、900℃
に加熱した炭酸ガスに切換え、前記と同様に、時間の4
84とともに、多孔質焼結体素子の電気抵@(R)を測
定し、R/ Roを記録した。
の測定) 前記で得られた多孔質焼結体素子の空気中における電気
抵抗(RO)をIII!l定したつこの多孔fff焼結
体素子を、内径40闘のチューブの中央に・べき、90
0℃に加熱した空気をチューブ内に送入して流した。1
0分後に、900℃に加熱した炭酸ガスをチューブ内に
送入して流し、時間の経過とともに多孔質焼結体素子の
電気抵抗(R)を測定し、R/ROを記録した。炭酸ガ
スの送入から40分後に、チューブに送入するガスを9
00℃の4qの空気に切換え、前記と同様に、時間の経
過とともに、多孔質焼結体素子の電気抵抗(R)をil
I!l定し、R/ ROを記録したつ空気の送入か64
0 f> (u 、すなわち、最ト刀の炭酸ガスの送入
から80分後に、チューブに送入するガスを、900℃
に加熱した炭酸ガスに切換え、前記と同様に、時間の4
84とともに、多孔質焼結体素子の電気抵@(R)を測
定し、R/ Roを記録した。
その結果は、r窮l1図に示すとおりであった。
@l1図における崩輔の時間は、炭酸ガス導入後の時間
である、 @111gによると、炭酸ガスのJ導入と1司時に、多
孔質焼結体の′4気抵抗は急上痒し、空気の導入と同時
に急激に下降するので、多孔質焼結体素子は900℃に
おいて、炭酸ガスに対して、鋭敏な応洛持昨を有するこ
とがわかるっ 実施例 2 (水酸アパタイトのgI−状検出素子の調整とそのセン
サー特性) 珍考例3において01製した水酸アパタイトの多孔質焼
結体の薄−4駄の検出素子(アルミナ板上に敗り付けら
れている)を内径4Qmmのチューブに入れ、空気を送
入して、電気抵抗(Ro)を測定した。次に900℃に
加熱した空気を10分・圓チューブに送入して流した後
、チューブに送入するガスを900℃に帽熱した炭酸ガ
スに切換えた。時間の経過とともに、検出素子の電気抵
抗(R)を測定し、R/ROを記録した。炭酸ガスの送
入から409/fiに、チューブに送入するガスを、9
00℃の温度の空気に切換え、同様に時間の経過ととも
に、検出式子の電気抵抗(R)を1則定し、R/ Ro
を記録した。さらに空気の送入から40分後、すなわち
f11’lEの炭酸ガスの14人から801)後に、チ
ューブに送入するガスを9008Cに加熱した炭酸ガス
に切り換え、前記と同様に時間の経過とともに、検出素
子の電気抵@(R)を1四′ポし、R/Roを記録した
つ その結果は、412図に示すとおりであった、アルミナ
板上に取り付けた水酸アパタイトの薄弱状の検出素子も
、実側例1と同様に鋭敏な炭酸ガスに対する応答特性を
何することがわかるっ〔発明の効果〕 本発明によると、ガス中に含まれる炭やガスをきわめて
簡単に検出することができる。
である、 @111gによると、炭酸ガスのJ導入と1司時に、多
孔質焼結体の′4気抵抗は急上痒し、空気の導入と同時
に急激に下降するので、多孔質焼結体素子は900℃に
おいて、炭酸ガスに対して、鋭敏な応洛持昨を有するこ
とがわかるっ 実施例 2 (水酸アパタイトのgI−状検出素子の調整とそのセン
サー特性) 珍考例3において01製した水酸アパタイトの多孔質焼
結体の薄−4駄の検出素子(アルミナ板上に敗り付けら
れている)を内径4Qmmのチューブに入れ、空気を送
入して、電気抵抗(Ro)を測定した。次に900℃に
加熱した空気を10分・圓チューブに送入して流した後
、チューブに送入するガスを900℃に帽熱した炭酸ガ
スに切換えた。時間の経過とともに、検出素子の電気抵
抗(R)を測定し、R/ROを記録した。炭酸ガスの送
入から409/fiに、チューブに送入するガスを、9
00℃の温度の空気に切換え、同様に時間の経過ととも
に、検出式子の電気抵抗(R)を1則定し、R/ Ro
を記録した。さらに空気の送入から40分後、すなわち
f11’lEの炭酸ガスの14人から801)後に、チ
ューブに送入するガスを9008Cに加熱した炭酸ガス
に切り換え、前記と同様に時間の経過とともに、検出素
子の電気抵@(R)を1四′ポし、R/Roを記録した
つ その結果は、412図に示すとおりであった、アルミナ
板上に取り付けた水酸アパタイトの薄弱状の検出素子も
、実側例1と同様に鋭敏な炭酸ガスに対する応答特性を
何することがわかるっ〔発明の効果〕 本発明によると、ガス中に含まれる炭やガスをきわめて
簡単に検出することができる。
第1図は、水酸アパタイトの奪膜哨を使用する炭酸ガス
の検出素子の斜面図、第2図は、その側面図、第3図は
加熱器を使用する炭酸ガスの検出素子の側面図、第4図
は、多孔質型の炭酸ガスの検出素子の′M面図、第5図
は、加熱器を兼用するリード線を何する多孔質型の炭酸
ガスの検出1子の斜11illi図、第6図は、本発明
の炭酸ガスを検出する方法を実施する一例のフローシー
ト、第7図は、炭酸ガスと接触する水酸アパタイトの温
度による電気抵抗の′子化を示す図に1第8図は、炭唆
ガスと接触する水酸アパタイトの膜厚による′電気抵抗
の変化を示す図表、第9図は、水酸ナトリウムアパタイ
トにおけるNa含頃と電気抵抗の関係を示す図表、第1
0区は、炭酸ガス!農度による水酸アパタイトの電気抵
抗の変化を示す図表、第1I図は、水酸アパタイトの多
孔質屯桔体険出素子のセンサー特性を示す図表、そして
第12図は、水酸アパタイトの薄−状検出素子のセンサ
ー特性を示す図表である。 〔図面符号〕 1:水酸アパタイトの傳1戻や1 2:電 極 3:電 極 4:態勢性の基体 5:リード線 7:ヒーター 8:多孔質の水酸アパタイト 9:電 極 9:電 極 10 : ’、B 極 10:電 は・ ll:リード線 12:リード線 13:除湿器 14:ヒーター 15:炭酸ガスの存在を検知するセンサーI6:電気抵
抗またはインピーダンスの測定器17:ガスの流れるラ
イン 出m人 積水化15品工″!S株式会社代哩人 弁理士
江 1) 昭 + 薯2囚 矛8図 呼I%y(旬
の検出素子の斜面図、第2図は、その側面図、第3図は
加熱器を使用する炭酸ガスの検出素子の側面図、第4図
は、多孔質型の炭酸ガスの検出素子の′M面図、第5図
は、加熱器を兼用するリード線を何する多孔質型の炭酸
ガスの検出1子の斜11illi図、第6図は、本発明
の炭酸ガスを検出する方法を実施する一例のフローシー
ト、第7図は、炭酸ガスと接触する水酸アパタイトの温
度による電気抵抗の′子化を示す図に1第8図は、炭唆
ガスと接触する水酸アパタイトの膜厚による′電気抵抗
の変化を示す図表、第9図は、水酸ナトリウムアパタイ
トにおけるNa含頃と電気抵抗の関係を示す図表、第1
0区は、炭酸ガス!農度による水酸アパタイトの電気抵
抗の変化を示す図表、第1I図は、水酸アパタイトの多
孔質屯桔体険出素子のセンサー特性を示す図表、そして
第12図は、水酸アパタイトの薄−状検出素子のセンサ
ー特性を示す図表である。 〔図面符号〕 1:水酸アパタイトの傳1戻や1 2:電 極 3:電 極 4:態勢性の基体 5:リード線 7:ヒーター 8:多孔質の水酸アパタイト 9:電 極 9:電 極 10 : ’、B 極 10:電 は・ ll:リード線 12:リード線 13:除湿器 14:ヒーター 15:炭酸ガスの存在を検知するセンサーI6:電気抵
抗またはインピーダンスの測定器17:ガスの流れるラ
イン 出m人 積水化15品工″!S株式会社代哩人 弁理士
江 1) 昭 + 薯2囚 矛8図 呼I%y(旬
Claims (11)
- (1)一般式: M_1_0(ZO_4)_6(OH)_2(1)〔式に
おいて、Mは、Ca、Ba、Br、Sr、PbおよびC
dからなる群より選択された元素であり、ZはP、As
およびVからなる群より選択された元素である。〕によ
って示される水酸アパタイトを炭酸ガスと接触させるこ
と、および水酸アパタイトの電気抵抗を測定し、その電
気抵抗の変化によって炭酸ガスを検知することを特徴と
する炭酸ガスを検出する方法。 - (2)水酸アパタイトを、500〜1000℃の温度に
おいて、炭酸ガスと接触させることを特徴とする特許請
求の範囲第1項に記載の炭酸ガスを検出する方法。 - (3)水酸アパタイトのインピーダンスを測定し、その
インピーダンスの変化によって炭酸ガスを検知すること
を特徴とする特許請求の範囲第1項または第2項に記載
の炭酸ガスを検出する方法。 - (4)一般式(1)の水酸アパタイトに、一般式(1)
におけるMがSc、Y、Ti、Bi、V、Ni、Mn、
Fe、Sn、Rb、Na、KおよびCsからなる群より
選択された元素であり、そしてZがSi、Ge、Cr、
Mn、AlおよびBからなる群より選択された元素であ
る化合物を、0〜10モル%含ませることを特徴とする
特許請求の範囲第1項ないし第3項のいずれかに記載の
炭酸ガスを検出する方法。 - (5)炭酸ガスが500〜1000℃に加熱されており
、それによって水酸アパタイトを、500〜1000℃
の温度において、炭酸ガスと接触させることを特徴とす
る特許請求の範囲第2項ないし第4項のいずれかに記載
の炭酸ガスを検出する方法。 - (6)水酸アパタイトを500〜1000℃の温度に加
熱し、それによって水酸アパタイトを、500〜100
0℃の温度において、炭酸ガスと接触させることを特徴
とする特許請求の範囲第2項ないし第4項のいずれかに
記載の炭酸ガスを検出する方法。 - (7)水酸アパタイトと接触させる炭酸ガスが、除湿さ
れていることを特徴とする特許請求の範囲第1項ないし
第7項のいずれかに記載の炭酸ガスを検出する方法。 - (8)耐熱性の基体または耐熱性の基板上に取り付けら
れた水酸アパタイトの薄膜層であって、電極が取り付け
られていることを特徴とする炭酸ガスの検出素子。 - (9)水酸アパタイトの薄膜層が、多孔質の焼結体であ
ることを特徴とする特許請求の範囲第8項に記載の炭酸
ガスの検出素子。 - (10)耐熱性の基体または耐熱性の基板上に取り付け
られた加熱器、および電極が取り付けられている水酸ア
パタイトの薄膜層からなることを特徴とする炭酸ガスの
検出素子。 - (11)水酸アパタイトの薄膜層が、多孔質の焼結体で
あることを特徴とする特許請求の範囲第10項に記載の
炭酸ガスの検出素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21128784A JPS6190049A (ja) | 1984-10-11 | 1984-10-11 | 炭酸ガスを検出する方法およびその検出素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21128784A JPS6190049A (ja) | 1984-10-11 | 1984-10-11 | 炭酸ガスを検出する方法およびその検出素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6190049A true JPS6190049A (ja) | 1986-05-08 |
JPH0418260B2 JPH0418260B2 (ja) | 1992-03-27 |
Family
ID=16603431
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP21128784A Granted JPS6190049A (ja) | 1984-10-11 | 1984-10-11 | 炭酸ガスを検出する方法およびその検出素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6190049A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0201936A2 (en) * | 1985-05-16 | 1986-11-20 | Sekisui Kaseihin Kogyo Kabushiki Kaisha | Element for detecting carbon dioxide gas and process for producing the same |
JPH0396845A (ja) * | 1989-09-08 | 1991-04-22 | Sekisui Plastics Co Ltd | 炭酸ガス検出素子 |
US10342571B2 (en) | 2015-10-23 | 2019-07-09 | Inari Medical, Inc. | Intravascular treatment of vascular occlusion and associated devices, systems, and methods |
US10349960B2 (en) | 2014-06-09 | 2019-07-16 | Inari Medical, Inc. | Retraction and aspiration device for treating embolism and associated systems and methods |
US10524811B2 (en) | 2015-10-23 | 2020-01-07 | Inari Medical, Inc. | Intravascular treatment of vascular occlusion and associated devices, systems, and methods |
US10588655B2 (en) | 2012-11-20 | 2020-03-17 | Inari Medical, Inc. | Methods and apparatus for treating embolism |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56101704A (en) * | 1980-01-17 | 1981-08-14 | Mitsubishi Electric Corp | Moisture sensitive element |
JPS58166249A (ja) * | 1982-03-26 | 1983-10-01 | Mitsubishi Electric Corp | 感湿感温感ガス素子 |
-
1984
- 1984-10-11 JP JP21128784A patent/JPS6190049A/ja active Granted
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56101704A (en) * | 1980-01-17 | 1981-08-14 | Mitsubishi Electric Corp | Moisture sensitive element |
JPS58166249A (ja) * | 1982-03-26 | 1983-10-01 | Mitsubishi Electric Corp | 感湿感温感ガス素子 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0201936A2 (en) * | 1985-05-16 | 1986-11-20 | Sekisui Kaseihin Kogyo Kabushiki Kaisha | Element for detecting carbon dioxide gas and process for producing the same |
JPH0396845A (ja) * | 1989-09-08 | 1991-04-22 | Sekisui Plastics Co Ltd | 炭酸ガス検出素子 |
US10588655B2 (en) | 2012-11-20 | 2020-03-17 | Inari Medical, Inc. | Methods and apparatus for treating embolism |
US10349960B2 (en) | 2014-06-09 | 2019-07-16 | Inari Medical, Inc. | Retraction and aspiration device for treating embolism and associated systems and methods |
US10342571B2 (en) | 2015-10-23 | 2019-07-09 | Inari Medical, Inc. | Intravascular treatment of vascular occlusion and associated devices, systems, and methods |
US10524811B2 (en) | 2015-10-23 | 2020-01-07 | Inari Medical, Inc. | Intravascular treatment of vascular occlusion and associated devices, systems, and methods |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0418260B2 (ja) | 1992-03-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Iwahara et al. | Galvanic cell-type humidity sensor using high temperature-type proton conductive solid electrolyte | |
US20060102494A1 (en) | Gas sensor with nanowires of zinc oxide or indium/zinc mixed oxides and method of detecting NOx gas | |
JPS6190049A (ja) | 炭酸ガスを検出する方法およびその検出素子 | |
EP0201936B1 (en) | Element for detecting carbon dioxide gas and process for producing the same | |
JPH0226741B2 (ja) | ||
JPH0571534B2 (ja) | ||
JPS5897801A (ja) | 感湿素子 | |
JP2707246B2 (ja) | 湿度センサ | |
US7631540B2 (en) | Gas sensor with nanowires of zinc oxide or indium/zinc mixed oxides and method of detecting NOx gas | |
JPH06186193A (ja) | 炭酸ガスセンサ素子および炭酸ガス濃度測定方法 | |
JPH0570785B2 (ja) | ||
JPS62173702A (ja) | プロトン導電体湿度センサおよびこの湿度センサを用いた湿度検出方法 | |
JPS58200153A (ja) | ガス検知素子 | |
JPH04329353A (ja) | 炭酸ガス・湿度センサ | |
JPS60162951A (ja) | 感湿素子 | |
JPS6160380B2 (ja) | ||
JPS61262647A (ja) | 炭酸ガスの検出素子材料およびその製造法 | |
JPS60170760A (ja) | 可燃性ガス検知素子 | |
JPS59230152A (ja) | ガス検知素子 | |
JPS6057203B2 (ja) | 感湿素子 | |
JPS6335085B2 (ja) | ||
JPS5811082B2 (ja) | 温度湿度検出素子 | |
JPS6160382B2 (ja) | ||
JPH03111749A (ja) | 炭酸ガス検知材料 | |
JPH09145656A (ja) | 接触燃焼式ガスセンサ |