JPS618928A - 基板乾燥装置 - Google Patents
基板乾燥装置Info
- Publication number
- JPS618928A JPS618928A JP12984084A JP12984084A JPS618928A JP S618928 A JPS618928 A JP S618928A JP 12984084 A JP12984084 A JP 12984084A JP 12984084 A JP12984084 A JP 12984084A JP S618928 A JPS618928 A JP S618928A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzles
- substrate
- pipes
- directions
- gas supply
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F26—DRYING
- F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
- F26B21/00—Arrangements or duct systems, e.g. in combination with pallet boxes, for supplying and controlling air or gases for drying solid materials or objects
- F26B21/004—Nozzle assemblies; Air knives; Air distributors; Blow boxes
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、半導体ウェハ等の基板の搬送式乾燥装置に関
するものである。
するものである。
従来例の構成とその問題点
従来の搬送式乾燥装置は、第１図及び第２図にその具体
構成を示すように、基板（例えば半導体ウェハ）１は、
モーター２、駆動プーリ３、丸ベルト４、従動プーリ６
により駆動されるローラコンベア６により矢印入方向に
搬送される。（７゜８は軸受、９は伝達プーリ、１０は
丸ベルト）、基板１は、搬送中において、ローラコンベ
ア６の上方及び下方に設けられ、タンク１１に取付けら
れた管１２．１３のノズル１４．１５から吹出される窒
素等のホットガスにより水滴等が除去され、乾燥が行な
われる。
構成を示すように、基板（例えば半導体ウェハ）１は、
モーター２、駆動プーリ３、丸ベルト４、従動プーリ６
により駆動されるローラコンベア６により矢印入方向に
搬送される。（７゜８は軸受、９は伝達プーリ、１０は
丸ベルト）、基板１は、搬送中において、ローラコンベ
ア６の上方及び下方に設けられ、タンク１１に取付けら
れた管１２．１３のノズル１４．１５から吹出される窒
素等のホットガスにより水滴等が除去され、乾燥が行な
われる。
しかし、このような装置では、基板１の前処理の相違に
よる乾燥条件の変更調整に対して、ロー２コンベア６の
搬送スピード、ホットガスの吹出しの圧力、流量等は容
易に変えられるものの、管１２．１３が固定されている
ために、ノズル１４゜１５の高さ位置、基板１に対する
ホットガスの吹出し角度を変更調整することができない
欠点を有している。
よる乾燥条件の変更調整に対して、ロー２コンベア６の
搬送スピード、ホットガスの吹出しの圧力、流量等は容
易に変えられるものの、管１２．１３が固定されている
ために、ノズル１４゜１５の高さ位置、基板１に対する
ホットガスの吹出し角度を変更調整することができない
欠点を有している。
発明の目的
本発明は、基板乾燥の条件を最適にするためにホットガ
ス吹出レズルの高さ位置、角度を容易に変えられる。し
かもコンパクトな装置を提供するものである。
ス吹出レズルの高さ位置、角度を容易に変えられる。し
かもコンパクトな装置を提供するものである。
発明の構成
本発明の装置は、コンベアにより搬送される水洗された
基板の上方及び下方に、基板に対して乾燥用ガスを吹き
つける複数個のノズルを配した装置であって、前記ノズ
ルを配する管と、ガス供給用管との間をシールを有する
偏心フランジにより連結したことにより、ノズルの高さ
位置、角度を容易に変えられるようにして、基板の乾燥
のだめの条件設定をしやすくしたものである。
基板の上方及び下方に、基板に対して乾燥用ガスを吹き
つける複数個のノズルを配した装置であって、前記ノズ
ルを配する管と、ガス供給用管との間をシールを有する
偏心フランジにより連結したことにより、ノズルの高さ
位置、角度を容易に変えられるようにして、基板の乾燥
のだめの条件設定をしやすくしたものである。
実施例の説明
以下、本発明の一実施例について、第３図にもとすき説
明する。図において、１６は基板、１７は基板１６を搬
送するローラコンベア、１８．１９は軸受、２０は駆動
モーター、２１は駆動側プーリ、２２は丸ベルト、２３
は従動側プーリ、２４は他のローラへの伝達用丸ベルト
である。２６はガス供給管、２６はフレーム、２７は偏
心フランジ、２８はノズル付管、２９はノズルである。
明する。図において、１６は基板、１７は基板１６を搬
送するローラコンベア、１８．１９は軸受、２０は駆動
モーター、２１は駆動側プーリ、２２は丸ベルト、２３
は従動側プーリ、２４は他のローラへの伝達用丸ベルト
である。２６はガス供給管、２６はフレーム、２７は偏
心フランジ、２８はノズル付管、２９はノズルである。
偏心フランジ２７の一方はボ・ルト３ｏによりガス供ｊ
給管２６と回転方向で３ｏ０〜４０°
傾けられるようにして取付けられており、他の一方は、
ノズル付管２８にボルト３１により回転方向で３０゜〜
４０°傾けられるように取付けられている。ガス供給管
２６はフレーム２６にボルト３２により取付けられてい
る。３３．３４はシール用の０リングである。３５〜４
４は同様に下方に取付けられた配管部である。
給管２６と回転方向で３ｏ０〜４０°
傾けられるようにして取付けられており、他の一方は、
ノズル付管２８にボルト３１により回転方向で３０゜〜
４０°傾けられるように取付けられている。ガス供給管
２６はフレーム２６にボルト３２により取付けられてい
る。３３．３４はシール用の０リングである。３５〜４
４は同様に下方に取付けられた配管部である。
駆動モーター２０からの回転は駆動プーリ２１゜丸ベル
ト２２．従動プーリ２３によりローラー７に伝達されて
、基板１６を搬送する。基板１６は搬送中においてノズ
ル付管２８．３８のノズル２９．３９から吹き出す５０
０〜６０°Ｃの窒素ガスにより水分が除去され乾燥され
る。このとき、ノズル付管２８．３８は、第４図に示す
ように、偏心フランジ２７．３７への取付は位置を回転
方向に変えることによりノズル２９．３９の方向ヲＣ及
びＤ方向に変えることができる。また偏心フランジ２７
，３７と、ガス供給管２５．３５との取付は位置を回転
方向に変えることによりノズル付管２８，３８’（ｉ７
高さ方向Ｅ、Ｆ方向に変えるこ ２ｊ とができる。
ト２２．従動プーリ２３によりローラー７に伝達されて
、基板１６を搬送する。基板１６は搬送中においてノズ
ル付管２８．３８のノズル２９．３９から吹き出す５０
０〜６０°Ｃの窒素ガスにより水分が除去され乾燥され
る。このとき、ノズル付管２８．３８は、第４図に示す
ように、偏心フランジ２７．３７への取付は位置を回転
方向に変えることによりノズル２９．３９の方向ヲＣ及
びＤ方向に変えることができる。また偏心フランジ２７
，３７と、ガス供給管２５．３５との取付は位置を回転
方向に変えることによりノズル付管２８，３８’（ｉ７
高さ方向Ｅ、Ｆ方向に変えるこ ２ｊ とができる。
発明の効果
このように本発明では、供給管とノズル付管との間に偏
心フランジをもうけることにより、乾燥用ガスの吹出し
ノズルの角度、高さ位置を容易に変えることができ、基
板乾燥条件の理想的な設定を可能とする効果を有する。
心フランジをもうけることにより、乾燥用ガスの吹出し
ノズルの角度、高さ位置を容易に変えることができ、基
板乾燥条件の理想的な設定を可能とする効果を有する。
第１図は従来の基板乾燥装置の全体斜視図、第２図は従
来の基板乾燥装置の断面図、第３図は本発明の一実施例
の基板乾燥装置の断面図、第４図は第３図におけるＢ方
向矢視図である。 １６・・・・・・基板、１７・・・・・・ローラ、３３
．４３・・・・・・０リング、２５．３５・・・・・・
ガス供給管、２６゜３６・・・・・・偏心フランジ、２
８．３８・・・・・ノズル付管、２９．３９・・・・・
・ノズル。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図
来の基板乾燥装置の断面図、第３図は本発明の一実施例
の基板乾燥装置の断面図、第４図は第３図におけるＢ方
向矢視図である。 １６・・・・・・基板、１７・・・・・・ローラ、３３
．４３・・・・・・０リング、２５．３５・・・・・・
ガス供給管、２６゜３６・・・・・・偏心フランジ、２
８．３８・・・・・ノズル付管、２９．３９・・・・・
・ノズル。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図
Claims (1)
- コンベアにより搬送される水分の付着した基板の上方及
び下方に、基板に対して乾燥用ガスを吹きつける複数個
のノズルを配し、前記ノズルを配する管と、ガス供給用
の管との間をシールを有する偏心フランジにより連結し
た基板乾燥装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12984084A JPS618928A (ja) | 1984-06-22 | 1984-06-22 | 基板乾燥装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12984084A JPS618928A (ja) | 1984-06-22 | 1984-06-22 | 基板乾燥装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS618928A true JPS618928A (ja) | 1986-01-16 |
Family
ID=15019533
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12984084A Pending JPS618928A (ja) | 1984-06-22 | 1984-06-22 | 基板乾燥装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS618928A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0650022A1 (de) * | 1993-10-22 | 1995-04-26 | ATOTECH Deutschland GmbH | Verfahren und Anordnung zum fleckenfreien Entfernen von an Oberflächen von Behandlungsgut anhaftender Flüssigkeit |
| US5948853A (en) * | 1996-01-26 | 1999-09-07 | General Electric Company | One component room temperature vulcanizable silicone sealant having an increased work life |
| US6418640B1 (en) * | 1999-05-31 | 2002-07-16 | Hitachi Electronics Engineering Co., Ltd. | Drying apparatus for a substrate and drying method thereof |
-
1984
- 1984-06-22 JP JP12984084A patent/JPS618928A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0650022A1 (de) * | 1993-10-22 | 1995-04-26 | ATOTECH Deutschland GmbH | Verfahren und Anordnung zum fleckenfreien Entfernen von an Oberflächen von Behandlungsgut anhaftender Flüssigkeit |
| US5948853A (en) * | 1996-01-26 | 1999-09-07 | General Electric Company | One component room temperature vulcanizable silicone sealant having an increased work life |
| US6418640B1 (en) * | 1999-05-31 | 2002-07-16 | Hitachi Electronics Engineering Co., Ltd. | Drying apparatus for a substrate and drying method thereof |
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