JPS618745A - 光学式情報再生装置 - Google Patents
光学式情報再生装置Info
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- JPS618745A JPS618745A JP12690084A JP12690084A JPS618745A JP S618745 A JPS618745 A JP S618745A JP 12690084 A JP12690084 A JP 12690084A JP 12690084 A JP12690084 A JP 12690084A JP S618745 A JPS618745 A JP S618745A
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- Japan
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- signal
- light
- output signal
- differential amplifier
- photodetector
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
- G11B7/09—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B7/095—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following specially adapted for discs, e.g. for compensation of eccentricity or wobble
- G11B7/0956—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following specially adapted for discs, e.g. for compensation of eccentricity or wobble to compensate for tilt, skew, warp or inclination of the disc, i.e. maintain the optical axis at right angles to the disc
-
- G—PHYSICS
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
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- G11B7/094—Methods and circuits for servo offset compensation
Landscapes
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野］
この発明は、同心円状あるいはスパイラル状の記録トラ
ックに、情報がピット列として記録された記録媒体（以
下ディスクと呼称する）から、情報を再生する光学式情
報再生装置に関するものである。
ックに、情報がピット列として記録された記録媒体（以
下ディスクと呼称する）から、情報を再生する光学式情
報再生装置に関するものである。
第１図は従来のこの種光学式情報再生装置の一例を示す
説明図であり、図において（１１は半導体レーザ等の光
源、（２）は光源はｊよシ射出された光束、（３）はコ
リメータ、（４１は偏光ビームスプリッタ、（５１は偽
波長板、（６）は集光レンズ、（７）は集光された光ス
ポット、（８１はモータにより回転されるディスク、（
９）はディスク（８：上の記録トラック、囮は記録トラ
ック（９）を形成するピット、Ｕυは２つの受光領域を
有する光検知器、（２）は差動増幅器、（１３１は集光
レンズ（６１を記録トラック（９）とダメする方向Ａに
揺動する光スポット移動装置、０４は光源（１）から射
出する光束の中心軸、α９は集光レンズ（６）の光軸、
ＣＩＱはローパスフィルタでりる。
説明図であり、図において（１１は半導体レーザ等の光
源、（２）は光源はｊよシ射出された光束、（３）はコ
リメータ、（４１は偏光ビームスプリッタ、（５１は偽
波長板、（６）は集光レンズ、（７）は集光された光ス
ポット、（８１はモータにより回転されるディスク、（
９）はディスク（８：上の記録トラック、囮は記録トラ
ック（９）を形成するピット、Ｕυは２つの受光領域を
有する光検知器、（２）は差動増幅器、（１３１は集光
レンズ（６１を記録トラック（９）とダメする方向Ａに
揺動する光スポット移動装置、０４は光源（１）から射
出する光束の中心軸、α９は集光レンズ（６）の光軸、
ＣＩＱはローパスフィルタでりる。
光源（１１〜へ射出された直線偏光の光束＋２１はコリ
メータレンズ（３１により平行光束となり、偏光ビーム
スプリッタ］４）を透過し、さらに偽波長板（５：を透
過して円偏光となり、集光レンズ（６：によりディスク
１８１上に集光される。集光された光スポットは、記録
トラック（９）を形成するピッ） ｆｌｏｌおよびその
近傍のランド部により反射・回折されて集光レンズ（６
）に入射し、偽波長板（５）をｉ遇し、入射光とは直交
する偏光状態の光束となり、偏光ビームスプリッタ（４
）によシ分離されて光検知器Ｕυへ入射する。
メータレンズ（３１により平行光束となり、偏光ビーム
スプリッタ］４）を透過し、さらに偽波長板（５：を透
過して円偏光となり、集光レンズ（６：によりディスク
１８１上に集光される。集光された光スポットは、記録
トラック（９）を形成するピッ） ｆｌｏｌおよびその
近傍のランド部により反射・回折されて集光レンズ（６
）に入射し、偽波長板（５）をｉ遇し、入射光とは直交
する偏光状態の光束となり、偏光ビームスプリッタ（４
）によシ分離されて光検知器Ｕυへ入射する。
ピットｆｉｌ）の深さが光の波長の偽の整数倍でない限
り、光スポット（７）のトラック（９）の中心からのず
れに相応して、光検知器１１１の分割された２つの受光
領域のそれぞれに入る光量は均等でなくなり、差動増幅
器α乃はローパスフィルタｏＱヲ介してトラッキング信
号ケ光スポット移動装置（１３１へ送る。この信号に応
じて、光スポット移動装置（１３は光スポット（７）を
記録トラック（９）の中心に合わせるように集光レンズ
Ｅｌｌ移動する。
り、光スポット（７）のトラック（９）の中心からのず
れに相応して、光検知器１１１の分割された２つの受光
領域のそれぞれに入る光量は均等でなくなり、差動増幅
器α乃はローパスフィルタｏＱヲ介してトラッキング信
号ケ光スポット移動装置（１３１へ送る。この信号に応
じて、光スポット移動装置（１３は光スポット（７）を
記録トラック（９）の中心に合わせるように集光レンズ
Ｅｌｌ移動する。
なお、この徨の光学式情報再生装置には、光スポッリを
常にディスク；８１の記録トラック（９）上に合焦させ
るための機構が必要であることはいうまでもないが、こ
こではこの発明に関係がないので、省略した。また、ピ
ット情“報の読みとシ機構についても同様に省略した。
常にディスク；８１の記録トラック（９）上に合焦させ
るための機構が必要であることはいうまでもないが、こ
こではこの発明に関係がないので、省略した。また、ピ
ット情“報の読みとシ機構についても同様に省略した。
従来の装置は、以上のように構成されているので、トラ
ッキングによる集光レンズ（６）の揺動によって、光源
（１１から射出される光束＋２１の中心軸α◆と集光レ
ンズ（６）の光軸α→がずれた場合、集光レンズ（６１
に入射する光束の片側が集光レンズ（６１の開口端から
はみ出すために、たとえ光スポット（７）が記録トラッ
ク（９）の中心にあっても、光検知器ｔ１１１のそれぞ
れの受光領域に入る光量が均等でなくなり、差動増幅器
（２）の出力には誤ったトラッキング信号が出現する。
ッキングによる集光レンズ（６）の揺動によって、光源
（１１から射出される光束＋２１の中心軸α◆と集光レ
ンズ（６）の光軸α→がずれた場合、集光レンズ（６１
に入射する光束の片側が集光レンズ（６１の開口端から
はみ出すために、たとえ光スポット（７）が記録トラッ
ク（９）の中心にあっても、光検知器ｔ１１１のそれぞ
れの受光領域に入る光量が均等でなくなり、差動増幅器
（２）の出力には誤ったトラッキング信号が出現する。
この結果、光スポット移動装置０３はこの誤ったトラッ
キング信号がゼロとなる方向に集光レンズ（６）全移動
させ、トラッキングオフセットが生じるという欠点があ
った。同様に、ディスク１８１が集光レンズ（６）の光
軸αＱに対して佃い゛た場合にもトラッキングオフセッ
トが生じるという欠点があった。トラッキングオフセッ
トは直ちに再生信号の劣化を招くもので、極めて重要な
障害である。
キング信号がゼロとなる方向に集光レンズ（６）全移動
させ、トラッキングオフセットが生じるという欠点があ
った。同様に、ディスク１８１が集光レンズ（６）の光
軸αＱに対して佃い゛た場合にもトラッキングオフセッ
トが生じるという欠点があった。トラッキングオフセッ
トは直ちに再生信号の劣化を招くもので、極めて重要な
障害である。
この発明は、光軸ずれ、あるいはディスクの傾きが発生
した場合にも、トラッキングオフセットが生じない、も
しくはトラッキングオフセットの極めて小さな光学式情
報再生装置を提供することを目的としており、この目的
のためこの発明では光検知器のそれぞれの受光領域から
の出力信号の差信号を、ピットの中央部における信号と
、相違なるピッ・ト間のランド中央部における信号に分
離し、後者の信号からオフセットに対する信号を検知し
、これによって前者の信号を補正して正確なトラッキン
グ信号を得る手段を付加した。
した場合にも、トラッキングオフセットが生じない、も
しくはトラッキングオフセットの極めて小さな光学式情
報再生装置を提供することを目的としており、この目的
のためこの発明では光検知器のそれぞれの受光領域から
の出力信号の差信号を、ピットの中央部における信号と
、相違なるピッ・ト間のランド中央部における信号に分
離し、後者の信号からオフセットに対する信号を検知し
、これによって前者の信号を補正して正確なトラッキン
グ信号を得る手段を付加した。
第２図はこの発明の一実施例會示すブロック図であり、
図においてＩｌｌ、’（１つ、（１り、ＱＱは第１医の
同一符号と同一または相当する部分を示し、（１７１は
加算増幅器、ｔｉｌｌは微分器、ｕ９はゼロレベルを基
準電圧とするコンパレータ、のはコンパレータ１１鎌を
通過するイ慇号空立上シでゼロクロスする瞬間にパルス
を発生する第１のパルス発生器、Ｑ］）はコンパレータ
（田ヲ通過する信号が立下りでゼロクロスする瞬間にパ
ルスを発生する第２のパルス発生器、に）は第１のパル
ス発生器舛のパルスに応動して差動増幅器α２の出力信
号をサンプル・ホールドする第１のサンプル・ホールダ
、（ハ）は第２のパルス発生器？υのパルスに応動して
差動増幅器α諺の出力信号をサンプル・ホールドする第
２のサンプル・ホルダ、（２４１Ｕ第２のサンプル・ホ
ルダーの出力レベルを調整するレベル調整器、に）は第
２の差動増幅器である。
図においてＩｌｌ、’（１つ、（１り、ＱＱは第１医の
同一符号と同一または相当する部分を示し、（１７１は
加算増幅器、ｔｉｌｌは微分器、ｕ９はゼロレベルを基
準電圧とするコンパレータ、のはコンパレータ１１鎌を
通過するイ慇号空立上シでゼロクロスする瞬間にパルス
を発生する第１のパルス発生器、Ｑ］）はコンパレータ
（田ヲ通過する信号が立下りでゼロクロスする瞬間にパ
ルスを発生する第２のパルス発生器、に）は第１のパル
ス発生器舛のパルスに応動して差動増幅器α２の出力信
号をサンプル・ホールドする第１のサンプル・ホールダ
、（ハ）は第２のパルス発生器？υのパルスに応動して
差動増幅器α諺の出力信号をサンプル・ホールドする第
２のサンプル・ホルダ、（２４１Ｕ第２のサンプル・ホ
ルダーの出力レベルを調整するレベル調整器、に）は第
２の差動増幅器である。
第３図は第２図に示す実施例の各部における信号の関係
を示す説明図であり、以下、第２図に示す実施例の動作
を第３図によって説明する。
を示す説明図であり、以下、第２図に示す実施例の動作
を第３図によって説明する。
第３図（ａｌに示すように、ピット（１０）列から形成
された記録トラック（９）を光スポット（７１が矢印の
方向に斜めに横切る場合を想定する。すなわち、光束（
２１の中心軸α→と集光レンズ（６）の光軸αυがずれ
ていないならは、光スポット（７；が点Ｐの位置にきた
ときにトラッキング信号がゼロとなる場合である。
された記録トラック（９）を光スポット（７１が矢印の
方向に斜めに横切る場合を想定する。すなわち、光束（
２１の中心軸α→と集光レンズ（６）の光軸αυがずれ
ていないならは、光スポット（７；が点Ｐの位置にきた
ときにトラッキング信号がゼロとなる場合である。
加算増幅器側の出力波形は第３図ｆｂｌに示すようにな
る。この波形（ｂ）が微分器（１８）を通ると第３図（
ｃｌに示すような波形となる。従って、第１のパルス発
生器が、第２のパルス発生器ａ！ηの出力パルスはそれ
ぞれ第３図（ｄｉ 、 （ｅｌに示すタイミングで発生
する。すなわち、第１のパルス発生器（２０）のパルス
はピット１１０）の中央に光スポット（７）がきたとき
に発生し、第２のパルス発生器Ｑ１）のパルスはピット
間のランド部中央に光スポット（７）がきたときに発生
する。一方、差動増幅器（ロ）の出力は、光軸ずれや、
ディスク傾きのためにオフセット信号が加算されている
ものとするとげ）に示すようになる。この波形（ｆ＋を
（ｄｌのタイミングでサンプル・ホールドする第１のサ
ンプル・ホールダ（２）の出力波形は第３図（ｇ）のよ
うになり、オフセット信号が加算されている。レベル調
整器例の出力は、（ｅ）のタイミングで波形（ｆ）ｋサ
ンプル・ホールドした信号のレベル調整をしたものであ
り、第３図ｆｈ）に示すようにほぼ一定の値となる。従
って、この一定値が（ｇｌのオフセット％、４のレベル
にほぼ等しくなるように調警すると、第２の差動増幅器
に）を経て、ローパスフィルタＯＱを通った信号は、オ
フセット信号を含まないトラッキング信号ｔｉ＋となり
、この信号によって光スポット移動装置１３１が、集光
レンズ（６）を揺動するならば、正確なトラッキングが
できることになる。
る。この波形（ｂ）が微分器（１８）を通ると第３図（
ｃｌに示すような波形となる。従って、第１のパルス発
生器が、第２のパルス発生器ａ！ηの出力パルスはそれ
ぞれ第３図（ｄｉ 、 （ｅｌに示すタイミングで発生
する。すなわち、第１のパルス発生器（２０）のパルス
はピット１１０）の中央に光スポット（７）がきたとき
に発生し、第２のパルス発生器Ｑ１）のパルスはピット
間のランド部中央に光スポット（７）がきたときに発生
する。一方、差動増幅器（ロ）の出力は、光軸ずれや、
ディスク傾きのためにオフセット信号が加算されている
ものとするとげ）に示すようになる。この波形（ｆ＋を
（ｄｌのタイミングでサンプル・ホールドする第１のサ
ンプル・ホールダ（２）の出力波形は第３図（ｇ）のよ
うになり、オフセット信号が加算されている。レベル調
整器例の出力は、（ｅ）のタイミングで波形（ｆ）ｋサ
ンプル・ホールドした信号のレベル調整をしたものであ
り、第３図ｆｈ）に示すようにほぼ一定の値となる。従
って、この一定値が（ｇｌのオフセット％、４のレベル
にほぼ等しくなるように調警すると、第２の差動増幅器
に）を経て、ローパスフィルタＯＱを通った信号は、オ
フセット信号を含まないトラッキング信号ｔｉ＋となり
、この信号によって光スポット移動装置１３１が、集光
レンズ（６）を揺動するならば、正確なトラッキングが
できることになる。
なお、上記の説明では、光スポット移動装置０３）は、
集光レンズ（６）を揺動するものとしたが、光源（１）
、コリメータレンズ（３１、偏光ビームスプリッタ（４
１、１／４波長板（５）、集光レンズ（６１および光検
知器Ｕを相互の関係位置の固定された１つの光学系とし
、この光学系全体を揺動する構成としてもよく、この場
合には揺動による光軸ずれが生じないので、ディスク傾
きに起因するトラッキングオフセットのみを補正すれば
よく、より効果的になる。
集光レンズ（６）を揺動するものとしたが、光源（１）
、コリメータレンズ（３１、偏光ビームスプリッタ（４
１、１／４波長板（５）、集光レンズ（６１および光検
知器Ｕを相互の関係位置の固定された１つの光学系とし
、この光学系全体を揺動する構成としてもよく、この場
合には揺動による光軸ずれが生じないので、ディスク傾
きに起因するトラッキングオフセットのみを補正すれば
よく、より効果的になる。
１だ、上記の説明では、サンプル・ホールドするタイミ
ングを決めるパルスを、立上９時と立下り時にわけて、
それぞれ光スポット（７）がピット中央にくるタイミン
グと、ピット間のランド中央にくるタイミングに対応さ
せたが、この対応は相対的なもので、もしディスクを逆
回転させたならば、対応が逆になることはいうまでもな
い。さらに、上記の説明では、２つの受光領域を有する
光検知器を引例したが、この発明はこれに限らず、例え
ば、十字状に４分割された光検知器の場合にも適用でき
ることは明らかである。また、和信号を微分器に入力す
る際、直流分を含めているが、あらかじめ低域遮断フィ
ルタを通して交流成分のみを微分器に入力しても、この
発明の効果に変化が生じないことも明らかである。
ングを決めるパルスを、立上９時と立下り時にわけて、
それぞれ光スポット（７）がピット中央にくるタイミン
グと、ピット間のランド中央にくるタイミングに対応さ
せたが、この対応は相対的なもので、もしディスクを逆
回転させたならば、対応が逆になることはいうまでもな
い。さらに、上記の説明では、２つの受光領域を有する
光検知器を引例したが、この発明はこれに限らず、例え
ば、十字状に４分割された光検知器の場合にも適用でき
ることは明らかである。また、和信号を微分器に入力す
る際、直流分を含めているが、あらかじめ低域遮断フィ
ルタを通して交流成分のみを微分器に入力しても、この
発明の効果に変化が生じないことも明らかである。
この発明は以上説明したとおｐ１光検知器のそれぞれの
受光領域からの出力信号の差信号を、ピットの中央にお
ける信号と、相遅なるピット間のランド中央部における
信号に分離し、後者の信号からオフセットに対する信号
を検知し、これによりて前者の信号を補正してトラッキ
ング信号を得るので、光軸ずれや、ディスク傾きが生じ
ても、正確なトラッキングができるという効果がある。
受光領域からの出力信号の差信号を、ピットの中央にお
ける信号と、相遅なるピット間のランド中央部における
信号に分離し、後者の信号からオフセットに対する信号
を検知し、これによりて前者の信号を補正してトラッキ
ング信号を得るので、光軸ずれや、ディスク傾きが生じ
ても、正確なトラッキングができるという効果がある。
第１図は従来のこの種光学式情報再生装置の一例を示す
説明図、第２図はこの発明の一実施例を示すブロック図
、第３図は第２図に示す実施例の各部における信号の関
係を示す説明図である。 図において（１）は光源、＋３１はコリメータレンズ、
（４１は偏光ビームスプリッタ、（５）は憾波長板、（
６）は集光レンズ、（７）は光スポット、（８１はディ
スク、（９）は記録トラック、ｉ（ｌはビット、１１υ
は光検知器、（２）は第１の差動増幅器、ｕ３は光スポ
ット移動装置、（ロ）はローパスフィルタ、＋１７１は
加算増幅器、＋１８１は微分器、（ｌ！Ｊハコンパレー
タ、■は第１のパルス発生器、Ｑｌ）Ｆｉ第２のパルス
発生器、■は第１のサンプル・ホールダ、ｇ３ｈ第２の
サンプル・ホールダ、（２４１はレベル調整器、（ホ）
は第２の差動増幅器である。 尚、各図中同一符号は同−又は相当部分を示す。 第１図 第３図
説明図、第２図はこの発明の一実施例を示すブロック図
、第３図は第２図に示す実施例の各部における信号の関
係を示す説明図である。 図において（１）は光源、＋３１はコリメータレンズ、
（４１は偏光ビームスプリッタ、（５）は憾波長板、（
６）は集光レンズ、（７）は光スポット、（８１はディ
スク、（９）は記録トラック、ｉ（ｌはビット、１１υ
は光検知器、（２）は第１の差動増幅器、ｕ３は光スポ
ット移動装置、（ロ）はローパスフィルタ、＋１７１は
加算増幅器、＋１８１は微分器、（ｌ！Ｊハコンパレー
タ、■は第１のパルス発生器、Ｑｌ）Ｆｉ第２のパルス
発生器、■は第１のサンプル・ホールダ、ｇ３ｈ第２の
サンプル・ホールダ、（２４１はレベル調整器、（ホ）
は第２の差動増幅器である。 尚、各図中同一符号は同−又は相当部分を示す。 第１図 第３図
Claims (1)
- 光源から光束をコリメータレンズ、偏光ビームスプリ
ッタ、１／４波長板および集光レンズを介して記録媒体
上に光スポットとして集光し、上記記録媒体上に形成さ
れたピット列の記録トラックからの反射回折光から情報
を読みとる光学式情報再生装置において、上記集光レン
ズ、１／４波長板および偏光ビームスプリッタを介して
取り出した上記記録媒体からの反射回折光の上記記録媒
体上の記録トラック方向に対して対称的に分割された少
くとも２つの受光領域を有する光検知器、この光検知器
の対応する受光領域からの出力信号の和を求める加算増
幅器、この加算増幅器の出力信号を微分する微分器、こ
の微分器の出力信号をゼロレベルの基準電圧と比較する
コンパレータ、このコンパレータで上記微分器の出力信
号が立上りでゼロクロスする瞬間にパルスを発生する第
１のパルス発生器、上記コンパレータで上記微分器の出
力信号が立下りでゼロクロスする瞬間にパルスを発生す
る第２のパルス発生器、上記光検知器の対応する受光領
域からの出力信号の差を求める第１の差動増幅器、上記
第１のパルス発生器のパルスに応動して上記第１の差動
増幅器の出力信号をサンプルホールドする第１のサンプ
ル・ホールダ、上記第２のパルス発生器のパルスに応動
して上記第１の差動増幅器の出力信号をサンプル・ホー
ルドする第２のサンプル・ホールダ、この第２のサンプ
ルホールダの出力信号のレベルを調整するレベル調整器
、上記第１のサンプル・ホールダの出力信号と上記レベ
ル調整器の出力信号の差を求める第２の差動増幅器、こ
の第２の差動増幅器の出力信号をもとに上記記録媒体上
の光スポットを記録トラックと交叉する方向へ移動しト
ラッキングさせる光スポット移動装置を備えたことを特
徴とする光学式情報再生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12690084A JPS618745A (ja) | 1984-06-20 | 1984-06-20 | 光学式情報再生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12690084A JPS618745A (ja) | 1984-06-20 | 1984-06-20 | 光学式情報再生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS618745A true JPS618745A (ja) | 1986-01-16 |
Family
ID=14946660
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12690084A Pending JPS618745A (ja) | 1984-06-20 | 1984-06-20 | 光学式情報再生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS618745A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0270118A2 (en) * | 1986-12-03 | 1988-06-08 | Fujitsu Limited | Apparatus for recording and reading an optical disc, having reduced offset in its tracking error signal |
| JPH0254969A (ja) * | 1988-08-19 | 1990-02-23 | Fuji Electric Co Ltd | Ｍｏｓ型半導体装置 |
| JPH0254857A (ja) * | 1988-08-19 | 1990-02-23 | Fuji Electric Co Ltd | イオンビーム中性化装置 |
| JPH0254858A (ja) * | 1988-08-19 | 1990-02-23 | Fuji Electric Co Ltd | イオンビーム中性化装置 |
| JPH0282458A (ja) * | 1988-09-16 | 1990-03-23 | Sanyo Electric Co Ltd | 溶融炭酸塩燃料電池 |
| JPH0282448A (ja) * | 1988-09-16 | 1990-03-23 | Sanyo Electric Co Ltd | 水素吸蔵合金電極及びその電極を備えた密閉型アルカリ蓄電池 |
| JPH09115152A (ja) * | 1996-08-05 | 1997-05-02 | Hitachi Ltd | 光ディスク装置 |
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1984
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