JPS6184416A - スラスト軸受デイスク並びにこれを用いた流体スラスト軸受 - Google Patents

スラスト軸受デイスク並びにこれを用いた流体スラスト軸受

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JPS6184416A
JPS6184416A JP60185950A JP18595085A JPS6184416A JP S6184416 A JPS6184416 A JP S6184416A JP 60185950 A JP60185950 A JP 60185950A JP 18595085 A JP18595085 A JP 18595085A JP S6184416 A JPS6184416 A JP S6184416A
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height
fluid
disk
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マーシヤル ピー.セイビル
アルストン リー. バン グ
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C17/00Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement
    • F16C17/04Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for axial load only
    • F16C17/042Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for axial load only with flexible leaves to create hydrodynamic wedge, e.g. axial foil bearings

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明はスラスト軸受ディスク並びにこれを用いた流体
スラスト軸受に関する。
流体あるいはガスを用いた流体軸受が各分野において広
く利用されている。この流体軸受は、通常所定の間隔で
離間され、両者間の空間に空気のような流体が充填され
る相対移動可能な二部材を備え、この二部材は流体力学
上互いに接触しないよう構成されてなり、流体スラスト
軸受として有効に利用され得る。
(従来の技術) 近年流体軸受、特に流体力学に基づくガス軸受は相対移
動可能な二支承部材間の空間にフォイルを配設すること
により支承機能を向上している。
この種のフォイルは通常柔軟な材料で薄手のシート状に
設けられ、隣接する支承面間に生じる流体力学的な力に
より変位され得、これにより流体軸受の流体力学上の特
性が向上され、且通常の玉軸受等では破損を来たすよう
な大きな荷重を受けても動作可能にされ得る。またこの
種のフォイルによシ、相対移動可能な二部材に偏位力が
生じたとき、これを補正して緩衝機能を向上できる利点
も持つ。
更に軸受用の流体として比較的清浄な流体や外気を簡便
に利用でき、流体力学的フィルムをもって@滑される軸
受は特に高速回転装置に適用して良好である。且流体力
学に基づく流体軸受の荷重支承能力は、2収束面の相対
移動により流体フィルムに生じる圧力のみによって定ま
り、支承面間の流体を外部から圧力上昇させ荷重支承能
力を高める必要があることも多い。この流体圧力の昇圧
には、渭浄な圧縮流体の供給源が必要となる。
上述の利点を得るため相対移動可能な2部材間に弾性を
有したフォイルを適切に配設する各種の構成が提案され
ている。例えば米国特許第3,635”、 534号に
開示のスラスト軸受においては、点溶接等によりディス
ク上に互いに離間して複゛数の′フォイルを装着し、2
支承部材の一芳上にディスクを配設する汎用の構成がと
られている。この米国特許の流体軸受では全作動状態に
おいてフォイルを安定化させるため、フォイルに予荷重
を与える必要がある。すなわち複数のフォイルが装着さ
れる支承部材と対をなす相対移動可能な他の支承部材に
対し各フォイルを介し予荷重が与えられることになる。
また例えば米国特許第3,893,733号および第4
,153,315号においては、フォイルの下部に別個
の弾性補強部材を配設し、所望の予荷重を与えるように
構成されている。
一方始動を容易にし軸受の損耗を低減するため、各フォ
イルには成層炭化フッ素、二硫化モリブデン、黒鉛螢石
等の高滑性材が被覆されることが好適である。しかしな
がらこの被覆を行なうことにより、フォイル軸受の寿命
は向上されるが、高温では被覆材が劣化する問題があっ
た。即ちフォイル軸受が高温環境下に置かれることがあ
るが、通常この種の被覆材はフォイルのみであるときほ
ど高温1ユ対応し得す、被覆材の材賀に応じて耐熱限界
が決まる不都合があった。この場合高温に耐えうる彼(
4材を新たに提供するか、あるいは被覆されたフズイル
面における動作温度を低下させる構成が望まれるが、例
えば米国特許第4,227,753号および第4,24
7,155号においてフォイル軸受を冷却する構成が提
案されている。
更にフォイル軸受の汎用性が高まるに応じ、組立性が良
く、安価なフォイル軸受が望まれている。
軸方向の熱伝4路長を短かくし、構成が簡潔で製造の容
易なフォイル軸受を思量すべく米国特許第3.747,
997号および3 、8’09 、443号が提案され
ている。
(気門が解決しようとする問題点) しかしながら上述のいずれの従来技術においても、相対
的に回転可能な二部材間に配設される多θのフォイルを
スラスト軸受ディスクに溶接等によって同右せしめる構
成が収られており、依然として製造rl=i、−が煩雑
であ゛す、且フォイルも充分に放熱効果を汀するには到
ってい7よかった。
従って本発明は上記の問題点を解決し、更に構成の+、
’il ?π化を図ると共に、放熱効果を顕著に向上で
きるスラスト軸受ディスク並びに流体スラスト軸受を提
供することを目的とするものである。
(問題点を解決するための手段) 上記の目的を達成するため本発明のスラスト軸受ディス
ク並びに流体スラスト軸受においては薄手の弾性を有し
た環状のディスクと、リング状のディスク上に一体に形
成された収束する複数の弾性を有したフォイルと、フォ
イル間に形成された拡散する複数の傾斜面とを備えてな
ることを特徴とする。
(作用) しかして本発明により構成した流体スラスト軸受にあっ
ては、特にフォイル支承体のスラスト軸受ディスクに多
数のフォイルを一体に形成するから、フォイルを個別に
スラスト軸受ディスクに固着するものに比し構成が大巾
に簡潔にされ、且フォイルを直接有するから熱伝導路長
が最短になる上、収束するフォイルに拡散する傾斜面を
連接させるから放熱作用を顕著に向上される。
(実施例) 第1図を参照するに本発明による流体スラスト軸受が示
されている。流体スラスト軸受にはスラストランナ00
)が包有され、スラストランナ(101のシャツ)Q2
1はフォイル支承体をなすスラスト軸受ディスク(14
1およびバネ性を有したスラスト軸受保持板のを介し、
スラストプレート(2(至)上に回転可能に支承される
。スラスト軸受ディスクIには半径方向内側に向って巾
が狭くなる複数のフォイル(161が形成されている。
また軸受保持板(221には複数の上棟部(24+と上
棟部(2(へ)とが交互に形成されており、スラスト軸
受ディスク(+41に対し予荷重を与えると共に支承機
能を果たすように設けられている。
且第2図および第3図に示すように、スラスト軸受ディ
スクIには半径方向内側に延びる複数のスロット(18
1が具備され、このスロットα印を介在して、薄手で弾
性を有した半径方向内側に向って巾の狭くなる複数のフ
ォイル(1(11が円周方向に配列される。各スロツ)
 18)はほぼU字状をなし外脚部(至)と内脚部t:
1iilとを庁する。スロット[1υの外脚部(2)と
スラスト円板■の外同部との間、およびスロット(18
の内脚部(2))とスラスト軸受ディスクIの内周部と
の間には夫々拡散(いわばスラストランナ(101面か
ら徐々に離れる)する傾斜面(301,c33が形成さ
れる。即ちスラスト軸受ディスクα滲には収束(いわば
スラストランカOI面に徐々に接近する)するフォイル
(161と発散する傾斜面ω、02が交互に具備されて
いる。また傾斜面(至)、(33間にほぼU字状のスロ
ット(18が形成される場合、第3図に示すようにフォ
イル(leの後縁部(11はフォイル16)と同様1:
収束するように延長される。
第4図および第5図には本発明の流体フォイルスラスト
軸受のスラスト軸受ディスクIの別の実施例が示されて
いる。本実施例においてはスロットα秒がほぼL字状を
なし外脚部(ロ)のみを有しており、内脚部印を有して
いない。又傾斜面m 、 c37JはスロットαBに対
しほぼ半径方向に合致させて設けられている。この場合
スロツ) (18、の外脚部(ロ)も除去し、半径方向
に直線状に延びるスロットとして形成することもできる
第4図にはスラスト軸受保持板(2′IJの上棟部間の
、スラス[1受デイスク(1沿のフォイル(1eに対す
る相対位置が点線で示されており、傾斜面(至)、03
の底部(いわばフォイル(16)の先林部)から半径方
向に延びる線と上棟部Q4の半径方向の中心線とは角度
υ1をなす。一方フオイルαeの先縁部と後縁部αηと
は角度02をなしている。各フォイル(leに対し好適
に予荷重を与え支承機能を果すには、角度θ、を角度θ
2の約2/3にすることにより実質的に全作動状た−1
において最適な支承機能を得ることができる。
このとき角度θ1は角度θ2の約’/2から約1倍にせ
しめ、’/2より小にしないことが必要である。
更に第6図および87図に示される他の実施例において
、スラスト軸受ディスクθ・0にはスラスト軸受ディス
ク(141の中央開口に開口部(41を介し直接連設さ
れる15字状のスロツ)(18)が具備され、且外周部
に単一の傾斜面Iが形成されている。この場合、上記の
第4図および第5図の実施例と同様に本実施例において
もスロット(181はL字状にせずに半径方向に直線状
に延長し得る。
第8図乃至第11図には更に他の2つの実施例が示され
ている。この場合スラスト軸受ディスク(44Jには単
に半径方向内側に向って巾が狭まる複数のフォイル(4
61とスラスト軸受ディスク(旬の厚さ方向に拡散し、
且フォイル(461間において半径方向::延びる複数
の傾斜面(4&とが形成される。また特に第10図およ
び第11図の実施例においては傾斜面t48)’l−&
数の冷却穴e501が4設せしめられてなる。
第12図乃至第14図には第1図の流体フォイルスラス
ト軸受に使用されるスラスト軸受保持板t23が拝承さ
れており、スラスト軸受保持板(27Jには、上棟部(
2をおよび上棟部(26)に加えて、スラスト軸受保持
板(2′lJをスラストプレート12騰に対し好適な位
置に保持するよう機能する突起部I2粉が形成されてい
る。またスラスト軸受保持板(22の、スラストプレー
ト(至)に対する位置を好適に維持させるためにスラス
ト軸受ディスク0(イ)に切欠き部(27)を設けるこ
ともできる。
且また上述の各実施[V+1の流体スラスト軸受におい
ては従来の流体スラスト軸受と同様、各フォイルの支承
部に高掴滑躬を塗布し得る。更に各スラスト軸受ディス
クα滲のスロットは光化学法(二よる加工、機械的打抜
き、又は他の同等な方法により形成しうる。一方傾斜面
は抑圧成形あるいは他の同様の機械的方法によりJb成
可能である。
一方、流体力学的に云って粘性によりフィルムに発生す
る熱の一部はフォイルおよびスラスト軸受ディスクを経
て放熱されるので、上述の各実施例の如くフォイルをス
ラスト軸受ディスクと一体に形成することにより、各フ
ォイルを別体のディスク上に装着したものに比べ放熱路
を短かくできる。これにより構成を簡潔にし得、製造が
容易になり、延いては製造コストを安価にできかつ高い
支承機能を維持できる。
第2図および第3図の実施例並びに第4図および第5図
の実施例の双方において傾斜面を外周部のみに設け、内
径部には傾斜面を設けないよう構成することもできる。
また内周部の傾斜面の拡散角ないしは長さく即ち傾斜面
の高さ)を外周部の傾斜面の拡散角ないしは長さと異な
るようにも構成しうる。史に外周部の傾斜面は除去し内
周部の傾斜面のみにすることもできる。且第8図および
第9図の実施例並ひに第10図および第11図の実施例
において、傾斜面の拡散角ないしは長さを半径方向に沿
って変化させ得る。
一方傾斜面の実際の拡散角および高さは所定の動作状態
に応じ変化され得る。またフォイルがスラスト軸受ディ
スクに一体に形成されているため拡散面を大にでき、流
体力学上の大きな圧力が発生し得、スラスト支承機能を
高めて、流体フォイルスラスト軸受の負荷能力を大にし
得る。且フォイル面は所望の動作特性に応じて比較的平
坦にあるいは僅か:二中高に形成できる。各傾斜面の高
さは通常o、ooos乃至0.010インf(約0.0
13乃至約0.254mm )好ましくは0.001乃
至0.002インチ(約0.025乃至約o、osom
m)である。また第6図および第7図のスラスト軸受デ
ィスクは、開口部何1を設けたことによる剛さの低下を
補償するため、第2図および第3図のスラスト軸受ディ
スクより厚手にすることが好ましい。更にスラスト軸受
ディスクに設けるフォイルの数はスラスト軸受ディスク
の動作条件に応じて力〕宜に増減し得る。
本発明を図示の実施例に沿って上述したが、本発明は図
示の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲
の技術的思想に含まれる設計変更を包有することは理解
されよう。本発明はスラスト軸受として上述したが例え
ばスラスト部材を有する円錐軸受にも応用できる。
(発明の効果) 上述のように構成された本発明の流体スラスト軸受によ
れば、構成がiti+ トJ+>になるから組立性が向
上され、低廉化を促進できると共に、高い放熱効果を得
れるから、高温下での使用に耐え、汎用性をより高める
ことができる。
本発明の実施態様を要約して以下に記載する。
1、相対的に回転可能に配設され一方が他方に回転可能
に支承される一対の部材と、一対の部材間に配設され一
対の部材の一方に対し装イtされる弾性を有したフォイ
ル支承体とを備え、フォイル支承体にはスラスト軸受デ
ィスクとスラスト軸受保持板とが色面され、スラスト軸
受ディスクには収束する複数の弾性を有したフォイルと
実質的にフォイル間に位置し拡散する複数の傾斜面とが
一体に形成され、スラスト軸受保持板は一対の部材の一
方およびスラスト軸受ディスク間において円周方向に交
互に位置する仮数の上棟部および上棟部を有してなる流
体スラスト軸受。
2拡散する傾斜面には半径方向へ延びるスロットを介し
離間された複数の内周部の傾斜面と外周部の傾斜面とが
包有されてなる上記第1項記載の流体スラスト軸受。 
          ′3、スロットが実質的にU字状
である上記第2項記載の流体スラスト軸受。
4、スロットが実質的に5字状であり、L字形の底辺部
に外周部の傾斜面が具備されてなる上記第2項記載の流
体スラスト軸受。
5、拡散する傾斜面がスラスト軸受ディスクの内周部に
配置されてなる上記第1項記載の流体スラスト軸受。
6、拡散する傾斜面がスラスト軸受ディスクの外周部に
配置されてなる上記第1項記載の流体スラスト軸受。
Z拡散する傾斜面がスラスト軸受ディスクの外周部に配
置され、スラスF 41!I受デイスクには傾斜面から
内周部へ半径方向に延びる検数のスロットが具備されて
なる上記第1項記載の流体スラスト軸受。
8、拡散する傾斜面の高さが実質的にo、ooos乃至
0,010インチ(約0.013乃至約0.254rn
m )である上記第2項記載の流体スラスト軸受。
9、拡散する傾斜面の高さが実質的に0.001乃至0
.002インチ(約0.025乃至約0.050朋→で
ある上記第2項記載のbit、体スラスト軸受。
10、スラストラン力側に配設され収束する複数の弾性
を有したフォイルとフォイル間に配設され拡散する複数
の傾斜面とを一体に形成したスラスト軸受ディスクを包
有するフォイル支承体をスラストランナおよびスラスト
プレート間に配設する工程と、円周方向に交互に複数の
上棟部および上棟部を形成したスラスト軸受保持板をス
ラスト軸受ディスクとスラストプレートとの間に配設す
る工程とを包有してなるスラストランナをスラスト板上
に回転可能に支承する方法。
11、薄手の弾性を有したリング状のディスクを形成す
る工程と、リング状のディスクの周囲に半径方向に延び
る複数の傾斜面と、隣接する傾斜面間に収束する弾性を
有したフォイルとを形5成する工程とを包有してなるフ
ォイル支承体のスラスト軸受ディスクを製造する方法。
12傾斜面には半径方向に離間されて複数の開口部が形
成されてなる上記第1項記載の流体スラスト軸受。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による流体スラスト軸受の分解斜視図、
第2図は同部分の拡大平面図、第3図は第2図の線3−
3に沿って切断した断面図、第4図は本発明の他の実施
例の部分拡大平面図、第5図は第4図の線5−5に沿っ
て切断した断面図、第6図は本発明の別の実施例の部分
拡大平面図、第7図は第6図の線7−7C二沿って切断
した断面図、第8図は本発明の更に他の実施例の部分拡
大平面図、2(−9図は第8図の69−9に沿って切断
した断面図、第10図は本発明の更に別の実施例の部分
拡大平面図、第11図は第10図の線11−11に沿っ
て切断した断面図、第12図は第1図の渡体スラスト軸
受に使用される補強部材の平面図、第13図は第12図
の腺ta−13に沿って切断した断面図、第14図はf
12図の補強部材の底面図である。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、薄手の弾性を有した環状のディスクと、リング状の
    ディスク上に一体に形成された収束する複数の弾性を有
    したフォイルと、フォイル間に形成された拡散する複数
    の傾斜面とを備えてなることを特徴とする弾性フォイル
    支承体をなすスラスト軸受ディスク。 2、拡散する傾斜面に半径方向に延びるスロットを介し
    離間される内周部の傾斜面と外周部の傾斜面とが包有さ
    れてなる特許請求の範囲第1項記載のスラスト軸受ディ
    スク。 3、スロットが実質的にU字状である特許請求の範囲第
    2項記載のスラスト軸受ディスク。 4、スロットが実質的にL字状であり、L字形の底辺部
    が外周部の傾斜面に具備されてなる特許請求の範囲第2
    項記載のスラスト軸受ディスク。 5、拡散する傾斜面が内周部に配置されてなる特許請求
    の範囲第1項記載のスラスト軸受ディスク。 6、拡散する傾斜面が外周部に配置されてなる特許請求
    の範囲第1項記載のスラスト軸受ディスク。 7、拡散する傾斜面が外周部に配置され、且傾斜面から
    内周部へ半径方向に延びる複数のスロットが具備されて
    なる特許請求の範囲第1項記載のスラスト軸受ディスク
    。 8、スロットが実質的にL字状であり、L字形の底辺部
    に傾斜面が具備されてなる上記第7項記載のスラスト軸
    受ディスク。 9、拡散する傾斜面の高さが実質的に0.0005乃至
    0.010インチ(約0.013乃至約0.254mm
    )である特許請求の範囲第1項記載のスラスト軸受ディ
    スク。 10、拡散する傾斜面の高さが実質的に0.001乃至
    0.002インチ(約0.025乃至約0.050mm
    )である特許請求の範囲第1項記載のスラスト軸受ディ
    スク。 11、内周部の傾斜面の高さが外周部の傾斜面の高さと
    異ならしめてなる特許請求の範囲第2項記載のスラスト
    軸受ディスク。 12、内周部の傾斜面の高さが外周部の傾斜面の高さよ
    り大である特許請求の範囲第2項記載のスラスト軸受デ
    ィスク。 13、内周部の傾斜面の高さが外周部の傾斜面の高さよ
    り小である特許請求の範囲第12項記載のスラスト軸受
    ディスク。 14、半径方向に延びる複数のスロットの一側が内周部
    の傾斜面および外周部の傾斜面の底部と実質的に半径方
    向に合致して設けられてなる特許請求の範囲第2項記載
    のスラスト軸受ディスク。 15、実質的に半径方向に延び、U字状に形成されたス
    ロットの開口部側が内周部の傾斜面および外周部の傾斜
    面の上部と実質的に半径方向に合致して設けられてなる
    特許請求の範囲第3項記載のスラスト軸受ディスク。 16、収束する弾性を有したフォイルの後縁部が内周部
    の傾斜面および外周部の傾斜面の上部を越えて延びてな
    る特許請求の範囲第2項記載のスラスト軸受ディスク。 17、拡散する各傾斜面が内周部から外周部へ延びてな
    る特許請求の範囲第1項記載のスラスト軸受ディスク。 18、傾斜面の高さが半径方向に沿つて変化せしめられ
    てなる特許請求の範囲第17項記載のスラスト軸受ディ
    スク。 19、外周部に設けられた傾斜面の高さが内周部に設け
    られた傾斜面の高さより大である特許請求の範囲第18
    項記載のスラスト軸受ディスク。 20、外周部に設けられた傾斜面の高さが内周部に設け
    られた傾斜面の高さより小である特許請求の範囲第18
    項記載のスラスト軸受ディスク。 21、傾斜面には半径方向に離間されて複数の開口部が
    形成されてなる特許請求の範囲第17項記載のスラスト
    軸受ディスク。 22、相対的に回転可能に配設され、一方が他方に回転
    可能に支承される一対の部材と、一対の部材間に配設さ
    れ一対の部材の一方に対し装着される弾性を有したフォ
    イル支承体とを備え、フォイル支承体にはスラスト軸受
    ディスクが包有され、スラスト軸受ディスクには収束す
    る複数の弾性を有したフォイルと実質的にフォイル間に
    位置し拡散する複数の傾斜面とが一体に形成されてなる
    流体スラスト軸受。 23、傾斜面には半径方向に延びるスロットを介し離間
    された複数の内周部の傾斜面と外周部の傾斜面とが包有
    されてなる特許請求の範囲第22項記載の流体スラスト
    軸受。 24、スロットが実質的にU字状である特許請求の範囲
    第23項記載の流体スラスト軸受。 25、スロットが実質的にL字状である特許請求の範囲
    第23項記載の流体スラスト軸受。 26、スラストランナと、スラストランナを回転可能に
    支承するスラストプレートと、スラストランナとスラス
    トプレートとの間に配置されスラストプレートに装着さ
    れる弾性を有したフォイル支承体とを備え、フォイル支
    承体にはスラスト軸受ディスクとスラスト軸受保持板と
    が包有され、スラスト軸受ディスクはスラストランナ側
    に配設され、収束する複数の弾性を有したフォイルとフ
    ォイル間に配置された拡散する複数の傾斜面とが一体に
    形成され、スラスト軸受保持板はスラスト軸受ディスク
    とスラストプレートとの間に配設された円周方向に沿つ
    て交互に位置する複数の上棟部および下棟部を具備して
    なる流体スラスト軸受。 27、拡散する傾斜面には半径方向に延びるスロットを
    介し離間した内周部の傾斜面と外周部の傾斜面とが包有
    されてなる特許請求の範囲第26項記載の流体スラスト
    軸受。 28、スロットが実質的にU字状である特許請求の範囲
    第27項記載の流体スラスト軸受。 29、スロットが実質的にL字状であり、L字形の底辺
    部に外周部の傾斜面が具備されてなる特許請求の範囲第
    27項記載の流体スラスト軸受。 30、拡散する傾斜面がスラスト軸受ディスクの内周部
    に配置されてなる特許請求の範囲第26項記載の流体ス
    ラスト軸受。 31、拡散する傾斜面がスラスト軸受ディスクの外周部
    に配置されてなる特許請求の範囲第26項記載の流体ス
    ラスト軸受。 32、拡散する傾斜面がスラスト軸受ディスクの外周部
    に配置され、且スラスト軸受ディスクには傾斜面から内
    周部へ半径方向に延びる複数のスロットが具備されてな
    る特許請求の範囲第26項記載の流体スラスト軸受。 33、スロットが実質的にL字状でありL字形の底辺部
    に傾斜面が具備されてなる特許請求の範囲第32項記載
    の流体スラスト軸受。 34、拡散する傾斜面の高さが実質的に0.0005乃
    至0.010インチ(約0.013乃至約0.254m
    m)である特許請求の範囲第26項記載の流体スラスト
    軸受。 35、拡散する傾斜面の高さが実質的に0.001乃至
    0.002インチ(約0.025乃至約0.050mm
    )である特許請求の範囲第26項記載の流体スラスト軸
    受。 36、内周部の傾斜面の高さを外周部の傾斜面の軸方向
    の高さと異ならしめてなる特許請求の範囲第27項記載
    の流体スラスト軸受。 37、内周部の傾斜面の高さが外周部の傾斜面の高さよ
    り大である特許請求の範囲第36項記載の流体スラスト
    軸受。 38、内周部の傾斜面の高さが外周部の傾斜面の高さよ
    り小である特許請求の範囲第36項記載の流体スラスト
    軸受。 39、スロットの一側が内周部の傾斜面および外周部の
    傾斜面の底部と実質的に半径方向に合致して設けられて
    なる特許請求の範囲第27項記載の流体スラスト軸受。 40、U字状のスロットの開口部側が内周部の傾斜面お
    よび外周部の傾斜面の上部と実質的に半径方向に合致し
    て設けられてなる特許請求の範囲第28項記載の流体ス
    ラスト軸受。 41、収束する弾性を有したフォイルの後縁部が内周部
    の傾斜面および外周部の傾斜面の上部を越えて延びてな
    る特許請求の範囲第27項記載の流体スラスト軸受。 42、フォイルの先縁部およびスラスト軸受保持板の上
    棟部の半径方向の中心線間のなす角度が、フォイルの先
    縁部および後縁部間のなす角度の1/2〜1倍である特
    許請求の範囲第26項記載の流体スラスト軸受。 43、フォイルの先縁部およびスラスト軸受保持板の上
    棟部の半径方向の中心線のなす角度がフォイルの先縁部
    および後縁部間のなす角度の実質的に2/3である特許
    請求の範囲第26項記載の流体スラスト軸受。 44、拡散する各傾斜面がスラスト軸受ディスクの内周
    部から外周部に向つて延びてなる特許請求の範囲第26
    項記載の流体スラスト軸受。 45、傾斜面の高さが半径方向に沿つて変化してなる特
    許請求の範囲第44項記載の流体スラスト軸受。 46、スラスト軸受ディスクの外周部に設けられた傾斜
    面の高さがスラスト軸受ディスクの内周部に設けられた
    傾斜面の高さより大である特許請求の範囲第45項記載
    の流体スラスト軸受。 47、スラスト軸受ディスクの外周部に設けられた傾斜
    面の高さがスラスト軸受ディスクの内周部に設けられた
    傾斜面の高さより小である特許請求の範囲第45項記載
    の流体スラスト軸受。
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