JPS6179604A - 無機材料板の加工方法 - Google Patents
無機材料板の加工方法Info
- Publication number
- JPS6179604A JPS6179604A JP59201462A JP20146284A JPS6179604A JP S6179604 A JPS6179604 A JP S6179604A JP 59201462 A JP59201462 A JP 59201462A JP 20146284 A JP20146284 A JP 20146284A JP S6179604 A JPS6179604 A JP S6179604A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass plate
- inorganic material
- board
- grinding
- tubular tool
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
- Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
- Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates
Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、ＩＣ用ウェハ、ＩＣ用マスクプレート、オ
プティカルディスク、メモリディスク。
プティカルディスク、メモリディスク。
ビデオディスク用ガラス原板等に使用されるガラス、セ
ラミックス等の無機材料の板に穴あけ加工を行なう加工
方法に関する。
ラミックス等の無機材料の板に穴あけ加工を行なう加工
方法に関する。
従来、ガラス板等の無機材料板に穴あけ加工を行なう場
合、一般に管状工具を用いる。
合、一般に管状工具を用いる。
第５図は従来のこのような加工方法を説明するためのガ
ラス板の断面図である。図において、１は基台となるテ
ーブル、２はテーブル１上に載置された被加工物として
の円板形のガラス板、３は円筒形の管状工具、３’はダ
イヤモンドの刃部である。管状工具３を回転しながら下
降させて刃部３ａでガラス板２に穴２ａをあける。この
場合、管状工具３の刃部３ａがガラス板２の下面を抜け
る際に加工応力を支える部分がなくなるために割れが生
じ、多数のチップ２ｂが生ずる。この結果、ガラス板２
の下面の穴２ａの周辺部に、第６図に示すような貝殻状
のクラック２Ｃが生じてしまう。
ラス板の断面図である。図において、１は基台となるテ
ーブル、２はテーブル１上に載置された被加工物として
の円板形のガラス板、３は円筒形の管状工具、３’はダ
イヤモンドの刃部である。管状工具３を回転しながら下
降させて刃部３ａでガラス板２に穴２ａをあける。この
場合、管状工具３の刃部３ａがガラス板２の下面を抜け
る際に加工応力を支える部分がなくなるために割れが生
じ、多数のチップ２ｂが生ずる。この結果、ガラス板２
の下面の穴２ａの周辺部に、第６図に示すような貝殻状
のクラック２Ｃが生じてしまう。
このようなりラック２Ｃの発生を防止するために、第７
図に示すような加工方法が行なわれている。図において
、第５図と同一部分には同符号を用いている。ガラス板
２の下面に接着剤の薄い層５を介してダミーガラス板４
を貼り付けである。
図に示すような加工方法が行なわれている。図において
、第５図と同一部分には同符号を用いている。ガラス板
２の下面に接着剤の薄い層５を介してダミーガラス板４
を貼り付けである。
そして、ダミーガラス板４を下にしてガラス板２をテー
ブル１上に載置する。このようにすると、管状工具３で
ガラス板２に穴あけ加工を行ない、刃部３＆がガラス板
２の下面を抜ける時でも、ガラス板２の下には接着剤の
層５によシダミーガラス板４が密着しているため、加工
応力はダミーガラス板４に支えられてガラス板２の下面
には第６図のようなりラック２Ｃは生じない。そのまま
管状工具３を下降させるとダミーガラス板４の下面にク
ラック２Ｃが生じる。
ブル１上に載置する。このようにすると、管状工具３で
ガラス板２に穴あけ加工を行ない、刃部３＆がガラス板
２の下面を抜ける時でも、ガラス板２の下には接着剤の
層５によシダミーガラス板４が密着しているため、加工
応力はダミーガラス板４に支えられてガラス板２の下面
には第６図のようなりラック２Ｃは生じない。そのまま
管状工具３を下降させるとダミーガラス板４の下面にク
ラック２Ｃが生じる。
しかしながら、従来のこのような加工方法によると、被
加工物のガラス板にダミーガラス板を接着する作業工程
が必要であシ、例えば一般的なホットメルト形の接着剤
を使用するとガラス板の加熱、冷却の時間が必要となっ
て作業工程の時間が非常に長くなってしまう。また、接
着剤の硬度や管状工具の切れ味への影響を考慮して接着
剤を選定する手間が必要となる。さらに１ダミーガラス
板は加工後は他に使う用途がないため廃棄するほかはな
く、材料が無駄になるという問題もある。
加工物のガラス板にダミーガラス板を接着する作業工程
が必要であシ、例えば一般的なホットメルト形の接着剤
を使用するとガラス板の加熱、冷却の時間が必要となっ
て作業工程の時間が非常に長くなってしまう。また、接
着剤の硬度や管状工具の切れ味への影響を考慮して接着
剤を選定する手間が必要となる。さらに１ダミーガラス
板は加工後は他に使う用途がないため廃棄するほかはな
く、材料が無駄になるという問題もある。
この発明は従来のこのような欠点を解決するためになさ
れたもので、その目的とするところは、ダミーガラス板
を使うことなく、しかも貝殻状のクラック・が生じるこ
とのないガラス板等の無機材料板の加工方法を提供する
ことにある。
れたもので、その目的とするところは、ダミーガラス板
を使うことなく、しかも貝殻状のクラック・が生じるこ
とのないガラス板等の無機材料板の加工方法を提供する
ことにある。
この発明はこのような目的を達成するために、無機材料
からなる板を上面から下面に達さない所定深さ゛まで管
状工具で穴あけ加工し、板を裏返して穴あけ加工のなさ
れていない深さ部分を研削加工するものである。
からなる板を上面から下面に達さない所定深さ゛まで管
状工具で穴あけ加工し、板を裏返して穴あけ加工のなさ
れていない深さ部分を研削加工するものである。
このような穴あけ加工は下面まで貫通していないのでク
ラックが生じず、しかも穴あけ加工がされていない部分
は後から研削加工で除去されるので板に貫通した穴が形
成される。
ラックが生じず、しかも穴あけ加工がされていない部分
は後から研削加工で除去されるので板に貫通した穴が形
成される。
以下、この発明を実施例によシ詳細に説明する。
第１図（、）〜（０）はこの発明に係る無機材料板の加
工方法の一実施例における各工程の正面図である。
工方法の一実施例における各工程の正面図である。
図において、第５図と同一部分には同符号を付しである
。
。
先ず、真空チャックテーブル６上に被加工物であるガラ
ス板２を装着し、管状工具３を回転させながら降下させ
てガラス板２の上面に穴あけ加工を行なう（第１図（ａ
））。なお、第１図（、）において、６ユは真空チャッ
クテーブル６に多数形成された吸着孔であシ、テーブル
の下が負圧又は真空になっているためガラス板２は真空
チャックテーブル６上に強く吸着される。ここで、穴あ
けを行なうほぼ中心部の位置に少くとも１つの吸着孔６
ａがあるように設けられている。
ス板２を装着し、管状工具３を回転させながら降下させ
てガラス板２の上面に穴あけ加工を行なう（第１図（ａ
））。なお、第１図（、）において、６ユは真空チャッ
クテーブル６に多数形成された吸着孔であシ、テーブル
の下が負圧又は真空になっているためガラス板２は真空
チャックテーブル６上に強く吸着される。ここで、穴あ
けを行なうほぼ中心部の位置に少くとも１つの吸着孔６
ａがあるように設けられている。
ガラス板２に対する管状工具３の穴あけは、第２図に示
すように所定深さになされ下面まて達さないようにする
。この実施例では、ガラス板２は厚さｔが２．３闘のも
のが用いられ、管状工具３によって形成されたリング状
の外径ｄ（３５闘）の溝２ｄの深さ１．は１５顛である
。従って、下面側の厚さｔｚ（０，８朋）の部分は加工
が施されていない、二とになる。
すように所定深さになされ下面まて達さないようにする
。この実施例では、ガラス板２は厚さｔが２．３闘のも
のが用いられ、管状工具３によって形成されたリング状
の外径ｄ（３５闘）の溝２ｄの深さ１．は１５顛である
。従って、下面側の厚さｔｚ（０，８朋）の部分は加工
が施されていない、二とになる。
この深さｔｌは被加工物の材質、厚さ、後工程の研削量
等によって所定の値が選ばれるが、被加工物の下面にク
ラックが発生しない範囲で適当な値が設定される。
等によって所定の値が選ばれるが、被加工物の下面にク
ラックが発生しない範囲で適当な値が設定される。
次に、真空チャックテーブル６の吸着作用を停止し、ガ
ラス板２を裏返して同じ位置にセットし再び吸着作用を
行、なって裏返した状態でガラス板２を真空チャックテ
ーブル６上に装着する。次いで、真空チャックテーブル
６を軸心Ｔを中心にして回転させると同時に、研削砥石
８を回転させながら降下させてガラス板２の上面（裏返
す前は下面であった面）を研削する（第１図（ｂ））。
ラス板２を裏返して同じ位置にセットし再び吸着作用を
行、なって裏返した状態でガラス板２を真空チャックテ
ーブル６上に装着する。次いで、真空チャックテーブル
６を軸心Ｔを中心にして回転させると同時に、研削砥石
８を回転させながら降下させてガラス板２の上面（裏返
す前は下面であった面）を研削する（第１図（ｂ））。
との場合、第３図に示すように、研削によシ除去される
部分の厚さｔ３は、溝２ｄの形成がなされていない部分
の厚さｔｚより大きく設定される。本実施例ではｔ３は
１．１ｍｍになシ、ガラス板の最終厚さは１．２Ｍｉに
なる。これによって溝２ｄは貫通され、研削されて薄く
なったガラス板２０と溝２ｄの内側の中央部分２０ａは
分離する。中央部分２０ａには吸着孔６ａが位置され真
空チャックテーブル６に吸着されているので、研削によ
る分離時に中央部分２０１Ｌが動いたり、飛ばされたシ
することはない。
部分の厚さｔ３は、溝２ｄの形成がなされていない部分
の厚さｔｚより大きく設定される。本実施例ではｔ３は
１．１ｍｍになシ、ガラス板の最終厚さは１．２Ｍｉに
なる。これによって溝２ｄは貫通され、研削されて薄く
なったガラス板２０と溝２ｄの内側の中央部分２０ａは
分離する。中央部分２０ａには吸着孔６ａが位置され真
空チャックテーブル６に吸着されているので、研削によ
る分離時に中央部分２０１Ｌが動いたり、飛ばされたシ
することはない。
研削工程後にガラス板２０を真空チャックテーブル６か
らはずすと、第４図に示すように中心に穴２０ｂが形成
されたガラス円板が得られる。
らはずすと、第４図に示すように中心に穴２０ｂが形成
されたガラス円板が得られる。
一般に、ガラス板を作るためＫは面の研削工程は必ず行
なわれるものであり、穴形成のための上記研削工程はこ
れに兼用できるので、本発明を実施するのに特に工数が
増えるということはない。
なわれるものであり、穴形成のための上記研削工程はこ
れに兼用できるので、本発明を実施するのに特に工数が
増えるということはない。
ガラス板の上記研削加工を行なわ力い他方の面の研削は
穴あけ加工の前にあらかじめ粗研削しておき、穴あけ加
工後に仕と研摩をする等して行なわれる。
穴あけ加工の前にあらかじめ粗研削しておき、穴あけ加
工後に仕と研摩をする等して行なわれる。
以上の実施例ではガラ゛ス板の保持に真空チャックテー
ブルを使用したが、第１図（ａ）の工程においてはガラ
ス板の外周に磁性治具を配置してマグネットチャック式
のテーブルを用いることもできる。
ブルを使用したが、第１図（ａ）の工程においてはガラ
ス板の外周に磁性治具を配置してマグネットチャック式
のテーブルを用いることもできる。
また、被加工物としてはガラスのほかにセラミックス等
地の無機材料を用いることができる。
地の無機材料を用いることができる。
以上述べたようにこの発明に係る無機材料板の加工方法
によると、管状工具によシ板の上面から下面に速さない
所定深さまで穴あけ加工し、板を裏返して穴あけ加工の
なされていない深さ部分を研削加工することにより、穴
の周辺に貝殻状のクラックが生じることがなく歩留シが
よくなシ品質も向上する。また、研削工程は面の仕上げ
、厚さ制御も兼用できるので従来に比して特に工数が増
えることもない。また、従来のようにダミーガラスを用
いることもないので、煩雑な接着作業を要せず材料の無
駄も生じない等数多くの優れた効果がある。
によると、管状工具によシ板の上面から下面に速さない
所定深さまで穴あけ加工し、板を裏返して穴あけ加工の
なされていない深さ部分を研削加工することにより、穴
の周辺に貝殻状のクラックが生じることがなく歩留シが
よくなシ品質も向上する。また、研削工程は面の仕上げ
、厚さ制御も兼用できるので従来に比して特に工数が増
えることもない。また、従来のようにダミーガラスを用
いることもないので、煩雑な接着作業を要せず材料の無
駄も生じない等数多くの優れた効果がある。
第１図（＆）〜（ｃ）は本発明に係る無機材料板の加工
方法の一実施例における各工程の正面図、第２図は穴あ
け加工を行った状態の要部断面図、第３図は研削加工を
行った状態の要部断面図、第４図は穴あけ後のガラス板
の断面図、第５図は従来の加工方法における断面図、第
６図は貝殻状クラックを示すガラス板の斜視図、第７図
は従来の他の加工方法における断面図である。 ２．２０・・・・ガラス板、２ｄ−−・春情、２０ａ・
・・・中央部分、３・・・・管状工具、６・・・・真空
チャックテーブル、６ａ・・・・吸着孔、８・・・・研
削砥石。 第１図 第５図 第７図
方法の一実施例における各工程の正面図、第２図は穴あ
け加工を行った状態の要部断面図、第３図は研削加工を
行った状態の要部断面図、第４図は穴あけ後のガラス板
の断面図、第５図は従来の加工方法における断面図、第
６図は貝殻状クラックを示すガラス板の斜視図、第７図
は従来の他の加工方法における断面図である。 ２．２０・・・・ガラス板、２ｄ−−・春情、２０ａ・
・・・中央部分、３・・・・管状工具、６・・・・真空
チャックテーブル、６ａ・・・・吸着孔、８・・・・研
削砥石。 第１図 第５図 第７図
Claims (1)
- 無機材料からなる板をテーブル上に装着し、管状工具を
用いて板の下面に達さない所定深さまで穴あけ加工を行
ない、次いで板を裏返してテーブル上に装着し、裏返し
た板の上面に研削加工を施して穴あけ加工のなされてい
ない深さ部分を除去することにより板の穴あけ加工を完
成させることを特徴とする無機材料板の加工方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59201462A JPS6179604A (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | 無機材料板の加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59201462A JPS6179604A (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | 無機材料板の加工方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6179604A true JPS6179604A (ja) | 1986-04-23 |
Family
ID=16441489
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59201462A Pending JPS6179604A (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | 無機材料板の加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6179604A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005097107A (ja) * | 2003-09-25 | 2005-04-14 | Schott Ag | ガラス／ガラスセラミック体のある部位に開口を製造する方法 |
-
1984
- 1984-09-28 JP JP59201462A patent/JPS6179604A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005097107A (ja) * | 2003-09-25 | 2005-04-14 | Schott Ag | ガラス／ガラスセラミック体のある部位に開口を製造する方法 |
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