JPS6170522A

JPS6170522A - 走査装置

Info

Publication number: JPS6170522A
Application number: JP60182875A
Authority: JP
Inventors: ハリー　ピー　ブルーグジエマン
Original assignee: Xerox Corp
Current assignee: Xerox Corp
Priority date: 1984-08-31
Filing date: 1985-08-20
Publication date: 1986-04-11
Anticipated expiration: 2010-01-30
Also published as: JPH077151B2; EP0177174A1; EP0177174B1; US4682842A; DE3570766D1

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は走査装置に関し、特に、光学的屈折力を有する
ミラーによる走査面からの２つの反射を用いる走査装置
に関する。

（従来の技術）最近の多くのタスク走査式光学像形成装置は回転多角形
体式走査装置を用いており、この走査装置は、その回転
運動により、入射規準光ビームの反射光を、上記回転多
角形体の回転中心近くの軸中心に回転させる。かかる走
査装置は、上記多角形体に運動を伝えるために用いられ
る軸受の不正確さ、並びに、上記多角形体の面上の実際
のファセットの研削及び位置決めの不正確さのために該
装置に生ずる揺動の影響を受けることが屡々ある。

この揺動の影響によって不均一なラスク走査が生じ、そ
のために、出力走査線の位置が、これを人力的に用いる
場合でもまたは出力的に用いる場合でも、不規則となる
。

回転式多角形体の諸ファセットからの二重反射によって
揺動を相殺するということが従来から提案されており、
上記ファセットは回転軸と平行になっている。これにつ
いては米国特許第３，８９７，１３２号を参照されたい
。即ち、一つのファセットに垂直に入射する光ビームが
該ファセットによって反射された後、上記光ビームは、
ミラーの機構によって上記と同じファセットへ戻って第
２の反射をなす。ファセット反射相互間に偶数のミラー
反射があるならば、第１のファセット反射において生じ
た揺動は第２のファセット反射によって相殺される。し
かし、多角形体の回転軸と平行な多角形体ファセット、
即ち、抜き勾配ゼロの多角形体を有するかかる装置にお
いては、直線からの走査線のずれとして定義される反り
の影響が不可避である。上掲の米国特許の実施例を解析
すると、揺動は走査にわたって十分に補正されるが反り
が過大であり、２２９ｍ５（９インチ）の走査線の両端
において少なくとも１９．０５ｍ　（３／４インチ）の
変位が生ずるということが解る。

本願と同じ発明者及び譲受人にががる１９８３年９月１
５日出願の米国特許出願第５３２．３２３号においては
、作用ファセットからの二重反射によって揺動を補正す
るための多角形体式走査装置が開示されており、反りの
影響なしに揺動の補正が得られるようになっている。衝
撃する光ビームが回転多角形体の回転軸を横切り、この
多角形体が該多角形体の回転軸と平行なファセットを持
っている代りに、この米国特許出願においては、多角形
体の回転軸に対して所定の抜き勾配をなすファセ・ノド
を有する回転式多角形体が開示されており、光ビームは
上記ファセットを衝撃する。ここでも、平坦な固定ミラ
ーからの更に２つの反射により、光ビームは同じファセ
ットを衝撃せしめられ、揺動を補正し、しかも反りの影
響がない。この米国特許出願の装置においては３つの設
計変数を用いて反りの影響を減少させている。即ち、第
１のファセット反射における光線入射角、第２のファセ
ット反射における光線入射角、及び、多角形体の抜き勾
配という３つの設計変数である。

（発明が解決しようとする問題点）上記従来の装置においては、第２のファセット反射の後
、光ビームを、接線平面内に適切な屈折力を有する通例
のｆ−θ走査レンズ光学系を通過させ、これにより、走
査用光ビームを直線化して被走査面に合焦させる。しか
し、〔−θ走査レンズ光学系を省くことができれば有利
である。即ち、構成部材の個数が減少するという利益が
あるだけではなく、更に、「−θ走査レンズ光学系の機
能ミラーによって得ることができるならば、全光学列を
ミラーのみで構成し、従って全ての波長において同じ合
焦及び走査の特性を持つことができるという利益がある
。このような全ミラ一式光学列走査装置は白色光で働く
ことができる。色彩書類を走査するための白色光ラスク
入力走査装置（ＲＩＳ）はアポクロマートレンズ光学系
を持つことが必要、である。アポクロマートレンズ（３
つの色に対して補正されている）は高価であるが、全ミ
ラ一式ＲＩＳは極めて安価である。

本発明の目的は、ｆ−θ走査レンズ光学系を用いる必要
のない、改良された回転多角形体式走査装置を提供する
ことにある。

（問題点を解決するための手段）本発明においては、回転式の抜き勾配多角形体を用い、
無限共投光ビームの二重反射によって揺動を補正する。

非球面によって提供される光学的屈折力を有する１対の
固定ミラーを用い、該ミラーから上記無限共投光ビーム
を二重反射させる。

（作　用）本発明装置においては、揺動補正の機能に加えて、上記
光学的屈折力を与えられたミラーが、従来のｆ−θ走査
レンズ光学系の走査及び合焦の機能を提供する。従って
、かかるｆ−θ走査レンズ光学系を走査装置から省き、
全ミラ一式走査装置を提供することができる。

（実施例）以下、本発明をその実施例について図面を参照、　　　
　　して詳細に説明する。

本発明においては、前掲の米国特許出願の二重反射光学
系からｆ−θ走査レンズ光学系を除去し、これに代わっ
て、抜き勾配付き多角形体の同じファセットからの第２
の反射を与えるための平坦ミラーに対して光学的屈折力
を付与することにより、ｒ−θ走査レンズ光学系の機能
を提供しようとするものである。揺動補正は依然として
保持され、そして、反りは前述した３つの設計変数によ
って補正される。しかし、屈折力が２つの平坦固定ミラ
ーに付与されるので、上記３つの設計変数間の関係は、
前掲の米国特許出願に教示されているのと厳密にその通
りにはならない。前掲の米国特許出願に従う走査装置の
設計経験者は、上記変数に対して小さな調節を行なって
反りのない走査線を得ることが簡単にできるであろう。

しかし、この考え方を発展させて平坦ミラーに対して球
状の弯曲を任意に与えると、重大な非点収差という問題
が直ちに生ずる。これは、上記固定ミラーが、反１・１
されるビームに対して成る角度をなしている、というこ
とによるのである。弯曲したミラーの屈折力は、ビーム
が該ミラーに対して成る角度をなしていると、はぼ垂直
の入射角とはならず、直交方向において異なるものとな
る。２つのミラーの傾きをその弯曲に対して平衡させる
ことにより、走査の中心位置における非点収差を除去す
ることができるが、他の走査位置においては依然として
非点収差が重大である。ミラーを球面の代りにトロイド
となし、そしてこの特別の設計自由度について最適化し
ても、中心外れの非点収差の改善は微々たるものである
。

非点収差は、前掲の米国特許出願における平坦ミラーの
代りに、光学的屈折力を有するミラー、即ち、回転対称
的であるが球面状ではない弯曲した作用面、即ち、次式
で表わされる非球面を存するミラーを用いることにより
、事実上除去され得る。即ち、＋Ｃｈ”＋Ｄｈ”　　　　（１”）上式の直角座標において、Ｚは、面のたわみ、ｈｚ＝ｘ２＋ｙ２、Ｃは、面の極における曲率、即ち、頂点における曲線の
半径の逆数、ｋは、円錐係数（Ｋ＝−ｅ”）であり、球に対してはに
＝ｏ、扁球面に対してはｋ＞Ｑ、長袖が光軸上にある楕円面に対してはＱ＞ｋ＞−１、放物面に対してはに＝−１、双曲面に対してはｋ〈−１である。

Ａ、Ｂ、Ｃ，Ｄは、それぞれ４次、６次、８次の変形項
であり、本実施例に対してはゼロであるが、系の改善ま
たは調整のために追加の曲率が必要な場合にはゼロ以外
の値をとることができる。

走査系の一実施例を第１図及び第２図に示す。

即ち、第１図は走査の中心を通る断面図であり、第２図
は横走査図である。回転式多角形体１２を、普通の駆動
モータ（図示せず）により、中心線（Ｃ／Ｌ）として示
しである線中心に一定速度で回転させる。この多角形体
は任意の個数のファセットを存しておってよいが、本実
施例においては、この回転式多角形体は２０個の個別フ
ァセットを有している。各ファセットの平面を、抜き勾
配ゼロの多角形体を用いる従来の走査装置におけるよう
に回転軸または中心線と平行とはせず、上記多角形体の
フッセント中心線に対して、「抜き勾配」（Ｄ、Ａ、）
として示す角度だけ傾斜させである。

回転式多角形体１２の一つのファセット２２上を、例え
ばレーザ１０のような光源からの無限共投光（規準光）
が衝撃している。多角形体１２は外部反射ファセットを
有するものとして図示しであるが、内部反射ファセット
を有する多角形体を用いることもできる。図示の都合上
、レーザ１０とファセット２２との間には光学素子を示
してないが、使用するレーザの型式によっては何等かの
光学素子が必要となる。レーザ１０から出て来る光線１
は上記中心線と共面であり、回転式多角形体１２のファ
セット２２へ導かれる。上記光は上記多角形体に当たり
、入射角と等しい反射角で反射する。

角度■、を、第１図において、レーザ光線ｌとファセッ
ト２２の面に対する法線との間の角度として定義する。

角度■＋のこの定義に対して、ファセット２２に対する
法線を第１図の平面内に取り、上記中心線及び光線１と
共面であるとする。上記法線の位置を走査の中心と定義
する。上記光線がファセット２２によって反射された後
、該光線は第１の非球面ミラー面１８へ進む。即ち、光
線２はファセット２２によって反射された光線１である
。光線１は多角形体１２の位置とは無関係に空間的に静
止しているが、光線２は上記多角形体が回転するにつれ
て回転する。ミラー面１８は、ファセット２２の作用的
走査中は光線２が常に線面に当たるように、第１図の平
面と垂直の方向において十分に大きいことが必要である
。光線２はミラー面１８から反射される。これを光線３
として示す。

第１図゛に示すように、面１８から光線３は第２の非球
面ミラー面２０へ進み、線面から該光線は光線４として
反射される。光線３は光線２と同じ角速度で回転してい
るから、非球面ミラー面２ｏは、作用的走査中に光線３
を反射するように、面１８よりも十分に大きくなければ
ならない。即ち、面２０は、面１８よりも、ファセット
２２から光学的に遠いからである。そこで、光線４がフ
ァセット２２へ戻る。そのときの角速度は、該光線が光
線２としてファセット２２から反射した後に有していた
のと同じである。ファセット２２は回転しており、そし
て光線４も該ファセットと同じ方向に移動しているから
、ファセット２２ばミラー面２０はどに大きい必要はな
い。ミラー１８及び２０とファセット２２との間の間隔
は、これらミラー及びファセットが過大にならないよう
に、小さくしておかなければならない。小形のファセッ
ト走査装置を設計する当業者は、ミラー及び多角形体が
過大とならないようにレーザビームのパラメータの適切
な値を選定する方法を知っているであろう。

走査中、光線４は上記多角形体が回転するにつれて回転
するから、該光線はファセット２２に対して多くの入射
角を有す。これら入射角のうちの一つだけを■２として
第１図に示してあり、これは、第１図に示す紙面の平面
における光線４とファセット２２に対する法線との間の
角度である。

ファセット２２によって再び反射された後、光線４は光
線５となる。この光線５は、ファセント対ファセントの
揺動に対して補正される感光性面走査用光線であり、そ
してまた同時に反りを有しておらず、そして、事実上、
非点収差がない。

非点収差がないという条件としては、各非球面ミラー面
の「焦点」が、ビームの静止部分に在るということであ
る。第１の固定ミラー１８に対しては、この点はファセ
ット２２からの第１の反射の点となる。即ち、上記ビー
ムは第１の反射後までは空間的に静止しているからであ
る。第１の非球面ミラー１８は第１の反射像を形成する
。ミラー１８は静止しているから、この像も空間的に静
止している。この像は第１のミラー１８の他の「焦点」
であり、また第２の非球面ミラー２０の焦点である。

装置の使用においては、上記の非球面ミラー光学系は、
非点収差を減少さ廿るという要求、並びに、揺動補正、
「無限共役」における作動、及び、第１のファセット反
射後にビームを第２の反射のために適切な入射角で該フ
ァセットへ戻らせるという幾何学的配列のような他の諸
要求を満たすことが必要である。また、第１及び第２の
ファセット反射を、走査中心におけるファセット上の同
じ点において生じさせることが望ましい。これは、ファ
セットが正確に平坦に作られていない場合に、ファセッ
ト弯曲の有害な影響を最小限化する。

更に第１図について説明すると、代数の展開により、第
１の非球面ミラー１８及び第２の非球面ミラー２０の横
走査曲率のパラメータを、ミラー１８及び２０と作用フ
ァセット２２との間の距離、各ミラーにおけるビームの
入射角、及び、ファセット２２から走査すべき光受容体
または感光性面２４までの距離に関して定めた。システ
ム性能上の制約により、上記パラメータ相互間の関係が
決を定される。揺動に対して補正をなし、そして、「無限共
役」入力ビーム、即ち完全に規準した入力ビームをもっ
て作動するためには、次の式が適用され且つ満足されな
ければならない。即ち、上式において、再び第１図を参
照して説明すると、ｔｏは多角形体の作用ファセットと
第１の非球面ミラーとの間の距離、ｔ、は第１及び第２
の非球面ミラー相互間の距離、ｔ２は第２の非球面ミラ
ーと多角形体の作用ファセットとの間の距離、Ｌ、はフ
ァセットから感光性面までの距離である。

これら距離は走査中心における主光線に沿って測ったも
のであり、光線２，３．４及び５に対応する。角度１０
は固定非球面ミラーにおける入射角であり、下付き数字
１及び２はそれぞれミラー１８及び２０を示す。曲率Ｃ
ｘは横走査平面における非球面ミラーの曲率であり、式
（２）及び（３）におけるその下付き数字はミラーを示
す。

三角形の幾何学から、（Ｌ＋ｈ）　＋２ｉｏ＋＋２ｉｏ
ｚ　＝　１８０°であることは明らかである。ビームを
第１の反射上に重ねるように第２の反射において該ビー
ムをファセットへ戻らせるためには、正弦法則が次式の
如くであることが必要である。

即ち、１ｚ　　　　　１ｏ　　　　　　　１゜これらの式が全
て満足されると、各非球面ミラーのパラメータが決まる
。これらを、ミラーの頂点における曲率半径ｒ、及びミ
ラーの偏心率ｅとする。こごでも、下付は数字１及び２
を用いて非球面ミラー１８及び２０をそれぞれ示す。ミ
ラーの諸パラメータは次式の通りである。即ち、ＸＺここに、Ｌ、は次式で与えられる中間パラメータである
。即ら、ここでは式（１）のにパラメータの代りに偏心率を用い
る。即ら、平方されていないｅが符号付けされているか
らである。反射点においてミラーに近くなる「焦点」は
正であり、遠くなる「焦点」は頁である。第１図及び第
２図の装置の特定の設計に対する設計パラメータは、＋
＋＝３０°、■、＝９．１６°、ｔｚ　＝２４．５麿鴎
（１インチ）、ｊ３＝２５４Ｍ（１０インチ）、ｉ、、
＝１６．０１２１２°、及び１６．５３度の多角形抜き
勾配という所与の諸パラメータで与えられる。上記の諸
式を同時に解くと、第１のミラー１８の曲率に対しては
ＣＸ＋＝−〇、０４０３５７４５の値、第２のミラー２
０に対してはＣｘ□＝０．０４８６７００９の値が得ら
れる。

これら設計パラメータを、コンピュータに入れて解析す
ることのできる指令に、またはコンピュータに設計のレ
イアウトを描かせるための指令に変換しなければならな
い。市販の光学的ソフトウェアは解析またはレイアウト
に利用可能である。

光学的設計の当業者は、この指令を市販の種々のソフト
ウェアに入れる方法を理解できるであろう。

上述の設計の一つの特定の指令を第１表に示す。

この特定の指令は、米国のオプティカル・リサーチ・ア
ソシエーツ（Ｏｐｔｉｃａｌ　Ｒｅ５ｅａｃｈ　Ａｓ５
ｏｃｉａｔｅｓ）発行のソフトウェアパッケージのコー
ド■にある。

１　　　　　　　上述の設計には反りがあり、走査の両
端は走査の中心よりも４．５７２０　（０，１８インチ
）下にある。これは、この系の３つの設計パラメータを
単に変更することにより、例えば、面２．１１及び２７
上のアルファ角を変更することにより、大巾に減少させ
ることができる。

第１図に示す如き光学的屈折力ミラーを有する抜き勾配
多角形体式走査装置を試験すると、この装置は、２５．
４ｍ（１インチ）当り３００スポツトに制限された回折
に過ぎない走査スポットを提供し、残留収差は走査像面
弯曲及びコマであるということが認められる。非点収差
は除去されているから、像面弯曲はペンパル面の弯曲に
のみよるものと考えられる。ミラーのペンパル弯曲の寄
与は、ミラーの屈折率が−１であるので、ミラーの屈折
力が負量となることである。ミラーの系のペンパル弯曲
は、各ミラーのペンパル寄与の合計である。２ミラーの
系においては、これらミラーが互いに等しいが反対の屈
折力を有しているならば、ペソバル合計はゼロとなる。

しかし、ペノバル合ｇ−１をゼロに等しくなるようにす
ると、第１図の走査装置における像面弯曲は補正されな
い。その理由は、ビームは、屈折力を有する最後のミラ
ーの後、二度目に回転多角形体のファセットから反射さ
れるからである。走査像面弯曲を平らにするための唯一
の方法は、ミラー系内に大量のペンパル弯曲を持つこと
である。必要とするペンパル弯曲の向きは正の（凹の）
ミラーの向きである。

式（２）及び（３）は、横走査平面において、走査中心
位置、即ち、ビームが各ミラーから反射される点におい
て要求される円錐状ミラーの曲率の値を示すものである
。ＣＸＩに対する式はその前に負号を有しており、そし
て該式内の全てのパラメータは正であるから、ＣＸＩは
常に負であるということが解る。この負のミラーは、走
査像面弯曲を相殺するのに十分なペンパル弯曲を得るこ
とを不可能ならしめる。

式（２）及び（３）は、揺動補正及び無限共役という２
つの要求を満足するために引き出されたものである。揺
動補正は保持されなければならない。従って、走査像面
弯曲を除去または格段に減少させるべきならば、無限共
役に対する要求は捨てられる。これは、ファセット２２
からの第１の反射においてビーム（光！ｖｉｊ　ｌ　）
が規準されないということを意味する。規準からのずれ
は大きくはなくて１０分または２０分の弧であり、レー
ザｌＯと多角形体１２との間に標準の補正光学系を配置
することによって与えられる可能性がある。

無限共役の要求を捨てることは、設計においてＣ，ｌｌ
及びＣＸｚが両方とも従属変数ではないということを意
味する。これらのうちの一つは独立変数であって揺動補
正の要求を満たすことができ、他の一つは従属変数とな
る。ＣＸ２を独立変数として選定すると、ＣＸＩを定義
する式は２　（ｔｏ　＋ｔ＋）　（ｔｚ　＋ｔｉ）Ｃｘｚ］２　
（ｔｚ　＋ｔ３）Ｃ１ｌ□］となる。

式（１０）及び式（５）を用いて２つの光学的屈折力非
球面ミラー１８及び２０の形状を決定する。これらミラ
ーは揺動補正済み走査線を作り、且つ同時に、走査中心
において第２の反射を第１の反射に重ねる。無限共役の
条件はもはや適用不能であるから、第１のファセット反
射に先立って物点の位置が解っていなければならない。

この値ｔ、は次式で与えられる。即ち、光学的解析のための所与の式とソフトウェアとの間の繰
返しにより、無限共役回折制限式走査装置の設計の一例
を、２５．４ｗ（１インチ）当り３００スポツトに対し
て得ることができる。装置の一例において、ピラミ・ノ
ド形の多角形体は、２５５．５２４ｍｍ　（１０，０６
インチ）の作用走査長を有する１６個のファセットを有
す。この走査長のデユーティサイクルは７９％である。

走査は線を形でなく、スポット速度は一定角速度で回転するビーム
の速度であり、このビームの旋回点から２０８．２８９
８８１龍　（８，２００３８９インチ）の平坦面上にゼ
ロ（走査中心）から３１．５３１２度（走査線り）まで
の角度にわたって書込む。このシミュレーションの式は
ｈ＝８．２００３８９ｔａｎ　ｔｘであり、この式にお
いて、αは多角形体の回転角、ｈは走査中心位置からの
走査スポット距離である。

このシミュレーションの精度は２５．４ｍｍ（１インチ
）の百万分の２５よりも良い。

この例の無限共役式走査装置の走査中心位置において、
全ての収差は補正され、スポットは完全な回折制限済み
スポットである。走査の始まり（または終り）において
は走査平面内に少量のコマ及び像面弯曲があるが、射線
誤差は赤外光の波長（８００ｎｍ）の約５０分の１以下
である。青色光（４３５，８ｎｏ＋）に対しては、この
系はミラーのみから成っているので、幾何学的収差は変
化しないが、波長の一部分としてのこれら収差は変化す
る。しかし、変化する波長の主要な効果は、青色光に対
ししてはＦ数が温かに大きくて２５．４　ｍＷ（１イン
チ）当り３００スポツトが得られるということである。

アパーチャを縮小してＦ数を増加させると、大部分の収
差を生じさせる光線が除去される。その結果、青色光に
対する射線誤差は、２５．４１ｍ（１インチ）当り３０
０スポツトにおいて波長の４０分の１以下になる。アパ
ーチャを縮小させないと、この装置は青色光に対して２
５．４■■（１インチ）当り６００スポツトで働く。こ
の高い解像度においては、射線誤差は、走査の終りにお
いてｌ／１０波長以下である。射線誤差は、走査の大部
分にわたって青波長のｌ／［６以下である。

２つの二次曲面及び抜き勾配多角形体を有する例示の無
限共役回折制限型走査装置の横走査図を第３図に示す。

第１図のレーザ１０からのような規準済みビームを用い
ることができ、このビームを第３図に示す普通の集光器
５０によって規準解除して光線７を与える。上記集光器
は、ダイオードレーザ、ヘリウムネオンレーザ、変調器
、または白熱ランプのような何等かの光源から出力ビー
ムを集め、そして該ビームをこの走査装置に対する適切
な大きさ及び発散角に変化させる何等かの光学的手段で
ある。例えば、上記集光器は、オランダ国、エイントホ
ーフェン市のフィリップス（１’ｈｉｌｌｉｐｓ）社製
の如き、特別に設計された顕微鏡対物レンズ、またはプ
ラスチック非球面付きの正確な焦点距離のガラスレンズ
である。本発明に対して、上記集光器は、第３図の光線
１を、多角形体のファセット２２の前方１９７．２８１
８−■（７，７６フインチ）の距離、即ち、虚の点光源
から測ってＬｓ　”１９７．２８１８ｍｍの距離に配置
された点光源から発しているように見えさせている。

第３図に例示の装置について更に説明すると、多角形体
１２は８．３度の抜き勾配を有しており、ビームはその
ファセットに、該ファセットの法線に対して１５度の角
度で、入射する。上記ビームは第１のミラー１８へ反射
される。このミラーは、該ミラーの軸対称に図示しであ
るが、走査中は、第４図に示すように、−小部分しか使
用されない。

再び第３図について説明すると、上記ビームは第１のミ
ラー１８から第２のミラー２０へ反射される。このミラ
ーも該ミラーの軸対称に図示してあるが、これも−小部
分しか使用されない。第２のミラー２２から、上記ビー
ムは反射してファセット２２へ戻る。走査の中心におい
て、上記ビームは、該ビームが第１回目に反射されたと
同じ場所で第２回目に上記ファセットに当る。上記ファ
セットから第２回目に反射した後、上記ビームは望まし
くは、上記２つの二次曲面ミラー間を通過して光受容体
２４に合焦させられる。

走査路り位置における本実施例装置の走査平面の図を第
５図に示す。この図に対する基準平面は到来ビームの平
面であり、この平面は第４図の紙面と垂直である。第５
図に示す全ての構成部材は、この平面への投影として示
しである。例えば、上記多角形体の半径は第４図におい
ては３８．１　＋ｕ（１，５インチ）であり、第５図に
おいてはこの半径は上記基準平面への３８．１　ｍの投
影像である。

上記多角形体の回転の平面は上記基準平面に対して（１
５＋８．３）度の角度をなしているから、第５図におい
て見られる上記多角形体の半径は（３８，ｌ　Ｘｃｏｓ
　２３．３°）　＋ｎ　（（１，５Ｘｃｏｓ　２３．３
　’）−インチ）または３５．００１２重量（１，３７
８インチ）である。

第５図においては、上記諸ミラーを、上記基準平面に投
影された、上記ミラーの軸を通る断面として示しである
。実際の反射点はこれら軸を通るこれら断面上にない。

上記ミラーからの反射を示す上記ビーム中の曲がりは、
上記基準平面に投影された実際の反射点において生ずる
。

この装置を、ファセットの縁が第１の反射においてビー
ムを通って移動し始めない限り、第２の反射が上記ファ
セット上に残っているように調節した。この調節は、各
反射が走査中心位置から同距離であるという効果を有す
。第１の反射においてファセットの縁がビームを通過し
始めると、第２の反射において上記ビームは上記ファセ
ットの他の縁から離れ始める。この調節は、多角形体の
半径を減小することによ４てなされる。

第３図ないし第５図の装置の設計に対する特定の指令を
第１表にコード■に示す。

第１表及び第１表において、面６及び２２は第１及び第
２の反射におけるファセット２２にそれぞれ対応し、面
１３．１５及び２９は、ミラー１８、ミラー２０及び面
２４にそれぞれ対応する。

第１表及び第■表のズームデータの位置Ｉないし５はフ
ァセット２２の種々の角度的位置を表わし、第１表及び
第■表のズームデータの位置６は、それぞれの装置にお
いて位置５において３分の弧の揺動で生ずる変化を与え
るものである。

策−１！亘−二−二−又面番号　曲　率　　　　　厚　さ物体面　ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ　　　　　　６゜１　０
．００００００００　　　１．５０００００２　　ＤＥ
ＣＥ　　Ｏ，０００００００，００００００３０，００
００００ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ　　　　ｏ、ｏｏｏｏｏ
。

３　　ＤＥＣＥ　　０．００００（１００，０００００
０１６，５３０００００，０００００００００，９５０
０００４ＤＥｃＥｏ、ｏｏｏｏｏｏ　　ｏ、ｏｏｏｏｏ
ｏ　　ｏ、ｏｏｏｏｏ。

Ｑ、（１０００００００−０，９５（１０（１（１５Ｄ
ＥＣＥ　　Ｏ，０００００００，００００００−１６，
５３００００ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ　　　　ｏ、ｏｏｏ
ｏｏ。

６　　ＤＥＣＥ　　Ｑ、０ＯＱＱＱＯＯ，ＱＱＯＯＯ（
Ｉ　　Ｑ、ＱＯＯＯＯＱ・　ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ　　
　　ｏ、ｏｏｏｏｏ。

？　　ＤＥＣＥ、　０．００００００　０．０００００
０　０．００００００ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ　　　　ｏ
、ｏｏｏｏｏ。

８　　ＤＥＣＥ　　Ｏ，０００００００，００００００
！６．５３０００００．００００００００　　　０．９
５００００９　　ＤＥＣＥ　　Ｏ，０００００００，０
００００００，０００００００，００００００００−０
，９５００００１０ＤＥＣＥ　　Ｏ，０００００００，
００００００−１６，５３１＋０００ｏ、ｏｏｏｏｏｏ
ｏｏ　　　　ｏ、ｏｏｏｏｏ。

ガラス　　　　　　　　ストップ　　タイプｏ、ｏｏｏ
ｏｏｏ　　　ｏ、ｏｏｏｏｏ。

ｏ、ｏｏｏｏｏｏ　　　ｏ、ｏｏｏｏｏ。

Ｑ、ＱＱＱＯＱＯＯ，ＱＯＯＱＯＯＥＦＬｏ、ｏｏｏｏｏｏ　　　ｏ、ｏｏｏｏｏ。

ｏ、ｏｏｏｏｏｏ　　　ｏ、ｏｏｏｏｏ。

第　　　　１　　　　表面−デー二−！＝面番号　曲　率　　　　　厚　さ物体面　０．００００００００　　　　６．２６７４６
４ｔ　　ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ　　　　ｉ、５ｏｏｏｏ
。

２　　ＤＥＣＥ　　Ｏ，０００００００，００００００
１５，００００００ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ　　　　ｏ、
ｏｏｏｏｏ。

３　　ＤＥＣＥ　　Ｏ，０００００００，００００００
Ｂ、３００００００．００００００００　　　１．５０
００００４　　ＤＥＣＥ　　Ｏ，０００００００，００
０００００，０００００００，００００００００−１，
５０００００５ＤＥＣＥ　　Ｏ，０００００００，００
００００−８，３０００００ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ　　
　　ｏ、ｏｏｏｏｏ。

６　　ＤＥＣＥ　　Ｏ，０００００００，００００００
０，００００００ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ　　　　ｏ、ｏ
ｏｏｏｏ。

７　　ＤＥＣＥ　　Ｏ，０００００００，００００００
０，００００００ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ　　　　ｏ、ｏ
ｏｏｏｏ。

８　　ＤＥＣＥ　　Ｏ，０００００００，００００００
Ｂ、３００００００．００００００００　　　１．５０
０００９　　ＤＥＣＥ　　Ｏ，０００００００，０ＯＯ
００Ｑ　　Ｏ，０００００００，００００００００−１
，５０００００ガラス　　　　　　　　　ストン・プ　
　　タイプｏ、ｏｏｏｏｏｏ　　　ｏ、ｏｏｏｏｏ。

ｏ、ｏｏｏｏｏ。

ｏ、ｏｏｏｏｏｏ　　　ｏ、ｏｏｏｏｏ。

ＥＦＬｏ、ｏｏｏｏｏｏ　　　ｏ、ｏｏｏｏｏ。

ｏ、ｏｏｏｏｏｏ　　　ｏ、ｏｏｏｏｏ。

Ｏ，０００００００，００００００

【図面の簡単な説明】

第１図は揺動及び反りの補正を有する本発明走査装置の
横走査平面の図、第２図は第１図の装置の走査平面の図
、第３図は揺動、反り及び像面弯曲の補正を有する本発
明走査装置の他の実施例の横走査平面の図、第４図は部
分的ミラー断面を示しである第３図の装置の横走査平面
の図、第５図は第３の装置の走査平面の図である。ＩＯ・・・光源、１２・・・回転式多角形体、１８．２
０・・・非球面状ミラー、５０・・・集光器。

Claims

【特許請求の範囲】１、回転可能な多面ミラー組立体を備え、上記面は上記
組立体の回転軸との所定の抜き勾配を有しており、更に
、無限共投光の光源の光を上記多面ミラー組立体へ導く
ための第１の手段を備え、上記光は上記ミラー組立体の
各作用面によつて順々に反射され、更に、上記多面ミラ
ー組立体の作用面から反射された光の通路内に配置され
て光学的屈折力を有する第１のミラーと、上記第１のミ
ラーからの反射光の通路内に配置されて光学的屈折力を
有する第２のミラーとを備えて成り、上記第２のミラー
は、被走査面への反射のために、上記光を上記多面ミラ
ー組立体の作用面へ反射して戻し、走査用の上記光のビ
ームは、揺動の影響を有せず、反りの影響が減少してお
り、且つ、上記被走査面にあつてこれに合焦されること
を特徴とする走査装置。２、第１及び第２のミラーの各々の光学的屈折力が非球
面によつて提供される特許請求の範囲第１項記載の走査
装置。