JPS6170523A - 多角形体式走査装置 - Google Patents
多角形体式走査装置Info
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- JPS6170523A JPS6170523A JP60182876A JP18287685A JPS6170523A JP S6170523 A JPS6170523 A JP S6170523A JP 60182876 A JP60182876 A JP 60182876A JP 18287685 A JP18287685 A JP 18287685A JP S6170523 A JPS6170523 A JP S6170523A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は多角形体式走査装置に関し、特に、光学的屈折
力を有するミラーによる走査面からの有限共役ビームの
２つの反射を用いる走査装置に関する。
力を有するミラーによる走査面からの有限共役ビームの
２つの反射を用いる走査装置に関する。
（従来の技術）
最近の多くのラスタ走査式光学像形成装置は回転多角形
体式走査装置を用いており、この走査装置は、その回転
運動により、入射規準光ビームの反射光を、上記回転多
角形体の回転中心辺（の軸中心に回転させる。かかる走
査装置は、上記多角形体に運動を伝えるために用いられ
る軸受の不正確さ、並びに、上記多角形体の面上の実際
のファセットの研削及び位置決めの不正確さのために該
装置に生ずる揺動の影響を受けることが屡々ある。
体式走査装置を用いており、この走査装置は、その回転
運動により、入射規準光ビームの反射光を、上記回転多
角形体の回転中心辺（の軸中心に回転させる。かかる走
査装置は、上記多角形体に運動を伝えるために用いられ
る軸受の不正確さ、並びに、上記多角形体の面上の実際
のファセットの研削及び位置決めの不正確さのために該
装置に生ずる揺動の影響を受けることが屡々ある。
この揺動の影響によって不均一なラスク走査が生°
じ、そのために、出力走査線の位置が、これを
入力的に用いる場合でもまたは出力的に用いる場合でも
、不規則となる。
じ、そのために、出力走査線の位置が、これを
入力的に用いる場合でもまたは出力的に用いる場合でも
、不規則となる。
回転式多角形体の諸ファセットからの二重反射によって
揺動を相殺するということが従来から提案されており、
上記ファセットは回転軸と平行になっている。これにつ
いては米国特許第３．８９７．１３２号を参照されたい
。即ら、一つのファセットに垂直に入射する光ビームが
該ファセットによって反射された後、上記光ビームは、
ミラーの機構によって上記と同じファセットへ戻って第
２の反射をなす。ファセット反射相互間に偶数のミラー
反射があるならば、第１のファセット反射において生じ
た揺動は第２のファセット反射によって相殺される。し
かし、多角形体の回転軸と平行な多角形体ファセ・ノド
、即ち、抜き勾配ゼロの多角形体を有するかかる装置に
おいては、直線からの走査線のずれとして定義される反
りの影響が不可避である。上掲の米国特許の実施例を解
析すると、揺動ば走査にわたって十分に補正されるが反
りが過大であり、２２９８ｍ（９インチ）の走査線の両
端において少なくとも１９．０５龍（３／４インチ）の
変位が生ずるということが解る。
揺動を相殺するということが従来から提案されており、
上記ファセットは回転軸と平行になっている。これにつ
いては米国特許第３．８９７．１３２号を参照されたい
。即ら、一つのファセットに垂直に入射する光ビームが
該ファセットによって反射された後、上記光ビームは、
ミラーの機構によって上記と同じファセットへ戻って第
２の反射をなす。ファセット反射相互間に偶数のミラー
反射があるならば、第１のファセット反射において生じ
た揺動は第２のファセット反射によって相殺される。し
かし、多角形体の回転軸と平行な多角形体ファセ・ノド
、即ち、抜き勾配ゼロの多角形体を有するかかる装置に
おいては、直線からの走査線のずれとして定義される反
りの影響が不可避である。上掲の米国特許の実施例を解
析すると、揺動ば走査にわたって十分に補正されるが反
りが過大であり、２２９８ｍ（９インチ）の走査線の両
端において少なくとも１９．０５龍（３／４インチ）の
変位が生ずるということが解る。
本願と同じ発明者及び譲受人にかかる１９８３年９月１
５日出願の米国特許出願第５３２．３２３号においては
、作用ファセットからの二重反射によって揺動を補正す
るための多角形体式走査装置が開示されており、反りの
影響なしに揺動の補正が得られるようになっている。衝
撃する光ビームが回転多角形体の回転軸を横切り、この
多角形体が該多角形体の回転軸と平行なファセットを持
っている代りに、この米国特許出願においては、多角形
体の回転軸に対して所定の抜き勾配をなすファセットを
有する回転式多角形体が開示されており、光ビームは上
記ファセットを衝撃する。ここでも、平坦な固定ミラー
からの更に２つの反射により、光ビームは同しファセッ
トを衝撃せしめられ、揺動を補正し、しかも反りの影響
がない。この米国特許出願の装置においては３つの設計
変数を用いて反りの影響を減少させている。即ち、第１
のファセット反射における光線入射角、第２のファセッ
ト反射における光線入射角、及び、多角形体の抜き勾配
という３つの設計変数である。
５日出願の米国特許出願第５３２．３２３号においては
、作用ファセットからの二重反射によって揺動を補正す
るための多角形体式走査装置が開示されており、反りの
影響なしに揺動の補正が得られるようになっている。衝
撃する光ビームが回転多角形体の回転軸を横切り、この
多角形体が該多角形体の回転軸と平行なファセットを持
っている代りに、この米国特許出願においては、多角形
体の回転軸に対して所定の抜き勾配をなすファセットを
有する回転式多角形体が開示されており、光ビームは上
記ファセットを衝撃する。ここでも、平坦な固定ミラー
からの更に２つの反射により、光ビームは同しファセッ
トを衝撃せしめられ、揺動を補正し、しかも反りの影響
がない。この米国特許出願の装置においては３つの設計
変数を用いて反りの影響を減少させている。即ち、第１
のファセット反射における光線入射角、第２のファセッ
ト反射における光線入射角、及び、多角形体の抜き勾配
という３つの設計変数である。
（発明が解決しようとする問題点）
上記従来の装置においては、第２のファセット反射の後
、光ビームを、接線平面内に適切な屈折力を有する通例
のｆ−θ走査レンズ光学系を通過させ、これにより、走
査用光ビームを直線化して被走査面に合焦させる。しか
し、ｆ−θ走査レンズ光学系を省くことができれば存利
である。即ち、構成部材の個数が減少するという利益が
あるだけではなく、更に、ｆ−θ走査レンズ光学系の機
能ミラーによって得ることができるならば、全光学列を
ミラーのみで構成し、従って全ての波長において同じ合
焦及び走査の特性を持つことができるという利益がある
。このような全ミラ一式光学列走査装置は白色光で働く
ことができる。色彩書類を走査するための白色光ラスク
入力走査装置（Ｒ［Ｓ）はアポクロマートレンズ光学系
を持つことが必要である。アポクロマートレンズ（３つ
の色に対して補正されている）は高価であるが、全ミラ
一式１’？Ｉｓは極めて安価である。
、光ビームを、接線平面内に適切な屈折力を有する通例
のｆ−θ走査レンズ光学系を通過させ、これにより、走
査用光ビームを直線化して被走査面に合焦させる。しか
し、ｆ−θ走査レンズ光学系を省くことができれば存利
である。即ち、構成部材の個数が減少するという利益が
あるだけではなく、更に、ｆ−θ走査レンズ光学系の機
能ミラーによって得ることができるならば、全光学列を
ミラーのみで構成し、従って全ての波長において同じ合
焦及び走査の特性を持つことができるという利益がある
。このような全ミラ一式光学列走査装置は白色光で働く
ことができる。色彩書類を走査するための白色光ラスク
入力走査装置（Ｒ［Ｓ）はアポクロマートレンズ光学系
を持つことが必要である。アポクロマートレンズ（３つ
の色に対して補正されている）は高価であるが、全ミラ
一式１’？Ｉｓは極めて安価である。
本発明の目的は、ｆ−θ走査レンズ光学系を用いる必要
のない、改良された回転多角形体式走査装置を提供する
ことにある。
のない、改良された回転多角形体式走査装置を提供する
ことにある。
（問題点を解決するための手段）
本発明においては、回転式の抜き勾配多角形体を用い、
有限共投光ビームの二重反射によって揺動及び像面弯曲
を補正する。非球面によって提供される光学的屈折力を
有する１対の固定ミラーを用い、該ミラーから上記有限
共投光ビームを二重反則させる。
有限共投光ビームの二重反射によって揺動及び像面弯曲
を補正する。非球面によって提供される光学的屈折力を
有する１対の固定ミラーを用い、該ミラーから上記有限
共投光ビームを二重反則させる。
（作 用）
本発明装置においては、上記光学的屈折力を与 ・えら
れたミラーが従来のｆ−〇走査レンズ光学系の走査及び
合焦の機能を提供する。従って、かかるｆ−θ走査レン
ズ光学系を走査装置から省き、有限共投光ビーム及びミ
ラーのみを用いる走査装置を提供し、これにより、揺動
及び像面弯曲に対して補正された走査を得ることができ
る。
れたミラーが従来のｆ−〇走査レンズ光学系の走査及び
合焦の機能を提供する。従って、かかるｆ−θ走査レン
ズ光学系を走査装置から省き、有限共投光ビーム及びミ
ラーのみを用いる走査装置を提供し、これにより、揺動
及び像面弯曲に対して補正された走査を得ることができ
る。
（実施例）
以下、本発明をその実施例について図面を参照して詳細
に説明する。
に説明する。
本発明においては、前掲の米国特許出願の二重反射光学
系からｆ−θ走査レンズ光学系を除去し、これに代わっ
て、抜き勾配付き多角形体の同じファセットからの第２
の反射を与えるための平坦ミラーに対して光学的屈折力
を付与することにより、「−０走査レンズ光学系の機能
を提供しようとするものである。揺動補正は依然として
保持され、そして、反りは前述した３つの設計変数によ
って補正される。しかし、屈折力が２つの平坦固定ミラ
ーに付与されるので、上記３つの設計変数間の関係は、
前掲の米国特許出願に教示されているのと厳密にその通
りにはならない。前掲の米国特許出願に従う走査装置の
設計経験者は、上記変数に対して小さな調節を行なって
反りのない走査線を得ることが節単にできるであろう。
系からｆ−θ走査レンズ光学系を除去し、これに代わっ
て、抜き勾配付き多角形体の同じファセットからの第２
の反射を与えるための平坦ミラーに対して光学的屈折力
を付与することにより、「−０走査レンズ光学系の機能
を提供しようとするものである。揺動補正は依然として
保持され、そして、反りは前述した３つの設計変数によ
って補正される。しかし、屈折力が２つの平坦固定ミラ
ーに付与されるので、上記３つの設計変数間の関係は、
前掲の米国特許出願に教示されているのと厳密にその通
りにはならない。前掲の米国特許出願に従う走査装置の
設計経験者は、上記変数に対して小さな調節を行なって
反りのない走査線を得ることが節単にできるであろう。
しかし、この考え方を発展させて平坦ミラーに対して球
状の弯曲を任意に与えると、重大な非点収差という問題
が直ちに生ずる。これは、上記固定ミラーが、反射され
るビームに対して成る角度をなしている、ということに
よるのである。弯曲したミラーの屈折力は、ビームが該
ミラーに対して成る角度をなしていると、はぼ垂直の入
射角とはならず、直交方向において異なるものとなる。
状の弯曲を任意に与えると、重大な非点収差という問題
が直ちに生ずる。これは、上記固定ミラーが、反射され
るビームに対して成る角度をなしている、ということに
よるのである。弯曲したミラーの屈折力は、ビームが該
ミラーに対して成る角度をなしていると、はぼ垂直の入
射角とはならず、直交方向において異なるものとなる。
２つのミラーの傾きをその弯曲に対して平衡させること
により、走査の中心位°置における非点収差を除去する
ことができるが、他の走査位置においては依然として非
点収差が重大である。ミラーを球面の代りにトロイドと
なし、そしてこの特別の設計自由度について最適化して
も、中心外れの非点収差の改善は微々たるものである。
により、走査の中心位°置における非点収差を除去する
ことができるが、他の走査位置においては依然として非
点収差が重大である。ミラーを球面の代りにトロイドと
なし、そしてこの特別の設計自由度について最適化して
も、中心外れの非点収差の改善は微々たるものである。
非点収差は、前掲の米国特許出願における平坦ミラーの
代りに、光学的屈折力を有するミラー、即ち、回転対称
的であるが球面状ではない弯曲した作用面、即ち、次式
で表わされる非球面を有するミラーを用いることにより
、事実上除去され得る。即ち、 ＋Ｃｈ’＋Ｄｈ” （１） 上式の直角座標において、 Ｚは、面のたわみ、 ｈＺ ＝ｘ２ ＋ｙ！ 。
代りに、光学的屈折力を有するミラー、即ち、回転対称
的であるが球面状ではない弯曲した作用面、即ち、次式
で表わされる非球面を有するミラーを用いることにより
、事実上除去され得る。即ち、 ＋Ｃｈ’＋Ｄｈ” （１） 上式の直角座標において、 Ｚは、面のたわみ、 ｈＺ ＝ｘ２ ＋ｙ！ 。
Ｃは、面の極における曲率、即ち、頂点における曲線の
半径の逆数、 ｋは、円錐係数（Ｋ＝−ｅ２）であり、球に対してはに
＝ｏ。
半径の逆数、 ｋは、円錐係数（Ｋ＝−ｅ２）であり、球に対してはに
＝ｏ。
扁球面に対してはｋ＞Ｑ、
長軸が光軸上にある楕円面に対しては
Ｑ＞ｋ＞−１、
放物面に対してはに＝−１、
双曲面に対してはｋ〈−１である。
Ａ、Ｂ、Ｃ，Ｄは、それぞれ４次、６次、８次の変形環
であり、本実施例に対してはゼロであるが、系の改善ま
たは調整のために追加の曲率が必要な場合にはゼロ以外
の値をとることができる。
であり、本実施例に対してはゼロであるが、系の改善ま
たは調整のために追加の曲率が必要な場合にはゼロ以外
の値をとることができる。
走査系の一実施例を第１図及び第２図に示す。
即ら、第１図は走査の中心を通る断面図であり、第２図
は横走査図である。回転式多角形体１２を、＋７ｐ通の
駆動モータ（図示せず）により、中心線（Ｃ／Ｌ）とし
て示しである線中心に一定速度で回転させる。この多角
形体は任意の個数のファセットを有しておってよいが、
本実施例においては、この回転式多角形体は２０個の個
別ファセ・ノドを有している。各ファセットの平面を、
抜き勾配ゼロの多角形体を用いる従来の走査装置におけ
るように回転軸または中心線と平行とはせず、上記多角
形体のファセット中心線に対して、「抜き勾配」（Ｄ、
Ａ、）として示す角度だけ傾斜させである。
は横走査図である。回転式多角形体１２を、＋７ｐ通の
駆動モータ（図示せず）により、中心線（Ｃ／Ｌ）とし
て示しである線中心に一定速度で回転させる。この多角
形体は任意の個数のファセットを有しておってよいが、
本実施例においては、この回転式多角形体は２０個の個
別ファセ・ノドを有している。各ファセットの平面を、
抜き勾配ゼロの多角形体を用いる従来の走査装置におけ
るように回転軸または中心線と平行とはせず、上記多角
形体のファセット中心線に対して、「抜き勾配」（Ｄ、
Ａ、）として示す角度だけ傾斜させである。
回転式多角形体１２の一つのファセット２２上を、例え
ばレーザｌＯのような光源からの無限共投光（規準光）
が衝撃している。多角形体１２ば外部反射ファセットを
有するものとして図示しであるが、内部反射ファセット
を有する多角形体を用いることもできる。図示の都合上
、レーザｌＯとファセット２２との間には光学素子を示
してないが、使用するレーザの型式によっては何等かの
光学素子が必要となる。レーザ１０から出て来る光線１
は上記中心線と共面であり、回転式多角形体１２のファ
セット２２へ導かれる。上記光は上記多角形体に当たり
、入射角と等しい反射角で反射する。
ばレーザｌＯのような光源からの無限共投光（規準光）
が衝撃している。多角形体１２ば外部反射ファセットを
有するものとして図示しであるが、内部反射ファセット
を有する多角形体を用いることもできる。図示の都合上
、レーザｌＯとファセット２２との間には光学素子を示
してないが、使用するレーザの型式によっては何等かの
光学素子が必要となる。レーザ１０から出て来る光線１
は上記中心線と共面であり、回転式多角形体１２のファ
セット２２へ導かれる。上記光は上記多角形体に当たり
、入射角と等しい反射角で反射する。
角度１１を、第１図において、レーザ光線１とファセッ
ト２２の面に対する法線との間の角度として定義する。
ト２２の面に対する法線との間の角度として定義する。
角度１１のこの定義に対して、ファセット２２に対する
法線を第１図の平面内に取り、上記中心線及び光線１と
共面であるとする。上記法線の位置を走査の中心と定義
する。上記光線がファセット２２によって反射された後
、該光線は第１の非球面ミラー面１８へ進む。即ち、光
線２はファセット２２によって反射された光’４．’Ａ
１である。光線［は多角形体１２の位置とは無関係に
空間的に静止しているが、光線２は上記多角形体が回転
するにつれて回転する。ミラー面１８は、ファセット２
２の作用的走査中は光線２が常に線面に当たるように、
第１図の平面と垂直の方向において十分に大きいことが
必要である。光線２はミラー面１８から反射される。こ
れを光線３として示す。
法線を第１図の平面内に取り、上記中心線及び光線１と
共面であるとする。上記法線の位置を走査の中心と定義
する。上記光線がファセット２２によって反射された後
、該光線は第１の非球面ミラー面１８へ進む。即ち、光
線２はファセット２２によって反射された光’４．’Ａ
１である。光線［は多角形体１２の位置とは無関係に
空間的に静止しているが、光線２は上記多角形体が回転
するにつれて回転する。ミラー面１８は、ファセット２
２の作用的走査中は光線２が常に線面に当たるように、
第１図の平面と垂直の方向において十分に大きいことが
必要である。光線２はミラー面１８から反射される。こ
れを光線３として示す。
第１図に示すように、面１８から光線３は第２の非球面
ミラー面２０へ進み、該面から該光線は光線・↓として
反射される。光線３は光線２と同じ角速度で回転してい
るから、非球面ミラー面２０は、作用的走査中に光線３
を反射するように、面１８よりも十分に大きくなければ
ならない。即ち、面２０は、面１８よりも、ファセット
２２から光学的に遠いからである。そこで、光線４がフ
ァセット２２へ戻る。そのときの角速度は、該光線が光
ｖＡ２としてファセット２２から反射した後に有してい
たのと同じである。ファセット２２ば回転しており、そ
して光線４も該ファセットと同じ方向に移動しているか
ら、ファセット２２はミラー面２０はどに大きい必要は
ない。ミラー１８及び２０とファセッＩ・２２との間の
間隔は、これらミラー及びファセットが過大にならない
ように、小さくしておかなければならない。小形のファ
セット走査装置を設計する当業者は、ミラー及び多角形
体が過大とならないようにレーザビームのパラメータの
適切な値を選定する方法を知っているであろう。
ミラー面２０へ進み、該面から該光線は光線・↓として
反射される。光線３は光線２と同じ角速度で回転してい
るから、非球面ミラー面２０は、作用的走査中に光線３
を反射するように、面１８よりも十分に大きくなければ
ならない。即ち、面２０は、面１８よりも、ファセット
２２から光学的に遠いからである。そこで、光線４がフ
ァセット２２へ戻る。そのときの角速度は、該光線が光
ｖＡ２としてファセット２２から反射した後に有してい
たのと同じである。ファセット２２ば回転しており、そ
して光線４も該ファセットと同じ方向に移動しているか
ら、ファセット２２はミラー面２０はどに大きい必要は
ない。ミラー１８及び２０とファセッＩ・２２との間の
間隔は、これらミラー及びファセットが過大にならない
ように、小さくしておかなければならない。小形のファ
セット走査装置を設計する当業者は、ミラー及び多角形
体が過大とならないようにレーザビームのパラメータの
適切な値を選定する方法を知っているであろう。
走査中、光線４は上記多角形体が回転するにつれて回転
するから、該光線はファセット２２に対して多くの入射
角を有す。これら入射角のうちの一つだけをＩｔとして
第１図に示してあり、これは、第１図に示す紙面の平面
における光線４とファセット２２に対する法線との間の
角度である。
するから、該光線はファセット２２に対して多くの入射
角を有す。これら入射角のうちの一つだけをＩｔとして
第１図に示してあり、これは、第１図に示す紙面の平面
における光線４とファセット２２に対する法線との間の
角度である。
ファセット２２によって再び反射された後、光線４は光
線５となる。この光線５は、ファセット対ファセントの
揺動に対して補正される怒光性面走査用光線であり、そ
してまた同時に反りを有しておらず、そして、事実上、
非点収差がない。
線５となる。この光線５は、ファセット対ファセントの
揺動に対して補正される怒光性面走査用光線であり、そ
してまた同時に反りを有しておらず、そして、事実上、
非点収差がない。
非点収差がないという条件としては、各非球面ミラー面
の「焦点」が、ビームの静止部分に在るということであ
る。第１の固定ミラー１８に対しては、この点はファセ
ット２２からの第１の反射の点となる。即ち、上記ビー
ムは第１の反射後までは空間的に静止しているからであ
る。第１の非球面ミラー１８は第１の反射像を形成する
。ミラー１８は静止しているから、この像も空間的に静
ｌトＬでいる。この像は第１のミラー１８の他の「焦点
」であり、また第２の非球面ミラー２０の焦点である。
の「焦点」が、ビームの静止部分に在るということであ
る。第１の固定ミラー１８に対しては、この点はファセ
ット２２からの第１の反射の点となる。即ち、上記ビー
ムは第１の反射後までは空間的に静止しているからであ
る。第１の非球面ミラー１８は第１の反射像を形成する
。ミラー１８は静止しているから、この像も空間的に静
ｌトＬでいる。この像は第１のミラー１８の他の「焦点
」であり、また第２の非球面ミラー２０の焦点である。
装置の使用においては、上記の非球面ミラー光学系は、
非点収差を減少させるという要求、並びに、揺動補正、
「無限共役」における作動、及び、第１のファセ・ノド
反射後にビームを第２の反射のために適切な入射角で該
ファセットへ戻らゼるという幾何学的配列のような他の
諸要求を満たすことが必要である。また、第１及び第２
のファセット反射を、走査中心におけるファセット上の
同じ点において生じさせることが望ましい。これは、フ
ァセットが正確に平坦に作られていない場合に、ファセ
ット弯曲の有害な影響を最小限化する。
非点収差を減少させるという要求、並びに、揺動補正、
「無限共役」における作動、及び、第１のファセ・ノド
反射後にビームを第２の反射のために適切な入射角で該
ファセットへ戻らゼるという幾何学的配列のような他の
諸要求を満たすことが必要である。また、第１及び第２
のファセット反射を、走査中心におけるファセット上の
同じ点において生じさせることが望ましい。これは、フ
ァセットが正確に平坦に作られていない場合に、ファセ
ット弯曲の有害な影響を最小限化する。
更に第１図について説明すると、代数の展開により、第
１の非球面ミラー１８及び第２の非球面ミラー２０の横
走査曲率のパラメータを、ミラー１８及び２０と作用フ
ァセット２２との間の距離、各ミラーにおけるビームの
入射角、及び、ファセ１ ソト２２から走査す
べき光受容体または感光性面２４までの距離に関して定
めた。システム性能上の制約により、上記パラメータ相
互間の関係が決上式において、再び第１図を参照して説
明すると、Ｌｏは多角形体の作用ファセットと第１の非
球面ミラーとの間の距離、ｔｌは第１及び第２の非球面
ミラー相互間の距＾１ｔ、【２は第２の非球面ミラーと
多角形体の作用ファセットとの間の距離、Ｌ３はファセ
ットから感光性面までの距離である。
１の非球面ミラー１８及び第２の非球面ミラー２０の横
走査曲率のパラメータを、ミラー１８及び２０と作用フ
ァセット２２との間の距離、各ミラーにおけるビームの
入射角、及び、ファセ１ ソト２２から走査す
べき光受容体または感光性面２４までの距離に関して定
めた。システム性能上の制約により、上記パラメータ相
互間の関係が決上式において、再び第１図を参照して説
明すると、Ｌｏは多角形体の作用ファセットと第１の非
球面ミラーとの間の距離、ｔｌは第１及び第２の非球面
ミラー相互間の距＾１ｔ、【２は第２の非球面ミラーと
多角形体の作用ファセットとの間の距離、Ｌ３はファセ
ットから感光性面までの距離である。
これら距離は走査中心における主光線に沿って測ったも
のであり、光ＷＡ２，３．４及び５に対応する。角度１
０は固定非球面ミラーにおける入射角であり、下付き数
字１及び２はそれぞれミラー■８及び２０を示ず。曲率
ＣＸは横走査平面における非球面ミラーの曲率であり、
式（２）及び（３）におけるその下付き数字はミラーを
示す。
のであり、光ＷＡ２，３．４及び５に対応する。角度１
０は固定非球面ミラーにおける入射角であり、下付き数
字１及び２はそれぞれミラー■８及び２０を示ず。曲率
ＣＸは横走査平面における非球面ミラーの曲率であり、
式（２）及び（３）におけるその下付き数字はミラーを
示す。
三角形の幾何学から、（ｔ＋ ＋ ｔｚ）−ト２ｉｏｌ
＋２ｊｏｚ＝１８０’であることは明らかである。ビー
ムを第１の反射上に重ねるように第２の反射において該
ビームをファセットへ戻らせるためには、正弦法則が次
式の如くであることが必要である。
＋２ｊｏｚ＝１８０’であることは明らかである。ビー
ムを第１の反射上に重ねるように第２の反射において該
ビームをファセットへ戻らせるためには、正弦法則が次
式の如くであることが必要である。
即ち、
Ｌｚ ｊｌ） Ｌｔこれらの式
が全て満足されると、各非球面ミラーのパラメータが決
まる。これらを、ミラーの頂点における曲率半径ｒ、及
びミラーの偏心率ｅとする。ここでも、下付は数字１及
び２を用いて非球面ミラー１８及び２０をそれぞれ示す
。ミラーの諸パラメータは次式の通りである。即ち、Ｘ
２ ここに、Ｌ９は次式で与えられる中間パラメータである
。即ら、 Ｉ ごこては式（１）のにパラメータの代りに偏心率を用い
る。即ら、平方されていないｅが符号付けされているか
らである。反射点においてミラーに近くなる「焦点」は
正であり、遠くなる「焦点」は負である。第１図及び第
２図の装置の特定の設計に対する設計パラメータは、ｒ
＋＝３０°、■、−’Ｊ、 ｌ Ｇ ″、ｊｚ＝２４．
５會−（１インチ）、仁３ ＝２５４＋ａｍ（１０イン
チ） 、１ｏｔ＝１６．０１２１２ ’、及び１６．５
３度の多角形抜き勾配という所与の諸パラメータで与え
られる。上記の諸式を同時に解くと、第１のミラー１８
の曲率に対してはＣＸＩ”−０，０４０３５７４５の値
、第２のミラー２０に対してはＣ，２＝０．０４８６７
００９の値が得られる。
が全て満足されると、各非球面ミラーのパラメータが決
まる。これらを、ミラーの頂点における曲率半径ｒ、及
びミラーの偏心率ｅとする。ここでも、下付は数字１及
び２を用いて非球面ミラー１８及び２０をそれぞれ示す
。ミラーの諸パラメータは次式の通りである。即ち、Ｘ
２ ここに、Ｌ９は次式で与えられる中間パラメータである
。即ら、 Ｉ ごこては式（１）のにパラメータの代りに偏心率を用い
る。即ら、平方されていないｅが符号付けされているか
らである。反射点においてミラーに近くなる「焦点」は
正であり、遠くなる「焦点」は負である。第１図及び第
２図の装置の特定の設計に対する設計パラメータは、ｒ
＋＝３０°、■、−’Ｊ、 ｌ Ｇ ″、ｊｚ＝２４．
５會−（１インチ）、仁３ ＝２５４＋ａｍ（１０イン
チ） 、１ｏｔ＝１６．０１２１２ ’、及び１６．５
３度の多角形抜き勾配という所与の諸パラメータで与え
られる。上記の諸式を同時に解くと、第１のミラー１８
の曲率に対してはＣＸＩ”−０，０４０３５７４５の値
、第２のミラー２０に対してはＣ，２＝０．０４８６７
００９の値が得られる。
これら設計パラメータを、コンピュータに入れて解析す
ることのできる指令に、またはコンピュータに設計のレ
イアウトを描かせるための指令に変換しなければならな
い。市販の光学的ソフトウェアは解析またはレイアウト
に利用可能である。
ることのできる指令に、またはコンピュータに設計のレ
イアウトを描かせるための指令に変換しなければならな
い。市販の光学的ソフトウェアは解析またはレイアウト
に利用可能である。
光学的設計の当業者は、この指令を市販の種々のソフト
ウェアに入れる方法を理解できるであろう。
ウェアに入れる方法を理解できるであろう。
上述の設計の一つの特定の指令を第１表に示す。
この特定の指令は、米国のオプティカル・リサーチ・ア
ソシエーツ（Ｏｐｔｉｃａｌ Ｒｅ５ｅａｃｈ Ａｓ５
ｏｃｉａｔｅｓ）発行のソフトウェアパッケージのコー
ド■にある。
ソシエーツ（Ｏｐｔｉｃａｌ Ｒｅ５ｅａｃｈ Ａｓ５
ｏｃｉａｔｅｓ）発行のソフトウェアパッケージのコー
ド■にある。
上述の設計には反りがあり、走査の両端は走査の中心よ
りも４．５７２ｍ （０，１８インチ）下にある。これ
は、この系の３つの設計パラメータを単に変更すること
により、例えば、面２．１１及び２７上のアルファ角を
変更することにより、大巾に減少させることができる。
りも４．５７２ｍ （０，１８インチ）下にある。これ
は、この系の３つの設計パラメータを単に変更すること
により、例えば、面２．１１及び２７上のアルファ角を
変更することにより、大巾に減少させることができる。
第１図に示す如き光学的屈折力ミラーを有する抜き勾配
多角形体式走査装置を試験すると、この装置は、２５．
４ｍｍ（１インチ）当り３００スポツトに制限された回
折に過ぎない走査スポットを提供し、残留収差は走査像
面弯曲及びコマであるということが認められる。非点収
差は除去されているから、像面弯曲はベソバル面の弯曲
にのみよるものと考えられる。ミラーのペンパル弯曲の
寄与は、ミラーの屈折率が−１であるので、ミラーの屈
折力が買置となることである。ミラーの系のペンパル弯
曲は、各ミラーのベソバル寄与の合計である。２ミラー
の系においては、これらミラーが互いに等しいが反対の
屈折力を有しているならば、ペラパル合計はゼロとなる
。しかし、ペラパル合計をゼロに等しくなるようにする
と、第１図の走査装置における像面弯曲は補正されない
。その理由は、ビームは、屈折力を有する最後のミラー
の後、二度目に回転多角形体のファセットから反射され
るからである。走査像面弯曲を平らにするための唯一の
方法は、ミラー系内に大量のペンパル弯曲を持つことで
ある。必要とするペンパル弯曲の向きは正の（凹の）ミ
ラーの向きである。
多角形体式走査装置を試験すると、この装置は、２５．
４ｍｍ（１インチ）当り３００スポツトに制限された回
折に過ぎない走査スポットを提供し、残留収差は走査像
面弯曲及びコマであるということが認められる。非点収
差は除去されているから、像面弯曲はベソバル面の弯曲
にのみよるものと考えられる。ミラーのペンパル弯曲の
寄与は、ミラーの屈折率が−１であるので、ミラーの屈
折力が買置となることである。ミラーの系のペンパル弯
曲は、各ミラーのベソバル寄与の合計である。２ミラー
の系においては、これらミラーが互いに等しいが反対の
屈折力を有しているならば、ペラパル合計はゼロとなる
。しかし、ペラパル合計をゼロに等しくなるようにする
と、第１図の走査装置における像面弯曲は補正されない
。その理由は、ビームは、屈折力を有する最後のミラー
の後、二度目に回転多角形体のファセットから反射され
るからである。走査像面弯曲を平らにするための唯一の
方法は、ミラー系内に大量のペンパル弯曲を持つことで
ある。必要とするペンパル弯曲の向きは正の（凹の）ミ
ラーの向きである。
式（２）及び（３）は、横走査平面において、走査中心
位置、即ち、ビームが各ミラーから反射される点におい
て要求される円錐状ミラーの曲率の値を示すものである
。ＣＸＩに対する式はその前に負号を有しており、そし
て咳式内の全てのパラメータは正であるから、ＣＸＩは
常に負であるということが解る。この負のミラーは、走
査像面弯曲を相殺するのに十分なペンパル弯曲を得るこ
とを不可能ならしめる。
位置、即ち、ビームが各ミラーから反射される点におい
て要求される円錐状ミラーの曲率の値を示すものである
。ＣＸＩに対する式はその前に負号を有しており、そし
て咳式内の全てのパラメータは正であるから、ＣＸＩは
常に負であるということが解る。この負のミラーは、走
査像面弯曲を相殺するのに十分なペンパル弯曲を得るこ
とを不可能ならしめる。
式（２）及び（３）は、揺動補正及び無限共役という２
つの要求を満足するために引き出されたものである。揺
動補正は保持されなければならない。従って、走査像面
弯曲を除去または格段に減少させるべきならば、無限共
役に対する要求は捨てられる。これは、ファセット２２
からの第１の反射においてビーム（光線ｌ）が規準され
ないということを意味する。規準からのずれは大きくは
なくて１０分または２０分の弧であり、レーザ１０と多
角形体１２との間に標準の補正光学系を配置することに
よって与えられる可能性がある。
つの要求を満足するために引き出されたものである。揺
動補正は保持されなければならない。従って、走査像面
弯曲を除去または格段に減少させるべきならば、無限共
役に対する要求は捨てられる。これは、ファセット２２
からの第１の反射においてビーム（光線ｌ）が規準され
ないということを意味する。規準からのずれは大きくは
なくて１０分または２０分の弧であり、レーザ１０と多
角形体１２との間に標準の補正光学系を配置することに
よって与えられる可能性がある。
無限共役の要求を捨てることは、設計においてＣｌ１１
及びＣｘｔが両方とも従属変数ではないということを意
味する。これらのうちの一つは独立変数であって揺動補
正の要求を満たすことができ、他の一つは従属変数とな
る。ＣＸ□を独立変数として選定すると、ＣＸＩを定義
する式は −２（（。−←Ｌｌ） （Ｌｚ ＋ ｊｓ）Ｃｘ□］−
２（Ｌ、＋ｔ、）ＣＸ□］ となる。
及びＣｘｔが両方とも従属変数ではないということを意
味する。これらのうちの一つは独立変数であって揺動補
正の要求を満たすことができ、他の一つは従属変数とな
る。ＣＸ□を独立変数として選定すると、ＣＸＩを定義
する式は −２（（。−←Ｌｌ） （Ｌｚ ＋ ｊｓ）Ｃｘ□］−
２（Ｌ、＋ｔ、）ＣＸ□］ となる。
式（１０）及び式（５）を用いて２つの光学的屈折力非
球面ミラー１８及び２０の形状を決定する。これらミラ
ーは揺動補正済み走査線を作り、且つ同時に、走査中心
において第２の反射を第１の反射に重ねる。無限共役の
条件はもはや適用不能であるから、第１のファセット反
射に先立って物点の位置が解っていなければならない。
球面ミラー１８及び２０の形状を決定する。これらミラ
ーは揺動補正済み走査線を作り、且つ同時に、走査中心
において第２の反射を第１の反射に重ねる。無限共役の
条件はもはや適用不能であるから、第１のファセット反
射に先立って物点の位置が解っていなければならない。
この値ｔ、は次式で与えられる。即ち、
光学的解析のための所与の式とソフトウェアとの間の繰
返しにより、無限共役回折制限式走査装置の設計の一例
を、２５．４＋ｎ（１インチ）当り３００スポツトに対
して得ることができる。装置の一例において、ピラミッ
ド形の多角形体は、２５５．５２４關（１０，０６イン
チ）の作用走査長を有する１６個のファセットを有す。
返しにより、無限共役回折制限式走査装置の設計の一例
を、２５．４＋ｎ（１インチ）当り３００スポツトに対
して得ることができる。装置の一例において、ピラミッ
ド形の多角形体は、２５５．５２４關（１０，０６イン
チ）の作用走査長を有する１６個のファセットを有す。
この走査長ｊ のデユーティサイクルは７９％
である。走査は線形でなく、スポット速度は一定角速度
で回転するビームの速度であり、このビームの旋回点か
ら２０８、２８９８８１龍（８，２００３８９インチ）
の平坦面上にゼロ（走査中心）から３１．５３１２度（
走査線り）までの角度にわたって書込む。このシミュレ
ーションの式はｈ＝８．２００３８９ｔａｎ αであり
、この式において、αは多角形体の回転角、ｈは走査中
心位置からの走査スポ−／ ト距離である。このシミュ
レーションの精度は２５．４ｍｍ（１インチ）の百万分
の２５よりも良い。
である。走査は線形でなく、スポット速度は一定角速度
で回転するビームの速度であり、このビームの旋回点か
ら２０８、２８９８８１龍（８，２００３８９インチ）
の平坦面上にゼロ（走査中心）から３１．５３１２度（
走査線り）までの角度にわたって書込む。このシミュレ
ーションの式はｈ＝８．２００３８９ｔａｎ αであり
、この式において、αは多角形体の回転角、ｈは走査中
心位置からの走査スポ−／ ト距離である。このシミュ
レーションの精度は２５．４ｍｍ（１インチ）の百万分
の２５よりも良い。
この例の無限共役式走査装置の走査中心位置において、
全ての収差は補正され、スポットは完全な回折制限済み
スポットである。走査の始まり（または終り）において
は走査平面内に少量のコマ及び像面弯曲があるが、射ｖ
Ａ誤差は赤外光の波長（８００ｎｍ）の約５０分の１以
下である。青色光（４３５，８ｎｍ）に対しては、この
系はミラーのみから成っているので、幾何学的収差は変
化しないが、波長の一部分としてのこれら収差は変化す
る。しかし、変化する波長の主要な効果は、青色光に対
ししてはＦ数が溝かに大きくて２５．４ ＋１ｍ（１イ
ンチ）当り３００スポツトが得られるということである
。アパーチャを縮小してＦ数を増加させると、大部分の
収差を生じさせる光線が除去される。その結果、青色光
に対する射線誤差は、２５．４ｍｍ（１インチ）当り３
００スポツトにおいて波長の４０分の１以下になる。ア
パーチャを縮小させないと、この装置は青色光に対して
２５．４順（１インチ）当り６００スポツトで働く。こ
の高い解像度においては、射線誤差は、走査の終りにお
いてｌ／ｌ Ｏ波長以下である。射線誤差は、走査の大
部分にわたって青波長の１／１６以下である。
全ての収差は補正され、スポットは完全な回折制限済み
スポットである。走査の始まり（または終り）において
は走査平面内に少量のコマ及び像面弯曲があるが、射ｖ
Ａ誤差は赤外光の波長（８００ｎｍ）の約５０分の１以
下である。青色光（４３５，８ｎｍ）に対しては、この
系はミラーのみから成っているので、幾何学的収差は変
化しないが、波長の一部分としてのこれら収差は変化す
る。しかし、変化する波長の主要な効果は、青色光に対
ししてはＦ数が溝かに大きくて２５．４ ＋１ｍ（１イ
ンチ）当り３００スポツトが得られるということである
。アパーチャを縮小してＦ数を増加させると、大部分の
収差を生じさせる光線が除去される。その結果、青色光
に対する射線誤差は、２５．４ｍｍ（１インチ）当り３
００スポツトにおいて波長の４０分の１以下になる。ア
パーチャを縮小させないと、この装置は青色光に対して
２５．４順（１インチ）当り６００スポツトで働く。こ
の高い解像度においては、射線誤差は、走査の終りにお
いてｌ／ｌ Ｏ波長以下である。射線誤差は、走査の大
部分にわたって青波長の１／１６以下である。
２つの二次曲面及び抜き勾配多角形体を有する例示の無
限共役回折制限型走査装置の横走査図を第３図に示す。
限共役回折制限型走査装置の横走査図を第３図に示す。
第１図のレーザ１０からのような規準済みビームを用い
ることができ、このビームを第３図に示す普通の集光器
５０によって規準解除して光線７を与える。上記集光器
は、ダイオードレーザ、ヘリウムネオンレーザ、変調器
、または白熱ランプのような何等かの光源から出力ビー
ムを集め、そして該ビームをこの走査装置に対する適切
な大きさ及び発１１に角に変化させる何等かの光学的手
段である。例えば、上記集光器は、オランダ国、エイン
トホーフエン市のフィリップス（ｐＨ１１１ｉｐｓ）社
製の如き、特別に設計された顕微鏡対物レンズ、または
プラスチック非球面付きの正６′σな焦点距離のガラス
レンズである。本発明に対して、上記集光器は、第３図
の光線ｌを、多角形体のファセット２２の前方１９７．
２８１８ＩｌＩＩＣ７，７６フインチ）の距離、即ち、
虚の点光源から測ってｊｓ ＝１９７．２８１８１１ｍ
の距離に配置された点光源から発しているように見えさ
せている。
ることができ、このビームを第３図に示す普通の集光器
５０によって規準解除して光線７を与える。上記集光器
は、ダイオードレーザ、ヘリウムネオンレーザ、変調器
、または白熱ランプのような何等かの光源から出力ビー
ムを集め、そして該ビームをこの走査装置に対する適切
な大きさ及び発１１に角に変化させる何等かの光学的手
段である。例えば、上記集光器は、オランダ国、エイン
トホーフエン市のフィリップス（ｐＨ１１１ｉｐｓ）社
製の如き、特別に設計された顕微鏡対物レンズ、または
プラスチック非球面付きの正６′σな焦点距離のガラス
レンズである。本発明に対して、上記集光器は、第３図
の光線ｌを、多角形体のファセット２２の前方１９７．
２８１８ＩｌＩＩＣ７，７６フインチ）の距離、即ち、
虚の点光源から測ってｊｓ ＝１９７．２８１８１１ｍ
の距離に配置された点光源から発しているように見えさ
せている。
第３図に例示の装置について更に説明すると、多角形体
１２は８．３度の抜き勾配を存しており、ビームはその
ファセットに、該ファセットの法線に対して１５度の角
度で、入射する。上記ビームは第１のミラー１８へ反射
される。このミラーは、該ミラーの軸対称に図示しであ
るが、走査中は、第４図に示すように、−小部分しか使
用されない。
１２は８．３度の抜き勾配を存しており、ビームはその
ファセットに、該ファセットの法線に対して１５度の角
度で、入射する。上記ビームは第１のミラー１８へ反射
される。このミラーは、該ミラーの軸対称に図示しであ
るが、走査中は、第４図に示すように、−小部分しか使
用されない。
１１１び第３図について説明すると、上記ビームは第１
のミラー１８から第２のミラー２ｏへ反射される。この
ミラーも該ミラーの軸対称に図示しであるが、これも−
小部分しか使用されない。第２のミラー２２から、上記
ビームは反射してファセット２２へ戻る。走査の中心に
おいて、上記ビームは、該ビームが第１回目に反射され
たと同じ場所で第２回目に上記ファセットに当る。上記
ファセットから第２回目に反射した後、上記ビームは望
ましくは、上記２つの二次曲面ミラー間を通過して光受
容体２４に合焦させられる。
のミラー１８から第２のミラー２ｏへ反射される。この
ミラーも該ミラーの軸対称に図示しであるが、これも−
小部分しか使用されない。第２のミラー２２から、上記
ビームは反射してファセット２２へ戻る。走査の中心に
おいて、上記ビームは、該ビームが第１回目に反射され
たと同じ場所で第２回目に上記ファセットに当る。上記
ファセットから第２回目に反射した後、上記ビームは望
ましくは、上記２つの二次曲面ミラー間を通過して光受
容体２４に合焦させられる。
走査路り位置における本実施例装置の走査平面の図を第
５図に示す。この図に対する基準平面は到来ビームの平
面であり、この平面は第４図の紙面と垂直である。第５
図に示す全ての構成部材は、この平面への投影として示
しである。例えば、上記多角形体の半径は第４図におい
ては３８．１ ａｍ（１，５インチ）であり、第５図に
おいてはこの半径は上記基準平面への３８．１ ｍｍの
投影像である。
５図に示す。この図に対する基準平面は到来ビームの平
面であり、この平面は第４図の紙面と垂直である。第５
図に示す全ての構成部材は、この平面への投影として示
しである。例えば、上記多角形体の半径は第４図におい
ては３８．１ ａｍ（１，５インチ）であり、第５図に
おいてはこの半径は上記基準平面への３８．１ ｍｍの
投影像である。
上記多角形体の回転の平面は上記基準平面に対して（１
５＋８．３）度の角度をなしているから、第５図におい
て見られる上記多角形体の半径は（３８，Ｉ Ｘｃｏ
ｓ ２ ３． ３ ° ） 冨冨 （（１
，５Ｘｃｏｓ ２３．３ ° ）インチ）または３
５．００１２鶴（１，３７８インチ）である。
５＋８．３）度の角度をなしているから、第５図におい
て見られる上記多角形体の半径は（３８，Ｉ Ｘｃｏ
ｓ ２ ３． ３ ° ） 冨冨 （（１
，５Ｘｃｏｓ ２３．３ ° ）インチ）または３
５．００１２鶴（１，３７８インチ）である。
第５図においては、上記諸ミラーを、上記基準平面に投
影された、上記ミラーの軸を通る断面として示しである
。実際の反射点はこれら軸を通るこれら断面上にない。
影された、上記ミラーの軸を通る断面として示しである
。実際の反射点はこれら軸を通るこれら断面上にない。
上記ミラーからの反射を示す上記ビーム中の曲がりは、
上記基準平面に投影された実際の反射点において生ずる
。
上記基準平面に投影された実際の反射点において生ずる
。
この装置を、ファセットの縁が第１の反射においてビー
ムを通って移動し始めない限り、第２の反射が上記ファ
セット上に残っているように調節した。この調節は、各
反射が走査中心位置から同距離であるという効果を有す
。第１の反射においてファセットの縁がビームを通過し
始めると、第２の反射において上記ビームは上記ファセ
ットの池の縁から離れ始める。この調節は、多角形体の
半径を減小することによってなされる。
ムを通って移動し始めない限り、第２の反射が上記ファ
セット上に残っているように調節した。この調節は、各
反射が走査中心位置から同距離であるという効果を有す
。第１の反射においてファセットの縁がビームを通過し
始めると、第２の反射において上記ビームは上記ファセ
ットの池の縁から離れ始める。この調節は、多角形体の
半径を減小することによってなされる。
第３図ないし第５図の装置の設計に対する特定の指令を
第８表にコード■に示す。
第８表にコード■に示す。
第１表及び第８表において、面６及び２２は第１及び第
２の反射におけるファセット２２にそれぞれ対応し、面
１３．１５及び２９は、ミラー１８、ミラー２０及び面
２４にそれぞれ対応する。
２の反射におけるファセット２２にそれぞれ対応し、面
１３．１５及び２９は、ミラー１８、ミラー２０及び面
２４にそれぞれ対応する。
第１表及び第■表のズームデータの位置１ないし５はフ
ァセット２２の種々の角度的位置を表わし、第１表及び
第８表のズームデータの位置６は、それぞれの装置にお
いて位置５において３分の弧の１工動で生ずる変化を与
えるものである。
ァセット２２の種々の角度的位置を表わし、第１表及び
第８表のズームデータの位置６は、それぞれの装置にお
いて位置５において３分の弧の１工動で生ずる変化を与
えるものである。
第 ■ 表
面−ゲニ：−！−
面番号 曲 率 厚 さ
物体面 ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏ。
１ ０．００００００００ １．５０００００２
ＤＥＣＥ Ｏ，０００００００，００００００
３０，００００００ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ ｏ、
ｏｏｏｏｏ。
ＤＥＣＥ Ｏ，０００００００，００００００
３０，００００００ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ ｏ、
ｏｏｏｏｏ。
３ ＤＥＣＥ Ｏ，０００００００，０００００
０１６，５３０００００，０００００００００，９５０
０００４ＤＥＣＥ Ｏ，０００００００，０００００
００，０００００００，００００００００−０，９５０
０００５ＤＥＣＥ Ｏ，０００００００，０００００
０−１６，５３００００ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ
ｏ、ｏｏｏｏｏ。
０１６，５３０００００，０００００００００，９５０
０００４ＤＥＣＥ Ｏ，０００００００，０００００
００，０００００００，００００００００−０，９５０
０００５ＤＥＣＥ Ｏ，０００００００，０００００
０−１６，５３００００ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ
ｏ、ｏｏｏｏｏ。
６ ＤＥＣＥ Ｏ，０００００００，０００００
００，００００００ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ ｏ、
ｏｏｏｏｏ。
００，００００００ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ ｏ、
ｏｏｏｏｏ。
７ ＤＥＣＥ Ｏ，０００００００，０００００
００，００００００ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ ｏ、
ｏｏｏｏｏ。
００，００００００ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ ｏ、
ｏｏｏｏｏ。
８ ＤＥＣＥ Ｏ，０００００００，０００００
０１６，５３０００００，０００００００００，９５０
０００９ＤＥＣＥ Ｏ，０００００００，０００００
００，０００００００，００００００００−０，９５０
０００ガラス ストップ タイプｏ
、ｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
０１６，５３０００００，０００００００００，９５０
０００９ＤＥＣＥ Ｏ，０００００００，０００００
００，０００００００，００００００００−０，９５０
０００ガラス ストップ タイプｏ
、ｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
ｏ、ｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
ｏ、ｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
ｏ、ｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
ｏ、ｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
ＥＦＬ
ｏ、ｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
ｏ、ｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
ｏ、ｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
面データ
面番号 曲 率 厚 さ
１０ ＤＥＣＥ Ｏ，０００００００，００００
００ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
００ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
１１ Ｄ巳ｃｔｚ ｏ、ｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏ
ｏｏｏ。
ｏｏｏ。
ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
１２ ＤＥＣＥ Ｏ，０００００００，００００
０００，００００００００−１，７２０６０９１３−０
，０４５４４４１４１，４８７９２３−１９０，１３９
３０７５０ １４ＤＥＣＥ Ｏ，０００００００，０００００００
，００００００００１，２９９３５３１５−０，２４６
８Ｇ９９７ ０．００００００−４．４８３７４７
８５ １６ １ＥＴＵ ２ ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
０００，００００００００−１，７２０６０９１３−０
，０４５４４４１４１，４８７９２３−１９０，１３９
３０７５０ １４ＤＥＣＥ Ｏ，０００００００，０００００００
，００００００００１，２９９３５３１５−０，２４６
８Ｇ９９７ ０．００００００−４．４８３７４７
８５ １６ １ＥＴＵ ２ ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
１７ ＤＥＣＥ Ｏ，０００００００，００００
００ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
００ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
１８ ＤＥＣＥ Ｏ，０００００００，００００
００ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
００ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
１９ ＤＥＣｒＥ Ｏ，０００００００，０００
００００，００００００００−０，９５００００ガラス
ストップ タイプ−１６，５３０
００００，０００００００，００００００３０，０００
００００，０００００００，００００００１４，８６５
１（旧 ｏ、ｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
００００，００００００００−０，９５００００ガラス
ストップ タイプ−１６，５３０
００００，０００００００，００００００３０，０００
００００，０００００００，００００００１４，８６５
１（旧 ｏ、ｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
ＨＩＥ Ｉ？ Ｌ
９４、＋４！１８４１３ ０．００００００ ０．
００００００ｒンＥｌ♂Ｌ ９０．００００００ ｆ１、００００００ ０．
００００００９０、ＱＯＯＯＯｏ ０．０００００
０ ０．０Ｏ０００Ｑ１６．５３００ｆ１０ ０．
００００００ ０．００ｔ１０００皿−尤一二−文 面番号 曲 率 厚 さ ２０ ＤＥＣＥ Ｏ，０００００００，００００
０００，０００００００００，９５００００２１ＤＥＣ
Ｅ Ｏ，０００００００，００００００ｏ、ｏｏｏｏ
ｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
００００００ｒンＥｌ♂Ｌ ９０．００００００ ｆ１、００００００ ０．
００００００９０、ＱＯＯＯＯｏ ０．０００００
０ ０．０Ｏ０００Ｑ１６．５３００ｆ１０ ０．
００００００ ０．００ｔ１０００皿−尤一二−文 面番号 曲 率 厚 さ ２０ ＤＥＣＥ Ｏ，０００００００，００００
０００，０００００００００，９５００００２１ＤＥＣ
Ｅ Ｏ，０００００００，００００００ｏ、ｏｏｏｏ
ｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
２２ ＤＥＣＥ Ｏ，０００００００，００００
００ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
００ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
２３ ＤＥＣＥ Ｏ，０００００００，００００
００ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
００ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
２４ ＤＥＣＥ Ｏ，０００００００，００００
０００，００００００００−０，９５００００２５ＤＥ
ＣＥ Ｏ，０００００００，０００００００，０００
００００００，９５００００２６ＤＥＣＥ Ｏ，００
０００００，ｏｏｏｏｏ。
０００，００００００００−０，９５００００２５ＤＥ
ＣＥ Ｏ，０００００００，０００００００，０００
００００００，９５００００２６ＤＥＣＥ Ｏ，００
０００００，ｏｏｏｏｏ。
ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
２７ ＤＥＣＥ Ｏ，０００００００，００００
０００，００００００００１，５０００００２８０，０
０００００００８，５０００００２９０，００００００
０００，００００００１表（続） ガラス ストップ タイプｏ、ｏｏ
ｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ
。
０００，００００００００１，５０００００２８０，０
０００００００８，５０００００２９０，００００００
０００，００００００１表（続） ガラス ストップ タイプｏ、ｏｏ
ｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ
。
−１６，５３０００００，０００００００，０００００
０ｏ、ｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏｏ ｏ、
ｏｏｏｏｏ。
０ｏ、ｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏｏ ｏ、
ｏｏｏｏｏ。
ｒ？ＥＦＩ、
０．０００（１０（１０，０００００００，０００００
０１６，５３０００００，０００００００，０００００
００，０００１）００ ０．００００００ ０．０
０００００−１６．５３００００ ０．００００００
０．００００００９．１６００００ ０．０００
０００ ０．００００００Ｐ／ｌ？ 第 １ 仕様データ Ｅ Ｐ Ｄ ０．０７０９２ＤＩＭ
！ Ｗ Ｌ ８００ ズームデータ Ｐｏ５ｔ ＰＯ３２ＰＯ３３ Ｂ Ｄ Ｅ ４ ０．００００００ １．８１２５
００ ３．６２５０００Ｂ Ｄ Ｅ ４ ０．００
００００ −１．８１２５００ −３．６２５０００
Ｂ Ｄ Ｅ ２０ ０．００００００ −１．８１
２５００ −３．６２５０００Ｂ Ｄ Ｅ ２５ ０
．００００００ １．８１２５００ ３゜６２５０
００ＡＤＥ６ ０．００００００ ０．０００００
０ ０．００００００Ａ Ｄ Ｅ ７ ０．０００
０００ ０．００００００ ０．００００００Ａ
Ｄ Ｅ ２２ ０．００００００ ０．０００００
０ ０．００００００Ａ Ｄ Ｅ ２３ ０．００
００００ ０．００００００ ０．００００００表
（続） Ｉ）Ｏ３４ＰＯ３５ＰＯ３６ ５，４：１７５００ ７．２５００００
７．２５００００−５．４３７５００
−７．２５００００ −７．２５００００〜５
．４３７５００ −７．２５００００
−７．２５００００５．４３７５００ ７．
２５００００ ７．２５０００００．０００
０００ ０．００００００ ０．０
５００００ｏ、ｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏ
ｏｏｏ −ｏ、ｏｓｏｏｏ。
０１６，５３０００００，０００００００，０００００
００，０００１）００ ０．００００００ ０．０
０００００−１６．５３００００ ０．００００００
０．００００００９．１６００００ ０．０００
０００ ０．００００００Ｐ／ｌ？ 第 １ 仕様データ Ｅ Ｐ Ｄ ０．０７０９２ＤＩＭ
！ Ｗ Ｌ ８００ ズームデータ Ｐｏ５ｔ ＰＯ３２ＰＯ３３ Ｂ Ｄ Ｅ ４ ０．００００００ １．８１２５
００ ３．６２５０００Ｂ Ｄ Ｅ ４ ０．００
００００ −１．８１２５００ −３．６２５０００
Ｂ Ｄ Ｅ ２０ ０．００００００ −１．８１
２５００ −３．６２５０００Ｂ Ｄ Ｅ ２５ ０
．００００００ １．８１２５００ ３゜６２５０
００ＡＤＥ６ ０．００００００ ０．０００００
０ ０．００００００Ａ Ｄ Ｅ ７ ０．０００
０００ ０．００００００ ０．００００００Ａ
Ｄ Ｅ ２２ ０．００００００ ０．０００００
０ ０．００００００Ａ Ｄ Ｅ ２３ ０．００
００００ ０．００００００ ０．００００００表
（続） Ｉ）Ｏ３４ＰＯ３５ＰＯ３６ ５，４：１７５００ ７．２５００００
７．２５００００−５．４３７５００
−７．２５００００ −７．２５００００〜５
．４３７５００ −７．２５００００
−７．２５００００５．４３７５００ ７．
２５００００ ７．２５０００００．０００
０００ ０．００００００ ０．０
５００００ｏ、ｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏ
ｏｏｏ −ｏ、ｏｓｏｏｏ。
ｏ、ｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏｏ
ｏ、ｏｓｏｏｏ。
ｏ、ｏｓｏｏｏ。
Ｏ，０００００００，００００００−０，０５００００
第 １ 表 面データ 面番号 曲 率 厚 さ 物体面 ０．００００００００ ６．２６７４６
４１ ０．００００００００ １．５０００００
２ ＤＥＣＥ Ｏ，０００００００，０００００
０１５，００００００ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ ｏ
、ｏｏｏｏｏ。
第 １ 表 面データ 面番号 曲 率 厚 さ 物体面 ０．００００００００ ６．２６７４６
４１ ０．００００００００ １．５０００００
２ ＤＥＣＥ Ｏ，０００００００，０００００
０１５，００００００ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ ｏ
、ｏｏｏｏｏ。
３ ＤＥＣＥ Ｏ，０００００００，０００００
０Ｂ、３００＋１０００．００００００００ １．
５０００００４ ＤＥＣＥ Ｏ，０００００００
，０００００００，０００００００、ＯＯＯＯＯＩＭ）
０ −１．５０００００５ ＤＥＣＥ Ｏ，０
００００００，００００００−８，３０００００ｏ、ｏ
ｏｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
０Ｂ、３００＋１０００．００００００００ １．
５０００００４ ＤＥＣＥ Ｏ，０００００００
，０００００００，０００００００、ＯＯＯＯＯＩＭ）
０ −１．５０００００５ ＤＥＣＥ Ｏ，０
００００００，００００００−８，３０００００ｏ、ｏ
ｏｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
６ ＤＥＣＥ Ｏ，０００００００，０００００
００，００００００ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ ｏ、
ｏｏｏｏｏ。
００，００００００ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ ｏ、
ｏｏｏｏｏ。
？ ＤＥＣＥ Ｏ，０００００００，０００００
００，００００００ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ ｏ、
ｏｏｏｏｏ。
００，００００００ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ ｏ、
ｏｏｏｏｏ。
８ ＤＥＣＥ Ｏ，０００００００，０００００
０８，３００００００，００００００００１，５０００
００９ＤＥＣＥ Ｏ，０００００００，００００００
０，０００００００，００００００００−１，５０００
００ガラス ストップ タイプｏ、
ｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
０８，３００００００，００００００００１，５０００
００９ＤＥＣＥ Ｏ，０００００００，００００００
０，０００００００，００００００００−１，５０００
００ガラス ストップ タイプｏ、
ｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
ｏ、ｏｏｏｏｏ。
ｏ、ｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
ｏ、ｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
ｏ、ｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
ＲＥＦＬ
ｏ、ｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
ｏ、ｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
Ｏ，０００００００，００００００
第 ■ 表（Ｚ
面一ゲニ二二）−
面番号 曲 率 厚 さ
１０ ＤＥＣＥ Ｏ，０００００００，００００
００−８，３０００００ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ
ｏ、ｏｏｏｏｏ。
００−８，３０００００ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ
ｏ、ｏｏｏｏｏ。
１１ ＤＥＣＥ Ｏ，０００００００，００００
００１５，０００００００，００００００００１，５０
００００１２ＤＥＣＥ Ｏ，０００００００，０００
０００３８，９０２００００，００００００００−０，
５８３２１３１３０，０９２８５７８２−０，６５４０
５５−３０５，０３３１７２６１ １４ＤＥＣＥ Ｏ，０００００００，００００００Ｂ
１．８１５（ｉｏｏｏ、００００００００ ０．７
５２６９２１５ ０．１１３５３０５３ ０．０
０００００−１１４．５３８５０５５５ １６ ＲＥＴＵ ２ ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
００１５，０００００００，００００００００１，５０
００００１２ＤＥＣＥ Ｏ，０００００００，０００
０００３８，９０２００００，００００００００−０，
５８３２１３１３０，０９２８５７８２−０，６５４０
５５−３０５，０３３１７２６１ １４ＤＥＣＥ Ｏ，０００００００，００００００Ｂ
１．８１５（ｉｏｏｏ、００００００００ ０．７
５２６９２１５ ０．１１３５３０５３ ０．０
０００００−１１４．５３８５０５５５ １６ ＲＥＴＵ ２ ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
１７ ＤＥＣＥ Ｏ，０００００００，００００
００９０，００００００ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ
ｏ、ｏｏｏｏｏ。
００９０，００００００ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ
ｏ、ｏｏｏｏｏ。
１８ ＤＥＣＥ Ｏ，０００００００，００００
００９０，００００００ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ
ｏ、ｏｏｏｏｏ。
００９０，００００００ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ
ｏ、ｏｏｏｏｏ。
ガラス ストップ タイプｏ、ｏｏ
ｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
ｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
ｏ、ｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
ｏ、ｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
ＲＥＦＬ 二次曲面０．
００００（１００，００００００ １シＣＦＬ 二次曲面ｏ
、ｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
００００（１００，００００００ １シＣＦＬ 二次曲面ｏ
、ｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
Ｏ，＋１０００００ ０．００００００第 ■
表 （′１ｆｈ）面データ 面番号 曲 率 厚 さ １９ ’ ＤＥＣＥ Ｏ，０００００００，００
００００８，３００００００，００００００００−１，
５０００００２０Ｄ Ｅ ＣＥ Ｏ，０００００００
，０００００００，０００００００，００００００００
１，５０００００２１ＤＥＣＥ Ｏ，０００００００
，００００００−８，３０００００ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏ
ｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
表 （′１ｆｈ）面データ 面番号 曲 率 厚 さ １９ ’ ＤＥＣＥ Ｏ，０００００００，００
００００８，３００００００，００００００００−１，
５０００００２０Ｄ Ｅ ＣＥ Ｏ，０００００００
，０００００００，０００００００，００００００００
１，５０００００２１ＤＥＣＥ Ｏ，０００００００
，００００００−８，３０００００ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏ
ｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
２２ Ｄ Ｅ ＣＥ Ｏ，０００００００，０
００００００，００００００ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ
ｏ、ｏｏｏｏｏ。
００００００，００００００ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ
ｏ、ｏｏｏｏｏ。
２３ Ｄ Ｅ ＣＥ Ｏ，０００００００，０
０００００（ＬＯＯＯＯＯＯｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ
ｏ、ｏｏｏｏｏ。
０００００（ＬＯＯＯＯＯＯｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ
ｏ、ｏｏｏｏｏ。
２４ 、 ＤＥＣＥ Ｏ，０００００００，００
００００８，３００００００，００００００００−１，
５０００００２５ＤＢＣＢ Ｏ，０００００００，０
００００００，０００００００，００００００００１，
５０００００２６ＤＥＣＥ Ｏ，０００００００，０
０００００−８，３０００００ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ
ｏ、ｏｏｏｏｏ。
００００８，３００００００，００００００００−１，
５０００００２５ＤＢＣＢ Ｏ，０００００００，０
００００００，０００００００，００００００００１，
５０００００２６ＤＥＣＥ Ｏ，０００００００，０
０００００−８，３０００００ｏ、ｏｏｏｏｏｏｏｏ
ｏ、ｏｏｏｏｏ。
２７ Ｄ Ｅ ＣＢ Ｏ，０００００００，０
０００００４，７５９００００，００００００００１，
５０００００ガラス ストップ タ
イプｏ、ｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
０００００４，７５９００００，００００００００１，
５０００００ガラス ストップ タ
イプｏ、ｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
ｏ、ｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
ｏ、ｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
ｏ、ｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
ＥＦ Ｌ
ｏ、ｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
ｏ、ｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
ｏ、ｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
ｏ、ｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
ｏ、ｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｏｏｏｏ。
第 ■ 表
面番号 曲率 厚さ
２８ ０．００００００００ ６．０００００
０２９ ０．００００００００ ０．００００
００仕様データ Ｅ Ｐ Ｄ Ｏ，０４６０３ＤＩＭ、
Ｉ Ｗ Ｌ ８００．００ズームデータ Ｐｏ５ｔ ＰＯ３２ＰＯＳ３ ＰＯ３４Ｂ Ｄ
Ｅ ４ ０．００００００ ２．２１９２００
４．４３Ｂ４００ ６．６５７６００ＢＤＥ９
０．００００００ −２．２１９２００ −４．４３８
４００ −６．６５７６００ＢＤＥ２０ ０．００００
００ −２．２１９２００ −４．４３８４００ −６
．６５７６００Ｂ Ｄ Ｅ ２５ ０．００００００
２．２１９２００ ４．４３Ｂ／１００ Ｇ、
６５７６００Ａ Ｄ Ｅ ６ ０．００００００
０．００００００ ０．００００００ ０．０００
００ＯＡ Ｄ Ｂ ？ ０．００００００ ０．
００００００ ０．００００００ ０．０００００
０Ａ Ｄ Ｅ ２２ ０．００００００ 、０．０
０００００ ０．００００００ ０．００００００
Ａ Ｄ Ｅ ２３ ０．００００００ ０．０００
０００ ０．００００ｃＩＤＯ，００００００ガラス
ストップ タイプＰ ／ Ｒ ＰＯ３５ＰＯ３６ ８，１１，７６８００８，８７６８００−８，８７６８
００−８，８７６８００＝８．８７６８００ −８．８
７６８００８．８７６８００ ８．８７６８０００．
００００００ ０．０５００００ｏ、ｏｏｏｏｏｏ
−’ｏ、ｏｓｏｏｏ。
０２９ ０．００００００００ ０．００００
００仕様データ Ｅ Ｐ Ｄ Ｏ，０４６０３ＤＩＭ、
Ｉ Ｗ Ｌ ８００．００ズームデータ Ｐｏ５ｔ ＰＯ３２ＰＯＳ３ ＰＯ３４Ｂ Ｄ
Ｅ ４ ０．００００００ ２．２１９２００
４．４３Ｂ４００ ６．６５７６００ＢＤＥ９
０．００００００ −２．２１９２００ −４．４３８
４００ −６．６５７６００ＢＤＥ２０ ０．００００
００ −２．２１９２００ −４．４３８４００ −６
．６５７６００Ｂ Ｄ Ｅ ２５ ０．００００００
２．２１９２００ ４．４３Ｂ／１００ Ｇ、
６５７６００Ａ Ｄ Ｅ ６ ０．００００００
０．００００００ ０．００００００ ０．０００
００ＯＡ Ｄ Ｂ ？ ０．００００００ ０．
００００００ ０．００００００ ０．０００００
０Ａ Ｄ Ｅ ２２ ０．００００００ 、０．０
０００００ ０．００００００ ０．００００００
Ａ Ｄ Ｅ ２３ ０．００００００ ０．０００
０００ ０．００００ｃＩＤＯ，００００００ガラス
ストップ タイプＰ ／ Ｒ ＰＯ３５ＰＯ３６ ８，１１，７６８００８，８７６８００−８，８７６８
００−８，８７６８００＝８．８７６８００ −８．８
７６８００８．８７６８００ ８．８７６８０００．
００００００ ０．０５００００ｏ、ｏｏｏｏｏｏ
−’ｏ、ｏｓｏｏｏ。
ｏ、ｏｏｏｏｏｏ ｏ、ｏｓｏｏｏ。
０．００００００ −０．０５００００
第１図は）ａ動及び反りの補正を有する本発明走査装置
の横走査平面の図、第２図は第１図の装置の走査平面の
図、第３図は揺動、反り及び像面弯曲の補正を有する本
発明走査装置の他の実施例の横走査平面の図、第４図は
部分的ミラー断面を示しである第３図の装置の横走査平
面の図、第５図は第３の装置の走査平面の図である。 １０・・・光源、１２・・・回転式多角形体、１８．２
０・・・非球面状ミラー、５０・・・集光器。
の横走査平面の図、第２図は第１図の装置の走査平面の
図、第３図は揺動、反り及び像面弯曲の補正を有する本
発明走査装置の他の実施例の横走査平面の図、第４図は
部分的ミラー断面を示しである第３図の装置の横走査平
面の図、第５図は第３の装置の走査平面の図である。 １０・・・光源、１２・・・回転式多角形体、１８．２
０・・・非球面状ミラー、５０・・・集光器。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、揺動及び像面弯曲に対して補正される走査用ビーム
を提供するための多角形体式走査装置において、回転可
能な多面ミラー組立体を備え、上記面は上記組立体の回
転軸との所定の抜き勾配を有しており、更に、有限共投
光の光源の光を上記多面ミラー組立体へ導くための第１
の手段を備え、上記光は上記ミラー組立体の各作用面に
よつて順々に反射され、更に、上記多面ミラー組立体の
作用面から反射された光の通路内に配置されて光学的屈
折力を有する第１のミラーと、上記第１のミラーからの
反射光の通路内に配置されておつて光学的屈折力を有す
る第２のミラーとを備えており、上記第２のミラーは、
被走査面への反射のために、上記光を上記多面ミラー組
立体の作用面へ反射して戻し、走査用の上記光のビーム
は上記被走査面にあつてこれに合焦されることを特徴と
する多角形体式走査装置。 ２、第１及び第２のミラーの各々の光学的屈折力が非球
面によつて提供される特許請求の範囲第１項記載の多角
形体式走査装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US64728184A | 1984-09-04 | 1984-09-04 | |
| US647281 | 1984-09-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6170523A true JPS6170523A (ja) | 1986-04-11 |
Family
ID=24596332
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60182876A Pending JPS6170523A (ja) | 1984-09-04 | 1985-08-20 | 多角形体式走査装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0176265A1 (ja) |
| JP (1) | JPS6170523A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109283540A (zh) * | 2018-09-30 | 2019-01-29 | 江苏慧光电子科技有限公司 | 适用于输出图案化光束的系统和光路结构 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2306185A1 (de) * | 1973-02-08 | 1974-08-15 | Agfa Gevaert Ag | Verfahren und vorrichtung zur kompensation des pyramidenfehlers eines spiegelrades |
| GB1541214A (en) * | 1974-12-11 | 1979-02-28 | Atomic Energy Authority Uk | Optical apparatus |
| US4213157A (en) * | 1979-02-05 | 1980-07-15 | Xerox Corporation | Self tracking laser scanning apparatus |
| GB2115174B (en) * | 1981-11-25 | 1985-05-01 | Barr & Stroud Ltd | Optical scanning systems |
| CA1284046C (en) * | 1983-09-15 | 1991-05-14 | Harry P. Brueggemann | Wobble correction by two reflections on a facet without bow |
-
1985
- 1985-08-20 JP JP60182876A patent/JPS6170523A/ja active Pending
- 1985-08-30 EP EP85306174A patent/EP0176265A1/en not_active Withdrawn
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0176265A1 (en) | 1986-04-02 |
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