JPS6168523A - 定光量連続可変波長光源 - Google Patents
定光量連続可変波長光源Info
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- JPS6168523A JPS6168523A JP18952484A JP18952484A JPS6168523A JP S6168523 A JPS6168523 A JP S6168523A JP 18952484 A JP18952484 A JP 18952484A JP 18952484 A JP18952484 A JP 18952484A JP S6168523 A JPS6168523 A JP S6168523A
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- Pending
Links
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/10—Arrangements of light sources specially adapted for spectrometry or colorimetry
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は一定光量で光の波長を連続的に変え得る光源に
係り、特に半導体結晶やデバイスの光学的特性の測定に
適した定光量連続可変波長光源に関するものである。
係り、特に半導体結晶やデバイスの光学的特性の測定に
適した定光量連続可変波長光源に関するものである。
これまでに知られている定光量連続可変波長光源として
は国府田、柊元著「光物性測定技術」（東大出版Ｐ１０
０〜１０２（昭和５８年６月発行））に記載されている
自動光量一定装置がある。これ′は第１図に示すように
タングステンラング１か゛らの光を分光器２で分光し、
単一波長となった光をハーフミラ−３を介し試＃＋４に
照射するー。
は国府田、柊元著「光物性測定技術」（東大出版Ｐ１０
０〜１０２（昭和５８年６月発行））に記載されている
自動光量一定装置がある。これ′は第１図に示すように
タングステンラング１か゛らの光を分光器２で分光し、
単一波長となった光をハーフミラ−３を介し試＃＋４に
照射するー。
方、ハーフミラ−３からの分岐光の一部が光量゛出器５
で電気信号として検出されるものとなっ゛ている。光検
出器５からは光量に応じた電気信号が得られるが、これ
が分光器２に連動した基準電圧発生器６からの電圧信号
とコントローラ７で比較され、コントロー２７は比較偏
差が零となるべく電源８を制御することによって１分光
波長に依存することなく一定光量の単一波長光が得られ
るようになっているものである。 ”しかしながら、こ
のような構成において光量・出器に熱電堆（？−モバイ
ル）のような波長値・存性のないものを使用した場合は
比較的簡単な・機構で基準電圧の発生が行なえるが、半
導体検出器のように波長に依存して出力電圧が異なる検
出器を用いる場合には、その補正値をも含めた基準電圧
を分光器２と連動した形で基準電圧発生器６より出力し
なければならず、複雑な機構が必要となるという不具合
がある。また、熱電堆を検出器とした場合は光量的にも
時間的にも感度が良好でな（、微弱光に対する制御を行
ない得ないばかりか、安定な測定を行なうには時間を要
する等の不具合がある。
で電気信号として検出されるものとなっ゛ている。光検
出器５からは光量に応じた電気信号が得られるが、これ
が分光器２に連動した基準電圧発生器６からの電圧信号
とコントローラ７で比較され、コントロー２７は比較偏
差が零となるべく電源８を制御することによって１分光
波長に依存することなく一定光量の単一波長光が得られ
るようになっているものである。 ”しかしながら、こ
のような構成において光量・出器に熱電堆（？−モバイ
ル）のような波長値・存性のないものを使用した場合は
比較的簡単な・機構で基準電圧の発生が行なえるが、半
導体検出器のように波長に依存して出力電圧が異なる検
出器を用いる場合には、その補正値をも含めた基準電圧
を分光器２と連動した形で基準電圧発生器６より出力し
なければならず、複雑な機構が必要となるという不具合
がある。また、熱電堆を検出器とした場合は光量的にも
時間的にも感度が良好でな（、微弱光に対する制御を行
ない得ないばかりか、安定な測定を行なうには時間を要
する等の不具合がある。
一方、半導体検出器の波長依存性をマイクロコンピータ
を用いて補正することは特開昭５８−２０２８５０号に
記載されているが、これによる場合は単に検出器の波長
依存性を補正するのみで光源部へのフィルドパックがな
されていなく、。
を用いて補正することは特開昭５８−２０２８５０号に
記載されているが、これによる場合は単に検出器の波長
依存性を補正するのみで光源部へのフィルドパックがな
されていなく、。
試料に一定光量を照射しその光学的特性を測定すること
までは考慮されていない。
までは考慮されていない。
本発明の目的は、光量的感度は良好であるにしても出力
電圧が波長に依存する光検出器を用い、波長に依存する
ことな（−足元量の単一波長光が得られる定光量連続可
変波長光源を供するにある。
電圧が波長に依存する光検出器を用い、波長に依存する
ことな（−足元量の単一波長光が得られる定光量連続可
変波長光源を供するにある。
この目的のため本発明は、光検出器の波長−。
出力特性が予め知られていれば一定光量の単一゛波長光
を優るための補正データが知れることに着目し、光検出
器からの波長対応の出力電圧を゛その波長に応じた補正
データによって補正し、゛補正された出力電圧でランプ
電源を制御するよ゛うになしたものである。
を優るための補正データが知れることに着目し、光検出
器からの波長対応の出力電圧を゛その波長に応じた補正
データによって補正し、゛補正された出力電圧でランプ
電源を制御するよ゛うになしたものである。
〔発明の実施例〕 ゛以下、
本発明を第２図から第４図により説明する。
本発明を第２図から第４図により説明する。
先ず本発明による定光量連続可変波長光源の゛構成につ
いて説明する。第２図はその基本的な゛構成を示したも
のである。これによるとタンク“ステンランプ１からの
光はこれまでの場合と同・様にノ・−７ミラー３を介し
試料４に照射される・一方、ハーフミ２−５からの分岐
光はその一部・が光検出器５でアナログ電気信号に変換
される・ものとなっている。本例ではこのアナログ電気
信号はん巾変換器９でディジタル信号に変換されたうえ
演算制御手段としてのマイクロコンピュータ１０に入力
されるようになっている。この場合マイクロコンピータ
１０には予め波長に応じた補正データがテーブルとして
記憶されていることから、分光器２に連動して発生され
る単一波長対応のアドレス（分光角）によってその波長
対応の補正データを読み出したうえＮΦ変換器９からの
ディジタル信号を補正し、補正済のディジタル信号によ
って電源８を制御すれば、波長に依存することなく一定
光量の単一波長光が試料４に照射され得るわけである。
いて説明する。第２図はその基本的な゛構成を示したも
のである。これによるとタンク“ステンランプ１からの
光はこれまでの場合と同・様にノ・−７ミラー３を介し
試料４に照射される・一方、ハーフミ２−５からの分岐
光はその一部・が光検出器５でアナログ電気信号に変換
される・ものとなっている。本例ではこのアナログ電気
信号はん巾変換器９でディジタル信号に変換されたうえ
演算制御手段としてのマイクロコンピュータ１０に入力
されるようになっている。この場合マイクロコンピータ
１０には予め波長に応じた補正データがテーブルとして
記憶されていることから、分光器２に連動して発生され
る単一波長対応のアドレス（分光角）によってその波長
対応の補正データを読み出したうえＮΦ変換器９からの
ディジタル信号を補正し、補正済のディジタル信号によ
って電源８を制御すれば、波長に依存することなく一定
光量の単一波長光が試料４に照射され得るわけである。
第３図は光量一定の単−波長光釜々に対する各種光検出
器の出力特性を示したものである。
器の出力特性を示したものである。
これによれば光検出器として熱電堆を用いる場合には波
長に依存することな（その出力Ｐ（λ）は一定トするが
、シリコンＳＬやゲルマニウムＧ４を光検出器として用
いる場合はその出力Ｐ（λ）は波長に依存して変化する
ものであることが判る。
長に依存することな（その出力Ｐ（λ）は一定トするが
、シリコンＳＬやゲルマニウムＧ４を光検出器として用
いる場合はその出力Ｐ（λ）は波長に依存して変化する
ものであることが判る。
したがって、この変化を補正するための係数をＫ（λ）
として一定の光出力Ｐ。を得るためには光検出器の出力
特性に応じて補正係数Ｋ（λ）を乗じればよいことにな
る。
として一定の光出力Ｐ。を得るためには光検出器の出力
特性に応じて補正係数Ｋ（λ）を乗じればよいことにな
る。
ｐｏ二Ｋ（λ）−Ｐ（λ） ・−・−・・ｆｌ ｌ
即ち、予め光検出器の種類に応じその波長依存性データ
を調べておき、これを補正係数Ｋ（λ）゛としてマイク
ロコンピュータ１０の内部メモリに。
即ち、予め光検出器の種類に応じその波長依存性データ
を調べておき、これを補正係数Ｋ（λ）゛としてマイク
ロコンピュータ１０の内部メモリに。
蓄積し、分光器２０分光角に応じて光検出器の′出力Ｐ
（λ）を補正することによって波長に関係しない真の光
ｆＰａが得られるものである。このＰ。
（λ）を補正することによって波長に関係しない真の光
ｆＰａが得られるものである。このＰ。
を一定に保つように電源８を制御すればよいわけである
。この一連の動作をマイクロコンビニタな用いて実現す
るためのプログラムをフローとして第４図に示す。但し
、第４図においてはＰｏは設定可変として示している。
。この一連の動作をマイクロコンビニタな用いて実現す
るためのプログラムをフローとして第４図に示す。但し
、第４図においてはＰｏは設定可変として示している。
補正により得られた値が設定値Ｐｏに等しくない場合は
電源８の電圧はステップ状に変化されるようになってい
るものである。
電源８の電圧はステップ状に変化されるようになってい
るものである。
このような光電制御を採る場合は、高感度な・半導体検
出器によって光量をモニタし得るわけであり、また、使
用される光検出器が変更される場合であってもその光検
出器対応の補正データを選択したり、あるいはそれまで
蓄積されていた補正データを使用される光検出器に応じ
補正するようにすればその変更に容易迅速に対処し得る
ことになる。
出器によって光量をモニタし得るわけであり、また、使
用される光検出器が変更される場合であってもその光検
出器対応の補正データを選択したり、あるいはそれまで
蓄積されていた補正データを使用される光検出器に応じ
補正するようにすればその変更に容易迅速に対処し得る
ことになる。
以上説明したように本発明は、光検出器からの波長対応
の出力電圧をその波長に応じた補正データによって補正
し、補正された出力電圧でランプ電源を制御すべ（なし
たものである。したがって、本発明による場合は、光量
感度と時間応答性に優れているも出力が波長に依存する
半導体検出器を光検出器として使用することが可能とな
り、更には波長範囲が狭く、かつ帯域の異なるシリコン
やゲルマニウムの光検出器を併用丁れば、 ４ＤＴｌｎ
ｍ−１５００ｎｒｎ波長帯域におイテも波長に依存する
ことなく一定光量の単一波長光が得られることになる。
の出力電圧をその波長に応じた補正データによって補正
し、補正された出力電圧でランプ電源を制御すべ（なし
たものである。したがって、本発明による場合は、光量
感度と時間応答性に優れているも出力が波長に依存する
半導体検出器を光検出器として使用することが可能とな
り、更には波長範囲が狭く、かつ帯域の異なるシリコン
やゲルマニウムの光検出器を併用丁れば、 ４ＤＴｌｎ
ｍ−１５００ｎｒｎ波長帯域におイテも波長に依存する
ことなく一定光量の単一波長光が得られることになる。
第１図は、これまでの定光量連続可変波長光源の構成を
示す図、第２図は１本発明による定光量連続可変波長光
源の構成を示す図、第３図は、光量一定の単一波長光に
対する各種光検出器の出力特性を示す図、第４図は、試
料測定を考慮したマイクロコンビーータによる制御のフ
ローを示す図である。 １・・−・・・・・タングステンランプ２・・・・・・
・・・分光器 ３・・−・−・・ハーフミラ ５・・−・−・・光検出器 ８・・・・・−・・電源 ９・・・・・−・・Ａ／Ｊ）変換器 １０・・−・・マイクロコンピュータ 第 １ 図 第 ２ 図 躬 ３ 図 ０．２ ０．４ ０．６ ０Ｊ １０ ／、２ １
．４ １．６尤の波長入（ｐ漿）
示す図、第２図は１本発明による定光量連続可変波長光
源の構成を示す図、第３図は、光量一定の単一波長光に
対する各種光検出器の出力特性を示す図、第４図は、試
料測定を考慮したマイクロコンビーータによる制御のフ
ローを示す図である。 １・・−・・・・・タングステンランプ２・・・・・・
・・・分光器 ３・・−・−・・ハーフミラ ５・・−・−・・光検出器 ８・・・・・−・・電源 ９・・・・・−・・Ａ／Ｊ）変換器 １０・・−・・マイクロコンピュータ 第 １ 図 第 ２ 図 躬 ３ 図 ０．２ ０．４ ０．６ ０Ｊ １０ ／、２ １
．４ １．６尤の波長入（ｐ漿）
Claims (1)
- 連続スペクトルの光を発光する光源と、該光源からの光
を単一波長光に分光する分光手段と、該分光手段からの
単一波長光の光量をモニタする光検出手段と、該検出手
段からの光量検出信号を予め記憶されている分光角対応
の補正データによって補正する演算制御手段と、該演算
制御手段による制御下に上記光源に対する電圧を発生す
る電源とからなる構成を特徴とする定光量連続可変波長
光源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18952484A JPS6168523A (ja) | 1984-09-12 | 1984-09-12 | 定光量連続可変波長光源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18952484A JPS6168523A (ja) | 1984-09-12 | 1984-09-12 | 定光量連続可変波長光源 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6168523A true JPS6168523A (ja) | 1986-04-08 |
Family
ID=16242727
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18952484A Pending JPS6168523A (ja) | 1984-09-12 | 1984-09-12 | 定光量連続可変波長光源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6168523A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0251029A (ja) * | 1988-08-12 | 1990-02-21 | Sumitomo Cement Co Ltd | 分光光度計 |
| JPH05264349A (ja) * | 1991-12-09 | 1993-10-12 | Hughes Aircraft Co | １つ以上のスペクトル的にフィルタ処理された光検出器電流による多色光源の較正 |
-
1984
- 1984-09-12 JP JP18952484A patent/JPS6168523A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0251029A (ja) * | 1988-08-12 | 1990-02-21 | Sumitomo Cement Co Ltd | 分光光度計 |
| JPH05264349A (ja) * | 1991-12-09 | 1993-10-12 | Hughes Aircraft Co | １つ以上のスペクトル的にフィルタ処理された光検出器電流による多色光源の較正 |
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