JPS645644B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は光量を測定するための光量測定器、特
に光電子増倍管を有する更正の容易な光量測定器
である。

従来、光量測定器には光電子増倍管、ホトダイ
オード、又は光導電セル等を用いたものがある。
光電子増倍管を用いた光量測定器は光電子増倍管
の光量に対する出力感度が大であるので、微弱光
の検出に優れているが、光電子増倍管は経時的な
感度の変化が大きく感度の更正を頻繁に行なわな
ければ、光量を正しく計測できないという欠点を
有していた。光電子増倍管を用いた光量測定器を
更正するには2856K標準タングステンランプを標
準条件で発光させた標準光を用いて行う方法が知
られている。しかしながら、前記更正法は更正時
の条件、例えば室温、湿度、風等の諸条件を所定
の値に保たなければならないため、手間と時間を
要したり、また光量測定現場で光量測定器を更正
することが困難であつた。

本発明は前記した欠点を有効に解決すべくなさ
れたものであつて、本発明は測定しようとする光
を一定の周期で透過させる手段と、該透過する光
を受ける光電子増倍管と、該光電子増倍管の出力
の内、前記周期をもつ光に応じた電気的出力をと
りだす出力器と、該検出器の出力を表示するため
の表示器とを有する光量測定器であつて、LED
光源と、該LEDの光を受光する位置に設けたホ
トダイオードと、該ホトダイオードが受光する
LEDの光量を一定値に保持し、且つ該LEDを前
記周期で点滅させる電源と、該LEDの点滅光を
光フアイバーにより該光電子増倍管に導くように
した更正装置をもつ光量測定器である。

本発明はLEDの光量に対する、経時変化の少
ないホトダイオードの出力により、該LEDの光
量を一定値に制御し、且つ該LEDを所定の周期
で点滅する電源を用いて、該LEDを点滅させ、
このLEDの光を光電子増倍管に導くようにした
更正装置をもつ光量測定器であるから、特殊な環
境下で更正する必要はなく、光量測定器使用のい
かなる環境下でも更正することができる。また、
本発明は該LEDの点滅光を光フアイバーにより
光電子増倍管に導くものであるから、被測定光の
光路を遮断することなく、光電子増倍管に安定な
基準光を照射できるので、光電子増倍管を被測定
光を測定する状態に設置したままで短時間に、且
つ簡単に感度の更正ができる。

従つて、本発明によれば微弱光を連続的に精度
よく測定することができる。

以下に本発明の一実施例について、添付図面を
引用して詳述する。

第１図に於いて、基準光箱７の中にLED１が
設けえられ、LED１の光Ｃを受光できる位置に
ホトダイオード２と光フアイバー３の受光端面が
設けられる。光フアイバー３の他の一端は測定光
を所定の周期でチヨツプする回転式チヨツパー
５′を通して導入して光学処理（例えば分光）を
行なう光学器５の中に導かれ、光フアイバーから
出光する光Ｄが光電子増倍管４の受光面に照射さ
れるように設置される。

光電子増倍管４は光学器５に連結された光電子
増倍管ケース６の中に設けたソケツト９に固定設
置され外部光から遮断され、ソケツト９には光電
子増倍管を作動させるための直流電源１０と、光
電子増倍管の光量信号（電流信号）を計測し、表
示する後述の測定回路１１に接続されている。

一方、LED１はGaAlAsの発光ダイオードが用
いられ、ホトダイオード２（例えばシリコンホト
ダイオード）の出力により制御される電源８によ
り点滅される。第２図に示したとおり、電源８は
LED１に、タイマーIC１２と抵抗１３及び１４
とコンデンサー１５とによつて定まる所定の周期
（前記チヨツパー５′周期と同一にする。）で一定
の電流を供給してLED１を点滅し、LED１の光
を受光したホトダイオード２の光量信号に応じた
出力電流をコンデンサー１６で平滑した後、IC
１８に入力し、IC１８の出力をLED１の電流を
制御するトランジスター１９にフイードバツクし
て、ホトダイオード２が計測するLED１の発す
る光量を所定値になるようにしている。なお、
LED１の発光量はホトダイオード２の出力信号
と一緒にIC１８に入力される電圧を可変抵抗１
７で変えることにより変化することができる。

他方、光電子増倍管の光量信号を計測し、表示
する測定回路１１は、第３図に示す通り、Ｉ―Ｖ
変換回路、フイルター回路、整流回路及び表示部
とからなる。

光電子増倍管の光量回路IPはIC１９によつて
電圧信号に変換されてフイルター回路に出力され
る。フイルター回路はIC２０と抵抗２１，２２，
２３とコンデンサー２４，２５で周波数が決めら
れLED１の点滅周波数の信号を選択して整流出
力回路に光信号を出力する。

整流出力回路は交流の光信号をIC２７とダイ
オード２８で整流し、IC３２で増幅して出力ゲ
インの可変抵抗３０を通つて表示部のデジタルパ
ネルメーター３１に出力する。

光電子増倍管に光信号が入射していないときの
出力のゼロ調整は抵抗２９によつて行なうことが
できる。

光電子増倍管の感度更正はLED１の基準光を
光フアイバーで伝送して光電子増倍管に照射し、
その時の光量信号の出力値を出力ゲインの可変抵
抗３０で所定の決まつた値に調整することで行な
う。

LED１の基準光を一定の周波数で点滅させて
交流信号を用いたのは、ホトダイオード２の暗電
流成分を除いて光信号に比例した出力信号を得る
ためである。

上記の通り実施した光量測定器は、従来困難で
あつた微弱光を連続的の長時間測定することを可
能にした。

本発明による光量測定器は、光を発生する種々
の生産装置において、生産条件を連続的に検出し
て制御するための信号として用いることを可能に
した。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による光量測定器の概略構成図
であり、第２図は第１図の電源の回路図であり、
第３図は第１図の測定回路図である。 １；LED、２；ホトダイオード、３；光フア
イバー、４；光電子増倍管、５；光学器、５′；
チヨツパー、６；光電子増倍管ケース、７；基準
光箱、８；電源、９；ソケツト、１０；光電子増
倍管電源、１１；測定回路。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 測定しようとする光を一定の周期で透過させ
   る手段と、該透過する光を受ける光電子増倍管
   と、該光電子増倍管の出力の内、前記周期をもつ
   光に応じた電気的出力をとりだす出力器と、該検
   出器の出力を表示するための表示器とを有する光
   量測定器であつて、LED光源と、該LEDの光を
   受光する位置に設けたホトダイオードと、該ホト
   ダイオードが受光するLEDの光量を一定値に保
   持し、且つ該LEDを前記周期で点滅させる電源
   と、該LEDの点滅光を光フアイバーにより該光
   電子増倍管に導くようにした更正装置をもつ光量
   測定器。