JPS6167952A - Cmos半導体装置 - Google Patents

Cmos半導体装置

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JPS6167952A
JPS6167952A JP59189884A JP18988484A JPS6167952A JP S6167952 A JPS6167952 A JP S6167952A JP 59189884 A JP59189884 A JP 59189884A JP 18988484 A JP18988484 A JP 18988484A JP S6167952 A JPS6167952 A JP S6167952A
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latch
semiconductor device
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Yasuo Akatsuka
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    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03KPULSE TECHNIQUE
    • H03K17/00Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking
    • H03K17/08Modifications for protecting switching circuit against overcurrent or overvoltage
    • H03K17/081Modifications for protecting switching circuit against overcurrent or overvoltage without feedback from the output circuit to the control circuit
    • H03K17/0814Modifications for protecting switching circuit against overcurrent or overvoltage without feedback from the output circuit to the control circuit by measures taken in the output circuit
    • H03K17/08142Modifications for protecting switching circuit against overcurrent or overvoltage without feedback from the output circuit to the control circuit by measures taken in the output circuit in field-effect transistor switches
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/02Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
    • H01L27/04Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body
    • H01L27/08Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including only semiconductor components of a single kind
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    • H01L27/088Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including only semiconductor components of a single kind including field-effect components only the components being field-effect transistors with insulated gate
    • H01L27/092Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including only semiconductor components of a single kind including field-effect components only the components being field-effect transistors with insulated gate complementary MIS field-effect transistors
    • H01L27/0921Means for preventing a bipolar, e.g. thyristor, action between the different transistor regions, e.g. Latchup prevention
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03KPULSE TECHNIQUE
    • H03K2217/00Indexing scheme related to electronic switching or gating, i.e. not by contact-making or -breaking covered by H03K17/00
    • H03K2217/0036Means reducing energy consumption

Landscapes

  • Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
  • Electronic Switches (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明はCM08半導体装置に゛関し、特に、ラッテア
ップによる破壊が生じないような手段を施したCMOS
半導体装置に関するものである。
(従来の技術) 従来、CMOS半導体装置は寄生バイポーラトランジス
タによって構成されるサイリスタの作用により、入力に
ノイズが入りた場合等にラッチアップが発生し、正常動
作時に比べ10〜50倍もの過大な電源電流が流れ、こ
の過大電流によりジャンクシ冒ン破壊1人ノ配線の溶断
等を引き起こし、最終的には装置全体としての破壊に至
るという欠点があう九。
これを図を用いて説明する。第5図は従来のCMOS半
導体装置の一例を示す模式的断面図、第6図はその等価
回路図である。第5図において、N型基板11にPチャ
ネルトランジスタ、N型基板11に形成され九Pウェル
12KNチャネルトランジスタが作られ0M08回路を
構成している。
ここで同一基板にP型とN型の不純物領域を形成してい
るため、必然的に寄生バイポーラトランジスタQl 、
Q2 、Qsが形成されている。又、N型基板11及び
Pウェル12には各々寄生抵抗r1゜r2が存在する。
いま、出力端子13に外部電源700以上の電圧が加わ
ると、バイポーラトランジスタQ2のエミッタ、ベース
及び抵抗r1を通して電流が流れるため、抵抗r1の両
端に電圧降下を生じ、バイポーラトランジスタQ3がオ
ン状態となる。さらに、これにより抵抗r2の両端に電
圧降下が生じるため、バイポーラトランジスタQ1がオ
ン状態となり、これが抵抗r1の両端の電圧降下をもた
らしてバイポーラトランジスタQ3のオン状態を持続さ
せ、出力端子13に加えた電圧を取り除いても電流は流
れ続ける。この電流は、数多くの寄生バイポーラトラン
ジスタをオンさせて流れるため、通常外部電源VCC−
接地間の抵抗値は非常に小さなものとなり、過大電流が
流れ続けてCMOS半導体装置の破壊に至る。
(発明の目的) 本発明の目的は、ラッチアップが発生し次場合でも破壊
に至らないようなCMOS半導体装置を提供することで
ある。
(発明の構成) 本発明の0M08回路は、ラッチアップが発生したこと
を検知して電源電流の供給を制限する抵抗値制御手段を
有することから構成される。
(作用) 本発明によるCMOS半導体装置は、外部電源と0MO
8構成の内部回路との間に抵抗値制御手段を設けておき
、ラッチアップが発生して内部回路の電源端子−接地間
の抵抗値が小さくなった時、これを検知して、この検知
信号により前記抵抗値制御手段を働かせて外部電源−内
部回路の電源端子間の抵抗値を増加させ、これにより電
源電流を制限して装置の破壊を防ごうとするものである
(実施例) 以下、本発明の実施例につき図面を参照して説明する。
第1図は本発明の一実施例の回路を示すブロック図であ
る。第1図において、0MO8構成の内部回路21と外
部電源VCCとの間に抵抗値制御手段22が接続されて
おり、内部回路21においてラッチアップが発生した場
合、抵抗値制御手段22が内部回路21の電源端子V。
。−接地間の抵抗値の低下を検知して、外部電源■cc
 −電源端子vCCa間の抵抗値を増加てせ、電源電流
に制限を加え破壊を防ぐ。
第2図は本実施例の要部を示す模式的断面図である。内
部回路21はN型基板23にPチャネルトランジスタ、
N型基板23に形成されたPウェル24にNチャネルト
ランジスタを設けて0MO8構成としている。一方、抵
抗値制御手段22はN型基板23とは電気的に絶縁石れ
たN型基板23RにPチャネルトランジスタのみを設け
たものであり、ラッチアップが発生しない構造となって
いる。
第3図に抵抗値制御手段220回路例を示す。
ソースが外部電源vccに接続された第1.第2のPチ
ャネルトランジスタQ pi + Q p2が互いにド
レイ/とゲートを交差して接続され、トランジスタQp
□ のドレインが抵抗R1全通して接地され、トランジ
スタQP鵞 のドレイ7が内部回路の電源端子vcc、
に接続されている。トランジスタQPI と抵抗R□と
でインバータ11t−、l−ランジスタQpzと内部回
路21の電源端子VCCa−接地間の抵抗R2とでイン
バータI2を構成している。
第4図は、抵抗制御手段22の動作を示す特性図で、イ
ンバータIi+I!の入出力特性を示す。
ここでCII はインバータIlの入出力特性を示す曲
線、CX2o、Cl2LはインバータI2の入出力特性
を示す曲線でありs Cl2O* Cr2Lはそれぞれ
内部回路21にラッチアップが発生する前と後に対応し
ている。抵抗R2はラッチアップ発生前で例えば几2o
=100〜200Ωの値を示していたものが、ラッチア
ップ発生後では例えばR’2L”4〜10Ωと激減する
ため第4図のような曲線となる。抵抗R20”2Lに対
して、トランジスタQp1+QP2 、抵抗R1を選ぶ
ことにより第4図にPO・PLで示す如く曲線C11と
Cl2O・CI2Lの交点をそれぞA1点とすることが
可能である。
すなわち点P。とP、が各々ラッチアップ発生161と
後の動作点である。
これより、トランジスタQpz のゲート電圧■。
はラッチアップ発生前のOvからラッチアップ発生後に
は■oLへと変化し、トランジスタQp□のオン抵抗が
増大することが分かる。
すなわち、抵抗値制御手段22は、ラッチアップ発生を
検出して外部電源VCCと内部回路の電源端子V。0.
との間の抵抗値を上げるという所望の動作をすることが
分かる。
なお、本発明は本実施例に限られず、種々な実施例が可
能であり、例えば、抵抗値制御手段t−P型基板に設は
九Nチャネルトランジスタで構成することも可能である
。又、CMOS内部回路と抵抗値制御手段とを同一基板
に設けることも可能で、この場合は両者を絶縁して抵抗
値制御手段にはラッチアップが発生しないような考慮を
施せばよい。
(発明の効果) 以上、詳細説明したとおり、本発明によれば、ラッチア
ップが発生したことを検知して電源電流の供給を制限す
る抵抗値制御手段により、ラッチアップが発生した場合
でも、電源電流を制限することにより破壊に至らないC
MOS半導体装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例の回路を示すブロック図、第
2図はその要部を示す模式的断面図、第3図は第1図の
部分詳細回路図、第4図は第3図の回路の特性図、第5
図は従来のCMOS半導体装置の一例を示す模式的断面
図、第6図はその等価回路図である。 21・・・・・・内部回路、22・・・・・・抵抗値制
御手段、23.231・・・・・・N型基板、24・・
・・・・Pウェル、11、I、・・・・・・インバータ
s QPI + QP2・・・・・・Pチャネル間O8
トランジスタ、” l + ” 2・・・・・・抵抗、
■cc・・・・・・外部電源5vcca・・・・・・内
部回路の電源端子。 代理人 弁理士  内 原   晋!/、t>ごゝ:、
、1..。 ′\ゴ 第1図 第2図 第3図 第4巳

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)ラッチアップが発生したことを検知して電源電流
    の供給を制限する抵抗値制御手段を有することを特徴と
    するCMOS半導体装置。
  2. (2)抵抗値制御手段が、CMOS半導体装置が構成さ
    れた半導体基板とは電気的に絶縁された一導電型の半導
    体基板上で構成されており、かつ一方の電極が電源に接
    続された第1、第2の反対導電型のトランジスタを互い
    に他方の電極とゲート電極を交差して接続し、前記第1
    のトランジスタの他方の電極を抵抗を通して接地し、前
    記第2のトランジスタの他方の電極を前記CMOS半導
    体装置の内部回路の電源端子に接続してなる特許請求の
    範囲第(1)項記載のCMOS半導体装置。
JP59189884A 1984-09-11 1984-09-11 Cmos半導体装置 Granted JPS6167952A (ja)

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US06/774,683 US4723081A (en) 1984-09-11 1985-09-11 CMOS integrated circuit protected from latch-up phenomenon

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006190424A (ja) * 2005-01-07 2006-07-20 Nec Electronics Corp 半導体集積回路装置

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR900008746B1 (ko) * 1986-11-19 1990-11-29 삼성전자 주식회사 접합 파괴장치 반도체장치
IT1217104B (it) * 1987-03-03 1990-03-14 Sgs Microelettronica Spa Circuito integrato cmos a due alimentazioni con un transistore mos integrato di protezione contro il <<latch-up>>.
US5159204A (en) * 1987-11-18 1992-10-27 Bernacchi Jerald R Structure and method for preventing latch-up in integrated circuits
US5212616A (en) * 1991-10-23 1993-05-18 International Business Machines Corporation Voltage regulation and latch-up protection circuits
ATE139875T1 (de) * 1992-09-16 1996-07-15 Siemens Ag Cmos-pufferschaltung
US5563438A (en) * 1994-10-26 1996-10-08 Alliedsignal Inc. Rugged CMOS output stage design
DE19721655C1 (de) * 1997-05-23 1998-12-03 Daimler Benz Ag Thyristor mit Selbstschutz
JP6285831B2 (ja) * 2014-09-12 2018-02-28 株式会社東芝 半導体素子

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS53129986A (en) * 1977-04-20 1978-11-13 Hitachi Ltd Complementary type mis semiconductor device
JPS5925261A (ja) * 1982-08-02 1984-02-09 Hitachi Ltd Cmos集積回路装置
JPS59132234A (ja) * 1983-01-19 1984-07-30 Hitachi Ltd 半導体集積回路装置

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4353105A (en) * 1980-12-08 1982-10-05 National Semiconductor Corporation CMOS Latch-up protection circuit

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS53129986A (en) * 1977-04-20 1978-11-13 Hitachi Ltd Complementary type mis semiconductor device
JPS5925261A (ja) * 1982-08-02 1984-02-09 Hitachi Ltd Cmos集積回路装置
JPS59132234A (ja) * 1983-01-19 1984-07-30 Hitachi Ltd 半導体集積回路装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006190424A (ja) * 2005-01-07 2006-07-20 Nec Electronics Corp 半導体集積回路装置
US7274616B2 (en) 2005-01-07 2007-09-25 Nec Electronics Corporation Integrated circuit apparatus

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