JPS6166911A - 回転角検出装置 - Google Patents
回転角検出装置Info
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- JPS6166911A JPS6166911A JP19015484A JP19015484A JPS6166911A JP S6166911 A JPS6166911 A JP S6166911A JP 19015484 A JP19015484 A JP 19015484A JP 19015484 A JP19015484 A JP 19015484A JP S6166911 A JPS6166911 A JP S6166911A
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- dimensional
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- rotation
- semiconductor
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 17
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 16
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 4
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 4
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 238000013139 quantization Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業−１−の利用分野〕
この発明は、半導体光電変換素子等の２次元面１−の光
電変換機能を有する素子を用いて機械的回転角を検出す
る装置に関するものである。
電変換機能を有する素子を用いて機械的回転角を検出す
る装置に関するものである。
周知のように、近来の自動製造工程における各種機器あ
るいは計測装置において、機械的回転角を検出する回転
角検出器は、これらの機器の制御や動作状態を把握する
上で必黄不ｕ［欠な枝術要素である。そして、さらに、
今後、Ｒ業の各種分野において種々の自動化が進ｊ（す
ることかＹ・想され、それに伴い、現状よりさらに小型
、軽！＋ｉ 、かつ信頼性の高い回転角検出器の実現が
９１まれている。
るいは計測装置において、機械的回転角を検出する回転
角検出器は、これらの機器の制御や動作状態を把握する
上で必黄不ｕ［欠な枝術要素である。そして、さらに、
今後、Ｒ業の各種分野において種々の自動化が進ｊ（す
ることかＹ・想され、それに伴い、現状よりさらに小型
、軽！＋ｉ 、かつ信頼性の高い回転角検出器の実現が
９１まれている。
このため、上記の要望に対し回転角検出器として従来か
ら種々の装置が考えられてきた。
ら種々の装置が考えられてきた。
例えば、第１図はポテンショメータを用いた回転角検出
器の従来例を示す構成図である。この検出器は、摺動子
１によって回転軸２に伝えられた機械的回転量を抵抗体
３の分圧比として取り出すものである。なお、Ｅは電源
、■は電圧工１を示す。
器の従来例を示す構成図である。この検出器は、摺動子
１によって回転軸２に伝えられた機械的回転量を抵抗体
３の分圧比として取り出すものである。なお、Ｅは電源
、■は電圧工１を示す。
しかしながら、この回転角検出器は回転角が連続量とし
て得られる利点がある反面、接触式であるため応答速度
が低いこと、摺動子１の可動部分およびその摩耗のため
信頼性が劣ること、さらに、装置の小型化が困難なこと
等の問題点を有する。
て得られる利点がある反面、接触式であるため応答速度
が低いこと、摺動子１の可動部分およびその摩耗のため
信頼性が劣ること、さらに、装置の小型化が困難なこと
等の問題点を有する。
第２図はスリット円盤を用いた光電式回転角検出器の従
来例を小す構成図である。この回転角検出器は機械的回
転縁を伝える回転軸４の回転に伴うスリット円盤５の回
転により発光素子６からの光を断続し、この断続光を受
光素子７で光電変換後、パルスカウンタ８でパルス数を
カウントすることにより、パルス数に比例した量として
回転角を得るものである。
来例を小す構成図である。この回転角検出器は機械的回
転縁を伝える回転軸４の回転に伴うスリット円盤５の回
転により発光素子６からの光を断続し、この断続光を受
光素子７で光電変換後、パルスカウンタ８でパルス数を
カウントすることにより、パルス数に比例した量として
回転角を得るものである。
ところで、この回転角検出器は非接触式のため応答速１
バが人であり信頼性に優れているが、原理的にスリッＩ
・穴５ａの分解能による量子化誤差が存在する。この量
子化誤差を小さくするためには、スリット円盤５の径を
大きくするか、あるいはスリッＩ・穴５ａの微細化が必
要となるか、しかしこの場合、スリット円盤５の機械加
工精度や取り伺はスペースが新たなる問題を有する欠点
があった。
バが人であり信頼性に優れているが、原理的にスリッＩ
・穴５ａの分解能による量子化誤差が存在する。この量
子化誤差を小さくするためには、スリット円盤５の径を
大きくするか、あるいはスリッＩ・穴５ａの微細化が必
要となるか、しかしこの場合、スリット円盤５の機械加
工精度や取り伺はスペースが新たなる問題を有する欠点
があった。
また、ｌ−記の例で説明した従来の回転角検出器におい
ては、それぞれの回転軸２．４の振動によって回転角検
出に誤差を生ずる問題が共通して存在する欠点があった
。
ては、それぞれの回転軸２．４の振動によって回転角検
出に誤差を生ずる問題が共通して存在する欠点があった
。
この発明は、１−記の点にかんがみなされたもので、従
来の各種回転角検出装置の間顕点を解消し、小型、軽量
で、高信頼性を有し、かつ回転軸の振動を消去できる回
転角検出装置の実現を目的としたもので、２次元光電変
換機能を有する素−ｆと２個の発光素子を用い、これら
の発光素子から〔発明の実施例〕 第３図はこの発明の一実施例を示す構成図である。この
実施例は、半導体２次元受光素子を用いてＩＴＶカメラ
の水平回転角検出を目的としたものである。
来の各種回転角検出装置の間顕点を解消し、小型、軽量
で、高信頼性を有し、かつ回転軸の振動を消去できる回
転角検出装置の実現を目的としたもので、２次元光電変
換機能を有する素−ｆと２個の発光素子を用い、これら
の発光素子から〔発明の実施例〕 第３図はこの発明の一実施例を示す構成図である。この
実施例は、半導体２次元受光素子を用いてＩＴＶカメラ
の水平回転角検出を目的としたものである。
第３図において、ＩＴＶカメラ１１は同転軸１２に取り
伺けられており、回転軸１２を中心に水平回転可能であ
る。また、回転軸１２に水平に固定された取伺軸１３の
両端に固定された発光素／１４．１５は取イ・１軸１３
を介して回転軸１２に固定されており、ＩＴＶカメラ１
１の回転に従って回転軸１２を中心に回転し、タイミン
グコントローラ１６により時分割でそれぞれ異なる時間
に、例えば、タイミングｔ。では発光素子１４が、タイ
ミングｔｎ＋１では発光素子１５が点灯され、′！ト導
体２次元受光素子１７に入射点Ｐ、。
伺けられており、回転軸１２を中心に水平回転可能であ
る。また、回転軸１２に水平に固定された取伺軸１３の
両端に固定された発光素／１４．１５は取イ・１軸１３
を介して回転軸１２に固定されており、ＩＴＶカメラ１
１の回転に従って回転軸１２を中心に回転し、タイミン
グコントローラ１６により時分割でそれぞれ異なる時間
に、例えば、タイミングｔ。では発光素子１４が、タイ
ミングｔｎ＋１では発光素子１５が点灯され、′！ト導
体２次元受光素子１７に入射点Ｐ、。
Ｐ２をり゛える。そして、タイミング１．とｔ。＋１と
の時間差は回転軸１２の回転速度にくらべ十分に小さい
ものとする。なお、Ｑは軸線１２Ａと半導体２次元受光
素子１７との交わる点であり、この例では入射光点”ｌ
＋ Ｐ２の中点になる。回転角検出回路１８は半導体
２次元受光素子１７のＸ方向？ＩＩ極ｘ、、Ｘ２および
Ｙ方向電極Ｙ ｌ ＋ Ｙ２に接続され、各電極Ｘ、、
Ｘ２．Ｙ、、Ｙ２に流入する半導体２次元受光素子１７
の光電変換電流により回転角を検出するものである。
の時間差は回転軸１２の回転速度にくらべ十分に小さい
ものとする。なお、Ｑは軸線１２Ａと半導体２次元受光
素子１７との交わる点であり、この例では入射光点”ｌ
＋ Ｐ２の中点になる。回転角検出回路１８は半導体
２次元受光素子１７のＸ方向？ＩＩ極ｘ、、Ｘ２および
Ｙ方向電極Ｙ ｌ ＋ Ｙ２に接続され、各電極Ｘ、、
Ｘ２．Ｙ、、Ｙ２に流入する半導体２次元受光素子１７
の光電変換電流により回転角を検出するものである。
第４図は、第３図の回転角検出回路１８のきらに具体的
な回路構成例を示したものである。この図において、先
ずタイミングコントローラ１６によって与えられるタイ
ミングｔ。において、スイッチ２１は端子ＸＡに、スイ
ッチ２２は端子ＹＡに接続される。Ｘ位置検出回路２３
およびＹ位置検出回路２４によって算出された入射光点
Ｐ１のＸ方向およびＹ方向位置は、それぞれＸ位置記憶
回路２５およびＹ位置記憶回路２６に記憶される。
な回路構成例を示したものである。この図において、先
ずタイミングコントローラ１６によって与えられるタイ
ミングｔ。において、スイッチ２１は端子ＸＡに、スイ
ッチ２２は端子ＹＡに接続される。Ｘ位置検出回路２３
およびＹ位置検出回路２４によって算出された入射光点
Ｐ１のＸ方向およびＹ方向位置は、それぞれＸ位置記憶
回路２５およびＹ位置記憶回路２６に記憶される。
次いで、タイミングｔ。＋１において、スイッチ２１は
端子Ｘｓに、スイッチ２２は端子Ｙ８に接続され、この
時の入射光点Ｐ２の位置はＸ位と検出回路２３およびＹ
位置検出回路２４によって算出され、Ｘ差動回路２７お
よびＹ差動回路２８に直接加えられる。
端子Ｘｓに、スイッチ２２は端子Ｙ８に接続され、この
時の入射光点Ｐ２の位置はＸ位と検出回路２３およびＹ
位置検出回路２４によって算出され、Ｘ差動回路２７お
よびＹ差動回路２８に直接加えられる。
次いで、Ｘ差動回路２７およびＹ差動回路２８には、そ
れぞれＸ位置記憶回路２５とＸ位置検出回路２３および
Ｙ位置記憶回路２６とＹ位置検出回路２４から各タイミ
ングｔ。およびｔｎ＋１における各入射光点Ｐ、、Ｐ２
のＸ方向位置信号およひＹ方向位置値りが同時に加えら
れ、各タイミング【７、とＬＩｌ＋１のそれぞれの方向
の位置信号の差動演算を行う、この差動演算により回転
軸１２の振動成分が除去される。
れぞれＸ位置記憶回路２５とＸ位置検出回路２３および
Ｙ位置記憶回路２６とＹ位置検出回路２４から各タイミ
ングｔ。およびｔｎ＋１における各入射光点Ｐ、、Ｐ２
のＸ方向位置信号およひＹ方向位置値りが同時に加えら
れ、各タイミング【７、とＬＩｌ＋１のそれぞれの方向
の位置信号の差動演算を行う、この差動演算により回転
軸１２の振動成分が除去される。
その後、角度算出回路２９においてＸ方向およびＹ方向
の差動成分の比を取って回転角を算出するものである。
の差動成分の比を取って回転角を算出するものである。
次に、この発明の原理を第５図に基づいて説明する。こ
の図において、半導体２次元受光素子１７１−にＸ、Ｙ
座標をとり、その原点をＯとする。
の図において、半導体２次元受光素子１７１−にＸ、Ｙ
座標をとり、その原点をＯとする。
タイミングｔ １１においては入射光点Ｐ１と座標Ｘ＋
、’Ｉｌが、タイミング１ｎや１においては入射光点
Ｐ２の座標Ｘ２ ＋ Ｙ２が与えられるものとする。こ
のとき、半導体２次元受光素子１７上の各入射光点Ｐ、
、Ｐ２の座標の位置をそれぞれ（Ｘ＋ 、Ｖ＋ ）、（
Ｘ２ 、 ｙ２ ）とし、回転軸１２のＸ方向の振動成
分をｘｏ、Ｙ方向の振動成分をｙＯとすると、各振動成
分ｘｏ＋Ｙｏを含めた各入射光点Ｐ、、Ｐ２の座標位置
は、タイミング１ｏにおいては（Ｘ＋ ＋ｘＱ 、’ｌ
Ｉ＋Ｙｏ）、タイミングｔ ｎ。１においては（Ｘ２
＋ＸＯ、Ｙ２ ＋ｙｏ）となる。各入射光点Ｐ、、Ｐ２
によって励起された電流は、各入射光点Ｐ、、Ｐ２から
各電極Ｘ、、Ｘ２．Ｙ、、Ｙ２までの距離の逆数に比例
して各電極Ｘｌ、Ｘ２ 、Ｙｒ 、Ｙ２に流入する。し
たがって、このときの入射光点Ｐ１゜Ｐ２の位置は、半
導体２次元受光素子１７の寸法をＸ、Ｙ方向ともそれぞ
れＬとすると、各電極Ｘ＋ 、Ｘ２ 、Ｙ、、ｙ２に流
入する電流ＩＩ Ｘ ＋Ｉ’ ＩＸ、ＩＩＹ、Ｉ’ Ｉ
Ｙから次の第（１）〜（４）式により求められる。
、’Ｉｌが、タイミング１ｎや１においては入射光点
Ｐ２の座標Ｘ２ ＋ Ｙ２が与えられるものとする。こ
のとき、半導体２次元受光素子１７上の各入射光点Ｐ、
、Ｐ２の座標の位置をそれぞれ（Ｘ＋ 、Ｖ＋ ）、（
Ｘ２ 、 ｙ２ ）とし、回転軸１２のＸ方向の振動成
分をｘｏ、Ｙ方向の振動成分をｙＯとすると、各振動成
分ｘｏ＋Ｙｏを含めた各入射光点Ｐ、、Ｐ２の座標位置
は、タイミング１ｏにおいては（Ｘ＋ ＋ｘＱ 、’ｌ
Ｉ＋Ｙｏ）、タイミングｔ ｎ。１においては（Ｘ２
＋ＸＯ、Ｙ２ ＋ｙｏ）となる。各入射光点Ｐ、、Ｐ２
によって励起された電流は、各入射光点Ｐ、、Ｐ２から
各電極Ｘ、、Ｘ２．Ｙ、、Ｙ２までの距離の逆数に比例
して各電極Ｘｌ、Ｘ２ 、Ｙｒ 、Ｙ２に流入する。し
たがって、このときの入射光点Ｐ１゜Ｐ２の位置は、半
導体２次元受光素子１７の寸法をＸ、Ｙ方向ともそれぞ
れＬとすると、各電極Ｘ＋ 、Ｘ２ 、Ｙ、、ｙ２に流
入する電流ＩＩ Ｘ ＋Ｉ’ ＩＸ、ＩＩＹ、Ｉ’ Ｉ
Ｙから次の第（１）〜（４）式により求められる。
タイミングｔ。における入射光点Ｐ１の位置は、
タイミングｔｎ、１における入射光点Ｐ２の位置は、
ここで、Ｘ方向およびＹ方向の差動成分ΔＸ。
Δｙはタイミングｔ １１における入射光点Ｐ、の位置
からタイミングｔ。。１における入射光点Ｐ２の位置を
減することによって得られ、 ΔＸ＝ （Ｘ＋ ＋ＸＯ） （Ｘ２ ＩＸ０）＝ｘ
、−Ｘ２・・・・・・・・・・・・・・・・・・（５）
Δｙ＝ （ｙ＋ ＋ｙｏ） （Ｙ２ ＋ｙｏ）”Ｖ
＋ Ｙ２ ・・・・・・・・・・・・・
・・・・・（６）となる。
からタイミングｔ。。１における入射光点Ｐ２の位置を
減することによって得られ、 ΔＸ＝ （Ｘ＋ ＋ＸＯ） （Ｘ２ ＩＸ０）＝ｘ
、−Ｘ２・・・・・・・・・・・・・・・・・・（５）
Δｙ＝ （ｙ＋ ＋ｙｏ） （Ｙ２ ＋ｙｏ）”Ｖ
＋ Ｙ２ ・・・・・・・・・・・・・
・・・・・（６）となる。
したがって、第（５）、 （８）式からもわかるように
タイミングｔ。とタイミングｔ。や１の差動演算によっ
て回転軸１２の振動成分Ｘｏ＋Ｖｏを除くことができる
。
タイミングｔ。とタイミングｔ。や１の差動演算によっ
て回転軸１２の振動成分Ｘｏ＋Ｖｏを除くことができる
。
この結果、回転角（ＯＸとＰ、Ｐ２とのなす角）θは次
の第（７）式で得られることができる。
の第（７）式で得られることができる。
したがって、必要ならば回転軸１２自体の軸線１２Ａの
回りの回転角も容易に求めることができなお、上記実施
例においては、受光素子に半導体２次元受光素子１７を
用いたが、この発明は、その他の受光素子、例えばＩＴ
Ｖカメラあるいは電荷結合素子等の２次元受光機能を有
する装置または素子に対しても適用できることはもちろ
んである。さらに、上記実施例では回転軸１２に直接取
付軸１３を取り付けたが、これは伝達機構を介して回転
する回転軸であってもよい。
回りの回転角も容易に求めることができなお、上記実施
例においては、受光素子に半導体２次元受光素子１７を
用いたが、この発明は、その他の受光素子、例えばＩＴ
Ｖカメラあるいは電荷結合素子等の２次元受光機能を有
する装置または素子に対しても適用できることはもちろ
んである。さらに、上記実施例では回転軸１２に直接取
付軸１３を取り付けたが、これは伝達機構を介して回転
する回転軸であってもよい。
以上説明したようにこの発明は、半導体２次元受光素子
と、回転軸の軸線に半導体２次元受光素子に入射光点を
与える２個の発光素子と、これらの発光素子を時分割に
点灯する手段と、半導体２次元受光素子上の入射光点に
よる光電変換信号の差動成分から回転角を検出するよう
にしたので、回転部分と検出部分とは非接触であって機
械的な接触や精密加工を施す部分がなく、また応答速度
が速く、回転部分に対する振動の影響を取り除くことが
できるため、精度が高く、小型で軽量に形成でき、かつ
経済的で信頼性の高い回転角検出装置が得られる利点を
有する。
と、回転軸の軸線に半導体２次元受光素子に入射光点を
与える２個の発光素子と、これらの発光素子を時分割に
点灯する手段と、半導体２次元受光素子上の入射光点に
よる光電変換信号の差動成分から回転角を検出するよう
にしたので、回転部分と検出部分とは非接触であって機
械的な接触や精密加工を施す部分がなく、また応答速度
が速く、回転部分に対する振動の影響を取り除くことが
できるため、精度が高く、小型で軽量に形成でき、かつ
経済的で信頼性の高い回転角検出装置が得られる利点を
有する。
第１図は従来のポテンショメータ式回転角検出器の一例
を示す構成図、第２図は従来の光電式回転角検出器の一
例を示す構成図、第３図はこの発明の一実施例を示す構
成図、第４図は第３図の回転角検出回路の詳細を示すブ
ロック図、第５図はこの発り１の原理を示す説明図であ
る。 図中、１１はＩＴＶカメラ、１２は回転軸、１２Ａは軸
線、１３は取付軸、１４．１５は発光素子、１６はタイ
ミングコントローラ、１７は半導体２次元受光素子、１
８は回転角検出回路、Ｘ、、Ｘ２はＸ方向電極、Ｙ ｌ
＋ Ｙ２はＹ方向電極、Ｐｌ、Ｐ２は入射光点である
。 第１図
を示す構成図、第２図は従来の光電式回転角検出器の一
例を示す構成図、第３図はこの発明の一実施例を示す構
成図、第４図は第３図の回転角検出回路の詳細を示すブ
ロック図、第５図はこの発り１の原理を示す説明図であ
る。 図中、１１はＩＴＶカメラ、１２は回転軸、１２Ａは軸
線、１３は取付軸、１４．１５は発光素子、１６はタイ
ミングコントローラ、１７は半導体２次元受光素子、１
８は回転角検出回路、Ｘ、、Ｘ２はＸ方向電極、Ｙ ｌ
＋ Ｙ２はＹ方向電極、Ｐｌ、Ｐ２は入射光点である
。 第１図
Claims (1)
- 半導体２次元受光素子と、回転軸に設けられ前記半導体
２次元受光素子に入射光点を与える２個の発光素子と、
これらの発光素子を時分割に点灯する手段と、前記半導
体２次元受光素子上の前記入射光点による光電変換信号
の差動成分から回転角を検出する回転角検出回路とから
なることを特徴とする回転角検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19015484A JPS6166911A (ja) | 1984-09-11 | 1984-09-11 | 回転角検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19015484A JPS6166911A (ja) | 1984-09-11 | 1984-09-11 | 回転角検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6166911A true JPS6166911A (ja) | 1986-04-05 |
Family
ID=16253315
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19015484A Pending JPS6166911A (ja) | 1984-09-11 | 1984-09-11 | 回転角検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6166911A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH076768B2 (ja) * | 1988-08-16 | 1995-01-30 | クリンガー，ディートマール | オプトエレクトロニクス測定装置 |
| JP2008151803A (ja) * | 2008-02-06 | 2008-07-03 | Ntn Corp | 回転検出装置および回転検出装置付き軸受 |
| RU2469267C1 (ru) * | 2011-06-20 | 2012-12-10 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Ульяновский государственный университет | Фотоэлектрический преобразователь углов на основе позиционно-чувствительного фотоприемника дуговой конфигурации |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5518906A (en) * | 1978-07-26 | 1980-02-09 | Agency Of Ind Science & Technol | Photoelectric position locator |
| JPS59159007A (ja) * | 1983-03-01 | 1984-09-08 | Mitsubishi Electric Corp | 微小角度測定装置 |
-
1984
- 1984-09-11 JP JP19015484A patent/JPS6166911A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5518906A (en) * | 1978-07-26 | 1980-02-09 | Agency Of Ind Science & Technol | Photoelectric position locator |
| JPS59159007A (ja) * | 1983-03-01 | 1984-09-08 | Mitsubishi Electric Corp | 微小角度測定装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH076768B2 (ja) * | 1988-08-16 | 1995-01-30 | クリンガー，ディートマール | オプトエレクトロニクス測定装置 |
| JP2008151803A (ja) * | 2008-02-06 | 2008-07-03 | Ntn Corp | 回転検出装置および回転検出装置付き軸受 |
| RU2469267C1 (ru) * | 2011-06-20 | 2012-12-10 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Ульяновский государственный университет | Фотоэлектрический преобразователь углов на основе позиционно-чувствительного фотоприемника дуговой конфигурации |
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