JPS6161599A - アレ−型超音波探触子とその製造方法 - Google Patents
アレ−型超音波探触子とその製造方法Info
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- JPS6161599A JPS6161599A JP59183989A JP18398984A JPS6161599A JP S6161599 A JPS6161599 A JP S6161599A JP 59183989 A JP59183989 A JP 59183989A JP 18398984 A JP18398984 A JP 18398984A JP S6161599 A JPS6161599 A JP S6161599A
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 10
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 25
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 claims abstract description 24
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 15
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 8
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 25
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 13
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 6
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims description 5
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 3
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 claims 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract 1
- BXLICFUSUZPSHT-UHFFFAOYSA-N 1-(4-chlorophenyl)-3-fluoropropan-2-amine Chemical compound FCC(N)CC1=CC=C(Cl)C=C1 BXLICFUSUZPSHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 3
- 239000008280 blood Substances 0.000 description 2
- 210000004369 blood Anatomy 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- GNLJOAHHAPACCT-UHFFFAOYSA-N 4-diethoxyphosphorylmorpholine Chemical compound CCOP(=O)(OCC)N1CCOCC1 GNLJOAHHAPACCT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 102100036894 Protein patched homolog 2 Human genes 0.000 description 1
- 101710161395 Protein patched homolog 2 Proteins 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
- B06B1/0607—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements
- B06B1/0622—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements on one surface
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は複数個の分離された圧電珈動子エレメントの並
設されるアレー型超音波探触子とその製造方法に閃する
。
設されるアレー型超音波探触子とその製造方法に閃する
。
（従来技術】
圧電振動子を用いた超音波探触子は、ＰＺＴなどの圧電
振動子の両面“に電極を貼着して構成し、これらのｍ極
間に交番する電圧を印加して超音波を発生させる。そし
てこの超音波を被測定物に放射し、被測定物からの反射
波を超音波を発した圧電振動子が受けて電気信号に変僕
するものである。
振動子の両面“に電極を貼着して構成し、これらのｍ極
間に交番する電圧を印加して超音波を発生させる。そし
てこの超音波を被測定物に放射し、被測定物からの反射
波を超音波を発した圧電振動子が受けて電気信号に変僕
するものである。
この超音波探触子は一方の電極面をダンパー材からなる
振動子保持台上に貼着する関係から、第６図に示す構造
をとっている。即ち、ＰＺＴなどの圧電振動子２０の第
１の面に第１の電極２１を設け、裏面に当る第２の面に
第２の電極２２の一部を導電部２）を介して表面に導き
、第１の面の一部に折返して電極２４ｔ−設けている。
振動子保持台上に貼着する関係から、第６図に示す構造
をとっている。即ち、ＰＺＴなどの圧電振動子２０の第
１の面に第１の電極２１を設け、裏面に当る第２の面に
第２の電極２２の一部を導電部２）を介して表面に導き
、第１の面の一部に折返して電極２４ｔ−設けている。
（従来技術の問題点）
上記のように折返し電極を設けたため、第７図１
に示すように超音波探触子の音場中心人が機械的中心Ｍ
Ｂから偏り、本来あるべき音場特性曲線ＣがＤのように
移動して音場の対称性を失っている。
に示すように超音波探触子の音場中心人が機械的中心Ｍ
Ｂから偏り、本来あるべき音場特性曲線ＣがＤのように
移動して音場の対称性を失っている。
また、折返し電極が圧電振動子の表面にあるため、表面
電極の振動実効面積が減少することとなる。
電極の振動実効面積が減少することとなる。
なお、この種の不都合の解消のため、すでに提案がなさ
れておｐ１実ＸｊＪ昭５３−１６４７１３号にては第８
図に示すように、振動子保持台２８上に複数の分離され
た圧電振動子エレメント２５を並設してなるアレー型超
音波探触子において、前記側々の圧電振動子エレメント
の被測定物と対向接触する第１の面に第１の電極２６を
設けるとともに、振動子保持台２８に保持される第２の
血に第２のｔ極２７を設け、かつ前記第２の電極２７と
積層接着して何方に導出した金属箔２９からなるリード
部を設けて第２の電極２７の端子部を構成したアレー型
超音波探触子が提案されている。しかし、この提案にお
いては、前記の音場特性曲線の偏りや、圧電振動子の振
動実効面積の減少の不都合については解決しているが、
個々の圧電振動子エレメントの横幅が０．５ 第１程度
の倣細なアレー型超音波探触子の場合にては、第２の！
、極２７と接着の金属箔２９ ｔ−ＩＪ−ド部として微
細な横幅の金ｇ箔とする切断作業が困難で断線しやすく
、さらに該リード部より導出する導線との接続作業も容
易でないので、信頼性金欠いたアレー型超音波探触子と
なる虞を生ずる。
れておｐ１実ＸｊＪ昭５３−１６４７１３号にては第８
図に示すように、振動子保持台２８上に複数の分離され
た圧電振動子エレメント２５を並設してなるアレー型超
音波探触子において、前記側々の圧電振動子エレメント
の被測定物と対向接触する第１の面に第１の電極２６を
設けるとともに、振動子保持台２８に保持される第２の
血に第２のｔ極２７を設け、かつ前記第２の電極２７と
積層接着して何方に導出した金属箔２９からなるリード
部を設けて第２の電極２７の端子部を構成したアレー型
超音波探触子が提案されている。しかし、この提案にお
いては、前記の音場特性曲線の偏りや、圧電振動子の振
動実効面積の減少の不都合については解決しているが、
個々の圧電振動子エレメントの横幅が０．５ 第１程度
の倣細なアレー型超音波探触子の場合にては、第２の！
、極２７と接着の金属箔２９ ｔ−ＩＪ−ド部として微
細な横幅の金ｇ箔とする切断作業が困難で断線しやすく
、さらに該リード部より導出する導線との接続作業も容
易でないので、信頼性金欠いたアレー型超音波探触子と
なる虞を生ずる。
（発明の目的）
本発明の目的は、上記のような従来の欠点を解消し、音
場特性曲線の偏りがなく、圧電振動子の振動実効面積の
減少を防ぐとともに、個々の圧電振動子エレメントの横
幅のα５寓程度のアン−型超音波探触子とその製造方法
を提供するにある０（発明の概要） 本発明では、上述のような本発明の目的を達成するため
に、複数個の圧電振動子エレメントを平面的に配設した
アレー型超音波探触子において、中央に穴を設け、芸大
の周縁に圧電振動子エレメントの電極と結合する引出線
用の銅箔を複数本設けたフレキシブルプリント板の少く
とも穴周辺をダンパー材よりなる振動子保持台上に貼着
し、鵠フレキシブルプリント板に設けた穴の上には複数
個の圧電振動子板１／メントを並設するとともに、圧電
振動子エレメントのｉｌ！極とフレキシブルプリント板
の銅箔とを電気的、機械的に結合せしめたアレー型超音
波探触子が提供される。
場特性曲線の偏りがなく、圧電振動子の振動実効面積の
減少を防ぐとともに、個々の圧電振動子エレメントの横
幅のα５寓程度のアン−型超音波探触子とその製造方法
を提供するにある０（発明の概要） 本発明では、上述のような本発明の目的を達成するため
に、複数個の圧電振動子エレメントを平面的に配設した
アレー型超音波探触子において、中央に穴を設け、芸大
の周縁に圧電振動子エレメントの電極と結合する引出線
用の銅箔を複数本設けたフレキシブルプリント板の少く
とも穴周辺をダンパー材よりなる振動子保持台上に貼着
し、鵠フレキシブルプリント板に設けた穴の上には複数
個の圧電振動子板１／メントを並設するとともに、圧電
振動子エレメントのｉｌ！極とフレキシブルプリント板
の銅箔とを電気的、機械的に結合せしめたアレー型超音
波探触子が提供される。
さらに、複数個の圧電振動子エレメントを平面的に配設
したアレー型超音波探触子の製造方法において、中央に
穴を設け芸大の周縁に圧電振動子エレメントの電極と結
合する引出線用の銅箔を複数本設けたフレキシブルプリ
ント板の穴周辺を、銅箔を上面にしてダンパー材よりな
る振動子保持台上に貼着するとともに、該フレキシブル
プリント板の穴周辺部に、表裏面に金ＦＡ薄膜を設けた
圧電振動子板の裏面を接触させた後、裏面の金属薄膜と
フレキシブルプリント板の銅箔とを電気的、機械的に接
続する工程と、前記圧電振動子板を短冊状に切断して複
数個の圧電振動子エレメントを形成するとともに、これ
ら圧電振動子エレメントの裏面の電極は少くともフレキ
シブルプリント板に設けた引出線用の銅箔の一本と接続
せしめる工程とを有するアレー型超音波探触子の製造方
法も提供される。
したアレー型超音波探触子の製造方法において、中央に
穴を設け芸大の周縁に圧電振動子エレメントの電極と結
合する引出線用の銅箔を複数本設けたフレキシブルプリ
ント板の穴周辺を、銅箔を上面にしてダンパー材よりな
る振動子保持台上に貼着するとともに、該フレキシブル
プリント板の穴周辺部に、表裏面に金ＦＡ薄膜を設けた
圧電振動子板の裏面を接触させた後、裏面の金属薄膜と
フレキシブルプリント板の銅箔とを電気的、機械的に接
続する工程と、前記圧電振動子板を短冊状に切断して複
数個の圧電振動子エレメントを形成するとともに、これ
ら圧電振動子エレメントの裏面の電極は少くともフレキ
シブルプリント板に設けた引出線用の銅箔の一本と接続
せしめる工程とを有するアレー型超音波探触子の製造方
法も提供される。
（実施例）
つぎに、本発明の実施例を図面を用いて詳細に説明する
０第１図は本発明に係る一実施例の主要部を示す斜視図
であシ、第２図はその縦断面図、第４図はアレー型超音
波探触子に形成する前段階の斜視図である。
０第１図は本発明に係る一実施例の主要部を示す斜視図
であシ、第２図はその縦断面図、第４図はアレー型超音
波探触子に形成する前段階の斜視図である。
第４図において、１′は板状に形成されたＰＺＴなどの
圧電振動子板であり、圧電振動子板１′の第１の面（表
面）全面には、第１の電極となる銀などの金属薄膜２′
が設けられ、第２の面（裏面）全面には第２の電極とな
る銀などの金属薄膜３′が設けられる。一方、第５図は
帯状に形成され、中央部に穴６を設けたフレキシブル・
プリント板（ＦＰＣ）４の平面図であシ、図において５
は中央部の穴６の周辺部より、長手方向の端部の端子７
との間に設けた引出線用となる銅箔でるυ、ＦＰＣ４の
エツチング処理により配設される０そして、ＦＰＣ４上
の銅箔５の間隔や配置については、圧電７ 振動子板
１′が後述のように横幅０．１７ｍ程度に細長く切断さ
れて、並設した圧電振動子のエレメントを形成する際、
ＦＰＣ４の各片側毎の銅箔５は、並設の圧電振動子エレ
メントの一つおきのエレメントのリード線となるように
銅箔５の間隔が配置され、ＦＰＣ４の端部の端子７″＆
で電流を導くこととなる。例えば、並設した圧電振動子
エレメントの一方の側よυ奇数番目のエレメントのリー
ド線となる銅箔５をＦＰＣ４の右側に配役とすれば、左
側の銅箔５に偶数番目のエレメントのリード線を構成す
るように配設される。８はＦＰＣ４の端に設けられた銅
箔であシ、ＦＰＣ４の両端部の端子８ａｆ！：結ぶ導線
となり、後述する圧１！振動子エレメントのアース共通
リード線となるよう構成されている０ＦＰＣ４の中央部
に設けた穴６の寸法は、縦横ともに前記圧電振動子板１
′の縦横寸法′より小となるような構成のため、芸大６
の上部に圧電振動子板１′を配設の際は、銅箔５の穴６
の方向の端部はすべて圧電振動子板１′のｐｔｃ２の電
極となる金属薄膜３′に電気的に接続されることとなる
。
圧電振動子板であり、圧電振動子板１′の第１の面（表
面）全面には、第１の電極となる銀などの金属薄膜２′
が設けられ、第２の面（裏面）全面には第２の電極とな
る銀などの金属薄膜３′が設けられる。一方、第５図は
帯状に形成され、中央部に穴６を設けたフレキシブル・
プリント板（ＦＰＣ）４の平面図であシ、図において５
は中央部の穴６の周辺部より、長手方向の端部の端子７
との間に設けた引出線用となる銅箔でるυ、ＦＰＣ４の
エツチング処理により配設される０そして、ＦＰＣ４上
の銅箔５の間隔や配置については、圧電７ 振動子板
１′が後述のように横幅０．１７ｍ程度に細長く切断さ
れて、並設した圧電振動子のエレメントを形成する際、
ＦＰＣ４の各片側毎の銅箔５は、並設の圧電振動子エレ
メントの一つおきのエレメントのリード線となるように
銅箔５の間隔が配置され、ＦＰＣ４の端部の端子７″＆
で電流を導くこととなる。例えば、並設した圧電振動子
エレメントの一方の側よυ奇数番目のエレメントのリー
ド線となる銅箔５をＦＰＣ４の右側に配役とすれば、左
側の銅箔５に偶数番目のエレメントのリード線を構成す
るように配設される。８はＦＰＣ４の端に設けられた銅
箔であシ、ＦＰＣ４の両端部の端子８ａｆ！：結ぶ導線
となり、後述する圧１！振動子エレメントのアース共通
リード線となるよう構成されている０ＦＰＣ４の中央部
に設けた穴６の寸法は、縦横ともに前記圧電振動子板１
′の縦横寸法′より小となるような構成のため、芸大６
の上部に圧電振動子板１′を配設の際は、銅箔５の穴６
の方向の端部はすべて圧電振動子板１′のｐｔｃ２の電
極となる金属薄膜３′に電気的に接続されることとなる
。
超音波探触子の製造に当っては、まず、前記の金属薄膜
２／、 ３／を設けた圧電振動子板１′をＦＰ、Ｃ４
の穴６上に、金属薄膜３′の四辺の縁部がそれぞれ穴６
の縁周辺上に接触重合するように貼着する。
２／、 ３／を設けた圧電振動子板１′をＦＰ、Ｃ４
の穴６上に、金属薄膜３′の四辺の縁部がそれぞれ穴６
の縁周辺上に接触重合するように貼着する。
つぎに、第４図に示すようにダンパー材よりなる振動子
保持台９に、ＦＰＣ４がコ字状を形成するように貼着す
る。この際ＦＰＣ４に接面する振動子保持台９の側面部
には、ＦＰＣ４が嵌合するような切欠き溝を設け、ＦＰ
ＣＡを貼着する際、これを該切欠き溝に嵌合せしめて貼
着し、ＦＰＣ４の表面が外部に接触して生ずる銅箔５の
断線事故全防止している。なお、銅箔５が断線事故を生
ずる虞のない場所に使用する場合には、切欠き溝を設け
ることなく、かつ、配線を容易にするため、ＦＰＣ４を
振動子保持台９の上面にのみ貼着して両端は別状とする
こともできる。
保持台９に、ＦＰＣ４がコ字状を形成するように貼着す
る。この際ＦＰＣ４に接面する振動子保持台９の側面部
には、ＦＰＣ４が嵌合するような切欠き溝を設け、ＦＰ
ＣＡを貼着する際、これを該切欠き溝に嵌合せしめて貼
着し、ＦＰＣ４の表面が外部に接触して生ずる銅箔５の
断線事故全防止している。なお、銅箔５が断線事故を生
ずる虞のない場所に使用する場合には、切欠き溝を設け
ることなく、かつ、配線を容易にするため、ＦＰＣ４を
振動子保持台９の上面にのみ貼着して両端は別状とする
こともできる。
つぎに、ＦＰＣＡ上に貼着の圧電振動子１′を切断機を
用いて、その上部の金属薄膜２′より金Ｈ４薄膜３′に
至るまで、横幅ＩＩＬ５１１ＩＩ程度に短冊状に切断し
て・第１図に示すように圧電振動子エレメント１１．１
２°、 １３．１４・・・・１ｎを形成する。したがっ
て、 −これら圧電振動子エレメントは、金ＦＡ薄膜２
′、３′が切断されて、上面には電極２、下面には電極
３を有し、そして、電極３は前述のＦＰＣＡ上の１１１
箔５とは電気的、物理的に接続されていることとなる。
用いて、その上部の金属薄膜２′より金Ｈ４薄膜３′に
至るまで、横幅ＩＩＬ５１１ＩＩ程度に短冊状に切断し
て・第１図に示すように圧電振動子エレメント１１．１
２°、 １３．１４・・・・１ｎを形成する。したがっ
て、 −これら圧電振動子エレメントは、金ＦＡ薄膜２
′、３′が切断されて、上面には電極２、下面には電極
３を有し、そして、電極３は前述のＦＰＣＡ上の１１１
箔５とは電気的、物理的に接続されていることとなる。
さらに、ＦＰＣ４の一方の片側の端子７には、奇数番目
の圧電振動子ニレメン）１１．１３・・・・の電極３が
銅箔５をリード部として導びかれ、他の一方の片側の端
子７には、偶数番目の圧電振動子ニレメン）１２．１４
・・・・の電極３が銅箔５を介して導出されることにな
る。
の圧電振動子ニレメン）１１．１３・・・・の電極３が
銅箔５をリード部として導びかれ、他の一方の片側の端
子７には、偶数番目の圧電振動子ニレメン）１２．１４
・・・・の電極３が銅箔５を介して導出されることにな
る。
また、圧電振動子ニレメン）１１，１２．・・・・１ｎ
の上部の電極２上の両端部には、第１図に示すように銀
などの細い金属線材からなるリード線１０が半田付によ
シ取付けられ、さらにＦＰＣ上の銅箔８に電気的に接続
され、すべての”圧電振動子ニレメン） １１．１２・
・・・１ｎの１！極２は錫箔８を介して端子８ａに接続
される。したがって、端子８ａにアース電位金与え、端
子７には圧電振動子ニレメン）１１．１２・・・・１ｎ
がその並設の端部よりｊｌＱ次動作するように、ＦＩ）
Ｃ４の左右に配設されている端子７を交互に切換えて電
位を与えれば、並設している圧電振動子エレメントの順
次走査が可能となる。
の上部の電極２上の両端部には、第１図に示すように銀
などの細い金属線材からなるリード線１０が半田付によ
シ取付けられ、さらにＦＰＣ上の銅箔８に電気的に接続
され、すべての”圧電振動子ニレメン） １１．１２・
・・・１ｎの１！極２は錫箔８を介して端子８ａに接続
される。したがって、端子８ａにアース電位金与え、端
子７には圧電振動子ニレメン）１１．１２・・・・１ｎ
がその並設の端部よりｊｌＱ次動作するように、ＦＩ）
Ｃ４の左右に配設されている端子７を交互に切換えて電
位を与えれば、並設している圧電振動子エレメントの順
次走査が可能となる。
なお、圧電振動子エレメントの上部の電＃ｉ！２は被測
定体と接面する超音波放射側でおるので、通常電極２上
に使用超音波の４分の１波長の厚みを持つ音響マツチン
グ層が設けられる。
定体と接面する超音波放射側でおるので、通常電極２上
に使用超音波の４分の１波長の厚みを持つ音響マツチン
グ層が設けられる。
本実施例のように、被測定体と接面する超音波放射側に
、折返し電極の配役がなく、さらにリード１ｓ１０を圧
電振動子エレメントの両端部に対称的に配設したので、
第５図に示すように超音波探触子の機械的中心線と超音
波音場の中心線Ｅとを一致させることができるとともに
、左右対称な超音波分布Ｆを得られる。さらに、圧′ｗ
ＬＦｓ動子エレメントの殆んど全面を振動実効面積とす
ることが可能である。
、折返し電極の配役がなく、さらにリード１ｓ１０を圧
電振動子エレメントの両端部に対称的に配設したので、
第５図に示すように超音波探触子の機械的中心線と超音
波音場の中心線Ｅとを一致させることができるとともに
、左右対称な超音波分布Ｆを得られる。さらに、圧′ｗ
ＬＦｓ動子エレメントの殆んど全面を振動実効面積とす
ることが可能である。
つぎに、圧電振動子エレメントの横幅がα５簡程度の非
常に幅の狭い短冊状の形状でも、ＦＰＣの片側には圧電
振動子エレメントの数の半数の１７一ド部となる銅箔の
数を配設すればよいこととなり、ｌ ＦＰＣの加
工技術上、十分に製造は可能である。さらに、上記実施
例は、アレー型超音波探触子を製造する際、圧電振動子
板１′を貼着したＦＰＣ４を振動子保持台９上に貼着し
ているが、これを、例えば振動子保持台９上にＦＰＣＡ
を貼着した後、圧電振動子１′をＦＰＣＡ上に貼着して
もよい。このように、本発明は本発明の主旨の範囲内で
、さらに種々の変形が可能でろシ、これらを本発明の範
囲から排除するものではない。
常に幅の狭い短冊状の形状でも、ＦＰＣの片側には圧電
振動子エレメントの数の半数の１７一ド部となる銅箔の
数を配設すればよいこととなり、ｌ ＦＰＣの加
工技術上、十分に製造は可能である。さらに、上記実施
例は、アレー型超音波探触子を製造する際、圧電振動子
板１′を貼着したＦＰＣ４を振動子保持台９上に貼着し
ているが、これを、例えば振動子保持台９上にＦＰＣＡ
を貼着した後、圧電振動子１′をＦＰＣＡ上に貼着して
もよい。このように、本発明は本発明の主旨の範囲内で
、さらに種々の変形が可能でろシ、これらを本発明の範
囲から排除するものではない。
（発明の効果）
以上詳細に説明したように、本発明は圧電振動子エレメ
ントのリード部としてＦＰＣｆ、用いたので、横［ｄ
Ｑ、 ５四種度の圧電振動子エレメントで構成するアレ
ー型超音波探触子が容易に構成でき、しかも容易に製造
可能である。
ントのリード部としてＦＰＣｆ、用いたので、横［ｄ
Ｑ、 ５四種度の圧電振動子エレメントで構成するアレ
ー型超音波探触子が容易に構成でき、しかも容易に製造
可能である。
また、折返し電極がなく、アース電位を与えるリード線
を圧電振動子エレメントの両端部に対称的に配設したの
で、対称性のある超音波音場が得られ音場パターンの偏
向が防止できるとともに、圧電振動子エレメントの振動
有効面積が従来に比し増大し、超音波音場強度を強める
ことができる０
を圧電振動子エレメントの両端部に対称的に配設したの
で、対称性のある超音波音場が得られ音場パターンの偏
向が防止できるとともに、圧電振動子エレメントの振動
有効面積が従来に比し増大し、超音波音場強度を強める
ことができる０
第１図は本発明に係るアレー型超音波探触子の一実施例
の主要部を示す斜視図でちシ、第２図はその断面図、第
５図は本実施例のＦＰＣの平面図、第４図はアレー型超
音波探触子に形成する前段階の斜視図、第５図は本実施
例の音場特性ｌて、第６図および、第７図は従来例の説
明図、第８図は従来例の他の例の斜視図である。 １′・・・圧電振動子板 １・・・圧電振動子２／、
Ｓ／・・・金属薄膜 ２，３・・・電極４・・・
ＦＰＣ５・・・銅箔 ６・・・穴８・・・銅箔 ９
・・・振動子保持台１０・・・リード線 １１、１２・・・・１ｎ・・・圧電振動子エレメント特
許出願人 日本電波工業株式会社 代 理 人 弁理士 辻 實 （外１名） 第６図 ２ｄ 第８図
の主要部を示す斜視図でちシ、第２図はその断面図、第
５図は本実施例のＦＰＣの平面図、第４図はアレー型超
音波探触子に形成する前段階の斜視図、第５図は本実施
例の音場特性ｌて、第６図および、第７図は従来例の説
明図、第８図は従来例の他の例の斜視図である。 １′・・・圧電振動子板 １・・・圧電振動子２／、
Ｓ／・・・金属薄膜 ２，３・・・電極４・・・
ＦＰＣ５・・・銅箔 ６・・・穴８・・・銅箔 ９
・・・振動子保持台１０・・・リード線 １１、１２・・・・１ｎ・・・圧電振動子エレメント特
許出願人 日本電波工業株式会社 代 理 人 弁理士 辻 實 （外１名） 第６図 ２ｄ 第８図
Claims (2)
- （１）複数個の圧電振動子エレメントを平面的に配設し
たアレー型超音波探触子において、中央に穴を設け該穴
の周縁に圧電振動子エレメントの電極と結合する引出線
用の銅箔を複数本設けたフレキシブルプリント板の少く
とも穴周辺をダンパー材よりなる振動子保持台上に貼着
し、該フレキシブルプリント板に設けた穴の上には複数
個の圧電振動子エレメントを並設するとともに圧電振動
子エレメントの電極とフレキシブルプリント板の銅箔と
を電気的、機械的に結合せしめるとともに、表面の各電
極の両端部にはアース電位を与えるリード線を共通に設
けたことを特徴とするアレー型超音波探触子。 - （２）複数個の圧電振動子エレメントを平面的に配設し
たアレー型超音波探触子の製造方法において、中央に穴
を設け該穴の周縁に圧電振動子エレメントの電極と結合
する引出線用の銅箔を複数本設けたフレキシブルプリン
ト板の穴周辺を、鋼箔を上面にしてダンパー材よりなる
振動子保持台上に貼着するとともに該フレキシブルプリ
ント板の穴周辺部に、表裏面に金属薄膜を設けた圧電振
動子板の裏面を接触させた後、裏面の金属薄膜とフレキ
シブルプリント板の銅箔とを電気的、機械的に接続する
工程と、前記圧電振動子板を短冊状に切断して複数個の
圧電振動子エレメントを形成するとともに、これら圧電
振動子エレメントの裏面の電極は少くともフレキシブル
プリント板に設けた引出線用の銅箔の一本と接続せしめ
る工程と、表面の各電極の両端部にはアース電位を与え
るリード線を接続せしめる工程とを有することを特徴と
するアレー型超音波探触子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59183989A JPS6161599A (ja) | 1984-09-03 | 1984-09-03 | アレ−型超音波探触子とその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59183989A JPS6161599A (ja) | 1984-09-03 | 1984-09-03 | アレ−型超音波探触子とその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6161599A true JPS6161599A (ja) | 1986-03-29 |
Family
ID=16145365
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59183989A Pending JPS6161599A (ja) | 1984-09-03 | 1984-09-03 | アレ−型超音波探触子とその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6161599A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63212299A (ja) * | 1987-02-27 | 1988-09-05 | Shimadzu Corp | 超音波探触子とその製造方法 |
| JPS6427400A (en) * | 1987-03-20 | 1989-01-30 | Nihon Dempa Kogyo Co | Ultrasonic probe and its manufacture |
| JPH01146499A (ja) * | 1987-12-02 | 1989-06-08 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 超音波探触子 |
| JPH01162000A (ja) * | 1987-12-17 | 1989-06-26 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 超音波探触子 |
-
1984
- 1984-09-03 JP JP59183989A patent/JPS6161599A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63212299A (ja) * | 1987-02-27 | 1988-09-05 | Shimadzu Corp | 超音波探触子とその製造方法 |
| JPS6427400A (en) * | 1987-03-20 | 1989-01-30 | Nihon Dempa Kogyo Co | Ultrasonic probe and its manufacture |
| JPH01146499A (ja) * | 1987-12-02 | 1989-06-08 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 超音波探触子 |
| JPH01162000A (ja) * | 1987-12-17 | 1989-06-26 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 超音波探触子 |
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