JPS6161246A - 光情報処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の背景 （１）発明の技術分野 この発明は、半導体レーザなどからのレーザ光を集束し
、光ディスクの情報記録部に照射し。

その反射光の強度変化にもとづいて光ディスクの情報を
読取る光ピツクアップ装置で代表される光情報処理装置
に関する。

（２）従来技術の説明 近年、高記録密度の光ディスク・メモリが実用化される
にともない、高性能かつ小型軽量の光ピツクアップ装置
の開発が期待されている。

従来の光ピツクアップ装置の主要部は光学系と駆動系と
から構成されている。

光学系は基本的には、レーザ光を集束レンズで光ディス
クの情報記録部上に集光し、光ディスクからの反射光を
フォトダイオードで電気信号に変換する機能をもってお
り、光デイスク上の記録情報による反射光の光量変化が
電気信号として取出される。

光学系は、それらの作用によって、光ディスクに照射さ
れる光と光ディスクからの反射光とを分離するアイソレ
ータ光学系、光ディスクに照射される光を１１砺径程度
のスポットに集束させるビーム集光光学系、およびフォ
ーカシング・エラーやトラッキング・エラーを検出する
ためのエラー検出光学系に分けられφ。これらの光学系
は、光源としての半導体レーザ、各種レンズ類、プリズ
ム類、回折格子、ミラー、１／４波長板、受光ダイオー
ドなどの素子を適宜組合せることにより構成される。

駆動系には、フォーカシング駆動系、トラッキング駆動
系およびラジアル送り駆動系がある。

フォーカシング駆動系は、集束レンズで集光された光ビ
ームが光デイスク面に正しいスポットを形成するように
、集束レンズと光デイスク面との距離を適切に保つため
の機構である。集束レンズをその先軸方向に動かして調
整するものが最も一般的である。

トラッキング駆動系は、レーザ・スポットが光ディスク
のトラックから脱線しないように追従させるための機構
である。この殿構どしては、集束レンズを光軸と垂直方
向に動かして調整するもの、光ピツクアップ・ヘッド全
体を光ディスクの半径方向に動かして調整するもの、可
動ミラー（ビボッティング・ミラー）により集束レンズ
への入射光の角度を調整するものなどが一般的に用いら
れている。

ラジアル送り駆動系は、光ピツクアップ・ヘッドを光デ
ィスクの半径方向に送る機構であり、これには一般にリ
ニア・モータが使用される。

このような従来の光ピツクアップ装置は、次のような欠
点をもっている。

光学系が複雑で光軸合わせかめんどうであるとともに、
撮動により光軸がずれやすい。

部品点数が多く、組立てに時間がかかり生産性が悪い。

光学部品が高価であるために全体としても高価になる。

光学部品が大きいために光ピツクアップ装置も大型とな
り、光学部品を保持する機構も必要であるから全体とし
て重くなる。

発明の概要 （１）発明の目的 この発明は、小型かつ軽■でしかも複雑な光軸合わせも
不要な光情報処理装置を提供することを目的とする。

（２）発明の構成、作用および効果 この発明による光情報処理装置は、基板上に形成された
光導波路、光導波路に導入されるレーザ光の光源、光導
波路上に形成され、光導波路を伝播する光を斜め上方に
出射させかつ２次元的に集光するレンズ手段、斜め上方
から反射してくる光を受光する手段、レーザ光源、基板
および受光手段が設（プられた基台、基台の位置を上下
方向に調整するフォーカシング駆動機構、ならびに基台
の位置を横方向に調整するトラッキング駆動ＢＭ　’ｎ
Ｍを備えていることを特徴とする。

この発明においては、光学部品としてのレンズ、プリズ
ム、回折格子、ミラー、１／４波長板等が用いられてい
ないので、装置の小型化、軽量化を図ることができる。

とくに、光導波路からレーザ光を斜め上方に出射させか
つ斜め上方からの反射光を受光するようにしているから
、従来の光ピツクアップ装置の光学系に必要であったア
イソレータ光学系を省略することができる。また、光軸
合わせも受光手段の位置決めのみを行なえばよい。光導
波路、レンズ手段および受光手段を同一基板上に形成す
れば、組立て時における光軸合わせは不要となる。

実施例の説明 （１）光ピツクアップ・ヘッドの構成の概要第１図は光
ピツクアップ・ヘッドの構成を示している。基台（１０
）上に、半導体レーザ（１１）および２つの基板（１２
）　　（１３）が配置されかつ固定されている。半導体
レーザ（１１）は基台（１０）上に形成された電極（１
８）　　（１９）に与えられる駆動電流により駆動され
る。

基板（１２）にはたとえば３ｉ結晶が用いられ、この基
板（１２）上面の熱酸化またはＳ！０２の蒸着もしくは
スパッタにより基板（１２）上面に５ｆＯ２バッファ層
が形成されたのち、たとえばコーニング７０５９などの
ガラスをスパッタすることにより光導波層（２１）が形
成されている。半導体レーザ（１１）から出射したレー
ザ光　　　　□はこの光導波層（２１）に入射しかつ伝
播する。

光導波層（２１）上にはコリメーティング・レンズ（２
２）およびカップリング・レンズ（２３）が形成されて
いる。コリメーティング・レンズ（２２）は半導体レー
ザ（１１）から出射した広がりをもつレーザ・ビームを
平行光に変換するものである。カップリング・レンズ（
２３）は、先導波層（２１）を伝播してきたレーザ光を
斜め上方に出射させるとともに、２次元的に集光（フォ
ーカシング）するものである。出射したレーザ光が集光
してスポット（１ｐ径程度）を形成する点がＰで示され
ている。光ディスクに記録された情報を読取る場合には
、レーザ・スポットＰが光ディスクの情報記録面上に位
置するように、この光ピツクアップ・ヘッド（９）が配
置される。

基板（１２）としてＬ＋　Ｎｂ　０３結晶が用いられた
場合には、その上面にＴｉをｑ拡散するこもう１つの基
板（１３）もまたたとえばＳｉ結晶により構成されてい
る。この基板（１３）には受光部（３０）が形成されて
いる。受光部（３０）は、光ディスクの情報記録面から
の反射光を受光するためのものであり、上述のレーザ・
スポットＰの位置から斜め下方に反射してくる光を受光
できる位置に配置されている。

受光部（３０）は、４つの独立した受光素子（３１〉〜
（３４）からなる。受光素子（３１）　　（３２）は中
央に隣接して配置され、これらの受光素子（３１）　　
（３２）の前後に他の受光素子（３３）　　（３４）が
設けられている。これらの受光素子（３１）〜（３４）
は、たとえば３ｉ基板（１３）に４つの独立したＰＮ接
合（フォトダイオード）をつくることにより構成されて
いる。受光素子（３１）〜ｌ　リＡＸｔｒｚ　　山　Ｊ
＋１丑　ロ　トド　　　　脅　番口　　ｌ　４リ　＼　
　ｌ＋−Ｉ７ノ　−一　↓　Ｊ−た配線パターンにより
電４ｉ（４１）〜（４４）にそれぞれ導かれ、さらにワ
イヤボンディングにより基台（１０）上の電極り５２）
にそれぞれ導かれる。基台（１０）上のもう１つの電１
（５１）は受光素子（３１）〜（３４）の共通電極であ
る。

光ディスクに記録された情報は、反射光の強度変化とし
て現われるから、これらすべての受光素子（３１）〜（
３４）の出力信号の和信号または受光素子（３１）と（
３２）の和信号が記録情報の読取り信号となる。

第１図においては、基板（１２）と（１３）とは接して
設けられているが、両基板（１２）と（１３）との間に
適当な間隔をあけてこれらが位−決めされてもよい。

また基板（１２ンと（１３）とを−゛体にしてもよい。

基板（１２）　　（１３）をともに８１で一体的に構成
する場合には、この基板上面全体に先導波層を形成し、
この先導波層上に直接にＣＶＤ法により４つの独立した
アモルファス・シリコン（ａ　−８ｉ　）光起電力素子
を形成し、これらにより受光部（３０）を構成する。

また、基板（１２）と（１３）をし１ＮｂＱ３で一体的
に構成する場合には、ＬｉＮｂ０＊上面に同じようにａ
−３ｉによる受光部を形成することができる。

光起電力素子としては、他にＣｄ　Ｔｅ　、　ＣｄＳな
どを用いることが可能である。

（２）半導体レーザと先導波層との結合半導体レーザ（
１１）と基板（１２）上の光導波　　　”層（２１）と
は、この実施例ではバット・エツジ（ｂｕｔｔ　　ｅｄ
ｇｅ）結合法により結合されている。

第２図に拡大して示されているように、基板（１２）の
結合端面が光学研摩され、半導体レーザ（１１）の活性
層（１２）と光導波層（２１）との高さをあわせてこれ
らの両Ｍ　（１２）　　（２１＞の端面が対面するよう
にして、半導体レーザ（１１）が電極パッド（１８）上
に固定される。半導体レーザ（１１）から出射されたレ
ーザ光は光導波層（２１〉内で広がる。半導体レーザ（
１１）の活性層（１２）内と先導波層（２１）内の光の
界分布はよく似た形をしているので高効率の結合が可能
であるとと、もに、特別な結合手段が不要であるという
利点をもっている。基台（１０）は半導体レーザ（１１
）のヒートシンクにもなる。

（３）コリメーティング・レンズ 先導波層上に形成されるコリメーティング・レンズには
、フレネル・レンズ、ブラッグ・グジオデシック・レン
ズなどがある。

第３図はフレネル・レンズ（２４）を示すもので、光導
波層（２１）上に光軸から離れるにしたがって巾が小さ
くなる（チャーブト、ｃｈｉｒｐｅｄ　）凹凸（グレー
ティング）　　（２４ａ　）または屈折率分布が形成さ
れている。

たとえば凹凸（２４ａ　）を形成する場合には、光導波
層（２１）上にフォトリジストをスビンコートシ、凹凸
パターンと同形の露光パターンを用いて露光後、現像す
ることにより凸部となる部分のレジストを除去する。そ
して、たとえばガラスをスパッタする。最復にすべての
レジストを除去ずれば光導波層（２１）上にスパッタさ
れたガラスによる凸部が残り、他の部分が四部に相当す
ることになって結局凹凸（２４ａ　）が形１’ｉψ六わ
ス 屈折率分布を作成する場合には、上述のレジスト・パタ
ーンを作成したのち、その上にたとえばＴｉ膜を形成す
る。そしてリフトオフ法によりＴｔパターンを形成する
。上述の凸部となる部分にのみＴｉ　１１ＧＩが残るこ
とになる。このＴｉを熱拡散させることにより、Ｔｉが
ドープされた部分の屈折率が増大し、第３図に示す凹凸
（２４ａ　）のパターンと同じパターンの屈折率分布が
つくられる。すなわち凸部に相当する部分の屈折率が増
大する。

ブラッグ・グレーティング・レンズ（２５）は第４図に
示されているように、光導波ｌＬｉ１ｉ（２１）上に光
軸からの距離が大きくなるほど光軸とのなす角が大きく
なる凹凸（２５ａ　）または屈折率分布を設けたもので
ある。このレンズ（２５）は、フレネル・レンズ（２４
）と同じ方法により作製される。

第５図はルネプルグ・レンズ（２６）を示すものである
。ルネブルグ・レンズ（２６）は、光導波層（２１）上
に中央部が最も厚く周囲にいくにつれて薄くなるなだら
かな厚み分布をもつ高屈折率薄膜を平面からみて円形に
形成したものである。

これはたとえば、光導波層（２１）上方に円形開口をも
つマスクを配置し、ガラスなどをスパッタすることによ
り作製される。円形間口を通って光導波層（２１）に向
うスパッタされた物質は光導波ＩＩ（２１）に到達する
までに広がるので、周囲にいくほど膜厚の薄い薄膜が形
成される。

第６図はジオデシック・レンズ（２７）を示している。

光導波層（２１）を形成する前に基板（１２）表面に曲
面をもつくぼみを形成し、このくぼみにそって先導波層
（２１）を形成する。

（４）カップリング・レンズ 第１図に示されているカップリング・レンズ（２３）は
、２次元フォーカシング・グレーティング・カブラであ
り、１つのレンズで光の出射機能と２次元集光機能とを
もつ。これは、進行方向に向うほど周期（間隔）が小さ
くなる円弧状のグレーティング（凹凸）から構成されて
いる。このグレーティング・カブラもまた、上述したフ
レネル・レンズと同じような方法により作製される。

第７図はカップリング・レンズ（２３）の他の例を示し
ている。カップリング・レンズ（２３）は、フレネル型
のグレーティング・レンズ（２８〉（上述のフレネル・
レンズ（２４）と同じ構成）ど、チャープ型（ｃｈｉｒ
ｐｅｄ　）グレーティング・カブラ（２９）とから構成
されている。フレネル・レンズは１点から広がる光を平
行光に変換する機能と、平行光を集束さ仕る機能をもつ
。グレーティング・レンズ（２８）は平行光を光導波層
（２１）内で集束させるために用いられている。

グレーティング・カブラ（２９）は、光の進行方向に向
って周期（間隔）が小さくなる直線状のグレーティング
から構成されており、先導波層（２１）内を伝播する光
を出射させるとともに１直線に集光する機能をもつ。光
導波層（２１）を伝播する光はグレーティング・レンズ
（２８）によって巾方向に集束されているから、グレー
ティング・レンズ（２Ｂ）の焦点とグレーティング・カ
ブラ（２９）の焦点とが同一点Ｐにあれば、先導波層（
２１）から出射した光は点Ｐで１点に集光する。

なお、第１図および第７図においてはグレーティング（
凹凸）は、簡単のために巾をもたない線で描写されてい
る。

（５）フォーカシング・エラーの検出 光ディスクの情報記録面にはそのトラックにそってディ
ジタル情報を長さや位置によって表わすビット（くぼみ
）が形成されている。第８図は、光ディスク（８１）と
光ピツクアップ・ヘッド（９）との位置関係を光ディス
ク（８１）をその周方向にそって切断して示、すもので
ある。

カップリング・レンズ（２３）から出射したレーザ光は
光ディスク（８１）の情報記録面（第８図ではビット（
８２）を含む部分）で反射して受光部（３０）で受光さ
れる。第８図では、より分りやすくするために受光素子
（３１）〜（３４）がやや突出して描かれている。第９
図は、光ディスク（８１）からの反射光が受光部（３０
）を照射するその範囲を示している。

第８図において、実線で示された光ディスク（８１）お
よびビット（８２）は、光ディスク（８１）と光ピツク
アップ・ヘッド（９）との間の距離が最適であり、出射
光の光ディスク（８１）上へのフォーカシングが正しく
行なわれている様子を示すものである。このときの受光
部（３０）における反射光の照射領域がＱで示されてい
る。

この照射領域Ｑは中央の受光素子（３１）　　（３２）
上に位置しており、他の受光素子（３３）　　（３４）
には反射光は受光されない。

光ディスク（８１）とピックアップ・ヘッド（９）との
間の距離が相対的に太き（または小さくなって適切なフ
ォーカシングが行なわれない場合の光ディスク（８１）
の位置が第８図に鎖線で示されている。光ディスク（８
１）とピックアップ・ヘッド（９〉との間の距離が相対
的に小さくなった場合（−Δｄの変位）には、反射光の
照射領域（Ｑｌで表わされている）は受光素子（３３）
側に寄る。受光素子（３３）は差動増幅器（７１）の負
側に、受光素子（３４）は正側にそれぞれ接続されてい
るから、この場合には差動増幅器（７１）の出力は負の
値を示し、この値は変位置−Δｄの大きさを表わしてい
る。

光ディスク（８１）とピックアップ・ヘッド（９）との
間の距離が相対的に大きくなった場合（＋Δｄの変位）
には、反射光の照射領域（Ｑ２で表わされている）は受
光素子（３４）側に寄る。差動増幅器（７１）の出力は
正の値を示し、かつこの値は変位置＋へ（１を表わす。

このようにして、ピックアップ・ヘッド（９）からの出
射光ビームのフォーカシングが適切であるかどうか、フ
ォーカシング・エラーが生じている場合にはエラーの方
向と大きさが差動増幅器（７１）の出力から検知される
。フォーカシング・エラーが無い場合には差動増幅器（
７１）の出力は零である。

（６）トラッキング・エラーの検出 第１０図は、光ディスク（８１）に形成されたビット（
８２）と受光部（３０）の受光素子（３１）（３２）と
を同一平面上に配置して示したものであり、いわば光デ
ィスク（８１）をその面方向に透視して受光素子（３１
）　　（３２）をみた図である。

差動増幅器（７２）は受光素子（３１）　　（３２）と
の電気的接続関係を明らかにする目的で図示されている
。第９図（△）は、レーザ・ビーム・スポットＰがトラ
ック（ビット（８２））の巾方向の中心上に正確に位置
している様子を示している。第９図（Ｂ）（Ｃ）はスポ
ットＰがトラック（ビット（８２））の左右にそれぞれ
若干ずれ、トラッキング・エラーが生じている様子を示
している。いずれの場合にも、適切にフォーカシングさ
れているものとする。

レーザ・スポットＰが光ディスク（８１）の情報記録面
に当たり、その反射光の強度がビット（８２）の存在に
よって変調される。これには、ビット（８２）の巾より
もスポット・サイズの方がやや大きいのでビット（８２
）の底面で反射する光とビット（８２）以外の部分で反
射する光とが存在し、ビット（８２）の深さが１／４λ
（λはレーザ光の波長）程度に設定されていることによ
り、上記の２種類の反射光の３間にπの位相差が生じて
互いに打消し合い、光強度が小さくなるという説明や、
ビット（８２）の縁部゛で゛光量の゛散乱が生じこれに
より受光される反射光強度が小さくなるという説明など
がある。いずれにしても、ピッド（８２）の存在によっ
て受光部（３０）に受光される光強度は小さくなる。

受光素子（３１）と（３２）は光軸を境として左右に分
割されている。レーザ・スポットＰの中心とビット（８
２）の中方向の中心とが一致している場合には、受光素
子（３１）と（３２）に受光される光量は等しく、差動
増幅器（７２）の出力は零である。

第１０図（Ｂ）に示すように、レーザ・スポットＰがビ
ット（８２）の左側にずれた場合には、受光素子（３１
）に受光される光量の方が多くなり、差動増幅器（７２
）からは正の出力が発生する。逆に、第１０図（Ｃ）に
示すように、レーザ・スポットＰがビット（８２）の右
側にずれると差動増幅器（１２）には負の出力が生じる
。

このようにして、差動増幅器（７２）の出力によりビー
ム・スポットＰが光ディスク（８１）のトラックに正確
に沿っているか、トラッキング・エラーが生じているか
、それは左、右のともらにずれたエラーかが検出される
。

（７）フォーカシングおよびトラッキング駆動機構 第１１図から第１３図はフォーカシング駆動機構および
トラッキング駆動機構を示している。

支持板（１００）の一端部に支持部材（１０１）が立設
されている。この支持部材（１０１）の両側下端部は切
欠かれている（符号（１０２）　）。

支持板（１ｏｏ）の他端部上方には可動部材（１０３）
が位置している。上下方向に弾性的に屈曲しうる４つの
板ばね（１２１）　　（１２２）の一端は支持部材（１
０１）の上端両側および下部切欠き（１０２）に固定さ
れており、他端は可動部材（１０３）の上端および下端
の両側にそれぞれ固定されている。したがって、可動部
材（１０３）はこれらの板ばね（１２１）　　（１２２
）を介して上下方向に運動しうる状態で支持部材（１０
１）に支持されている。

光ピツクアップ・ヘッド（９）を載置したステージ（１
１０）は、上部の方形枠（１１２）　、方形枠（１１２
）の両端から下方にのびた両脚（，１１４）　　（１１
５）および方形枠（１１２）の中央部から下方にのびた
中央脚（１１３）から構成されている。方形枠（１１２
）上に光ピツクアップ・ヘッド（９）が載置固定されて
いる。横方向に弾性的に屈曲しうる４つの阪ばね（１３
１）の一端は可動部材（１０３）の両側上、下部に固定
され、他端はステージ（１１０）の中央脚（１１３）の
両側上、下部に固定されている。ステージ（１１０）は
、これらの板ばね（１３１）を介して横方向（第１０図
の左右方向と一致する）に、運動しうる状態で支持され
ている。したがって、ステージ（１１０）は、上下方向
くフォーカシング）および横方向（トラッキング）に移
動自在である。

支持板（１００）　、支持部材（１０１）　、可動部材
（１０３）およびステージ（１１０）は非磁性材料、た
とえばプラスナックにより構成されている。

支持部材（１０１）および可動部材（１０３）の内面に
はヨーク（１０４）　　（１０５）が固定されている。

ヨーク（１０４）は、支持部材（１０１）に固定された
垂直部分（１０４ａ）と、これと間隔をおいて位置する
もう１つの垂直部分（１０４ｂ）と、これらの両部会（
１０４ａ＞　　（１０４ｂ）をそれらの下端で結合させ
る水平部分とから構成されている。

ヨーク（１０５）もヨーク（１０４）と全く同じ形状で
あり、一定の間隔をおいて離れた２つの垂直部分（１０
５ａ）　　（１０５ｂ）を備えている。

これらのヨーク（１０４）　　（１０５）の垂直部分（
１０４ａ　）　　（１０５ａ　）の内面には、この内面
側をたとえばＳ極とする永久磁石（１０６）がそれぞれ
固定されている。そして、ヨーク（１０４）　　（１０
５）の他方の垂直部分（１０４ｂ）　　（１０５ｂ）と
永久磁石（１０６）との間に、ステージ（１ｉｏ）の脚
（１１４）　　（１１５）がそれらに接しない状態でそ
れぞれ入り込んでいる。

ステージ（１１０）の両脚（１１４）　　（１１５）の
まわりにはフォーカシング駆動用コイル（１２３）が水
平方向に巻回されている。またこれらの脚（１１４）　
（１１５）の一部には、永久磁石（１ｏｅ）と対向する
部分において上下方向に向う部分を有するトラッキング
駆動用コイル（１３３）が巻回されている。

フォーカシング駆動機構は第１２図に最もよく示されて
いる。永久磁石（１０６）から発生した磁束ト１は鎖線
で示されているようにヨーク（１０４）　　（１０５）
の垂直部分（１０４ｂ）　　（１０５ｂ）にそれぞれ向
う。この磁界を横切って水平方向に配設されたコイル（
１２３）に、たとえば第１２図において紙面に向う方向
に駆動電流が流されると、上方に向う力Ｆｒが発生する
。この力Ｆｆによってステージ（１１０）は上方に移動
する。ステージ（＋１０）の移動量はコイル（１２３）
に流される電流の大きさによって調整することができる
。したがって、上述した差動増幅器（７１）の出力信号
に応じてこの駆動電流の方向を切換えることにより、お
よび電流の大きさを調整するまたは電流をオン、オフす
ることにより、フォーカシング制御を行なうことができ
る。

トラッキング駆動機構は第１３図に最もよく表わされて
いる。コイル（１３３）の磁界Ｈを上下方向に横切って
配設された部分に、たとえば第１３図で紙面に向う方向
に（第１１図で下方に向って）駆動電流を流すと、第１
３図において上方に向う力（第１１図において横方向に
向う力）Ｆｔが発生し、ステージ（１１０）は同方向に
移動する。上述した差動増幅器（７２）の出力信号に応
じてコイル（１３３）に流す電流をオン、オフしたり、
電流の方向、必要ならばその人ぎさを調整することによ
り、トラッキング制御を行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は光ピツクアップ・ヘッドを示す斜視図である。 第２図は半導体レーデと先導波層との光結合部分を示す
斜視図である。 第３図はフレネル型グレーティング・レンズを示す斜視
図である。 第４図はブラッグ型グレーティング・レンズを示す斜視
図である。 第５図はルネブルグ・レンズを示すもので、（△）は平
面図、（Ｂ）は断面図である。 第６図はジオデシック・レンズを示すもので、（Ａ＞は
平面図、（Ｂ）は断面図である。 第７図はカップリング・レンズの他の実施例を示す斜視
図である。 第８図は、光ディスクと光ピツクアップ・ヘッドとの位
置関係を示す断面図である。 第９図は、受光部上におけるフォーカシング・エラーの
検出原理を示す図である。 第１０図は、トラッキング・エラーの検出原理を示す図
である。 第１１図から第１３図は、フォーカシングおよびトラッ
キング駆動機構を示すもので、第１１図は斜視図、第１
２図は第１１図のＸ　ＩＩ　−Ｘ■線にそう断面図、第
１３図は光ピツクアップ・ヘッドを除去して示す平面図
である。 （９）・・・光ピツクアップ・ヘッド、（１０）・・・
基台、（１１）・・・半導体レーザ、（１２）　　（１
３）・・・　　　□基板、（２１）・・・先導波層、（
２２）・・・コリメーティング・レンズ、（２３）・・
・カップリング・レンズ、（３０）・・・受光部、（３
１）〜（３４）・・・受光素子、（１０４）　　（１０
５）・・・ヨーク、（１０Ｂ）・・・永久磁石、”（１
ｉｏ）・・・ステージ、（１２１）　　（１２２）（１
３１）・・・板ばね、（１２３）・・・フォーカシング
駆動用コイル、（１３３）・・・トラッキング駆動用コ
イル。 以　　上 外４名 第８図 ２ム 第４図 第５図 （Ａ） 第６図 （Ａ） 第１２図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）基板上に形成された光導波路、 光導波路に導入されるレーザ光の光源、 光導波路上に形成され、光導波路を伝播する光を斜め上
   方に出射させかつ２次元的に集光するレンズ手段、 斜め上方から反射してくる光を受光する手段、レーザ光
   源、基板および受光手段が設けられた基台、 基台の位置を上下方向に調整するフォーカシング駆動機
   構、ならびに 基台の位置を横方向に調整するトラッキング駆動機構、 を備えた光情報処理装置。
2. （２）光導波路、レンズ手段および受光手段が同一基板
   上に形成されている、特許請求の範囲第（１）項に記載
   の光情報処理装置。