JPS6161152B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、テレビジヨンカメラを通して得ら
れた映像信号を２値パターン化する２値パターン
認識方法に関する。

半導体集積回路又は、そのマスク等の位置合せ
又は外観検査等のために、テレビジヨンカメラを
用いて被写体の映像信号を形成し、これを２値化
してパターン認識を行なう必要がある。

この場合、２値化のしきい値電圧より高い（明
るい）部分を白、低い（暗い）部分を黒としてパ
ターン信号を形成する。明暗の差の大きな被写体
については、比較的容易にパターン化を行なうこ
とができるが、半導体集積回路の表面パターンの
ように、その差が小さいものについては、レンズ
による周辺光量の不足、照明のムラ等により、固
定したしきい値電圧での２値比が極めて困難にな
るものであり、その調整が煩わしいものとなる。

なお、例えば特開昭50―126132号公報に記載さ
れたように、被読取物の出力補正用部（白地部
分）のビデオ出力を記憶し、この記憶のビデオ出
力を適当に分圧して読取対象物の読取りビデオ信
号の量子化レベルとする方法があるが、この方法
においては、次の点を注意する必要がある。すな
わち、テレビジヨンカメラのような光電変換装置
は、一般的に言つて、明るい被写体に対してその
光電変換出力の変化が鈍くなるような非直線性を
持つ。それ故に、上述のような分圧による量子化
レベルの設定においては、光電変換装置の光電変
換特性の非直線性を充分に考慮しないと、実際の
被写物に対する良好な量子化レベルを設定できな
くなる恐れが生ずる。

この発明は、上記レンズの特性、照明のムラ等
による影響を受けない高精度のパターン認識方法
を提供するためになされた。

この発明の一実施例によれば、予め、全面をハ
ーフトーンとした補正用被写体を用意し、この被
写体のテレビジヨンカメラを通して得られた映像
信号を記憶しておき、パターン認識すべき被写体
の上記テレビジヨンカメラの出力と同期させて読
み出して、補正信号として用いるものとするもの
である。

以下、実施例により、この発明を具体的に説明
する。

第１図は、この発明の一実施例を示すパターン
認識方法を説明するブロツク図である。

１は、補正用被写体であり、パターン認識すべ
き被写体１′の中間明度を全面均一に有するもの
である。例えば、パターン認識すべき被写体１′
がモノリシツク半導体装置の表面パターンである
場合、このモノリシツク半導体装置のアルミニユ
ウムパターンを白、その他の部分を黒と判定する
から、その両者の中間明度を選ぶものとする。

テレビジヨンカメラ２の出力に設けたスイツチ
（SW）を信号処理回路３側とすることにより、
上記補正用被写体１のテレビジヨンカメラ２を通
して得られたハーフトーンの映像信号を上記信号
処理回路（この実施例にあつては書き込み回路）
を介して、磁気デイスク４に直接書き込むものと
する。

次に、スイツチ（SW）を切り換えて、パター
ン認識すべき被写体１′のテレビジヨンカメラ２
を通して得られた映像信号と、磁気デイスク４に
記憶されたハーフトーンの映像信号とを、タイミ
ング制御回路６により同期させて読み出し、一方
の映像信号（この実施例においては、ハーフトー
ンの映像信号）の位相を反転させて、加算回路７
で加算して、両者の減算を行なうことにより、レ
ンズ、及び照明による明度のムラを補正して、２
値パターン回路９に入力するものである。

なお、この実施例において、ハーフトーンの映
像信号は、読み出し回路５により、パターン認識
すべき被写体１′の映像信号と同期して読み出す
とともに、位相反転を行なうものであり、加算回
路７は、高速の演算増幅回路８により構成され
る。

上述のような２値パターン認識方法によれば、
第２図の動作波形図に示すように、ハーフトーン
の映像信号ａはカメラレンズの周辺部と中心部と
の光量のムラ、及び照明ムラのみの映像信号とな
る。一方、パターン認識すべき被写体から得られ
る映像信号ｂは、被写体のパターン信号の他、上
記カメラレンズによる光量ムラ及び照明ムラを含
んだものとなるので、両者を減算することによ
り、同図ｃに示すように、上記カメラレンズ、照
明等による信号成分が除去でき、パターン信号成
分が微小なものであつても、固定したしきい値電
圧（Ｖ_T）の下でも精度良く２値化することがで
き、その調整も容易となる。

この発明は、前記実施例に限定されず、ハーフ
トーンの映像信号は、補正用被写体自身の明度を
中間明度にすることの他、レンズに設けるフイル
ター、照明、あるいはこれらの組合せにより得る
ものとしてもよい。

また、このハーフトーンの映像信号は、直接信
号レベルとして磁気デイスク等の高速記憶装置に
書き込むものの他、信号処理回路３により、FM
変調して間接的に書き込むもの等が考えられる。
そして、記憶装置は、書き込み信号及び必要とさ
れる速度に応じて、種々の記憶装置を利用するこ
とができる。

また、ハーフトーン信号により、２値パターン
化回路のしきい値電圧（Ｖ_T）を変化させるよう
にするものであつてもよい。

【図面の簡単な説明】

第１図は、２値パターン認識方法を説明するブ
ロツク図、第２図は、その動作波形図である。 １…補正用被写体、１′…パターン認識すべき
被写体、２…テレビジヨンカメラ、３…信号処理
回路、４…磁気デイスク、５…読み出し回路、６
…タイミング制御回路、７…加算回路、８…演算
増幅回路、９…２値化回路。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ テレビジヨンカメラを通して得られた映像信
   号をパターン化するパターン認識方法において、
   予め、全面をパターン認識すべき被写体の中間明
   度とした補正板を被写体として上記テレビジヨン
   カメラを通して得られた映像信号を用いて上記パ
   ターン認識すべき被写体の映像信号をパターン化
   することを特徴とするパターン認識方法。