JPS6159076A - 微少弁開度制御装置 - Google Patents
微少弁開度制御装置Info
- Publication number
- JPS6159076A JPS6159076A JP18021584A JP18021584A JPS6159076A JP S6159076 A JPS6159076 A JP S6159076A JP 18021584 A JP18021584 A JP 18021584A JP 18021584 A JP18021584 A JP 18021584A JP S6159076 A JPS6159076 A JP S6159076A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- time
- valve
- setting circuit
- voltage
- circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/02—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic
- F16K31/04—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic using a motor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は微少弁開度制（ｆｆｌｌ装置に関し、一層、：
’４４１１＋には、ＣＶＤ、ＰＶＤ装置等に気体を流入
あるいは排出する場合に、特に流入、排出の初期にきわ
めて徐々に流入、排出させ、乱気流による容器内の埃の
まい上りを有効に防止することのできる微少弁開度制御
装置に関するものである。
’４４１１＋には、ＣＶＤ、ＰＶＤ装置等に気体を流入
あるいは排出する場合に、特に流入、排出の初期にきわ
めて徐々に流入、排出させ、乱気流による容器内の埃の
まい上りを有効に防止することのできる微少弁開度制御
装置に関するものである。
ＣＶＤ、ＰＶＤ装置等において、容器内に反応ガス等の
気体を流入あるいは排出°する場合に、徐々に流入ある
いは排出しないと、容器内に乱気流が生じ、このため例
えばアルミニウム用の反応性スパッタエツチング装置に
おいては容器の器壁等に付着している、副産物であるＡ
ｌＣ１ａ が埃としてまい上り、被処理物に付着して製
品の品質を低下させ、歩留りを低下させる原因となって
いる。
気体を流入あるいは排出°する場合に、徐々に流入ある
いは排出しないと、容器内に乱気流が生じ、このため例
えばアルミニウム用の反応性スパッタエツチング装置に
おいては容器の器壁等に付着している、副産物であるＡ
ｌＣ１ａ が埃としてまい上り、被処理物に付着して製
品の品質を低下させ、歩留りを低下させる原因となって
いる。
上記のような気体の流入あるいは排出には、通常小口径
のニードル弁を用い、このニードル弁を、ス空計を見な
がらゆっくり開閉させて時間をかげて行っている。しか
しながら、このような二一ドル弁では極めて長時間を要
し、生産能率に劣るばかりでなく、特に気体の流入、排
出の初期に急激な流量変化が生じ、乱気流による埃のま
い上りを効果的に防止できないＸＷ点がある。
のニードル弁を用い、このニードル弁を、ス空計を見な
がらゆっくり開閉させて時間をかげて行っている。しか
しながら、このような二一ドル弁では極めて長時間を要
し、生産能率に劣るばかりでなく、特に気体の流入、排
出の初期に急激な流量変化が生じ、乱気流による埃のま
い上りを効果的に防止できないＸＷ点がある。
本発明は上記雑煮に鑑みてなされたものであり、その目
的とするところは、全閉可能なバタフライ弁を使用し、
初期の弁開度をきわめて徐々に行い、かつ弁開度増加量
を時間と共に増大させることによって、容器内の埃のま
い上りを抑え、かつ、短時間に容器内外の圧力を平衡さ
せ、製品の品質および歩留りを向上させることができる
とともに生産能率を高めることのできる、微少弁開度制
御装置を提供するにあり、その特徴は、流路内に設けた
バタフライ弁と、該バタフライ弁を回動軸を中心として
回転させ、バタフライ弁の開閉を行う正逆モータと、前
記正逆モータへ供給される駆動電圧を多段階に設定する
駆動電圧設定回路と、該駆動電圧設定回路で設定される
各段階における駆動電圧を任意時間前記正逆モータへ供
給するように時間を設定する駆動時間設定回路と、前記
駆動電圧設定回路で設定された駆動電圧が前記バタフラ
イ弁の開度が小のときに低電圧となり、開度が大となる
に従って高電圧となるように選択するとともに、この選
択された駆動電圧が前記駆動時間設定回路で設定された
時間だけ前記正逆モータへ供給する電圧・時間選択回路
とから成るところにある。
的とするところは、全閉可能なバタフライ弁を使用し、
初期の弁開度をきわめて徐々に行い、かつ弁開度増加量
を時間と共に増大させることによって、容器内の埃のま
い上りを抑え、かつ、短時間に容器内外の圧力を平衡さ
せ、製品の品質および歩留りを向上させることができる
とともに生産能率を高めることのできる、微少弁開度制
御装置を提供するにあり、その特徴は、流路内に設けた
バタフライ弁と、該バタフライ弁を回動軸を中心として
回転させ、バタフライ弁の開閉を行う正逆モータと、前
記正逆モータへ供給される駆動電圧を多段階に設定する
駆動電圧設定回路と、該駆動電圧設定回路で設定される
各段階における駆動電圧を任意時間前記正逆モータへ供
給するように時間を設定する駆動時間設定回路と、前記
駆動電圧設定回路で設定された駆動電圧が前記バタフラ
イ弁の開度が小のときに低電圧となり、開度が大となる
に従って高電圧となるように選択するとともに、この選
択された駆動電圧が前記駆動時間設定回路で設定された
時間だけ前記正逆モータへ供給する電圧・時間選択回路
とから成るところにある。
以下本発明の好適な実施例を添付図面に基づいて詳細に
説明する。
説明する。
第１図は、本発明による微少弁開度制御装置のブロック
図を示す。１は基準電圧回路、２はバタフライ弁８を動
かす直流モータ６を駆動するための駆動電圧設定回路、
３は基準パルス発生回路、４は直流モータ６を設定され
た駆動電圧によって駆動する時間を決定する時間設定回
路、５は上記駆動電圧設定回路２および時間設定回路４
を選択組合せする電圧・時間選択回路で、この回路によ
って選択された駆動電圧が、選択された時間の間直流モ
ータ６に供給される。
図を示す。１は基準電圧回路、２はバタフライ弁８を動
かす直流モータ６を駆動するための駆動電圧設定回路、
３は基準パルス発生回路、４は直流モータ６を設定され
た駆動電圧によって駆動する時間を決定する時間設定回
路、５は上記駆動電圧設定回路２および時間設定回路４
を選択組合せする電圧・時間選択回路で、この回路によ
って選択された駆動電圧が、選択された時間の間直流モ
ータ６に供給される。
直流モータ６は歯車機構７を介してバタフライ弁８を駆
動する。９はスタート回路、１０はストップ回路で夫々
バタフライ弁の動きのスタート及びストップを決定する
回路である。
動する。９はスタート回路、１０はストップ回路で夫々
バタフライ弁の動きのスタート及びストップを決定する
回路である。
第２図及び第３図は上記第１図のブロック図の具体的な
一例を示したものであり、第１図と同一符号のものは第
１図の各ブロックに附した符号に対応しており、同一の
機能をもつものの一例を示している。
一例を示したものであり、第１図と同一符号のものは第
１図の各ブロックに附した符号に対応しており、同一の
機能をもつものの一例を示している。
駆動電圧設定回路２中（７） ＶＪ 、 ＶＲ２＋ ｔ
／Ｌ 、 ＶＲ４ハ可変抵抗器で夫々個別に所要の電圧
を設定する。
／Ｌ 、 ＶＲ４ハ可変抵抗器で夫々個別に所要の電圧
を設定する。
電圧・時間選択回路５中のＲ１ばリレーで、’Ｌ−ｊ
ｌｒ工、はその接点である。
ｌｒ工、はその接点である。
Ｒ１は接点ｔ１ａが閉じるとｒＬ−ｚを閉じて自己保持
し、接点ｔ＋ｂ４が開くまで作動状態になっている。
し、接点ｔ＋ｂ４が開くまで作動状態になっている。
ｔ４ａ＋ Ｌｔｔｎは夫々後述の第３図におけるリレー
Ｔ１＾およびＴＩＢの接点であ゛る。
Ｔ１＾およびＴＩＢの接点であ゛る。
以下Ｒ２、ＲＪ、 Ｒ４についても同様に作動する。
接点ｓｔおよびｓｐは夫々第３図におけるスタートスイ
ッチ１１及びストップスイッチ■２によって作動するリ
レーＳＴ及びＳＰの接点である。
ッチ１１及びストップスイッチ■２によって作動するリ
レーＳＴ及びＳＰの接点である。
第３図におい°Ｃ１基準パルス発生回路３は、時間の基
準とするための一定の周波数を発振する発振回路とカウ
ンタによってカウントしやすい矩形波に成形する波形成
形回路を含む通常のパルス発生回路である。
準とするための一定の周波数を発振する発振回路とカウ
ンタによってカウントしやすい矩形波に成形する波形成
形回路を含む通常のパルス発生回路である。
スタートスイッチ１１はこれを閉じるとリレーＳＴが作
動し、このリレーの接点ｓｔｓによって自己保持される
。そして、ストフブスイ・ノチ１２が閉じてリレーＳＰ
が作動ずればこのリレーの接点Ｓ１）】によってリレー
ＳＴの自己保持が解除される。
動し、このリレーの接点ｓｔｓによって自己保持される
。そして、ストフブスイ・ノチ１２が閉じてリレーＳＰ
が作動ずればこのリレーの接点Ｓ１）】によってリレー
ＳＴの自己保持が解除される。
リレーＳＴが作動し、接点ｓｔｚ及びｓｒｓが閉じると
基準パルス発生回路３からのパルスがカウンタＣ１に供
給されＣ１はこのパルスをカウントする。カウンタＣ１
にはカウント開始接点ＣｔＡとカウント終了接点自Ｂが
所要の位置に設定されており、カウントしたパルスの数
がその位置に一致した時夫々のリレーＴＩＡ及びＴＬＢ
を作動させる。
基準パルス発生回路３からのパルスがカウンタＣ１に供
給されＣ１はこのパルスをカウントする。カウンタＣ１
にはカウント開始接点ＣｔＡとカウント終了接点自Ｂが
所要の位置に設定されており、カウントしたパルスの数
がその位置に一致した時夫々のリレーＴＩＡ及びＴＬＢ
を作動させる。
リレーＴＬＢが作動すると、このリレーの接点ｔｔｂｚ
によって自己保持され、Ｔ！八が再度作動しないように
ｔｌ ｂｌによってＴｔＢがｔ５ｊ旧するまでＴｔＡの
回路を開く。
によって自己保持され、Ｔ！八が再度作動しないように
ｔｌ ｂｌによってＴｔＢがｔ５ｊ旧するまでＴｔＡの
回路を開く。
さらに、Ｔ１１１の接点ｔｊｂＪによってカウンタＣｚ
の回路を閉じて、Ｃ２が基準パルス発生回１／＆ ３か
らの基準パルスをカウント出来るようにする。
の回路を閉じて、Ｃ２が基準パルス発生回１／＆ ３か
らの基準パルスをカウント出来るようにする。
カウンタＣｚは前記カウンタＣ１と同様の動作をする。
以下、カウンタＣ３及びＣ４と順次同様に動作する。そ
して、これはストップ回路１０のストップスイッチ１２
が閉じてストップリレーｓＰが作動し、ＳＦ’ｌが開く
ことによってスタートリレーＳＴの自己保持が解除され
、接点ｓｂ＋ｓｂが開くと全て動作を停止する。
して、これはストップ回路１０のストップスイッチ１２
が閉じてストップリレーｓＰが作動し、ＳＦ’ｌが開く
ことによってスタートリレーＳＴの自己保持が解除され
、接点ｓｂ＋ｓｂが開くと全て動作を停止する。
以上のような各部の動作によって、第２図のＴＩ？□。
ＶＲ２、ＴＲｆｆ、 ＶＲ・によって設定された駆動電
圧が夫々接点ｒ、−□１ｒｉ−１１ｒ３−１ ＋ｒ４−
１ を通り、スタート接点ｓＬ、、ストップ接点ＳｐＪ
を通って直流モータ６を回転させる。この直流モータ６
の回転角は山車機構７を介してバタフライ弁の軸に伝え
られ弁を動かすことになる。
圧が夫々接点ｒ、−□１ｒｉ−１１ｒ３−１ ＋ｒ４−
１ を通り、スタート接点ｓＬ、、ストップ接点ＳｐＪ
を通って直流モータ６を回転させる。この直流モータ６
の回転角は山車機構７を介してバタフライ弁の軸に伝え
られ弁を動かすことになる。
直流モータ６に供給される電圧は、第３図の時間設定回
路４の動作で決められているように、可変抵抗器ＶＲ４
、ＶＲｚ ＋ ＶＲ３＋ ＶＲ４ニよって設定された夫
々の電圧Ｖ工、 Ｖｚ 、 Ｖｓ 、 ＶＪ がこの順
序に従って、夫々リレーＲｔ＋Ｒ２＋Ｒｔ＋Ｒ４が作動
している時間だけ、即ち、夫々カウンタＣｉ 、 Ｃ２
＋ Ｃ３、Ｃ４に設定された時間だけ直流モータ６に供
給される。
路４の動作で決められているように、可変抵抗器ＶＲ４
、ＶＲｚ ＋ ＶＲ３＋ ＶＲ４ニよって設定された夫
々の電圧Ｖ工、 Ｖｚ 、 Ｖｓ 、 ＶＪ がこの順
序に従って、夫々リレーＲｔ＋Ｒ２＋Ｒｔ＋Ｒ４が作動
している時間だけ、即ち、夫々カウンタＣｉ 、 Ｃ２
＋ Ｃ３、Ｃ４に設定された時間だけ直流モータ６に供
給される。
第４図は直流モータに供給される電圧と回転速度の関係
の一例を示す。第５図は直流モータに供給される電圧と
供給される時間との関係の一例を示したものである。
の一例を示す。第５図は直流モータに供給される電圧と
供給される時間との関係の一例を示したものである。
即ち、可変抵抗器ＶＲＪで設定された電圧ｖ１が、カウ
ンタＣ＋で設定された時間、即ち、ＴＬＡが作動してか
らＴＵ８が作ＵｊするまでのＴｓの時間（ｏ−ｔｔの時
間）、直流モータ６に供給される。以下同様ニｖ１ノ電
圧が１１の時間（ｈ−Ｌ＋） 、ＶＪの電圧がＴ。
ンタＣ＋で設定された時間、即ち、ＴＬＡが作動してか
らＴＵ８が作ＵｊするまでのＴｓの時間（ｏ−ｔｔの時
間）、直流モータ６に供給される。以下同様ニｖ１ノ電
圧が１１の時間（ｈ−Ｌ＋） 、ＶＪの電圧がＴ。
の時間（Ｌ＋ ｂ） 、Ｖａの電圧がＴ、の時間（ｔ
４−ｔＪ）直流モータ６に供給される。
４−ｔＪ）直流モータ６に供給される。
スタートスイッチ１１は手動あるいは他の装置による操
作等によって閉じ、ストップスイッチ１２は直流モータ
６の回転軸に取付けられたカム１６（第７図参照）によ
って作動するマイクロスイッチ１７等によって作動され
る。このマイクロスイッチ１７はバタフライ弁の最終弁
開度の大きさを決める位置に取イ」けられる。
作等によって閉じ、ストップスイッチ１２は直流モータ
６の回転軸に取付けられたカム１６（第７図参照）によ
って作動するマイクロスイッチ１７等によって作動され
る。このマイクロスイッチ１７はバタフライ弁の最終弁
開度の大きさを決める位置に取イ」けられる。
第６図はＴＥＡが作動してからの時間経過とバタフライ
弁の弁開度の関係の一例を示したものである。ｔｔ＋ｂ
＋ｔｓ＋ｔ＊の時刻は第５図に合わせた例である。又、
マイクロスイッチ１７を弁開度７５°の位置に七ソトシ
た場合は時間ｔＬ以降は弁開度は変らないことを実線で
示している。
弁の弁開度の関係の一例を示したものである。ｔｔ＋ｂ
＋ｔｓ＋ｔ＊の時刻は第５図に合わせた例である。又、
マイクロスイッチ１７を弁開度７５°の位置に七ソトシ
た場合は時間ｔＬ以降は弁開度は変らないことを実線で
示している。
このグラフで判るように、スタートスイッチ１１が作動
してからＴＬの時間は駆動電圧を小さくして弁開度を極
めて徐々に大きくし、次のＴ２の時間では弁開度の増え
方を若干Ｔ１の時間より大きくし、次のＴ３の時間では
弁開度の増え方をもう少し大きくし、次のＴ、の時間で
はその増え方をさらに大きくしている。
してからＴＬの時間は駆動電圧を小さくして弁開度を極
めて徐々に大きくし、次のＴ２の時間では弁開度の増え
方を若干Ｔ１の時間より大きくし、次のＴ３の時間では
弁開度の増え方をもう少し大きくし、次のＴ、の時間で
はその増え方をさらに大きくしている。
第７図は操作部の一例を示したものである。６は直流モ
ータ、７は山車機構で直流モータ６の軸の回転数を例え
ば６０００分の１という非常に大きな比率で減少させて
バタフライ弁１３を動かず回転軸を動かす回転軸１４に
伝えている。
ータ、７は山車機構で直流モータ６の軸の回転数を例え
ば６０００分の１という非常に大きな比率で減少させて
バタフライ弁１３を動かず回転軸を動かす回転軸１４に
伝えている。
１５はバタフライ弁１３の外側外周上にはめ込んだ０リ
ングでバタフライ弁１３が閉じた時に十分な気密を保つ
ようになっている。１６は回転軸１４に取付けたカムで
弁のボディに取付けられた第３図のストップスイッチ１
２に相当するマイクロスイッチ１７を作動させる。カム
１６とマイクロスイッチ１７との相対的な位置によって
装置をストップさせる弁の回転角が決まる。
ングでバタフライ弁１３が閉じた時に十分な気密を保つ
ようになっている。１６は回転軸１４に取付けたカムで
弁のボディに取付けられた第３図のストップスイッチ１
２に相当するマイクロスイッチ１７を作動させる。カム
１６とマイクロスイッチ１７との相対的な位置によって
装置をストップさせる弁の回転角が決まる。
バタフライ弁の理想的な形では弁の開口面積Ｓは弁開度
（弁の回転角）をθとすると（第８図）、Ｓ＝πｒ’
（１−ｃｏｓ θ）、ｒはバタフライ弁の半径、で表わ
される。この開口面積Ｓは第９図に示すようにθが小さ
い時には変化が小さい。すなわち弁の開口面積は弁開度
が小さい時には徐々にしか増加しないのである。従って
、第６図に示すように弁開度を零付近では徐々に増加す
るようにすれば、弁の開口面積はさらにきわめて徐々に
しか増加しないことになる。この事は、例えば真空蒸着
装置の蒸着容器内の空気あるいはガスを真空ポンプで排
出する場合、あるいは真空にした蒸着容器内にガスを封
入する場合、この装置を介して排出あるいは封入を行え
ば、容器内外の圧着の大きい時にはｔｍめで微少な流量
のガスあるいは空気を時間をかけて流しく例えば第６図
のｏ＝ｔ１時間）、圧着が小さくなったところで弁開度
を徐々に大きくして（例えば第６図のｂ＝Ｌｚ、 ｔｚ
〜ｂ時間のように）やれば、排出あるいは封入時の渦流
による容器内の埃のまい上りを極めて少なくすることが
でき、またニードル弁によって行う場合に比して、極め
て短時間に排出あるいは封入の作業を完了させることが
できる。
（弁の回転角）をθとすると（第８図）、Ｓ＝πｒ’
（１−ｃｏｓ θ）、ｒはバタフライ弁の半径、で表わ
される。この開口面積Ｓは第９図に示すようにθが小さ
い時には変化が小さい。すなわち弁の開口面積は弁開度
が小さい時には徐々にしか増加しないのである。従って
、第６図に示すように弁開度を零付近では徐々に増加す
るようにすれば、弁の開口面積はさらにきわめて徐々に
しか増加しないことになる。この事は、例えば真空蒸着
装置の蒸着容器内の空気あるいはガスを真空ポンプで排
出する場合、あるいは真空にした蒸着容器内にガスを封
入する場合、この装置を介して排出あるいは封入を行え
ば、容器内外の圧着の大きい時にはｔｍめで微少な流量
のガスあるいは空気を時間をかけて流しく例えば第６図
のｏ＝ｔ１時間）、圧着が小さくなったところで弁開度
を徐々に大きくして（例えば第６図のｂ＝Ｌｚ、 ｔｚ
〜ｂ時間のように）やれば、排出あるいは封入時の渦流
による容器内の埃のまい上りを極めて少なくすることが
でき、またニードル弁によって行う場合に比して、極め
て短時間に排出あるいは封入の作業を完了させることが
できる。
なお前記の駆動電圧設定回路、駆υ」時間設定回路、電
圧・時間選択回路は前記と同等な適宜なＩＣ回路で構成
し、マイクロコンピュータ制御するようにしてもよいこ
とはもちろんである。
圧・時間選択回路は前記と同等な適宜なＩＣ回路で構成
し、マイクロコンピュータ制御するようにしてもよいこ
とはもちろんである。
以上のように本発明装置によれば、全開可能なバタフラ
イ弁を１吏用し、埃のまい上りの生じやすい初期の弁開
度をきわめて徐々に行い、かっ弁開度増加量を時間と共
に増大させることによって、容器内の埃のまい上りが有
りＪに防止されるとともに全体として短時間に容器内外
の圧力を平ｉ剣させることができ、製品の品質の向上、
歩留りの向上、生産能率の向上を図ることができ、特に
製品への埃の付着が厳しくチェックされるＰＶＤ、ＣＶ
Ｄ装置等に用いて好適である。
イ弁を１吏用し、埃のまい上りの生じやすい初期の弁開
度をきわめて徐々に行い、かっ弁開度増加量を時間と共
に増大させることによって、容器内の埃のまい上りが有
りＪに防止されるとともに全体として短時間に容器内外
の圧力を平ｉ剣させることができ、製品の品質の向上、
歩留りの向上、生産能率の向上を図ることができ、特に
製品への埃の付着が厳しくチェックされるＰＶＤ、ＣＶ
Ｄ装置等に用いて好適である。
以上本発明につき好適な実施例を挙げて種々説明したが
、本発明はこの実施例に限定されるものではな（、発明
の精神を逸脱しない範囲内で多くの改変を施し得るのは
もちろんのことである。
、本発明はこの実施例に限定されるものではな（、発明
の精神を逸脱しない範囲内で多くの改変を施し得るのは
もちろんのことである。
第１図は本発明の装置のブロック図である。第２図およ
び第３図は第１図の具体的な回路図の一例で第２図は基
準電圧回路、駆動電圧設定回路及び電圧一時間選択回路
の一例を、又、第３図は時間設定回路、スタート回路及
びストップ回路の一例を示す。 第４図は、直流モーフの電圧一回転速度の特性の一例、
第５図は第２図および第３図による回路の、直流モータ
に供給される出力の時間−電圧特性、第６図はバタフラ
イ弁の時間−弁開度特性、第７図はバタフライ弁周辺の
構造例、第８図はバタフライ弁を示す断面説明図、第９
図はバタフライ弁の開口部面積の特性を示すグラフであ
る。 ■・・・基準電圧回路、 ２・・・駆動電圧設定回路
、 ３・・・基準パルス発生回路、 ４・・・時間
設定回路、 ５・・電圧・時間選択回路。 ６・・・直流モータ、 ７・・・歯車機構。 ８・・・バタフライ弁、 ９・・・スタート回路。 ＩＯ・・・ストップ回路、 １１・・・スタートス
イッチ、 １２・ ・ ・ストップスイッチ。 １３・・・バタフライ弁、 １４・・・回転軸。 １５・・・Ｏリング、 １Ｇ・・カム、 １７
・・・マイクロスイッチ。
び第３図は第１図の具体的な回路図の一例で第２図は基
準電圧回路、駆動電圧設定回路及び電圧一時間選択回路
の一例を、又、第３図は時間設定回路、スタート回路及
びストップ回路の一例を示す。 第４図は、直流モーフの電圧一回転速度の特性の一例、
第５図は第２図および第３図による回路の、直流モータ
に供給される出力の時間−電圧特性、第６図はバタフラ
イ弁の時間−弁開度特性、第７図はバタフライ弁周辺の
構造例、第８図はバタフライ弁を示す断面説明図、第９
図はバタフライ弁の開口部面積の特性を示すグラフであ
る。 ■・・・基準電圧回路、 ２・・・駆動電圧設定回路
、 ３・・・基準パルス発生回路、 ４・・・時間
設定回路、 ５・・電圧・時間選択回路。 ６・・・直流モータ、 ７・・・歯車機構。 ８・・・バタフライ弁、 ９・・・スタート回路。 ＩＯ・・・ストップ回路、 １１・・・スタートス
イッチ、 １２・ ・ ・ストップスイッチ。 １３・・・バタフライ弁、 １４・・・回転軸。 １５・・・Ｏリング、 １Ｇ・・カム、 １７
・・・マイクロスイッチ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、流路内に設けたバタフライ弁と、 該バタフライ弁を回動軸を中心として回転 させ、バタフライ弁の開閉を行う正逆モータと、 前記正逆モータへ供給される駆動電圧を多 段階に設定する駆動電圧設定回路と、 該駆動電圧設定回路で設定される各段階に おける駆動電圧を任意時間前記正逆モータへ供給するよ
うに時間を設定する駆動時間設定回路と、 前記駆動電圧設定回路で設定された駆動電 圧が前記バタフライ弁の開度が小のときに低電圧となり
、開度が大となるに従って高電圧となるように選択する
とともに、この選択された駆動電圧が前記駆動時間設定
回路で設定された時間だけ前記正逆モータへ供給する電
圧・時間選択回路とから成る微少弁開度制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18021584A JPS6159076A (ja) | 1984-08-29 | 1984-08-29 | 微少弁開度制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18021584A JPS6159076A (ja) | 1984-08-29 | 1984-08-29 | 微少弁開度制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6159076A true JPS6159076A (ja) | 1986-03-26 |
Family
ID=16079412
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18021584A Pending JPS6159076A (ja) | 1984-08-29 | 1984-08-29 | 微少弁開度制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6159076A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018537617A (ja) * | 2015-12-17 | 2018-12-20 | ルノー エス．ア．エス．Ｒｅｎａｕｌｔ Ｓ．Ａ．Ｓ． | 過給内燃エンジンを制御するための方法および関連する過給エンジン |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5723751U (ja) * | 1980-06-16 | 1982-02-06 | ||
| JPS58217876A (ja) * | 1982-06-11 | 1983-12-17 | M Syst Giken:Kk | 電動弁制御装置 |
-
1984
- 1984-08-29 JP JP18021584A patent/JPS6159076A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5723751U (ja) * | 1980-06-16 | 1982-02-06 | ||
| JPS58217876A (ja) * | 1982-06-11 | 1983-12-17 | M Syst Giken:Kk | 電動弁制御装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018537617A (ja) * | 2015-12-17 | 2018-12-20 | ルノー エス．ア．エス．Ｒｅｎａｕｌｔ Ｓ．Ａ．Ｓ． | 過給内燃エンジンを制御するための方法および関連する過給エンジン |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4295082A (en) | Pulse width modulated servo circuit | |
| JPS6159076A (ja) | 微少弁開度制御装置 | |
| EP0854995A1 (en) | Fluid control valves | |
| JPH0571656A (ja) | 流体遮断弁制御方法 | |
| TW201906666A (zh) | 粉末控釋裝置 | |
| CN207975273U (zh) | 一种组合节流阀 | |
| CN209378868U (zh) | 一种便于进料的印刷材料生产用混合搅拌装置 | |
| JP3582609B2 (ja) | 局部洗浄装置 | |
| US3220381A (en) | Container closure lining machine | |
| JPH0250614B2 (ja) | ||
| US11992379B1 (en) | Oral health device having a handle with a manifold switching mechanism | |
| JPH07241057A (ja) | 役物用変動速モータ | |
| KR102457170B1 (ko) | 전동개폐기용 리미트장치 | |
| CN220223551U (zh) | 一种高速高频精准加注液体装置 | |
| JPS56152553A (en) | Flexible loader for machine tool | |
| JP2505649B2 (ja) | 風量制御装置 | |
| JPS60125617A (ja) | 射出成形機における射出機構駆動制御装置 | |
| KR0140519B1 (ko) | 도포장치 | |
| JPH0547595Y2 (ja) | ||
| JP3343433B2 (ja) | 変動速モータ | |
| JPS6313969A (ja) | 制御バルブ | |
| JPS6320456Y2 (ja) | ||
| JPH04290448A (ja) | 気相エピタキシャル成長装置 | |
| CN113549878A (zh) | 一种氧化铝疏水薄膜的生产装置及其生产方法 | |
| JPH0238328B2 (ja) |