JPS6158152A - 走査形電子顕微鏡の分析デ−タ処理装置 - Google Patents
走査形電子顕微鏡の分析デ−タ処理装置Info
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- JPS6158152A JPS6158152A JP18011384A JP18011384A JPS6158152A JP S6158152 A JPS6158152 A JP S6158152A JP 18011384 A JP18011384 A JP 18011384A JP 18011384 A JP18011384 A JP 18011384A JP S6158152 A JPS6158152 A JP S6158152A
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ラインプロファイル・モードやストロボによ
る波形観察モードでの一次元像信号を二次元的に並列に
記憶し、その平均値により一次元像を表示することによ
ってＳ／Ｎ比の向上を図った走査形電子顕漱鏡の分析デ
ータ処理装置に関するものである。
る波形観察モードでの一次元像信号を二次元的に並列に
記憶し、その平均値により一次元像を表示することによ
ってＳ／Ｎ比の向上を図った走査形電子顕漱鏡の分析デ
ータ処理装置に関するものである。
走査形電子顕微鏡＜ＳＥＭ：ＳｃａｎｎｒｎｇεＩｅｃ
ｔｒｏｎ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）には、走査モードと
して像モードとラインプロファイル・モードとがある。
ｔｒｏｎ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）には、走査モードと
して像モードとラインプロファイル・モードとがある。
また、ストロボ走査電子顕漱ｍ（ストロボＳＥＭ）には
、ビームを試料上の一点に固定しその点の波形を調べる
モードがある。
、ビームを試料上の一点に固定しその点の波形を調べる
モードがある。
第１図は従来のストロボ走査電子顕微鏡の構成を示す図
であり、１は電子銃、２は電子線、３は収束レンズ、４
は試料ホルダ、５は試料、６は二次電子、７は二次電子
検出器、８と１６は増幅器、９は陰極線管、１０と１１
は偏向コイル、１２は走査電源、１３は静電偏向板、１
４は絞り仮、１５はパルス電子線、１７は遅延回路、１
８は遅延制御回路、１９は試料変化手段、２０はクロッ
ク・パルス発生回路をそれぞれ示している。第１図にお
いて、ＩＣ等の試料５が試料ホルダ４に保持され、電子
銃１から射出された電子線２は、収束レンズ３により収
束された状態で試料５に照射される。この照射により試
料表面からは二次電子６等の量子信号が発生し、二次電
子検出器７により検出される。そして二次電子検出器７
の出力は増幅器８を経て陰極線管９に輝度信号として印
加される。このとき陰極線管９の偏向コイルｌＯには、
試料照射電子線に対する偏向コイル１１と同しく走査電
源１２からの出力信号が供給されているため、陰極線管
９の画面には試料５の走査像が表示される０以上の構成
は通常の走査電子顕微鏡と同しであるが、ストロボ走査
電子ＤＪ、微鏡の場合には、電子銃１の下方に、電子綿
２を高速でブランキングするための静電偏向４ｆｆｌ１
３と絞り板１４からなるブランキング手段が設けられ、
このブランキング手段によって極めて短いパルス幅（例
えば１ ｎＳ）を存するパルス電子線１５が試料５を照
射するように構成されている。静電偏向板１３に印加さ
れるブランキング信号は、クロック・パルス発生回路２
０、遅延回路１７、増幅器１６によって形成され、遅延
回路１７の遅延時間は、遅延制御回路１８の調整によっ
て任意に変えられる。クロック・パルス発生回路２０の
出力の一部は、試料変化手段１９にも供給されており、
試料変化手段１９によりクロック・パルスに同期した一
部パルス（例えばパルス幅５０ｎＳ）の電圧が試料５の
入力端子に印加される。このようにして、試料５に加え
られるパルス電圧に対して同一位相を有するパルス電子
線１５のみによって試料５が照射され、陰極線管９の画
面にはその位相に対応する試料像が表示される。この試
料像は、電子線照射位置（領域）の電位が高いときには
二次電子が引き戻されるため二次電子放出率が低くなっ
て画像中の対応する位置（領域）が暗くなり、逆に、電
子線照射位で（領域）の電位が低いときには二次電子放
出が増えて画像中の対応する位置（領域）が明る（なる
、という現象に基づくものである。このようなストロボ
走査電子顕微鏡は、微細化された最近の半導体デバイス
の故障解析や動作特性の測定の可能な、殆ど唯一の手段
として注目されている。
であり、１は電子銃、２は電子線、３は収束レンズ、４
は試料ホルダ、５は試料、６は二次電子、７は二次電子
検出器、８と１６は増幅器、９は陰極線管、１０と１１
は偏向コイル、１２は走査電源、１３は静電偏向板、１
４は絞り仮、１５はパルス電子線、１７は遅延回路、１
８は遅延制御回路、１９は試料変化手段、２０はクロッ
ク・パルス発生回路をそれぞれ示している。第１図にお
いて、ＩＣ等の試料５が試料ホルダ４に保持され、電子
銃１から射出された電子線２は、収束レンズ３により収
束された状態で試料５に照射される。この照射により試
料表面からは二次電子６等の量子信号が発生し、二次電
子検出器７により検出される。そして二次電子検出器７
の出力は増幅器８を経て陰極線管９に輝度信号として印
加される。このとき陰極線管９の偏向コイルｌＯには、
試料照射電子線に対する偏向コイル１１と同しく走査電
源１２からの出力信号が供給されているため、陰極線管
９の画面には試料５の走査像が表示される０以上の構成
は通常の走査電子顕微鏡と同しであるが、ストロボ走査
電子ＤＪ、微鏡の場合には、電子銃１の下方に、電子綿
２を高速でブランキングするための静電偏向４ｆｆｌ１
３と絞り板１４からなるブランキング手段が設けられ、
このブランキング手段によって極めて短いパルス幅（例
えば１ ｎＳ）を存するパルス電子線１５が試料５を照
射するように構成されている。静電偏向板１３に印加さ
れるブランキング信号は、クロック・パルス発生回路２
０、遅延回路１７、増幅器１６によって形成され、遅延
回路１７の遅延時間は、遅延制御回路１８の調整によっ
て任意に変えられる。クロック・パルス発生回路２０の
出力の一部は、試料変化手段１９にも供給されており、
試料変化手段１９によりクロック・パルスに同期した一
部パルス（例えばパルス幅５０ｎＳ）の電圧が試料５の
入力端子に印加される。このようにして、試料５に加え
られるパルス電圧に対して同一位相を有するパルス電子
線１５のみによって試料５が照射され、陰極線管９の画
面にはその位相に対応する試料像が表示される。この試
料像は、電子線照射位置（領域）の電位が高いときには
二次電子が引き戻されるため二次電子放出率が低くなっ
て画像中の対応する位置（領域）が暗くなり、逆に、電
子線照射位で（領域）の電位が低いときには二次電子放
出が増えて画像中の対応する位置（領域）が明る（なる
、という現象に基づくものである。このようなストロボ
走査電子顕微鏡は、微細化された最近の半導体デバイス
の故障解析や動作特性の測定の可能な、殆ど唯一の手段
として注目されている。
ところで、像モードの場合には二次元像信号が得られる
が、ラインプロファイル・モードやストロボ走査電子顕
微鏡の如き波形を調べるモードの場合には一次元像信号
が得られることになる。従来、これらの信号のＳ／Ｎ比
の向上、その他の信号処理のために、二次元像（８号に
対しては画像処理’ＡＸが用いられ、一次元像信号に対
してはングナル・アベレージヤ−やウェーブフオーム・
アナライザ等が用いられてきた。
が、ラインプロファイル・モードやストロボ走査電子顕
微鏡の如き波形を調べるモードの場合には一次元像信号
が得られることになる。従来、これらの信号のＳ／Ｎ比
の向上、その他の信号処理のために、二次元像（８号に
対しては画像処理’ＡＸが用いられ、一次元像信号に対
してはングナル・アベレージヤ−やウェーブフオーム・
アナライザ等が用いられてきた。
そのため、二次元像信号と一次元像信号に対しては、そ
れぞれ別々の装置が必要とされ、システムが高価になっ
てしまうばかりでな（、さらには、操作も別々に行うこ
とから繁雑になるという問題があった０本発明は、この
ような考察に基づくものであって、特別な手段を付加す
ることなく、簡単な構成の付加により定量的な波形の計
測、波形表示が行える走査形電子顕微鏡の分析データ処
理装置を提供することを目的とするものである。
れぞれ別々の装置が必要とされ、システムが高価になっ
てしまうばかりでな（、さらには、操作も別々に行うこ
とから繁雑になるという問題があった０本発明は、この
ような考察に基づくものであって、特別な手段を付加す
ることなく、簡単な構成の付加により定量的な波形の計
測、波形表示が行える走査形電子顕微鏡の分析データ処
理装置を提供することを目的とするものである。
そのために本発明の走査形電子顕微鏡の分析データ処理
装置は、電子線を射出する電子線発生手段、射出された
電子線を試料上に収束させる収束手段、射出された電子
線を試料上で走査させる偏向手段、射出された電子線を
高速でブランキングするブランキング手段、電子線を照
射することによって試料から発生する量子信号を検出す
る量子信号積化手段、検出された量子信号をディジクル
１＋＋’ｆに変換して画像データとして記ｔαＪ″ろ画
像記憶手段、及び記憶された画像データを表示する画像
データ処理手段を具備し、試料の一次元像信号若しくは
二次元像信号を選択的に検出し得るようになった走査型
電子顕微鏡の分析データ処理装置において、一次元像信
号を検出するための同期信号をもとにアナログ・ディジ
タル変換用同期信号を生成する同期信号生成手段を設け
、一次元像信号を処理する際、画像記憶手段は、一次元
像信号の操り返しパターンを同期信号生成手段で生成さ
れたアナログ・ディジタル変換用向！ＩＩｌ信号により
ディジタル値に変換して二次元的に記憶するとともに、
画像データ処理手段は、画像記憶手段に記憶された一次
元像信号の繰り返しパターンを積算して一次元像の表示
を行うように構成したことを特徴とするものである。
装置は、電子線を射出する電子線発生手段、射出された
電子線を試料上に収束させる収束手段、射出された電子
線を試料上で走査させる偏向手段、射出された電子線を
高速でブランキングするブランキング手段、電子線を照
射することによって試料から発生する量子信号を検出す
る量子信号積化手段、検出された量子信号をディジクル
１＋＋’ｆに変換して画像データとして記ｔαＪ″ろ画
像記憶手段、及び記憶された画像データを表示する画像
データ処理手段を具備し、試料の一次元像信号若しくは
二次元像信号を選択的に検出し得るようになった走査型
電子顕微鏡の分析データ処理装置において、一次元像信
号を検出するための同期信号をもとにアナログ・ディジ
タル変換用同期信号を生成する同期信号生成手段を設け
、一次元像信号を処理する際、画像記憶手段は、一次元
像信号の操り返しパターンを同期信号生成手段で生成さ
れたアナログ・ディジタル変換用向！ＩＩｌ信号により
ディジタル値に変換して二次元的に記憶するとともに、
画像データ処理手段は、画像記憶手段に記憶された一次
元像信号の繰り返しパターンを積算して一次元像の表示
を行うように構成したことを特徴とするものである。
〔作用１
上記の如き構成において、像モードでは、電子線発生手
段から射出された電子線を収束手段により試料上に収束
させ、偏向手段により試料上を二次元的に面走査」−る
、この面走査により発４１．シた量子信号は量子信号検
出手段で検出され、ディジクル値に変換されて画像デー
タとして画像記憶手段に記憶される。そしてこの画像デ
ータがそのまま表示画面に対応して表示出力される。
段から射出された電子線を収束手段により試料上に収束
させ、偏向手段により試料上を二次元的に面走査」−る
、この面走査により発４１．シた量子信号は量子信号検
出手段で検出され、ディジクル値に変換されて画像デー
タとして画像記憶手段に記憶される。そしてこの画像デ
ータがそのまま表示画面に対応して表示出力される。
他方、ラインプロファイル・モードでは、偏向手段によ
り試料上の所定のラインを一次元的に操り返し走査し、
またストロボによる波形観察モードでは、ビーム位置を
固定したままビームを高速でブランキングし、試料状Ｌ
ｉ（例えば試料に印加する電圧等）を周期的に変化させ
て一次元像信号を検出する。この信号は、アナログ・デ
ィジクル変換用同期信号によりディジタル値に変換され
て周期性のある繰り返しの画像データとして画像記憶手
段に並列に記憶される。そしてこの画像データは、画像
データ処理手段により積算され平均化された一次元像で
出力表示される。
り試料上の所定のラインを一次元的に操り返し走査し、
またストロボによる波形観察モードでは、ビーム位置を
固定したままビームを高速でブランキングし、試料状Ｌ
ｉ（例えば試料に印加する電圧等）を周期的に変化させ
て一次元像信号を検出する。この信号は、アナログ・デ
ィジクル変換用同期信号によりディジタル値に変換され
て周期性のある繰り返しの画像データとして画像記憶手
段に並列に記憶される。そしてこの画像データは、画像
データ処理手段により積算され平均化された一次元像で
出力表示される。
以下、実施例を図面を参照しつつ説明する。
第２図は本発明の走査型電子顕微鏡の分析データ処理装
置の１実施例構成を示す図、第３図はストロボによる波
形観察モードでの動作を説明するためのタイムチャート
、第４図は一次元信号の表示出力時の処理を説明するた
めの図、第５図はラインプロファイル・モードでの動作
を説明するためのタイムチャート、第６図は像モードで
の動作を説明するためのタイムチャートである６図にお
いて、２１は電子銃、２２は電子線、２３は収束レンズ
、２４は試料ホルダ、２５は試料、２６は二次電子、２
７は二次電子検出器、２日と３６は増幅器、２９と５０
は陰極線管、３０と３１は偏向コイル、３２は走査電源
、３３は静電偏向板、３４は絞り板、３５はパルス電子
線、３７は切り換え回路、３８はスキャン・ジェネレー
タ、３９はストロボ電源、４０はパルス・ジェネレータ
、４１と４６はクロック発生回路、４２はスキャン・コ
ントロール回路、４３はＩＩＶ演算ユニット、４４はＡ
／Ｄコンバータ、４５は同期制御回路、４７は画像メモ
リ、４８はイメージ・ブロセフサ、４９はビデオ出力回
路１．５１はＩ１０コントロール回路をそれぞれ示して
いる。
置の１実施例構成を示す図、第３図はストロボによる波
形観察モードでの動作を説明するためのタイムチャート
、第４図は一次元信号の表示出力時の処理を説明するた
めの図、第５図はラインプロファイル・モードでの動作
を説明するためのタイムチャート、第６図は像モードで
の動作を説明するためのタイムチャートである６図にお
いて、２１は電子銃、２２は電子線、２３は収束レンズ
、２４は試料ホルダ、２５は試料、２６は二次電子、２
７は二次電子検出器、２日と３６は増幅器、２９と５０
は陰極線管、３０と３１は偏向コイル、３２は走査電源
、３３は静電偏向板、３４は絞り板、３５はパルス電子
線、３７は切り換え回路、３８はスキャン・ジェネレー
タ、３９はストロボ電源、４０はパルス・ジェネレータ
、４１と４６はクロック発生回路、４２はスキャン・コ
ントロール回路、４３はＩＩＶ演算ユニット、４４はＡ
／Ｄコンバータ、４５は同期制御回路、４７は画像メモ
リ、４８はイメージ・ブロセフサ、４９はビデオ出力回
路１．５１はＩ１０コントロール回路をそれぞれ示して
いる。
第２図において、パルス・ジェネレータ４０は、ストロ
ボによる波形観察モードでの基本的な信号を発生するも
のであり、一方の出力より例えばし５１等の試料２５に
第３図図示■の如きドライブ信号を送出し、他方の出力
よりストロボ電１ＩＩＸ３９にトリガを供給している。
ボによる波形観察モードでの基本的な信号を発生するも
のであり、一方の出力より例えばし５１等の試料２５に
第３図図示■の如きドライブ信号を送出し、他方の出力
よりストロボ電１ＩＩＸ３９にトリガを供給している。
ストロボ電６３９は、パルス・ジェネレータ４０からの
トリガをもとに静電偏向板３３にストロボ・パルスを送
出するとともに第３図図示■の如き二次電子検出やスト
ロボ観察波形記憶のための同期信号を送出するものであ
る。その同期信号のトリガ間で波形（一次元像信号）の
−ラインの情報が画像メモリ４７に記憶される。Ｉ１０
コントロール回路５１は、外部Ｃ２０等に接続され、そ
の外部ＣＰＵからの指令やパネル・スイ、子の操作等に
従って、スキャン・コントロール回路４２とＨＶ演算ユ
ニット４３に対して、ディジタル・スキャンの速度（Ｄ
ｗｅｌｌ Ｔｉｍｅの指定）、−ラインの検出点数、試
料上の観察位置等の指定を行うものである。スキャン・
コントロール回路４２は、クロック発生回路４１から同
期信号を受け、Ｉ１０コントロール回路５１で指定され
た所定の時間（Ｄｗｅｌｌ Ｔｉｍｅ）毎にＩＩＶ演算
ユニット４３に！（、■スキャン信号のカウント・アッ
プ用同期信号を出力するとともに、同期制御回路４５と
陰極線管２９の偏向コイル３０に第３図図示■、■の如
きＨ，Ｖ同期信号を供給し、クロック発生回路４６に第
３図図示■の如きＡ／Ｄ変換用同期信号（−ラインの検
出点数に相当）を供給する。 ＨＶ演算ユニ７ト４３は
、Ｈ１■スキャンの初期値、終値、変位幅をＩ１０コン
トロール回路５１から受け、第３図図示■、■の如き対
応するＨ１■スキナン信号を送出する。切り換え回路３
７は、像モードでは、試料面を二次元走査するスキャン
・ジェネレータ３８からのＨ，Ｖスキャン信号を走査電
源３２に供給し、ストロボによる波形観察モードでは、
試料面の所定の領域の一点にビームを固定するＩＩＶ演
算ユニット４３からのＨ１■スキャン信号（第３図図示
■、■）を走査［Ｂ３２に供給する。
トリガをもとに静電偏向板３３にストロボ・パルスを送
出するとともに第３図図示■の如き二次電子検出やスト
ロボ観察波形記憶のための同期信号を送出するものであ
る。その同期信号のトリガ間で波形（一次元像信号）の
−ラインの情報が画像メモリ４７に記憶される。Ｉ１０
コントロール回路５１は、外部Ｃ２０等に接続され、そ
の外部ＣＰＵからの指令やパネル・スイ、子の操作等に
従って、スキャン・コントロール回路４２とＨＶ演算ユ
ニット４３に対して、ディジタル・スキャンの速度（Ｄ
ｗｅｌｌ Ｔｉｍｅの指定）、−ラインの検出点数、試
料上の観察位置等の指定を行うものである。スキャン・
コントロール回路４２は、クロック発生回路４１から同
期信号を受け、Ｉ１０コントロール回路５１で指定され
た所定の時間（Ｄｗｅｌｌ Ｔｉｍｅ）毎にＩＩＶ演算
ユニット４３に！（、■スキャン信号のカウント・アッ
プ用同期信号を出力するとともに、同期制御回路４５と
陰極線管２９の偏向コイル３０に第３図図示■、■の如
きＨ，Ｖ同期信号を供給し、クロック発生回路４６に第
３図図示■の如きＡ／Ｄ変換用同期信号（−ラインの検
出点数に相当）を供給する。 ＨＶ演算ユニ７ト４３は
、Ｈ１■スキャンの初期値、終値、変位幅をＩ１０コン
トロール回路５１から受け、第３図図示■、■の如き対
応するＨ１■スキナン信号を送出する。切り換え回路３
７は、像モードでは、試料面を二次元走査するスキャン
・ジェネレータ３８からのＨ，Ｖスキャン信号を走査電
源３２に供給し、ストロボによる波形観察モードでは、
試料面の所定の領域の一点にビームを固定するＩＩＶ演
算ユニット４３からのＨ１■スキャン信号（第３図図示
■、■）を走査［Ｂ３２に供給する。
Ａ／Ｄコンバータ４４は、クロック発生回路４６からの
クロックをもとに二次電子検出器２７で検出された像信
号を画像データ（ディジタル値）に変換するものであり
、この画像データは同期制御回路４５によリーラインず
つ並列に画像メモリ４７に格納される。同期制御回路４
５は、第３図図示■、■の如きＨ，Ｖ同ｊｌＪｌ信号及
びクロック発生回路４６からのクロックをもとにへ／Ｄ
コンバータ４４から画像メモリ４７に一ラインずつ画像
データを格納するように同期制御するものである０例え
ば第３図図示■の一次元像信号は、第３図図示しを一ラ
インとして画像メモリ４７に並列に格納される。
クロックをもとに二次電子検出器２７で検出された像信
号を画像データ（ディジタル値）に変換するものであり
、この画像データは同期制御回路４５によリーラインず
つ並列に画像メモリ４７に格納される。同期制御回路４
５は、第３図図示■、■の如きＨ，Ｖ同ｊｌＪｌ信号及
びクロック発生回路４６からのクロックをもとにへ／Ｄ
コンバータ４４から画像メモリ４７に一ラインずつ画像
データを格納するように同期制御するものである０例え
ば第３図図示■の一次元像信号は、第３図図示しを一ラ
インとして画像メモリ４７に並列に格納される。
次に、上述の如く画像メモリ４７に格納された画像デー
タを出力する場合の本発明の装置による処理を第４図を
参照しつつ説明する０画像メモリ４７には、先に述べた
如く、水平方向の一ライン毎に周期的な悄輯（一次元像
信号）が複数ライン並列に格納されるので、これを出力
表示する際、イメージ・プロセッサ４８は、画像メモリ
４７の全ラインの縦方向の情ｆｉｌＡを読み込み、これ
を積算した一次元像信号Ｂを生成する。そしてこの一次
元像信号Ｂをビデオ出力口８４９を通して陰極線管５ｏ
に表示出力する。
タを出力する場合の本発明の装置による処理を第４図を
参照しつつ説明する０画像メモリ４７には、先に述べた
如く、水平方向の一ライン毎に周期的な悄輯（一次元像
信号）が複数ライン並列に格納されるので、これを出力
表示する際、イメージ・プロセッサ４８は、画像メモリ
４７の全ラインの縦方向の情ｆｉｌＡを読み込み、これ
を積算した一次元像信号Ｂを生成する。そしてこの一次
元像信号Ｂをビデオ出力口８４９を通して陰極線管５ｏ
に表示出力する。
また、ラインプロファイル・モードでは、第５図図示の
如く、■スキャン信号を固定し、ト１スキャン信号を変
化させて試料上の所定のラインの走査を一次元的に繰り
返し行い、その結果検出された量子信号をＨ，Ｖ同期信
号の制御の下でアナログ・ディジタル変換してストロボ
による波形観察モードの場合と同様に周期的な一次元像
信号として画像メモリに並列に格納する。像モードでの
Ｈ１Ｖスキャン信号、Ｈ５■同期信号等のタイムチャー
トを示したのが第６図であるが、従来がら行われている
内容と同様であるので説明は省略する。
如く、■スキャン信号を固定し、ト１スキャン信号を変
化させて試料上の所定のラインの走査を一次元的に繰り
返し行い、その結果検出された量子信号をＨ，Ｖ同期信
号の制御の下でアナログ・ディジタル変換してストロボ
による波形観察モードの場合と同様に周期的な一次元像
信号として画像メモリに並列に格納する。像モードでの
Ｈ１Ｖスキャン信号、Ｈ５■同期信号等のタイムチャー
トを示したのが第６図であるが、従来がら行われている
内容と同様であるので説明は省略する。
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、走査
型電子顕微鏡で得られる一次元の波形と二次元の画像の
保存形式が同じであるので、分析データの操作、維持が
容易になるとともに、従来波形の表示のために必要とさ
れていた、高価なシグナル・アベレージヤ等も不要とな
り、さらに上述の如きデータ処理は市販の画像処理装置
を用いて実現できるので、装置全体のコスト・ダウンを
はかることができる。また、波形（または数波長）毎の
信号の４ｆｌ算を行うので、高いＳ／Ｎ比をもった波形
出力を得ることができる。
型電子顕微鏡で得られる一次元の波形と二次元の画像の
保存形式が同じであるので、分析データの操作、維持が
容易になるとともに、従来波形の表示のために必要とさ
れていた、高価なシグナル・アベレージヤ等も不要とな
り、さらに上述の如きデータ処理は市販の画像処理装置
を用いて実現できるので、装置全体のコスト・ダウンを
はかることができる。また、波形（または数波長）毎の
信号の４ｆｌ算を行うので、高いＳ／Ｎ比をもった波形
出力を得ることができる。
第１図は従来のストロボ走査電子ｗ４徽鏡の構成を示す
図、第２図は本発明の走査型電子顕微鏡の分析データ処
理装置の１実施例構成を示す図、第３図はストロボによ
る波形観察モードでの動作を説明するためのタイムチャ
ート、第４Ｕ！Ｊは一次元信号の表示出力時の処理を説
明するための図、第５図はラインプロファイル・モード
での動作を説明するためのタイムチャート、第６図は像
モードでの動作を説明するためのタイムチャートである
。 ｌと２１・・・電子銃、２と２２・・・電子線、３と２
３・・・収束レンズ、４と２４・・・試料ホルダ、５と
２５・・・試料、６と２６・・・二次電子、７と２７・
・・二次電子検出器、８．１６．２８と３６−・・増幅
器、９．２９と５０・・・陰極線管、１０゜１１、３０
と３１・・・偏向コイル、１２と３２・・・走査電源、
１３と３３・・・静電偏向板、１４と３４・・・絞り板
、１５と３５・・・パルス電子線、１７・・・遅延回路
、１８・・・遅延制御回路、１９・・・試料変化手段、
２０・・・クロ７り・パルス発生回路、３７・・・切り
換え回路、３８・・・スキャン・ジＪ、不レーク、３９
・・・ストロボ電源、４０・・・パルス・ジ二不レータ
、４１と４６・・・クロック発生回路、４２・・・スキ
ャン・コントロール回路、４３・・・ＩＩＶ演算ユニッ
ト、４４・・・＾／Ｄコンバータ、４５・・・同ｊｌＪ
ｌ制御回路、４７・・・画像メモリ、４８・・・イメー
ジ・プロセッサ、４９・・・ビテ゛オ出力回路、５１・
・・ｆ１０コントロール回路。 特許出願人 日本電子株式会社 代理人弁理士 阿 部 龍 吉 プ ３ 品 智 ５ ｍ Ｈスτ、ン伴弓、−’１．−−−−−’Ｌ −−−
−−−−−−−−−−−ｕｙｚ壓イン侶男 Ｈ同ｌ−９イ１４−−−−−−−−−一″−−−−−”
−Ｕプ ６ 図
図、第２図は本発明の走査型電子顕微鏡の分析データ処
理装置の１実施例構成を示す図、第３図はストロボによ
る波形観察モードでの動作を説明するためのタイムチャ
ート、第４Ｕ！Ｊは一次元信号の表示出力時の処理を説
明するための図、第５図はラインプロファイル・モード
での動作を説明するためのタイムチャート、第６図は像
モードでの動作を説明するためのタイムチャートである
。 ｌと２１・・・電子銃、２と２２・・・電子線、３と２
３・・・収束レンズ、４と２４・・・試料ホルダ、５と
２５・・・試料、６と２６・・・二次電子、７と２７・
・・二次電子検出器、８．１６．２８と３６−・・増幅
器、９．２９と５０・・・陰極線管、１０゜１１、３０
と３１・・・偏向コイル、１２と３２・・・走査電源、
１３と３３・・・静電偏向板、１４と３４・・・絞り板
、１５と３５・・・パルス電子線、１７・・・遅延回路
、１８・・・遅延制御回路、１９・・・試料変化手段、
２０・・・クロ７り・パルス発生回路、３７・・・切り
換え回路、３８・・・スキャン・ジＪ、不レーク、３９
・・・ストロボ電源、４０・・・パルス・ジ二不レータ
、４１と４６・・・クロック発生回路、４２・・・スキ
ャン・コントロール回路、４３・・・ＩＩＶ演算ユニッ
ト、４４・・・＾／Ｄコンバータ、４５・・・同ｊｌＪ
ｌ制御回路、４７・・・画像メモリ、４８・・・イメー
ジ・プロセッサ、４９・・・ビテ゛オ出力回路、５１・
・・ｆ１０コントロール回路。 特許出願人 日本電子株式会社 代理人弁理士 阿 部 龍 吉 プ ３ 品 智 ５ ｍ Ｈスτ、ン伴弓、−’１．−−−−−’Ｌ −−−
−−−−−−−−−−−ｕｙｚ壓イン侶男 Ｈ同ｌ−９イ１４−−−−−−−−−一″−−−−−”
−Ｕプ ６ 図
Claims (1)
- 電子線を射出する電子線発生手段、射出された電子線を
試料上に収束させる収束手段、射出された電子線を試料
上で走査させる偏向手段、射出された電子線を高速でブ
ランキングするブランキング手段、電子線を照射するこ
とによって試料から発生する量子信号を検出する量子信
号検出手段、検出された量子信号をディジタル値に変換
して画像データとして記憶する画像記憶手段、及び記憶
された画像データを表示する画像データ処理手段を具備
し、試料の一次元像信号若しくは二次元像信号を選択的
に検出し得るようになった走査形電子顕微鏡の分析デー
タ処理装置において、一次元像信号を検出するための同
期信号をもとにアナログ・ディジタル変換用同期信号を
生成する同期信号生成手段を設け、一次元像信号を処理
する際、画像記憶手段は、一次元像信号の繰り返しパタ
ーンを同期信号生成手段で生成されたアナログ・ディジ
タル変換用同期信号によりディジタル値に変換して二次
元的に記憶するとともに、画像データ処理手段は、画像
記憶手段に記憶された一次元像信号の繰り返しパターン
を積算して一次元像の表示を行うように構成したことを
特徴とする走査形電子顕微鏡の分析データ処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18011384A JPS6158152A (ja) | 1984-08-29 | 1984-08-29 | 走査形電子顕微鏡の分析デ−タ処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18011384A JPS6158152A (ja) | 1984-08-29 | 1984-08-29 | 走査形電子顕微鏡の分析デ−タ処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6158152A true JPS6158152A (ja) | 1986-03-25 |
Family
ID=16077643
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18011384A Pending JPS6158152A (ja) | 1984-08-29 | 1984-08-29 | 走査形電子顕微鏡の分析デ−タ処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6158152A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58150256A (ja) * | 1982-03-01 | 1983-09-06 | Toshiba Corp | ストロボ走査型電子顕微鏡装置 |
| JPS58197643A (ja) * | 1982-05-12 | 1983-11-17 | Toshiba Corp | ストロボ走査電子顕微鏡装置 |
-
1984
- 1984-08-29 JP JP18011384A patent/JPS6158152A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58150256A (ja) * | 1982-03-01 | 1983-09-06 | Toshiba Corp | ストロボ走査型電子顕微鏡装置 |
| JPS58197643A (ja) * | 1982-05-12 | 1983-11-17 | Toshiba Corp | ストロボ走査電子顕微鏡装置 |
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