JPS6155338U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6155338U JPS6155338U JP14022384U JP14022384U JPS6155338U JP S6155338 U JPS6155338 U JP S6155338U JP 14022384 U JP14022384 U JP 14022384U JP 14022384 U JP14022384 U JP 14022384U JP S6155338 U JPS6155338 U JP S6155338U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- cleaning device
- polishing means
- probe cleaning
- semiconductor wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 9
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 6
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第1図は、この発明をウエハプローバに適用し
た場合の要部概略断面図、第2図は、そのウエハ
チヤツクトツプと洗浄装置の上面図である。 1…ウエハチヤツクトツプ、2…洗浄装置、3
…アーム、3a…防振板、4…固定プローブボー
ド、5…プローブ、6…ボード取付台、7…押え
治具、8…ネジ。
た場合の要部概略断面図、第2図は、そのウエハ
チヤツクトツプと洗浄装置の上面図である。 1…ウエハチヤツクトツプ、2…洗浄装置、3
…アーム、3a…防振板、4…固定プローブボー
ド、5…プローブ、6…ボード取付台、7…押え
治具、8…ネジ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 1 振動子に取り付けられた研磨手段と、この研
磨手段の表面に半導体チツプの測定のための固定
プローブの尖端を接触させる固定プローブボード
・ホルダーとを含むことを特徴とするプローブ洗
浄装置。 2 上記研磨手段は、セラミツク板により構成さ
れるものであることを特徴とする実用新案登録請
求の範囲第1項記載のプローブ洗浄装置。 3 上記プローブ洗浄装置は、半導体ウエハプロ
ーバに取り付けられるものであり、上記固定プロ
ーブボード・ホルダーは、半導体ウエハプローバ
のそれと供用されるものであることを特徴とする
実用新案登録請求の範囲第1又は第2項記載のプ
ローブ洗浄装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14022384U JPS6155338U (ja) | 1984-09-14 | 1984-09-14 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14022384U JPS6155338U (ja) | 1984-09-14 | 1984-09-14 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6155338U true JPS6155338U (ja) | 1986-04-14 |
Family
ID=30698579
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14022384U Pending JPS6155338U (ja) | 1984-09-14 | 1984-09-14 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6155338U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS64742A (en) * | 1987-03-24 | 1989-01-05 | Tokyo Electron Ltd | Probing device |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56133843A (en) * | 1980-03-21 | 1981-10-20 | Nec Corp | Probe grinder for probe card |
JPS5814608U (ja) * | 1981-07-23 | 1983-01-29 | 三陽工業株式会社 | マイクロホンコ−ド |
-
1984
- 1984-09-14 JP JP14022384U patent/JPS6155338U/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56133843A (en) * | 1980-03-21 | 1981-10-20 | Nec Corp | Probe grinder for probe card |
JPS5814608U (ja) * | 1981-07-23 | 1983-01-29 | 三陽工業株式会社 | マイクロホンコ−ド |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS64742A (en) * | 1987-03-24 | 1989-01-05 | Tokyo Electron Ltd | Probing device |
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