JPH01143132U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01143132U JPH01143132U JP3940288U JP3940288U JPH01143132U JP H01143132 U JPH01143132 U JP H01143132U JP 3940288 U JP3940288 U JP 3940288U JP 3940288 U JP3940288 U JP 3940288U JP H01143132 U JPH01143132 U JP H01143132U
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- JP
- Japan
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- Pending
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 4
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例１を示す断面図、第２
図は実施例２を示す断面図である。 １…プローバーのステージ、２…ウエハー、３
…プローブカード、４…プローブカード支持部、
５…スプリング、６…ゴムパツド。
図は実施例２を示す断面図である。 １…プローバーのステージ、２…ウエハー、３
…プローブカード、４…プローブカード支持部、
５…スプリング、６…ゴムパツド。
Claims (1)
- デバイスのウエハー状態での測定を行うプロー
ブカードをプローブカード支持部に針圧吸収部を
介して弾性支持したことを特徴とする半導体用検
査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3940288U JPH01143132U (ja) | 1988-03-25 | 1988-03-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3940288U JPH01143132U (ja) | 1988-03-25 | 1988-03-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01143132U true JPH01143132U (ja) | 1989-10-02 |
Family
ID=31265907
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3940288U Pending JPH01143132U (ja) | 1988-03-25 | 1988-03-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01143132U (ja) |
-
1988
- 1988-03-25 JP JP3940288U patent/JPH01143132U/ja active Pending