JPH01157428U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01157428U JPH01157428U JP4702588U JP4702588U JPH01157428U JP H01157428 U JPH01157428 U JP H01157428U JP 4702588 U JP4702588 U JP 4702588U JP 4702588 U JP4702588 U JP 4702588U JP H01157428 U JPH01157428 U JP H01157428U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- scratch
- needle
- inspecting
- bringing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
- 239000003550 marker Substances 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例に係わる半導体ウエ
ハプロービング装置の概略説明図、第２図は本考
案をスクラツチマーカーに適用した実施例の概略
説明図、第３図は固定ベース、可動ベースの概略
断面図、第４図は支持機構の変形例を示す概略説
明図、第５図はスクラツチマーキングの一例を示
す概略説明図である。 １０……スクラツチマーカー、１２……半導体
ウエハ、２１……固定ベース、２２……可動ベー
ス、２４……上下動ベース、４０，４１……弾性
部材。
ハプロービング装置の概略説明図、第２図は本考
案をスクラツチマーカーに適用した実施例の概略
説明図、第３図は固定ベース、可動ベースの概略
断面図、第４図は支持機構の変形例を示す概略説
明図、第５図はスクラツチマーキングの一例を示
す概略説明図である。 １０……スクラツチマーカー、１２……半導体
ウエハ、２１……固定ベース、２２……可動ベー
ス、２４……上下動ベース、４０，４１……弾性
部材。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 半導体ウエハに形成された各チツプを検査し、
この検査結果に基づき、スクラツチ針を半導体ウ
エハに対して押圧接触させることにより、マーキ
ングを実行する半導体ウエハプロービング装置に
おいて、 上記スクラツチ針を支持するスクラツチマーカ
ーを弾性的に支持したことを特徴とする半導体ウ
エハプロービング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4702588U JPH01157428U (ja) | 1988-04-07 | 1988-04-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4702588U JPH01157428U (ja) | 1988-04-07 | 1988-04-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01157428U true JPH01157428U (ja) | 1989-10-30 |
Family
ID=31273259
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4702588U Pending JPH01157428U (ja) | 1988-04-07 | 1988-04-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01157428U (ja) |
-
1988
- 1988-04-07 JP JP4702588U patent/JPH01157428U/ja active Pending
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