JPH0180931U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0180931U JPH0180931U JP1987177432U JP17743287U JPH0180931U JP H0180931 U JPH0180931 U JP H0180931U JP 1987177432 U JP1987177432 U JP 1987177432U JP 17743287 U JP17743287 U JP 17743287U JP H0180931 U JPH0180931 U JP H0180931U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- main surface
- ceramic
- probing device
- placing
- utility
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000010330 laser marking Methods 0.000 claims 1
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Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第1図は本考案の第1の実施例のプロービング
装置を示す断面図、第2図は本考案の第2の実施
例のプロービング装置を示す断面図である。 1……セラミツク、2……アルミニウム製ウエ
ハ・ステージ、3……真空溝、4……金メツキ。
装置を示す断面図、第2図は本考案の第2の実施
例のプロービング装置を示す断面図である。 1……セラミツク、2……アルミニウム製ウエ
ハ・ステージ、3……真空溝、4……金メツキ。
Claims (1)
- ウエハ・ステージの主表面に半導体ウエハを載
置し、レーザ・マーキングを行うプロービング装
置において、前記主表面が部分的に、セラミツク
で覆われていることを特徴とするプロービング装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987177432U JPH0180931U (ja) | 1987-11-19 | 1987-11-19 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987177432U JPH0180931U (ja) | 1987-11-19 | 1987-11-19 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0180931U true JPH0180931U (ja) | 1989-05-30 |
Family
ID=31469096
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1987177432U Pending JPH0180931U (ja) | 1987-11-19 | 1987-11-19 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0180931U (ja) |
-
1987
- 1987-11-19 JP JP1987177432U patent/JPH0180931U/ja active Pending