JPS6154689A - 光半導体装置 - Google Patents

光半導体装置

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Publication number
JPS6154689A
JPS6154689A JP17601384A JP17601384A JPS6154689A JP S6154689 A JPS6154689 A JP S6154689A JP 17601384 A JP17601384 A JP 17601384A JP 17601384 A JP17601384 A JP 17601384A JP S6154689 A JPS6154689 A JP S6154689A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical semiconductor
light
beams
output
reflected
Prior art date
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Pending
Application number
JP17601384A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshiyasu Sugano
菅野 好泰
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP17601384A priority Critical patent/JPS6154689A/ja
Publication of JPS6154689A publication Critical patent/JPS6154689A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (1)発明の技術分野 本発明は光半導体装置に係り、特に光半導体素子のモニ
タ光出力の反射光の前方向光出力への重畳を防止した装
置に関するものである。
(2)技術の背景 近年光レーザなどの光半導体素子が開発され、現在では
例えば半導体レーザなどは電子技術分野に限らずさまざ
まの分野で盛んに使用されている。
それだけに発光出力等の信頼性の極めて高いものが現在
では要望されている。
(3)従来技術の問題点 第3図は従来の光半導体装置の一例を示す断面図、第4
図はこの装置のキャンプを取り除いた状態の平面図であ
る。
装置本体はステム1と窓3付のキャップ2で構成され、
装置本体内には発光素子8と受光素子5が所定位置に取
り付けられている。発光素子8はサブマウント7を介し
てヒートシンク6に取り付けられ、また受光素子5は上
記発光素子8の後方向の光出力Bが検知されるステム1
」二の所定位置に取り付けられる。受光素子5は発光素
子8の後方向光出力Bをモニタ光として検知し、どのよ
うな状態の光が発光素子゛8から出力されているかを検
知するためのものである。なお、第4図中、9は発光素
子8用電極、10は受光素子5用電極である。
このような構成において、発光素子8ば所定の光を出力
し、光半導体装置としての機能を果す。
しかしながら、上記構成では発光素子8の後方向へ出力
した光Bの一部がステ広面や受光素子電極等で反射し発
光素子8の前方向光出力Aに重畳してしまう。これでは
実際に利用される発光素子8の前方向の光出力Aの正確
な評価ができない。そこで受光素子5を傾は反射光の重
畳を防止したり、あるいは受光素子5の面積を大きくし
て反射量を減少させる方法も行われているが、受光素子
5を傾けると受光電流が減少して正確なモニタが期待で
きなくなり、また受光素子50面積を大きくすると素子
が大型化してコストアンプにつながってしまう。
(4)発明の目的 本発明は上記従来の欠点に鑑み、簡単な構成にて光半導
体素子の後方向出力の反射光が前方向光出力へ重畳する
ことを防止した光半導体装置を提供することを目的とす
る。
(5)発明の構成 上記目的は本発明によれば、半導体レーザなどの光半導
体素子と、該光半導体素子のモニタ光を検出するモニタ
手段とを備えた光半導体装置において、前記光半導体素
子の近傍に前記光半導体素子のモニタ光出力の反射光の
前方向光出力への重畳を防止する遮蔽板を設けたことを
特徴とする光半導体装置を提供することよって達成され
る。
(6)発明の実施例 以下本発明の実施例について図面を参照しながら詳述す
る。
第1図は本発明の一実施例を示す光半導体装置の断面図
、第2図はこの装置のキャップを取り除いた状態の平面
図である。
本発明の光半導体装置ばステム11.キャップ12、窓
部材13.受光素子15.ヒートシンク16、光半導体
素子1Bおよびシールドリング19から構成される。
光半導体素子18としては例えばレーザダイオードなど
が使用される。光半導体素子18はステム11上に設け
られたヒートシンク16にサブマウントL7を介して取
り付けられている。本実施例ではステム11は鉄、ヒー
トシンク16は銅、サブマウント17はシリコンあるい
はダイアモンドが使用されている。
受光素子15はステム11上の所定位置に取り付けられ
、前記光半導体素子1Bの後方向への光出力Bをモニタ
光として検知する。
またシールドリング19はその最上部が光半導体素子1
8に料量し、しかも光半導体素子18とほぼ同じ高さと
なり窓部Wをその下方から覆うように構成された半円状
部191とこれと直交外周部で支持する脚部192と脚
部191の底部であってステム上に窓部Wの外周に対応
してリング状に形成されたリング部193とからなる。
一方、実施例光半導体素子18.受光素子15等を内封
するようにコバルト等からなるキャンプ12がステム1
1にに取り付けられている。キャ −・・プ12上部に
は所定の大きさの開口部が形成さ ′れ、この開口部は
窓部材13によって覆われ窓部Wを形成している。窓部
材13には光半導体素子18から出力された光を透過す
るような軟質ガラスやサファイヤ等が使用される。窓部
材13はキャップ12の開口部にロウ剤14によって固
定され窓部Wは堅密封止状態となっている。
なお第2図中、20は光半導体素子18用電極、21ば
受光素子15用電極である 以上の構成において光半導体素子18の前方向より出力
された光Aは窓部Wを通過して装置外へ放射される一方
、光半導体素子18の後方向より出力された光Bは受光
素子15でモニタされその出力状態が検出される。ここ
で光半導体素子18の後方向光出力Bの一部が反射した
場合、その反射光は本実施例の構成によればシールドリ
ング19によって遮蔽されてしまう。シールドリング1
9には例えば鉄などが使用されるが、遮蔽効果を考えた
場合シールドリング19表面は黒色の粗面状態のものが
望ましい。すなわち光半導体素子18の後方向出力13
の反射光がシールドリング19によって遮蔽されてしま
うと、光半導体素子18の前方向光出力Aに重畳されな
いので、実際に利用される光半導体素子18の前方向の
光出力Aの正確な評価を行うことができる。
上記実施例ではモニタ光検出用として受光素子6一 15とステム11上に配設したが、受光素子15をステ
ム11」二に設げず、このステム11の受光素子15が
置かれていたところに相当する部分を透明にしてモニタ
光をステム外部に引き出してモニタ光検出にもよく、か
かる実施例にも本発明は適用できる。
(7)発明の効果 以上詳細に説明したように、本発明の光半導体装置によ
れば、簡単な構成にて光半導体素子の後方向光出力の反
射光が前方向光出力へ重畳することを防止したので、放
射パターンが均一となり、光半導体装置としての光出力
評価も正確に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す光半導体装置の断面図
、第2図は本発明の一実施例におけるキャンプを取り除
いた状態の平面図、第3図は従来の光半導体装置の一例
を示す断面図、第4図は従来の装置のキャップを取り除
いた状態の平面図である。 1.11・・・ステム、    2,12パ・・キャン
プ、   3.13・・・窓部材、4.14・・・ロウ
剤、   5,15・・・受光素子、    6.16
・・・ヒートシンク、18・・・光半導体素子、   
19・・・シールドリング。 n     ■

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 半導体レーザなどの光半導体素子と、該光半導体素子の
    モニタ光を検出するモニタ手段とを備えた光半導体装置
    において、前記光半導体素子の近傍に前記光半導体素子
    のモニタ光出力の反射光の前方向光出力への重畳を防止
    する遮蔽板を設けたことを特徴とする光半導体装置。
JP17601384A 1984-08-24 1984-08-24 光半導体装置 Pending JPS6154689A (ja)

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0543564U (ja) * 1991-11-13 1993-06-11 株式会社東芝 半導体レーザ装置
WO1994008367A1 (en) * 1992-10-07 1994-04-14 Diomed Limited Laser diode assembly
JPH0645363U (ja) * 1992-11-27 1994-06-14 シャープ株式会社 半導体レーザ素子
EP0622874A1 (de) * 1993-04-24 1994-11-02 Robert Bosch Gmbh Anordnung zur Ankopplung eines optoelektronischen Empfangselementes an ein optoelektronisches Sendeelement
EP0693808A1 (en) * 1994-07-21 1996-01-24 Nec Corporation Semiconductor light-emitting device having oblique top surface of stem for eliminating stray light

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