JPS6154039A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
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- JPS6154039A JPS6154039A JP59176166A JP17616684A JPS6154039A JP S6154039 A JPS6154039 A JP S6154039A JP 59176166 A JP59176166 A JP 59176166A JP 17616684 A JP17616684 A JP 17616684A JP S6154039 A JPS6154039 A JP S6154039A
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- magnetic recording
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- magnetic
- nitrogen
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/85—Coating a support with a magnetic layer by vapour deposition
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/68—Record carriers characterised by the selection of the material comprising one or more layers of magnetisable material homogeneously mixed with a bonding agent
- G11B5/70—Record carriers characterised by the selection of the material comprising one or more layers of magnetisable material homogeneously mixed with a bonding agent on a base layer
- G11B5/706—Record carriers characterised by the selection of the material comprising one or more layers of magnetisable material homogeneously mixed with a bonding agent on a base layer characterised by the composition of the magnetic material
- G11B5/70605—Record carriers characterised by the selection of the material comprising one or more layers of magnetisable material homogeneously mixed with a bonding agent on a base layer characterised by the composition of the magnetic material metals or alloys
- G11B5/70615—Record carriers characterised by the selection of the material comprising one or more layers of magnetisable material homogeneously mixed with a bonding agent on a base layer characterised by the composition of the magnetic material metals or alloys containing Fe metal or alloys
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は磁気記録媒体の製造方法に関し、より詳細には
ビデオテープ等として使用される非バインダー型の磁気
記録媒体の製造方法に関するものである。
ビデオテープ等として使用される非バインダー型の磁気
記録媒体の製造方法に関するものである。
（従来技術）
従来より磁気記録媒体とじては、有機バインダー中に分
散させた粉末磁性材料を非磁性基体上に塗布し乾燥させ
てなる塗布型のものが広く使用されてきている。しかし
ながら、従来の塗布型磁気記録媒体は、磁性材料として
強磁性金属よりも飽和磁化の小さい金属酸化物を主とし
て用いているため高密度記録には適しておらず、また製
造工程がＭＩＮＩであり、溶剤回収あるいは公害防止の
ために大規模な附帯設備を有するという欠点を有してい
る。
散させた粉末磁性材料を非磁性基体上に塗布し乾燥させ
てなる塗布型のものが広く使用されてきている。しかし
ながら、従来の塗布型磁気記録媒体は、磁性材料として
強磁性金属よりも飽和磁化の小さい金属酸化物を主とし
て用いているため高密度記録には適しておらず、また製
造工程がＭＩＮＩであり、溶剤回収あるいは公害防止の
ために大規模な附帯設備を有するという欠点を有してい
る。
これに対し、近年高密度記録への要求の高まりと共に真
空蒸着、スパッタリング、イオンブレーティング等のベ
ーパーデポジション法あるいは電気メッキ、無電解メッ
キ等のメッキ法により形成される強磁性薄膜を磁気記録
層とする、バインダーを使用しない、いわゆる非バイン
ダー型磁気記録媒体が実用化されるに到った。非バイン
ダー型磁気記録媒体においては塗布型磁気記録媒体に使
用される金属酸化物よりも飽和磁化の大きな強磁性金属
をバインダーのごとき非磁性物質を含有しない状態で薄
膜として形成させることが可能であるため、塗布型と比
較して高保磁力化およびＮｍ化が達成でき、しかも製造
工程が簡略化され、有機溶媒による公害も防止されると
いう利点を有している。特に非バインダー型磁気記録媒
体記録層はその厚さを塗布型よりも一桁小さな値とする
ことが可能であるため、高密度記録用磁気記録媒体どし
て注目されている。
空蒸着、スパッタリング、イオンブレーティング等のベ
ーパーデポジション法あるいは電気メッキ、無電解メッ
キ等のメッキ法により形成される強磁性薄膜を磁気記録
層とする、バインダーを使用しない、いわゆる非バイン
ダー型磁気記録媒体が実用化されるに到った。非バイン
ダー型磁気記録媒体においては塗布型磁気記録媒体に使
用される金属酸化物よりも飽和磁化の大きな強磁性金属
をバインダーのごとき非磁性物質を含有しない状態で薄
膜として形成させることが可能であるため、塗布型と比
較して高保磁力化およびＮｍ化が達成でき、しかも製造
工程が簡略化され、有機溶媒による公害も防止されると
いう利点を有している。特に非バインダー型磁気記録媒
体記録層はその厚さを塗布型よりも一桁小さな値とする
ことが可能であるため、高密度記録用磁気記録媒体どし
て注目されている。
しかしながら、非バインダー型磁気記録媒体の磁性薄膜
は腐蝕されやすいため、該記録媒体は塗ｒｌＴ型磁気記
録媒体と比較して耐候性および耐錆性が劣っている。特
にビデオテープ等として使用される磁気記録媒体は記録
・再生時に該媒体表面が磁気ヘッドで擦られるため、極
めて軽度であっても錆が該媒体表面上に存在していると
ヘッドに目詰りが生じ、この結果、媒体およびヘッドが
傷つくことになる。さらに錆の程度が甚しくなると磁性
泪膜が剥離して、記録されていた情報の消失を招くこと
もある。
は腐蝕されやすいため、該記録媒体は塗ｒｌＴ型磁気記
録媒体と比較して耐候性および耐錆性が劣っている。特
にビデオテープ等として使用される磁気記録媒体は記録
・再生時に該媒体表面が磁気ヘッドで擦られるため、極
めて軽度であっても錆が該媒体表面上に存在していると
ヘッドに目詰りが生じ、この結果、媒体およびヘッドが
傷つくことになる。さらに錆の程度が甚しくなると磁性
泪膜が剥離して、記録されていた情報の消失を招くこと
もある。
さらに、非バインダー型磁気記録媒体に係る問題として
耐久性がある。すなわち、ＶＴＲにおけるスチル耐久性
等において非バインダー型磁気記録媒体は塗布型磁気記
録媒体に劣っているため、その改良が実用上切望されて
いる。
耐久性がある。すなわち、ＶＴＲにおけるスチル耐久性
等において非バインダー型磁気記録媒体は塗布型磁気記
録媒体に劣っているため、その改良が実用上切望されて
いる。
こうした非バインダー型磁気記録媒体の耐候性。
耐久性を改良する方法として、イオンプレーテングによ
り表面窒化処理を施す方法（特開昭５０−３３８０６号
）、スパッタにより窒化硅素膜を設ける方法（特開昭５
３−３０３０４号）、磁性膜を窒素ガス等の雰囲気中で
の放電にさらして非磁性表面層を形成する方法（特ＯＨ
昭５３−８５４０３号）、磁性金、属薄股上に窒化され
た金ｒｆＡ薄膜を設ける方法（特開昭５４−１４３１１
１号）等が知られているが耐候性、耐久性の改良が不十
分で効果を得るには膜厚を大きくせねばならぬ等の欠点
があった。非磁性保護膜は膜厚が大きいと電磁変換特性
上劣化が著しく非バインダー型磁気記録媒体の特徴が失
われてしまう。
り表面窒化処理を施す方法（特開昭５０−３３８０６号
）、スパッタにより窒化硅素膜を設ける方法（特開昭５
３−３０３０４号）、磁性膜を窒素ガス等の雰囲気中で
の放電にさらして非磁性表面層を形成する方法（特ＯＨ
昭５３−８５４０３号）、磁性金、属薄股上に窒化され
た金ｒｆＡ薄膜を設ける方法（特開昭５４−１４３１１
１号）等が知られているが耐候性、耐久性の改良が不十
分で効果を得るには膜厚を大きくせねばならぬ等の欠点
があった。非磁性保護膜は膜厚が大きいと電磁変換特性
上劣化が著しく非バインダー型磁気記録媒体の特徴が失
われてしまう。
このような状況の下で、窒化鉄を主成分とする磁性薄膜
を有する磁気記録媒体（ヨーロッパ特許８３２８号、特
開昭５９−８７８０９号等）は耐候性に浸れていること
から注目されており、さらに耐久性および磁気特性につ
いての改良が進められている。
を有する磁気記録媒体（ヨーロッパ特許８３２８号、特
開昭５９−８７８０９号等）は耐候性に浸れていること
から注目されており、さらに耐久性および磁気特性につ
いての改良が進められている。
窒化鉄薄膜を有する磁気記録媒体は窒素雰囲気中におい
て鉄もしくは鉄化合物を非磁性基体上に蒸着♂しめるこ
とにより形成することが可能であるが、通常、単にノズ
ルから窒素ガスを蒸着装置内に導入しても窒素粒子のエ
ネルギーが蒸着粒子のエネルギーよりも１桁以上も小さ
いために窒化鉄が充分に生成されにくく、従来の磁性簿
膜のように効率的に製造することは容易ではなかった。
て鉄もしくは鉄化合物を非磁性基体上に蒸着♂しめるこ
とにより形成することが可能であるが、通常、単にノズ
ルから窒素ガスを蒸着装置内に導入しても窒素粒子のエ
ネルギーが蒸着粒子のエネルギーよりも１桁以上も小さ
いために窒化鉄が充分に生成されにくく、従来の磁性簿
膜のように効率的に製造することは容易ではなかった。
（発明の目的）
本発明の目的は上記従来技術の問題点に鑑み、耐候性お
よび耐久性に優れた窒化鉄薄膜を有する磁気記録媒体を
効率的に製造することのできる製造方法を提供すること
にある。
よび耐久性に優れた窒化鉄薄膜を有する磁気記録媒体を
効率的に製造することのできる製造方法を提供すること
にある。
（発明の構成）
本発明による磁気記録媒体の製造方法はイオンビーム発
生源によりイオン化した窒素イオンと高周波放電により
イオン化した鉄の蒸発粒子を用いて窒化鉄Ｎ膜を非磁性
基体上に蒸着することを特徴とするものである。
生源によりイオン化した窒素イオンと高周波放電により
イオン化した鉄の蒸発粒子を用いて窒化鉄Ｎ膜を非磁性
基体上に蒸着することを特徴とするものである。
本発明において、イオンビーム発生源としては熱電子励
起型、マイクロウェーブ励起型等、窒素ガス粒子を実質
的にイオン化できるものである限り任意の手段を使用す
ることができる。また、イオンビームの照射は蒸発粒子
が基体に付着する前であれば、いずれの位置で行なって
もよい。
起型、マイクロウェーブ励起型等、窒素ガス粒子を実質
的にイオン化できるものである限り任意の手段を使用す
ることができる。また、イオンビームの照射は蒸発粒子
が基体に付着する前であれば、いずれの位置で行なって
もよい。
本発明に使用される高周波放電源も鉄を実質的にイオン
化できるものである限り任意の手段とすることかできる
。
化できるものである限り任意の手段とすることかできる
。
本発明における窒化鉄薄膜は好ましくは組成で３０〜７
５ａｔｏｍｉｃ％の鉄成分および５〜４０ａｔｏｍｉｃ
％の窒素成分を含有する薄膜であって、必ずしも銑成分
が寸へて窒化されていなくてもよく、金属鉄が一部Ｓ有
されていてもよく、また鉄成分の一部は酸化されていて
もよい。
５ａｔｏｍｉｃ％の鉄成分および５〜４０ａｔｏｍｉｃ
％の窒素成分を含有する薄膜であって、必ずしも銑成分
が寸へて窒化されていなくてもよく、金属鉄が一部Ｓ有
されていてもよく、また鉄成分の一部は酸化されていて
もよい。
本発明に用いられる非磁性基体としてはポリエチレンテ
レフタレート、ポリイミド、ポリアミド。
レフタレート、ポリイミド、ポリアミド。
ポリ塩化ビニル、三酢酸セルロース、ポリカーボネート
、ポリエチレンナフタレートのようなプラスチックベー
スの基体が好ましい。
、ポリエチレンナフタレートのようなプラスチックベー
スの基体が好ましい。
本発明における磁性薄膜上に潤滑剤層を用いてもよく、
潤滑剤としては、炭素数１２〜１８個の脂肪酸（Ｒｒ
０００ Ｈ、Ｒｓは炭素＠１１〜１７のアルキルまたは
アルケニル基）二前記脂肪酸の金属塩；シリコンオイル
；炭素数２〜２０個の一塩基性脂肪酸と炭素数３〜１２
１１７ｉｊの一価のアルコールから成る脂肪酸エステル
類から選ばれた少なくとも１種を含有するもの等が使用
される。上記潤滑剤は磁性股上に０．５〜２０Ｉｎｇ／
ＴＩＬ存在せしめるのがよく、潤滑剤の塗布は必要に応
じて磁性膜上、あるいは支持体裏面に塗布して潤滑剤を
磁性股上へ転写させるようにしても良い。
潤滑剤としては、炭素数１２〜１８個の脂肪酸（Ｒｒ
０００ Ｈ、Ｒｓは炭素＠１１〜１７のアルキルまたは
アルケニル基）二前記脂肪酸の金属塩；シリコンオイル
；炭素数２〜２０個の一塩基性脂肪酸と炭素数３〜１２
１１７ｉｊの一価のアルコールから成る脂肪酸エステル
類から選ばれた少なくとも１種を含有するもの等が使用
される。上記潤滑剤は磁性股上に０．５〜２０Ｉｎｇ／
ＴＩＬ存在せしめるのがよく、潤滑剤の塗布は必要に応
じて磁性膜上、あるいは支持体裏面に塗布して潤滑剤を
磁性股上へ転写させるようにしても良い。
本発明の磁気記録媒体においては、必要に応じ支持体裏
面にいわゆるバック層を設けてもよい。
面にいわゆるバック層を設けてもよい。
また、磁性金属蒸着膜と支持体との間に有機あるいは無
機物からなる層を設けてもよい。
機物からなる層を設けてもよい。
（実 施 例）
以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する
が、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
が、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
支ＬＬＬ
第１図にその要部を示した巻取式蒸着装置を用いて、９
．５μｍ厚のポリエチレンテレフタレートフィルム上に
斜方入射イオンブレーティング法により窒化鉄薄膜を形
成して磁気テープを作成した。
．５μｍ厚のポリエチレンテレフタレートフィルム上に
斜方入射イオンブレーティング法により窒化鉄薄膜を形
成して磁気テープを作成した。
その手順を以下に示す。
第１図に示ず蒸着装置１において、帯状瘍体２（すなわ
ちポリエチレンテレフタレートフィルム）をクーリング
キャン３に沿って搬送した。適当な加熱手段により加熱
されたルツボ６内に蒸着材料８として鉄をチャージし、
蒸発粒子を発生させた。
ちポリエチレンテレフタレートフィルム）をクーリング
キャン３に沿って搬送した。適当な加熱手段により加熱
されたルツボ６内に蒸着材料８として鉄をチャージし、
蒸発粒子を発生させた。
一方、蒸着装置１内に窒素ガスを導入して、Ｐ−２×１
０゛３〜８×１０″ＪＴｏｒｒとし、窒素粒子の一部Ａ
ンご一ム１０とした。鉄の蒸発粒子の一部は高周波（Ｒ
Ｆ）放電コイル７によりイオン化して鉄イオンビーム９
とした。高周波放電コイル７は１３．５Ｇ ＭＨｚの高
周波が１．２Ｋ Ｗ印加されるように蒸着装置１外でマ
ツチングボックス（図示せず）を経て電源（図示せず）
と接続した。このようにして得た鉄イオンビーム９およ
び窒素イオンビーム１０を帯状基体２にイオンブレーテ
ィングした。なａ３、遮蔽マスク４によりイオンブレー
ティング入射角は６０°に設定した。
０゛３〜８×１０″ＪＴｏｒｒとし、窒素粒子の一部Ａ
ンご一ム１０とした。鉄の蒸発粒子の一部は高周波（Ｒ
Ｆ）放電コイル７によりイオン化して鉄イオンビーム９
とした。高周波放電コイル７は１３．５Ｇ ＭＨｚの高
周波が１．２Ｋ Ｗ印加されるように蒸着装置１外でマ
ツチングボックス（図示せず）を経て電源（図示せず）
と接続した。このようにして得た鉄イオンビーム９およ
び窒素イオンビーム１０を帯状基体２にイオンブレーテ
ィングした。なａ３、遮蔽マスク４によりイオンブレー
ティング入射角は６０°に設定した。
このようにして（Ｊられた磁気テープの耐候性。
耐久性Ｊ５よび磁気特性を測定した。１ｆｆｌ候性は発
露型ウニデーメーター（山崎情機？１７１究所ε −１
２ＷＧ型）に２４時間保存後の錆の発生状況を５段階評
画により判定した。耐久性についてはＶＨ８型ＶＴＲに
てテープを１０分間スチルモードにかりた１灸、磁性膜
面のヘッドの傷発生状況を顕微Ｕ１．四察し、これも５
段階評価により判定した。磁気特性は試料振動型磁束計
（束英工業ＶＳＭ−３型）で測定した。結果は下表のと
おりである。比較のだめに強磁性Ｒ９Ｎ’Ａ型磁気テー
プとしてよく用いられるＣｏ ｏＪ Ｎ ｉ 、、２強
磁性薄ｌ！磁気テープについての結果も下表に合せて示
した。ＣＯＤ、ｇ ＮｉＯ，２強磁性薄膜磁気テープは
実施例１と同様のＭ打装置を用いて、同一人射角で実施
した。ただし、蒸着はＲＦコイルによるイオンブレーテ
ィングおよびイオンビームの照射を行なわずにピアス式
の電子銃を用いて行なった。
露型ウニデーメーター（山崎情機？１７１究所ε −１
２ＷＧ型）に２４時間保存後の錆の発生状況を５段階評
画により判定した。耐久性についてはＶＨ８型ＶＴＲに
てテープを１０分間スチルモードにかりた１灸、磁性膜
面のヘッドの傷発生状況を顕微Ｕ１．四察し、これも５
段階評価により判定した。磁気特性は試料振動型磁束計
（束英工業ＶＳＭ−３型）で測定した。結果は下表のと
おりである。比較のだめに強磁性Ｒ９Ｎ’Ａ型磁気テー
プとしてよく用いられるＣｏ ｏＪ Ｎ ｉ 、、２強
磁性薄ｌ！磁気テープについての結果も下表に合せて示
した。ＣＯＤ、ｇ ＮｉＯ，２強磁性薄膜磁気テープは
実施例１と同様のＭ打装置を用いて、同一人射角で実施
した。ただし、蒸着はＲＦコイルによるイオンブレーテ
ィングおよびイオンビームの照射を行なわずにピアス式
の電子銃を用いて行なった。
表
−Ｆ、５段階評１曲による（５が最良）このように本発
明による方法で製造した磁気記録媒体は従来のサンプル
と比較して、耐候性ならびに耐久性に濁れることが認め
られた。
明による方法で製造した磁気記録媒体は従来のサンプル
と比較して、耐候性ならびに耐久性に濁れることが認め
られた。
〈発明の効果）
本発明の方法はイオンビーム発生源により窒素粒子をイ
オン化すると共に高周波敢゛心により鉄の蒸発粒子をイ
オン化することにより、窒化鉄の生成を促進し、その結
果、耐候性および耐久性に優れた窒化鉄薄膜を有する磁
気記録媒体を効率良く製造することを可能にしたもので
あり、その実用上のメリットは大きい。
オン化すると共に高周波敢゛心により鉄の蒸発粒子をイ
オン化することにより、窒化鉄の生成を促進し、その結
果、耐候性および耐久性に優れた窒化鉄薄膜を有する磁
気記録媒体を効率良く製造することを可能にしたもので
あり、その実用上のメリットは大きい。
図面は本発明の実施例に使用された装置の要部を示ず概
略図である。 １・・・巻取式蒸着装置 ２・・・帯状支持体３・・
・クーリングキャン ４・・・遮蔽マスク５・・・イオ
ンビーム発生源 ６・・・ル ツ ボ ７・・・高周波放電コイル
８・・・蒸着材料 ９・・・鉄イオンビーム１
０・・・窒素イオンビーム （自 発）手続ネ１■正書 特許庁長官 殿 昭和５９年１１月
３０日特願昭５９−１７６１６６号 ２、発明の名称 磁気記録媒体の製造方法 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 任 所 神奈川県南足柄市中沼２１０番地名 称
富士写真フィルム株式会社４、代理人
略図である。 １・・・巻取式蒸着装置 ２・・・帯状支持体３・・
・クーリングキャン ４・・・遮蔽マスク５・・・イオ
ンビーム発生源 ６・・・ル ツ ボ ７・・・高周波放電コイル
８・・・蒸着材料 ９・・・鉄イオンビーム１
０・・・窒素イオンビーム （自 発）手続ネ１■正書 特許庁長官 殿 昭和５９年１１月
３０日特願昭５９−１７６１６６号 ２、発明の名称 磁気記録媒体の製造方法 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 任 所 神奈川県南足柄市中沼２１０番地名 称
富士写真フィルム株式会社４、代理人
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）窒素雰囲気内で鉄の蒸気流を形成せしめ、該蒸気流
中の鉄蒸発粒子を窒素粒子と共に非磁性基体上に蒸着せ
しめて該基体上に窒化鉄薄膜を形成することからなる磁
気記録媒体の製造方法において、 前記窒素粒子をイオンビーム発生手段によりイオン化し
、かつ前記鉄蒸発粒子を高周波放電によりイオン化する
ことを特徴とする製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59176166A JPS6154039A (ja) | 1984-08-24 | 1984-08-24 | 磁気記録媒体の製造方法 |
| US06/901,976 US4724156A (en) | 1984-08-24 | 1986-09-02 | Method of manufacturing magnetic recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59176166A JPS6154039A (ja) | 1984-08-24 | 1984-08-24 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6154039A true JPS6154039A (ja) | 1986-03-18 |
| JPH0451888B2 JPH0451888B2 (ja) | 1992-08-20 |
Family
ID=16008815
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59176166A Granted JPS6154039A (ja) | 1984-08-24 | 1984-08-24 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4724156A (ja) |
| JP (1) | JPS6154039A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5250327A (en) * | 1986-04-28 | 1993-10-05 | Nissin Electric Co. Ltd. | Composite substrate and process for producing the same |
| JPH0770058B2 (ja) * | 1987-04-16 | 1995-07-31 | 富士写真フイルム株式会社 | 磁気記録媒体の製造方法及び製造装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4495242A (en) * | 1981-04-02 | 1985-01-22 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Magnetic recording medium |
-
1984
- 1984-08-24 JP JP59176166A patent/JPS6154039A/ja active Granted
-
1986
- 1986-09-02 US US06/901,976 patent/US4724156A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0451888B2 (ja) | 1992-08-20 |
| US4724156A (en) | 1988-02-09 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |