JPS6152164A - 片持梁状超音波楕円振動子 - Google Patents

片持梁状超音波楕円振動子

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Publication number
JPS6152164A
JPS6152164A JP59172430A JP17243084A JPS6152164A JP S6152164 A JPS6152164 A JP S6152164A JP 59172430 A JP59172430 A JP 59172430A JP 17243084 A JP17243084 A JP 17243084A JP S6152164 A JPS6152164 A JP S6152164A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cantilever beam
vibration
cantilever
ultrasonic
bending
Prior art date
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Pending
Application number
JP59172430A
Other languages
English (en)
Inventor
Akio Kumada
熊田 明生
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Maxell Ltd
Original Assignee
Hitachi Maxell Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Maxell Ltd filed Critical Hitachi Maxell Ltd
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Publication of JPS6152164A publication Critical patent/JPS6152164A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/10Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
    • H02N2/103Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors by pressing one or more vibrators against the rotor
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/0005Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
    • H02N2/001Driving devices, e.g. vibrators
    • H02N2/003Driving devices, e.g. vibrators using longitudinal or radial modes combined with bending modes

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野および発明の目的〕本発明は超音波
振動子の改良に係り、圧電振動子を用いた超音波振動子
の端面に強力な楕円モードの超音波振動を発生する効率
に優れ、圧着された物体に強力な回転トルクを与えるこ
とのできる超音波振動子を提供することを目的とする。
〔従来の技術〕
従来の超音波振動子は超音波加工あるいは水中超音波の
振動源として、また近頃では医療の方面にも利用されて
いるが、用いられている振動子の振動は縦モードが殆ん
どである。最近、圧電体を用いた超音波モータが開発さ
れ注目されているが超音波発生源には従来の縦振動子が
使われている。
しかし、ロータを回転させるには縦振動を回転トルクに
変えねばならず、そのため不都合を来たすことが多い。
回転トルクの発生には超音波の楕円振動を用いるのが最
良だが、楕円振動モードの超音波振動子は残念ながら見
当らない。これは従来の用途には楕円運動が強く求めら
れていなかったことによるものと考えられるが、圧電モ
ータを実期化するには超音波の楕円振動子が不可欠であ
り、その開発が強く要望されている。
〔問題点を解決するための手段〕
この発明は上述した従来技術の欠点を解消するもので、
片持梁の屈曲振動を基本とした強力超音波振動子によっ
て、前述の目的を達成したものである。さらに詳述する
ならば、片持梁の固定端部に圧電厚み振動子をボルト締
め固定することにより、片持梁に縦振動と屈曲振動とを
同時に発生させ、その結果片持梁の自由端面が梁の長さ
方向と梁の屈曲振動の方向とを含む面内において楕円状
の振動をすることを特徴とするものである。
〔実施例〕
以下、本発明の実施例を図面に従って説明する。
第1図ないし第3図は本発明の片持梁状超音波楕円振動
子の一実施例を示したものであり、第1図は正面図、第
2図は側面図、第3図は平面図である。これらの図を比
較すると、本発明の骨子をなす片持梁1の形状が良くわ
かる。
すなわち片持梁1は直径65朋、厚さ9間の円形状台部
12  の上に厚さ7 ms、幅35間、高さ10門の
梁部11  が逆T字状に直立した形状のアルミニウム
の部品である。これを励振する圧電〃み振動子31  
および32  は外径65開、内径15朋、厚さ2朋の
ドーナツ状のPb (Zr−Ts)03系セラミツクか
らなる厚み振動子であり、表面電極の正分極側電極同志
で、同じ形状で厚さ0.2鴎のリン青銅の端子板42 
 を間に挟み、その外側に端子板41および43を重ね
る。
さらに外径65簡、内径8.2間、厚さ10市のアルミ
ニウムの座金2および5を重ね、座金5のボルト穴に径
8..長さ25醇のキャップボルト6を通し、片持梁1
の台部12  の中心に形成されたネジ穴にねじ込みト
ルクレンチを使って150ky −j −mのトルクで
締め付けた。片持梁1の円板状台部12  の下側には
幅20部、深さ2開の溝1s  が梁部11  と平行
に刻まれているので、ボルト6を締めつけると溝13 
 の両側の三ケ月形の脚部を支点として、円板状台部1
2  にたわみ変形が生じる。
片持梁状超音波楕円振動子は上述したように構成されて
おり、端子板42および43に接続されたり−ドt’A
7+および72を通して、圧電振動子6Iおよび62に
41.06 KM、、60ボルトの正弦波電圧を印加す
ると、圧電振動子3z 、 32  の厚み振動が円板
状台部12  のたわみ振動をひきおこし、このたわみ
振動によって片持梁1の梁部11  に屈曲共振が生ず
る。この屈曲振動は台部1z  のたわみを通して、縦
振動と結合しているので、梁部1!の端面は振動の軌跡
が第4図に矢印8で拡大して示したような楕円運動を描
く。ここで、端面上に回転軸10を第4図に示したよう
に梁1の幅方向と平行、すなわち水平方向に保って回転
子を圧着すると回転子は時計回わりに勢よく回わった。
〔発明の0果〕 以上説明したように本発明は、片持梁の固定端部に圧電
厚みJul子企ボルト締め固定することにより、片持梁
に縦振動と屈曲振動分同時に一発生させ、その結果片持
梁の自由端が梁の長さ方向と梁の屈曲振動の方向とを含
む面内において楕円状の軌跡を描くように構成した。そ
のため本発明の片持梁状超音波楕円振動子は従来欠陥技
術とされていた楕円運動をする超音波振動子を実現でき
たという画期的な効果を有する。しかもこの楕円振動は
励振が容易であるため、!気信号によって機械的振動を
発生する電気−機械エネルギー変換効率が高いことが特
徴である。
【図面の簡単な説明】
第1図、第2図および第3図は本発明の実施例に係る片
持梁状超音波楕円振動子の正面図、側面図および平面図
、第4図はその振動子を用いた圧電モータの正面図であ
る。 1・・・片持梁、3r 、 32  ・・・圧電厚み振
動子、6・・・キャップボルト。 第 1 図 第 2 図 第3図 6″ 第4図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、片持梁の屈曲振動を基本とした超音波振動子。 2、特許請求の範囲第1項記載の超音波振動子において
    、片持梁の固定端部に圧電厚み振動子をボルト締め固定
    することにより、片持梁に屈曲共振を励振したことを特
    徴とする超音波振動子。 3、特許請求の範囲第2項記載の超音波振動子において
    、圧電厚み振動子の縦振動と、これに寄生発振した片持
    梁の屈曲振動とが結合した屈曲・縦モード結合状態で用
    いることを特徴とする超音波振動子。 4、特許請求の範囲第3項記載の超音波振動子において
    、縦・屈曲モードが結合した結果、片持梁の長さ方向と
    梁の屈曲振動の方向とを含む面内において、梁の自由端
    面の振動の軌跡が楕円運動をすることを特徴とした超音
    波振動子。
JP59172430A 1984-08-21 1984-08-21 片持梁状超音波楕円振動子 Pending JPS6152164A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63290176A (ja) * 1987-05-22 1988-11-28 Nec Corp 超音波モ−タの駆動方法
JPS63294271A (ja) * 1987-05-22 1988-11-30 Nec Corp 超音波モ−タ
JPS63294269A (ja) * 1987-05-22 1988-11-30 Nec Corp 超音波モ−タの駆動方法
JPS63294272A (ja) * 1987-05-22 1988-11-30 Nec Corp 超音波モ−タの駆動方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63290176A (ja) * 1987-05-22 1988-11-28 Nec Corp 超音波モ−タの駆動方法
JPS63294271A (ja) * 1987-05-22 1988-11-30 Nec Corp 超音波モ−タ
JPS63294269A (ja) * 1987-05-22 1988-11-30 Nec Corp 超音波モ−タの駆動方法
JPS63294272A (ja) * 1987-05-22 1988-11-30 Nec Corp 超音波モ−タの駆動方法

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