JPS61502856A - 白金抵抗温度計の製造方法 - Google Patents

白金抵抗温度計の製造方法

Info

Publication number
JPS61502856A
JPS61502856A JP50348585A JP50348585A JPS61502856A JP S61502856 A JPS61502856 A JP S61502856A JP 50348585 A JP50348585 A JP 50348585A JP 50348585 A JP50348585 A JP 50348585A JP S61502856 A JPS61502856 A JP S61502856A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
platinum
substrate
layer
lift
thermometer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP50348585A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Inventor
ボハラ，ロバート　シー
ラフ，ジエイムズ　エー
Original Assignee
ロ−ズマウント　インコ．
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ロ−ズマウント　インコ． filed Critical ロ−ズマウント　インコ．
Publication of JPS61502856A publication Critical patent/JPS61502856A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Electrodes Of Semiconductors (AREA)
  • Thermistors And Varistors (AREA)
JP50348585A 1984-07-31 1985-07-25 白金抵抗温度計の製造方法 Pending JPS61502856A (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US63614184A 1984-07-31 1984-07-31
US636141 1984-07-31
US636142 1984-07-31

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS61502856A true JPS61502856A (ja) 1986-12-04

Family

ID=24550599

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP50348585A Pending JPS61502856A (ja) 1984-07-31 1985-07-25 白金抵抗温度計の製造方法

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JPS61502856A (fr)
CA (1) CA1258981A (fr)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5151790A (en) * 1974-09-19 1976-05-07 Corning Glass Works Ondokanchikiseisakuhoho
JPS58130502A (ja) * 1981-11-20 1983-08-04 ダンフオス・エ−・エス 温度依存抵抗
JPS58141505A (ja) * 1982-02-17 1983-08-22 松下電器産業株式会社 薄膜白金温度センサの製造方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5151790A (en) * 1974-09-19 1976-05-07 Corning Glass Works Ondokanchikiseisakuhoho
JPS58130502A (ja) * 1981-11-20 1983-08-04 ダンフオス・エ−・エス 温度依存抵抗
JPS58141505A (ja) * 1982-02-17 1983-08-22 松下電器産業株式会社 薄膜白金温度センサの製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
CA1258981A (fr) 1989-09-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6664166B1 (en) Control of nichorme resistor temperature coefficient using RF plasma sputter etch
US5089293A (en) Method for forming a platinum resistance thermometer
US6004471A (en) Structure of the sensing element of a platinum resistance thermometer and method for manufacturing the same
JPH07235526A (ja) 凸凹ポリシリコン及び多結晶シリコン膜の形成方法
US4719442A (en) Platinum resistance thermometer
US4794367A (en) Circuit arrangement
EP0191052B1 (fr) Thermomètre à résistance en platine et méthode pour former un thermomètre à résistance en platine
JPS61502856A (ja) 白金抵抗温度計の製造方法
JPH0697520A (ja) 複合型ジョセフソン接合デバイスとその製造方法
CN1008828B (zh) 形成铂电阻温度计的方法
JPS63202953A (ja) 半導体装置の製造方法
JPS5919393A (ja) 薄膜回路の製造方法
JP2797351B2 (ja) 半導体集積回路の製造方法
JPS5869075A (ja) サ−マルヘツドの製造方法
JP3095928B2 (ja) 化合物半導体の製造方法
JPH07176412A (ja) 角形チップ抵抗器の製造方法
JP2671432B2 (ja) 薄膜素子の製造方法
JPS5932126A (ja) 半導体装置の製造方法
JPH09260108A (ja) チップ型サーミスタ及びその製造方法
JPH04275401A (ja) 白金抵抗体およびその製造方法
JPS61267382A (ja) 超電導回路用抵抗素子
JPS6059722B2 (ja) 薄膜抵抗素子およびその製造方法
JPS5821819A (ja) 半導体素子の電極形成方法
JPS63166255A (ja) 薄膜抗抵パタ−ンの形成方法
JPS62124742A (ja) デバイスの製造方法