JPS6148216A - 弾性表面波素子 - Google Patents
弾性表面波素子Info
- Publication number
- JPS6148216A JPS6148216A JP16978784A JP16978784A JPS6148216A JP S6148216 A JPS6148216 A JP S6148216A JP 16978784 A JP16978784 A JP 16978784A JP 16978784 A JP16978784 A JP 16978784A JP S6148216 A JPS6148216 A JP S6148216A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface acoustic
- acoustic wave
- absorber
- wave element
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は１層状構造を持つ弾性表面波素子において、不
用弾性表面波を吸収するアブソーバの量を調整するよう
にした弾性表面波素子に関する。
用弾性表面波を吸収するアブソーバの量を調整するよう
にした弾性表面波素子に関する。
（従来の技術）
従来１弾性表面波素子の遅延時間温度係数を補償するこ
と、もしくは弾性表面波素子の中心周波数を微調するこ
となどを目的として圧電体上に５ｉ０２等の膜を付着し
た層状構造化が行われていた。
と、もしくは弾性表面波素子の中心周波数を微調するこ
となどを目的として圧電体上に５ｉ０２等の膜を付着し
た層状構造化が行われていた。
第１図は従来のこの種層状構造弾性表面波素子の１例を
示す斜視図であり、１は圧電基板。
示す斜視図であり、１は圧電基板。
２ａ、２ｂはそれぞれ入力及び出力すだれ状電極。
３はボンディングバット部、４は５ｉ０２膜、５はボン
ディングワイヤー、６はアブソーバである。
ディングワイヤー、６はアブソーバである。
圧電基板１上の入力すだれ状電極２ａによって。
弾性表面ｖ７及び８に変換される。弾性表面波７は、出
力すだれ状電極２ｂにて一部は電気信号に変換され他の
一部はすだれ状電極２ｂを通過し。
力すだれ状電極２ｂにて一部は電気信号に変換され他の
一部はすだれ状電極２ｂを通過し。
弾性表面波９となる。この場合弾性表面波素子の入出方
間特性に不用な弾性表面波８及び９は。
間特性に不用な弾性表面波８及び９は。
圧電基板１の端面１０及び１１で反射し、該反射波は出
力すだれ状電極２ｂに達し弾性表面波素子の特性を劣化
、させる原因となっている。また弾性表面波の圧電基板
端面反射による特性劣化を防ぐため、アブソーバ６でも
って不要弾性表面波を吸収する。働きをする。しかしア
ブソーバは。
力すだれ状電極２ｂに達し弾性表面波素子の特性を劣化
、させる原因となっている。また弾性表面波の圧電基板
端面反射による特性劣化を防ぐため、アブソーバ６でも
って不要弾性表面波を吸収する。働きをする。しかしア
ブソーバは。
多くの場合、有機化合物より構成されており。
長時間の使用により、変質等が起因して９弾性表面波の
吸収の減少１弾性表面波素子表面の汚染による特性劣下
環の不都合が生じる欠点があった。
吸収の減少１弾性表面波素子表面の汚染による特性劣下
環の不都合が生じる欠点があった。
（発明が解決しようとする問題点）
本発明はこのような従来の欠点を除去するため不都合の
原因となるアブソーバの量を調整した弾性表面波素子で
あって、アブソーバの製作は従来工程をそのまま踏襲し
て工程を増すことなく製作しつるものである。以下図面
により説明する。
原因となるアブソーバの量を調整した弾性表面波素子で
あって、アブソーバの製作は従来工程をそのまま踏襲し
て工程を増すことなく製作しつるものである。以下図面
により説明する。
本発明は第３図に示す一実施例の斜視図のように、
５ｉ０２膜の端面２１及び２２を例えば鋸歯状波の如き
形状として、アブソーバ６の部分を減量もしくは除去す
る構造とするものであり、その製造工程をまず説明する
。
５ｉ０２膜の端面２１及び２２を例えば鋸歯状波の如き
形状として、アブソーバ６の部分を減量もしくは除去す
る構造とするものであり、その製造工程をまず説明する
。
（問題点を解決するための手段）
第２図は１層状構造弾性表面波素子の製造工程図で右側
は平面図、左側は側断面図を示す。
は平面図、左側は側断面図を示す。
（ａ）は圧電基板１上の電極及びボンディングバット部
の作製、（ｂ）は５ｉ０２表面層の作製、（Ｃ）はポン
ディングパッド部を露出させろための、エツチング用パ
ターンの作製、（ｄ）はＳｉＯ２膜のエツチング、（ｅ
）は素子のマウトである。また、場合によっては、上記
５ｉ０２膜加工の代りに、リフトオフによる製作工程を
とれば、（ｆ）はリフトオフ用パ１ターンの作製、（ｇ
）は５ｉ０２表面層の作製である。
の作製、（ｂ）は５ｉ０２表面層の作製、（Ｃ）はポン
ディングパッド部を露出させろための、エツチング用パ
ターンの作製、（ｄ）はＳｉＯ２膜のエツチング、（ｅ
）は素子のマウトである。また、場合によっては、上記
５ｉ０２膜加工の代りに、リフトオフによる製作工程を
とれば、（ｆ）はリフトオフ用パ１ターンの作製、（ｇ
）は５ｉ０２表面層の作製である。
（実施例）
本発明は、エツチング用パターンの形状、もしくはりフ
トオフ用パターンの形状をそれぞれ第２図に示す（Ｃ）
′もしくは（ｇ）′のよ５に、アブソーバを塗布すべき
部分を鋸歯状もしくは傾斜状として５ｉ０２膜が除去さ
れるようにパターン形成することにより１例えば第３図
のような鋸歯状の５ｉ０２膜形状をもつ構造の弾性表面
波素子を提供するものである。
トオフ用パターンの形状をそれぞれ第２図に示す（Ｃ）
′もしくは（ｇ）′のよ５に、アブソーバを塗布すべき
部分を鋸歯状もしくは傾斜状として５ｉ０２膜が除去さ
れるようにパターン形成することにより１例えば第３図
のような鋸歯状の５ｉ０２膜形状をもつ構造の弾性表面
波素子を提供するものである。
本発明は第３図に示すような構造であるので。
弾性表面波の多（のエネルギーを伝播している５ｉ０２
層において、 ５ｉ０２膜の斜面を形成する端面２１
もしくは２２によって弾性表面波は、素子特性に影響を
与えない方向に反射されるか、もしくはバルク波に変換
され、アブソーバを用いた場合と同様な効果を生ずるこ
とができる。
層において、 ５ｉ０２膜の斜面を形成する端面２１
もしくは２２によって弾性表面波は、素子特性に影響を
与えない方向に反射されるか、もしくはバルク波に変換
され、アブソーバを用いた場合と同様な効果を生ずるこ
とができる。
また、上記実施例では１表面層が５ｉ０２膜の場合につ
いてのべたが、この他、非圧電性膜もしくは、基板以外
の圧電性膜の場合も同様な効果を生むことができる。
いてのべたが、この他、非圧電性膜もしくは、基板以外
の圧電性膜の場合も同様な効果を生むことができる。
また、第２図の（ｃｌ’、 （ｇｌ′に示す鋸歯状、傾
斜状の形状は、直線状のものを示したが１曲線状であっ
ても弾性表面波が素子特性に影響を与えない方向に反射
する形状ならば効果において差はな℃）。
斜状の形状は、直線状のものを示したが１曲線状であっ
ても弾性表面波が素子特性に影響を与えない方向に反射
する形状ならば効果において差はな℃）。
（発明の効果）
以上説明したように９本発明は不用弾性表面波を吸収す
るアブソーバと同様の効果を生むことが出来るようにＳ
＋０２膜の端面の形状を鋸歯状もしくは傾斜状あるいは
これと類似形状とすることによって、アブソーバを不要
とするか、もしくはその量を極単に減すことができる。
るアブソーバと同様の効果を生むことが出来るようにＳ
＋０２膜の端面の形状を鋸歯状もしくは傾斜状あるいは
これと類似形状とすることによって、アブソーバを不要
とするか、もしくはその量を極単に減すことができる。
本発明の実施例にもとづいて実際に実験した結果５ｉ０
２ ｏｎ ＬｉＮｂＯ３構造弾性表面波素子においてア
ブソーバの量を１７５〜１／１０に減らすことが出来た
。
２ ｏｎ ＬｉＮｂＯ３構造弾性表面波素子においてア
ブソーバの量を１７５〜１／１０に減らすことが出来た
。
第１図は従来の層状構造弾性表面波素子の斜視図、第２
図は層状構造弾性表面波素子作製の工程図、第３図は本
発明の層状構造弾性表面波素子の斜視図である。 １・・・圧電基板、２ａ、２ｂ・・それぞれ入力及び出
力すだれ状電極、３・・・ボンディングバット部。 ４・・・５ＩＯ２膜、５・・・ボンディングワイヤー、
６・・・アブソーバ、７，８．９・・・弾性表面波、
１０，１１，２１゜２２・・・５ｉ０２膜の端面、 ２
３．２４・・・弾性表面波の反射波。 ６一 第２図（２） （ｄ） （ｅ） ↓ 第２図（３） （Ｃ′） （ｑ゛）
図は層状構造弾性表面波素子作製の工程図、第３図は本
発明の層状構造弾性表面波素子の斜視図である。 １・・・圧電基板、２ａ、２ｂ・・それぞれ入力及び出
力すだれ状電極、３・・・ボンディングバット部。 ４・・・５ＩＯ２膜、５・・・ボンディングワイヤー、
６・・・アブソーバ、７，８．９・・・弾性表面波、
１０，１１，２１゜２２・・・５ｉ０２膜の端面、 ２
３．２４・・・弾性表面波の反射波。 ６一 第２図（２） （ｄ） （ｅ） ↓ 第２図（３） （Ｃ′） （ｑ゛）
Claims (1)
- 圧電体上にすだれ状電極を対向して形成するともに、温
特補償もしくは、周波数微調用の圧電体表面にＳｉＯ＿
２等の非圧電性もしくは圧電性膜を付着した層状構造弾
性表面波素子において、不用弾性表面波を吸収するアブ
ソーバ部のＳｉＯ＿２等の膜の端面を鋸歯状もしくは傾
斜状の斜形状とすることによってアブソーバの量を極単
に少なくするか、もしくは不用としたことを特徴とする
弾性表面波素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16978784A JPS6148216A (ja) | 1984-08-14 | 1984-08-14 | 弾性表面波素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16978784A JPS6148216A (ja) | 1984-08-14 | 1984-08-14 | 弾性表面波素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6148216A true JPS6148216A (ja) | 1986-03-08 |
Family
ID=15892865
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16978784A Pending JPS6148216A (ja) | 1984-08-14 | 1984-08-14 | 弾性表面波素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6148216A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007218957A (ja) * | 2006-02-14 | 2007-08-30 | Canon Inc | 光学フィルタ及び画像形成装置 |
-
1984
- 1984-08-14 JP JP16978784A patent/JPS6148216A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007218957A (ja) * | 2006-02-14 | 2007-08-30 | Canon Inc | 光学フィルタ及び画像形成装置 |
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