JPS6146033A - ハンドリング装置 - Google Patents
ハンドリング装置Info
- Publication number
- JPS6146033A JPS6146033A JP16746084A JP16746084A JPS6146033A JP S6146033 A JPS6146033 A JP S6146033A JP 16746084 A JP16746084 A JP 16746084A JP 16746084 A JP16746084 A JP 16746084A JP S6146033 A JPS6146033 A JP S6146033A
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- Japan
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- semiconductor device
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- probe
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体装置を搬送機構から受け取り、これを接
触子にコンタクトするハンドリング装置に関するもので
ある。
触子にコンタクトするハンドリング装置に関するもので
ある。
従来、例えばフラットＩＣ用のハンドリング装置におい
ては、コンタクト部の前の位置で予じめ被測定物である
半導体装置を機構的に位置決めし、この位置決めした半
導体装置を搬送機構でコンタクト部に搬送し、その搬送
してきた半導体装置を接触子にそのままコンタクト（接
触）させていた。
ては、コンタクト部の前の位置で予じめ被測定物である
半導体装置を機構的に位置決めし、この位置決めした半
導体装置を搬送機構でコンタクト部に搬送し、その搬送
してきた半導体装置を接触子にそのままコンタクト（接
触）させていた。
そのため、位置決めした半導体装置の位置が、コンタク
ト部に到達する前にずれてしまった場合には、その位置
ずれが生じたままの姿勢で接触子にコンタクトされるか
ら、半導体装置を接触子に正確、確実にコンタクトする
ことができないという欠点があった。
ト部に到達する前にずれてしまった場合には、その位置
ずれが生じたままの姿勢で接触子にコンタクトされるか
ら、半導体装置を接触子に正確、確実にコンタクトする
ことができないという欠点があった。
本発明の目的は被測定物である半導体装置を接触子に確
実にコンタクトさせるハンドリング装置を提供すること
にある。
実にコンタクトさせるハンドリング装置を提供すること
にある。
本発明は搬送機構１０から受け取った半導体装置７を接
触子（ソケット）５にコンタクトさせる直前に該半導体
装置７の接触子５に対する位置補正を行なう位置決め機
構Ｍを備えたものである。
触子（ソケット）５にコンタクトさせる直前に該半導体
装置７の接触子５に対する位置補正を行なう位置決め機
構Ｍを備えたものである。
接触子５にコンタクトさせる直前に位置決め機構Ｍを動
作させて半導体装置７の位置補正を行ない、正確な位置
に調整して該半導体装置７を接触子５にコンタクトさせ
る。
作させて半導体装置７の位置補正を行ない、正確な位置
に調整して該半導体装置７を接触子５にコンタクトさせ
る。
以下に、本発明の一実施例を図によシ説明する。
第１図に示すように、前工程から半導体装置７を搬送す
る搬送機構１０と被測定物位置決め台２との間に搬送チ
ャック１を上下及び水平動可能に配設し、位置決め台２
の下側に、該位置決め台２の外周に嵌合しこれに沿って
上下動する接触子（ソケット）５を昇降可能に設けると
ともに、該接触子５の上面に半導体装置７のリード８，
８・・・と接触させるコンタクトリード９，９・・・を
設ける。一方位置決め台２の上側に、半導体装置を受け
入れる開口６ａを備えたブツシャ６を昇降可能に設置す
る。
る搬送機構１０と被測定物位置決め台２との間に搬送チ
ャック１を上下及び水平動可能に配設し、位置決め台２
の下側に、該位置決め台２の外周に嵌合しこれに沿って
上下動する接触子（ソケット）５を昇降可能に設けると
ともに、該接触子５の上面に半導体装置７のリード８，
８・・・と接触させるコンタクトリード９，９・・・を
設ける。一方位置決め台２の上側に、半導体装置を受け
入れる開口６ａを備えたブツシャ６を昇降可能に設置す
る。
さらに、接触子５にコンタクトさせる直前に半導体装置
７の接触子５に対する位置補正を行なう位置決め機構Ｍ
を位置決め台２に隣接して設ける。
７の接触子５に対する位置補正を行なう位置決め機構Ｍ
を位置決め台２に隣接して設ける。
位置決め機構Ｍは２本の位置決め爪３，４からな９、冬
瓜３，４の先端には半導体装置７の対角線上の角部を受
け入れる切込み３ａ＋４ａが設けられ、冬瓜３，４はそ
の先端の切込み３ａ＋４ａに半導体装置７の角部を受け
入れてその対角線に沿って進退動して該半導体装置７の
接触子５に対する位置決めを行なうものである。
瓜３，４の先端には半導体装置７の対角線上の角部を受
け入れる切込み３ａ＋４ａが設けられ、冬瓜３，４はそ
の先端の切込み３ａ＋４ａに半導体装置７の角部を受け
入れてその対角線に沿って進退動して該半導体装置７の
接触子５に対する位置決めを行なうものである。
本発明においては、まず、測定（選別）を行う被測定物
である半導体装置７を搬送チャック１により被測定物位
置決め台２にのせ、被測定物位置決め台２にのっている
半導体装置７を接触子５にコンタクトさせる直前に該半
導体装置を位置決め爪３，４により位置決めし、被測定
物である半導体装置７を位置決めした位置で接触子（ソ
ケット）５を上昇させ、その位置決めした半導体装置７
のリード８と接触子（ソケット）５のコンタクトリード
９をコンタクトさせ、更にブツシャ６を下降させてコン
タクトしている半導体装置７のリード８を上方から押え
つけてこれを接触子（ソケット）５のコンタクトリード
９に確実にコンタクトさせる。
である半導体装置７を搬送チャック１により被測定物位
置決め台２にのせ、被測定物位置決め台２にのっている
半導体装置７を接触子５にコンタクトさせる直前に該半
導体装置を位置決め爪３，４により位置決めし、被測定
物である半導体装置７を位置決めした位置で接触子（ソ
ケット）５を上昇させ、その位置決めした半導体装置７
のリード８と接触子（ソケット）５のコンタクトリード
９をコンタクトさせ、更にブツシャ６を下降させてコン
タクトしている半導体装置７のリード８を上方から押え
つけてこれを接触子（ソケット）５のコンタクトリード
９に確実にコンタクトさせる。
本発明は以上説明したように、コンタクト部において被
測定物である半導体装置を接触子にコンタクトさせる直
前に位置決めしてコンタクトするようにしたため、被測
定物である半導体装置を接触子に正確、確実にコンタク
トすることができ、ひいては測定（選別）を正確に行う
ことができる効果がある。
測定物である半導体装置を接触子にコンタクトさせる直
前に位置決めしてコンタクトするようにしたため、被測
定物である半導体装置を接触子に正確、確実にコンタク
トすることができ、ひいては測定（選別）を正確に行う
ことができる効果がある。
尚、実施例においてはフラットＩＣ用のハンドリング装
置で説明したが、ＤＩＰ ＩＣ等他の品種用のハンドリ
ング装置にも本発明を適用して同様の効果を得ることが
できるものである。
置で説明したが、ＤＩＰ ＩＣ等他の品種用のハンドリ
ング装置にも本発明を適用して同様の効果を得ることが
できるものである。
第１図は本発明の実施例のハンドリング装置の位置決め
コンタクト部の概略図である。 なお図において、１・・・搬送チャック、２・・・被測
定物位置決め台、３，４・・・位置決め爪、ｂ・・・接
触子（ソケット）、６・・・ブツシャ、７・・・半導体
装置。 ８・・・半導体装置のリード、９・・・接触子のコンタ
クトリードである。 第１図 帛
コンタクト部の概略図である。 なお図において、１・・・搬送チャック、２・・・被測
定物位置決め台、３，４・・・位置決め爪、ｂ・・・接
触子（ソケット）、６・・・ブツシャ、７・・・半導体
装置。 ８・・・半導体装置のリード、９・・・接触子のコンタ
クトリードである。 第１図 帛
Claims (1)
- （１）搬送機構から半導体装置を受け取つてこれを接触
子にコンタクトさせるハンドリング装置において、搬送
機構から受け取つた半導体装置を接触子にコンタクトさ
せる直前に該半導体装置の接触子に対する位置補正を行
なう位置決め機構を備えたことを特徴とするハンドリン
グ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16746084A JPS6146033A (ja) | 1984-08-10 | 1984-08-10 | ハンドリング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16746084A JPS6146033A (ja) | 1984-08-10 | 1984-08-10 | ハンドリング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6146033A true JPS6146033A (ja) | 1986-03-06 |
Family
ID=15850085
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16746084A Pending JPS6146033A (ja) | 1984-08-10 | 1984-08-10 | ハンドリング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6146033A (ja) |
-
1984
- 1984-08-10 JP JP16746084A patent/JPS6146033A/ja active Pending
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