JPS613873A - 六方晶金属冷延板の製造方法 - Google Patents
六方晶金属冷延板の製造方法Info
- Publication number
- JPS613873A JPS613873A JP12358484A JP12358484A JPS613873A JP S613873 A JPS613873 A JP S613873A JP 12358484 A JP12358484 A JP 12358484A JP 12358484 A JP12358484 A JP 12358484A JP S613873 A JPS613873 A JP S613873A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
この発明は、幹耳割れ口や1表面割れ”を生ずることの
ない、六方晶金属冷延板の安定した製造方法に関するも
のである。
ない、六方晶金属冷延板の安定した製造方法に関するも
のである。
く背景技術〉
近年、航空機産業や宇宙産業の著し℃・発展にともない
、それらに使用される機器部材には更なる1生能向」二
を目指した厳しい要求がなされるように、よっており、
また一方では、各種化学装置類或いま原子力機器類の高
性能化要求も一段と激しさを曽し、その使用条件は苛酷
の度合を益々高めつつある。
、それらに使用される機器部材には更なる1生能向」二
を目指した厳しい要求がなされるように、よっており、
また一方では、各種化学装置類或いま原子力機器類の高
性能化要求も一段と激しさを曽し、その使用条件は苛酷
の度合を益々高めつつある。
このような状況の下で、特有の優れた耐食性、比強度並
びに高温クリープ特性等を兼備した六方晶金属材料の需
要が飛躍的な伸びを見せているが、Tiで代表される前
記六方晶(α相が)金属材料はその他の新たな用途の開
発が期待されることもあり、工業用材料として極めて重
要な位置を占めるようになってきた。そして、その要望
も、これまでの熱延材に留まらず、次第に冷延薄板材に
まで及ぷようになってきた。
びに高温クリープ特性等を兼備した六方晶金属材料の需
要が飛躍的な伸びを見せているが、Tiで代表される前
記六方晶(α相が)金属材料はその他の新たな用途の開
発が期待されることもあり、工業用材料として極めて重
要な位置を占めるようになってきた。そして、その要望
も、これまでの熱延材に留まらず、次第に冷延薄板材に
まで及ぷようになってきた。
ところで、今後更に大幅な需要増が期待されろ六方晶金
属冷延板は、従来、仕上温度=650〜500℃程度の
熱間圧延で得られた熱延板に軟化焼鈍を施し、これを冷
間圧延して製造されている。
属冷延板は、従来、仕上温度=650〜500℃程度の
熱間圧延で得られた熱延板に軟化焼鈍を施し、これを冷
間圧延して製造されている。
しかルながら、Ti 、 Zr、 J(f等の六方晶金
属は元々延性が十分でない材料であるが、特て冷延性能
に劣っていて、冷間1モ延時の圧延変形抵抗が非常に高
く、■−かも圧延中に板Hのエツジ部や表面に割れを発
生1−やすいと言う問題を抱えており、性状の良好な全
延板を安定してNAiてることが極めて困難たったので
ある。
属は元々延性が十分でない材料であるが、特て冷延性能
に劣っていて、冷間1モ延時の圧延変形抵抗が非常に高
く、■−かも圧延中に板Hのエツジ部や表面に割れを発
生1−やすいと言う問題を抱えており、性状の良好な全
延板を安定してNAiてることが極めて困難たったので
ある。
〈発明の目的〉
この発明は、上述のような状況の下でなされたものであ
り、その主たる目的は、′I゛1又はZr、或いは更に
そ」1らを基金属とした合金省、六方晶金属6てみら、
lする圧延変形抵抗を低減し、冷間圧延時に発生しがち
な ゛耳側れ”□や゛表面割れ゛を防止して、高品質の
冷延板を安定して量産T7得る方法を提供することにあ
る。
り、その主たる目的は、′I゛1又はZr、或いは更に
そ」1らを基金属とした合金省、六方晶金属6てみら、
lする圧延変形抵抗を低減し、冷間圧延時に発生しがち
な ゛耳側れ”□や゛表面割れ゛を防止して、高品質の
冷延板を安定して量産T7得る方法を提供することにあ
る。
〈発明の構成)・
本発明者鍮は、この発明をなfKあたり、まず前記六方
晶金属の冷間圧延時に発生する割れ原因を解明すべく取
り組んだ基礎的な研究の段階で、伸びが30〜40%と
言う高い値を示す純Tlにおいても割れの発生がみもれ
ろことがらして、[)i+記割れ発生原因が、従来から
言われている°“延性不足i即ちII伸゛び不足い に
あるとするだけでは十分に説明できないとの結論を得、
熱延加熱条件、熱間圧延条例、焼鈍条件及び冷間圧延条
件等について様々な観点からの総合的な検討を加えなが
ら、六方晶金属における変形抵抗の動向を更て詳細に研
究した結果、以下fa)〜(C)に示される如き知見を
得たのである。即ち、 +a+ 六方晶金属り熱間圧延を700℃以上の高温
度域で実施才ろと、この高温熱延によって基本型(Ba
5altype )の集合組織が破壊され、不規則結晶
組織又は横型(transverse type )の
集合組織となって°゛すベリ変形”を生じやすくなるこ
と、 (b) 六方晶金属の冷間圧延では、通常、加工熱に
よって被圧延材の温度が100℃を越えて200℃近<
K−1:で上昇するが、この温度を100℃以下に調整
すると、被圧延材の′□双晶変形” が著しく促進され
ること、 (C) 従って、六方晶金属冷延板を製造″1−ろに
際し、熱間圧延を700 ℃以上の高温度域で終了する
とともに、冷間圧延時の被圧延材温度を100℃以下に
調整すると、冷間圧延時の変形抵抗が著しく低下して、
被圧延材エツジ部の1耳割れlや表面の割ねを安定・確
実に防・止できること。
晶金属の冷間圧延時に発生する割れ原因を解明すべく取
り組んだ基礎的な研究の段階で、伸びが30〜40%と
言う高い値を示す純Tlにおいても割れの発生がみもれ
ろことがらして、[)i+記割れ発生原因が、従来から
言われている°“延性不足i即ちII伸゛び不足い に
あるとするだけでは十分に説明できないとの結論を得、
熱延加熱条件、熱間圧延条例、焼鈍条件及び冷間圧延条
件等について様々な観点からの総合的な検討を加えなが
ら、六方晶金属における変形抵抗の動向を更て詳細に研
究した結果、以下fa)〜(C)に示される如き知見を
得たのである。即ち、 +a+ 六方晶金属り熱間圧延を700℃以上の高温
度域で実施才ろと、この高温熱延によって基本型(Ba
5altype )の集合組織が破壊され、不規則結晶
組織又は横型(transverse type )の
集合組織となって°゛すベリ変形”を生じやすくなるこ
と、 (b) 六方晶金属の冷間圧延では、通常、加工熱に
よって被圧延材の温度が100℃を越えて200℃近<
K−1:で上昇するが、この温度を100℃以下に調整
すると、被圧延材の′□双晶変形” が著しく促進され
ること、 (C) 従って、六方晶金属冷延板を製造″1−ろに
際し、熱間圧延を700 ℃以上の高温度域で終了する
とともに、冷間圧延時の被圧延材温度を100℃以下に
調整すると、冷間圧延時の変形抵抗が著しく低下して、
被圧延材エツジ部の1耳割れlや表面の割ねを安定・確
実に防・止できること。
即ち、一般に金属の塑性変形は「′1−ベリ変形」と「
双晶変形」によって行わ′Aする。そして、どちらの変
形が優先するかは、幾可学的要因〔結晶構造2外力の方
位〕、材料学的要因〔合金組成(ミクロ的な揺らぎ)、
不純物元素(C,N、O)。
双晶変形」によって行わ′Aする。そして、どちらの変
形が優先するかは、幾可学的要因〔結晶構造2外力の方
位〕、材料学的要因〔合金組成(ミクロ的な揺らぎ)、
不純物元素(C,N、O)。
結晶粒界、析出粒子の大きさや分布、集合組織〕、及び
変形条件〔変形温度、変形速度、予歪の有無〕によって
決まるものである。
変形条件〔変形温度、変形速度、予歪の有無〕によって
決まるものである。
ところで、六方晶金属であるTiのすべり変形を考えろ
と、主すべり系は第3図に示すように、(0001[1
,120:)、(101,01(1120)。
と、主すべり系は第3図に示すように、(0001[1
,120:)、(101,01(1120)。
(]、 OT ]、 l C11乏0〕のみであり、す
べり方向がすべてC112o〕と底面内にあるため、C
軸方向の変形に寄与できないことがわがろ。従って、第
2図で示されろ如き基本型集合組織を持つ場合には、圧
延変形力ような板厚減少が主体となる変形を行うと高い
変形抵抗を示し、変形能が著しく低下する。
べり方向がすべてC112o〕と底面内にあるため、C
軸方向の変形に寄与できないことがわがろ。従って、第
2図で示されろ如き基本型集合組織を持つ場合には、圧
延変形力ような板厚減少が主体となる変形を行うと高い
変形抵抗を示し、変形能が著しく低下する。
これに対して、基本型集合組織からずれている不規則結
晶組織或いは横型集合組織〔C軸が圧延方向(RD)と
直角な方向(TD)を向いた第3図で示されるようなも
の〕の場合には、すべり変形が生じや1−<なって変形
抵抗が減少する。
晶組織或いは横型集合組織〔C軸が圧延方向(RD)と
直角な方向(TD)を向いた第3図で示されるようなも
の〕の場合には、すべり変形が生じや1−<なって変形
抵抗が減少する。
このように、六方晶金属において圧延変形抵抗を下げ、
冷間圧延におけろ変形を容易に−(ろためには、冷間圧
延に供する熱延板が不規則結晶組織或いは横型集合組織
を有していることが望ましいが、熱間圧延を700℃未
満で終了したものは基本型集合組織となっているのに対
して、700℃以上で熱間圧延を終了すると横型の集合
組織となり、圧延終了温度を更に冒くすると不規則結晶
組織に近くなることが確認されたのである。
冷間圧延におけろ変形を容易に−(ろためには、冷間圧
延に供する熱延板が不規則結晶組織或いは横型集合組織
を有していることが望ましいが、熱間圧延を700℃未
満で終了したものは基本型集合組織となっているのに対
して、700℃以上で熱間圧延を終了すると横型の集合
組織となり、圧延終了温度を更に冒くすると不規則結晶
組織に近くなることが確認されたのである。
一方、T1の双晶変形を考えると、変形双晶を発生させ
る要因として、筒純度化、歪量の増大、結晶粒度の粗大
化、変形温度の低温化、歪速度の上昇及び冷間での予歪
の付与等をあげることができるが、この中でも変形温度
の低下が変形双晶発生に特に大きく寄与するものであり
、すべり変形が発生し得ない基本型集合組織を有するも
のの変形の場合には極めて重要な因子、となり得るとの
確認もなされたのである。
る要因として、筒純度化、歪量の増大、結晶粒度の粗大
化、変形温度の低温化、歪速度の上昇及び冷間での予歪
の付与等をあげることができるが、この中でも変形温度
の低下が変形双晶発生に特に大きく寄与するものであり
、すべり変形が発生し得ない基本型集合組織を有するも
のの変形の場合には極めて重要な因子、となり得るとの
確認もなされたのである。
この発明は、上記知見(で基づいてなされたものであり
、 熱間圧延と冷間圧延とによって六方晶金属冷延板を製造
するに際して、熱間圧延を700℃以上で終了するとと
もに、この後の焼鈍に続いて行われる冷間圧延を、被圧
延材温度が100℃を越えない温度にて実施することに
より、”耳割れ1・やn表面割れ1を生ずることなく、
品質の良好な製品を安定して量産し得るようにした点、
に特徴を有するものである。
、 熱間圧延と冷間圧延とによって六方晶金属冷延板を製造
するに際して、熱間圧延を700℃以上で終了するとと
もに、この後の焼鈍に続いて行われる冷間圧延を、被圧
延材温度が100℃を越えない温度にて実施することに
より、”耳割れ1・やn表面割れ1を生ずることなく、
品質の良好な製品を安定して量産し得るようにした点、
に特徴を有するものである。
なお、前記「六方晶金属」としては’l’ 1 、Zr
+ Hf 。
+ Hf 。
及びこからの合金等があげられるが、これに限定される
ものでなく、結晶構造が六方晶を呈する絋ののいずれも
が対象となることは言う、までもない。
ものでなく、結晶構造が六方晶を呈する絋ののいずれも
が対象となることは言う、までもない。
次いで、この発明Wおいて、熱間圧延の終止温度、及び
冷間圧延時の被圧延材温度を前記の如くに限定した理由
を説明する。
冷間圧延時の被圧延材温度を前記の如くに限定した理由
を説明する。
a)熱間圧延終止温度
熱間圧延の終止温度は、冷間圧延時の素材の変形能に及
ぼす影響が最も大きい因子であり、該温度が700℃を
下回ると冷間圧延時に被圧延材の”耳割れ゛ を発生す
るようになることから、熱間圧延終止温度を700℃以
上と定めた。なお、より一層安定して高品質の冷延コイ
ルを得るためには、熱間圧延終止温度を800℃以上と
するのが好ましい。
ぼす影響が最も大きい因子であり、該温度が700℃を
下回ると冷間圧延時に被圧延材の”耳割れ゛ を発生す
るようになることから、熱間圧延終止温度を700℃以
上と定めた。なお、より一層安定して高品質の冷延コイ
ルを得るためには、熱間圧延終止温度を800℃以上と
するのが好ましい。
熱間圧延終止温度ニア00℃以上を確保するための工業
的手段としては、連続スタンドのタンデム熱延Cコイル
フオーム)の場合では、加熱炉から粗圧延スタンドまで
の間の保温、圧延中のエツジ部温度低下防止策〔エツジ
ヒータの設置等〕、粗圧延から仕上圧延までの間の遅延
(ディレィ) ′時間の短縮化、圧延スピードを
上げることによ、る圧延時間の短縮化、圧延中に発生す
る加工熱を利用して温度低下を軽減する方法等を組合せ
るのが良い。なお、コイル圧延の場合にはステツケルミ
ルを採用するのが好適である。一方、Ti合金等によく
採用されろシートフオームの圧延では、軟鋼等を上下に
挟んだ重ね圧延1.或いは更に周囲を拘束したパック圧
延が望ましい。
的手段としては、連続スタンドのタンデム熱延Cコイル
フオーム)の場合では、加熱炉から粗圧延スタンドまで
の間の保温、圧延中のエツジ部温度低下防止策〔エツジ
ヒータの設置等〕、粗圧延から仕上圧延までの間の遅延
(ディレィ) ′時間の短縮化、圧延スピードを
上げることによ、る圧延時間の短縮化、圧延中に発生す
る加工熱を利用して温度低下を軽減する方法等を組合せ
るのが良い。なお、コイル圧延の場合にはステツケルミ
ルを採用するのが好適である。一方、Ti合金等によく
採用されろシートフオームの圧延では、軟鋼等を上下に
挟んだ重ね圧延1.或いは更に周囲を拘束したパック圧
延が望ましい。
b)冷間圧延時の被圧延材温度
冷間圧延温度については、従来、これが冷延板品質に大
きな影響を及ぼ1−との認識がなかったこともあって、
加工熱が発生するKまかせて冷間圧延を実施しており、
圧延途中では最高200℃にまで達していた。
きな影響を及ぼ1−との認識がなかったこともあって、
加工熱が発生するKまかせて冷間圧延を実施しており、
圧延途中では最高200℃にまで達していた。
しかしながら、冷間圧延時の被圧延材の温度が100℃
を越えた状態で圧延を続けると冷延割れが目立って増え
るのに対して、被圧延材の温度を100℃以下に抑制し
た場合には高温熱延とも絡んで冷延割れが著しく減少す
ることがら、該温度が100℃を越えない温度で冷間圧
延を実施することと定めた。
を越えた状態で圧延を続けると冷延割れが目立って増え
るのに対して、被圧延材の温度を100℃以下に抑制し
た場合には高温熱延とも絡んで冷延割れが著しく減少す
ることがら、該温度が100℃を越えない温度で冷間圧
延を実施することと定めた。
冷間圧延時力被圧延拐温度を100℃以下に抑制御−る
工業的手段としては、冷却効果の大き見・圧延油を用い
たり、各パス間で空冷、ガス冷却或いは水冷却を行った
りする方法が推奨される。
工業的手段としては、冷却効果の大き見・圧延油を用い
たり、各パス間で空冷、ガス冷却或いは水冷却を行った
りする方法が推奨される。
なお、熱延加熱温度は、六方晶金属の変形抵抗に直接的
な影響を与えるものではないが、例えば純Tlの場合、
900℃を越−えて加熱すると酸化が著しくなって熱延
後ヘゲ疵の原因となることがらこの場合の加熱温度は8
50〜900℃に調整するのが望ましい。また、Ti
6M 4V合金の場合、変態点以上に加熱すると組織
の粗大化を生じて製品特性(伸び、絞り)が劣るように
なることから、加熱温度を変態点以下(通常は880〜
890℃)とするのが好ましい。
な影響を与えるものではないが、例えば純Tlの場合、
900℃を越−えて加熱すると酸化が著しくなって熱延
後ヘゲ疵の原因となることがらこの場合の加熱温度は8
50〜900℃に調整するのが望ましい。また、Ti
6M 4V合金の場合、変態点以上に加熱すると組織
の粗大化を生じて製品特性(伸び、絞り)が劣るように
なることから、加熱温度を変態点以下(通常は880〜
890℃)とするのが好ましい。
但し、総じて熱延加熱温度が低くなりすぎると(例えば
850℃以下程度になると)必要な熱間圧延終止温度を
確保できなくなる恐れがあるので、この点からの配慮も
重要である。特に、タンデム連続圧延設備では、熱間圧
延終止温度が加熱温度にほぼ比例して低下するので注意
を要する。
850℃以下程度になると)必要な熱間圧延終止温度を
確保できなくなる恐れがあるので、この点からの配慮も
重要である。特に、タンデム連続圧延設備では、熱間圧
延終止温度が加熱温度にほぼ比例して低下するので注意
を要する。
また、冷間IJ:延の前に実施される熱延板の焼鈍は、
従来通りの軟化焼鈍で十分である。例えば、純T1の揚
台には7 (10〜750 ℃稈(q 0)焼鈍温度を
採用するのが良< 、Ti−6Ae −4V台分では、
通常、700〜850 ℃σ)範囲が選ばれろ。
従来通りの軟化焼鈍で十分である。例えば、純T1の揚
台には7 (10〜750 ℃稈(q 0)焼鈍温度を
採用するのが良< 、Ti−6Ae −4V台分では、
通常、700〜850 ℃σ)範囲が選ばれろ。
以4−述べたような本発明の、条件で六方晶金属の7/
6延板を製造すれば、圧延荷車や圧延バス回数を従来よ
りも十分に低減することができ、しかも耳割り、や表面
割れを殆んど発生させろことなく、高品質の製品を得る
ことができるのである。
6延板を製造すれば、圧延荷車や圧延バス回数を従来よ
りも十分に低減することができ、しかも耳割り、や表面
割れを殆んど発生させろことなく、高品質の製品を得る
ことができるのである。
次いで、この発明を、実施例により従来例と比較しなが
ら説明才ろ。
ら説明才ろ。
〈実施例〉
実施例 ]
tず、純Tlの15にフィンゴツトを分塊圧延して厚さ
=20喘X幅: 100陥×長さ=200胴のスラブを
得た。
=20喘X幅: 100陥×長さ=200胴のスラブを
得た。
次に、該スラブを900℃の加熱炉内で1時間保持した
後、客種熱間圧延終止温度で4パスの熱間圧延を実施し
、厚さ=411III+の熱延板を製造した。
後、客種熱間圧延終止温度で4パスの熱間圧延を実施し
、厚さ=411III+の熱延板を製造した。
続いて、該熱延板に、720℃の温度に10分間保持後
空冷すると言う条件の焼鈍を施してから、5〜15パス
の冷間圧延を行い、厚さ=08論の純T1冷延板を得た
。、 このときの熱間圧延終止温度及び冷間圧延最高到達温度
と冷間圧延時σ〕割れ発生状況との関係を調べた結果を
第4図に示す。
空冷すると言う条件の焼鈍を施してから、5〜15パス
の冷間圧延を行い、厚さ=08論の純T1冷延板を得た
。、 このときの熱間圧延終止温度及び冷間圧延最高到達温度
と冷間圧延時σ〕割れ発生状況との関係を調べた結果を
第4図に示す。
第4図に示される結果からも、本発明の方法によって良
好な品質の六方晶金属冷延板を得られろことがわかる。
好な品質の六方晶金属冷延板を得られろことがわかる。
実施例 2
まず、第1表に示される如き六方晶金属のスラブ(厚さ
:150mn1.幅: 1000 mm )を用意し、
900℃の加熱炉内で1時間保持した後、熱間圧延終止
温度がそれぞれ第1表で示される熱間圧延を施し、板厚
=4.5〜3.5 mmの熱延板を得た。
:150mn1.幅: 1000 mm )を用意し、
900℃の加熱炉内で1時間保持した後、熱間圧延終止
温度がそれぞれ第1表で示される熱間圧延を施し、板厚
=4.5〜3.5 mmの熱延板を得た。
次に、得られた熱延板に焼鈍(720℃に1分間保持後
、ガス冷却)を施した後、各バス間をガス冷却して被圧
延材の最高到達温度を制御しつつ冷間圧延を実施し、厚
さ:0.8mmの六方晶金属冷延板を得た。
、ガス冷却)を施した後、各バス間をガス冷却して被圧
延材の最高到達温度を制御しつつ冷間圧延を実施し、厚
さ:0.8mmの六方晶金属冷延板を得た。
該冷延板について割れ発生状況を観察した結果を、第1
表に併せて示した。
表に併せて示した。
第1表に示される結果からも、本発明の方法で規定する
条件に従えば、−耳割れ−等のない健全な六方晶金属冷
延板(コイル)を安定して得られることが明白である。
条件に従えば、−耳割れ−等のない健全な六方晶金属冷
延板(コイル)を安定して得られることが明白である。
〈総括的な効果〉
上述のように、この発明によれば、Tiで代表される六
方晶金属冷延板の製造に際して、冷間圧延時の圧延変形
抵抗が著しく小さくなり、儒耳側れ−や・表面割れ・を
生ずることなく、高品質の冷延板を安定して量産するこ
とが可能となるなど、産業上極めて有用な効果がもたら
されるのである。
方晶金属冷延板の製造に際して、冷間圧延時の圧延変形
抵抗が著しく小さくなり、儒耳側れ−や・表面割れ・を
生ずることなく、高品質の冷延板を安定して量産するこ
とが可能となるなど、産業上極めて有用な効果がもたら
されるのである。
第1図は、純Tiのすべり系を示す模式図、第2図は、
基本型集合組織を有する純Tl熱延材の結晶方位模式図
、 第3図は、横型集合組織を有てる純Ti熱延材の結晶方
位模式図、 第4図は、熱間圧延終止温度及び冷間圧延最高到達温度
と冷間圧延時の割れ発生状況との関係を示すグラフであ
る。 出願人 住友金属工業株式会社 代理人 富 1)和 夫 ほか1名穿1図 茅2図 学3層 葦4図
基本型集合組織を有する純Tl熱延材の結晶方位模式図
、 第3図は、横型集合組織を有てる純Ti熱延材の結晶方
位模式図、 第4図は、熱間圧延終止温度及び冷間圧延最高到達温度
と冷間圧延時の割れ発生状況との関係を示すグラフであ
る。 出願人 住友金属工業株式会社 代理人 富 1)和 夫 ほか1名穿1図 茅2図 学3層 葦4図
Claims (1)
- 熱間圧延と冷間圧延とによって六方晶金属冷延板を製造
するに際して、熱間圧延を700℃以上で終了するとと
もに、この後の焼鈍に続いて行われる冷間圧延を、被圧
延材温度が100℃を越えない温度にて実施することを
特徴とする六方晶金属冷延板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12358484A JPS613873A (ja) | 1984-06-15 | 1984-06-15 | 六方晶金属冷延板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12358484A JPS613873A (ja) | 1984-06-15 | 1984-06-15 | 六方晶金属冷延板の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS613873A true JPS613873A (ja) | 1986-01-09 |
Family
ID=14864204
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12358484A Pending JPS613873A (ja) | 1984-06-15 | 1984-06-15 | 六方晶金属冷延板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS613873A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05339712A (ja) * | 1992-06-09 | 1993-12-21 | Mitsubishi Electric Corp | 成膜装置 |
-
1984
- 1984-06-15 JP JP12358484A patent/JPS613873A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH05339712A (ja) * | 1992-06-09 | 1993-12-21 | Mitsubishi Electric Corp | 成膜装置 |
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