JPS6134018A - 封止用エポキシ樹脂組成物 - Google Patents
封止用エポキシ樹脂組成物Info
- Publication number
- JPS6134018A JPS6134018A JP15615684A JP15615684A JPS6134018A JP S6134018 A JPS6134018 A JP S6134018A JP 15615684 A JP15615684 A JP 15615684A JP 15615684 A JP15615684 A JP 15615684A JP S6134018 A JPS6134018 A JP S6134018A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- epoxy resin
- epoxy
- sealing
- resin composition
- parts
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- Pending
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- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
- Epoxy Resins (AREA)
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
この発明は、王として、紙基材エポキシ基板(積層板)
上に実装されるICなどの半導体チップの封正に用いら
れるのに適した封止用エポキシ樹脂組成物に関するもの
である。
上に実装されるICなどの半導体チップの封正に用いら
れるのに適した封止用エポキシ樹脂組成物に関するもの
である。
近年のエレクトロニクスの急激な発展に伴−1半導体素
子封止用の樹脂について要求される信頼性も厳しくなっ
ており、低圧トランスファモールド品に対する信頼性向
上1に耐湿信頼性向上)のための努力が続けられてきた
。
子封止用の樹脂について要求される信頼性も厳しくなっ
ており、低圧トランスファモールド品に対する信頼性向
上1に耐湿信頼性向上)のための努力が続けられてきた
。
一方、半導体素子は、個別にパッケージされて回路素子
として使われているものも多いが、ノ・イブリッドIC
,ナツプオンボードと呼ばれる、回路基板に半導体のチ
ップが取り付けられるような使用法が、少量多品種対応
、薄膜化のために増加する傾向にある。特に、ガラス−
エポキシ積層板を基板に用いてICを実装す3方法は、
民生用、中でも時計、カメラ用を中心に一般化している
・さらに最近では、低コスト化、連続生産性によるメリ
ットから、このガラス−エポキシ積層板に代えて、紙基
材エポキシ積層板(以下、紙−エポキシ基鈑という)を
基板に用いる方法が考案されている。紙基材の場合は、
パンチングが可能であり、小型部品をいくつも並べて連
続生産することが比較的容易である。
として使われているものも多いが、ノ・イブリッドIC
,ナツプオンボードと呼ばれる、回路基板に半導体のチ
ップが取り付けられるような使用法が、少量多品種対応
、薄膜化のために増加する傾向にある。特に、ガラス−
エポキシ積層板を基板に用いてICを実装す3方法は、
民生用、中でも時計、カメラ用を中心に一般化している
・さらに最近では、低コスト化、連続生産性によるメリ
ットから、このガラス−エポキシ積層板に代えて、紙基
材エポキシ積層板(以下、紙−エポキシ基鈑という)を
基板に用いる方法が考案されている。紙基材の場合は、
パンチングが可能であり、小型部品をいくつも並べて連
続生産することが比較的容易である。
セラミック基板、ガラス−エポキシ基板1紙−エポキシ
基板などに実装されたICは、その信頼性を確保するた
め、通常、エポキシ樹脂で封止される。このような封止
は、成形材料となる樹脂組酸物を冷開成形して所定形状
のペレットとしたのち、これを溶融加熱によって硬化さ
せたり、l液性または2液性の樹脂をディスペンサで定
量吐出したりして行っている。
基板などに実装されたICは、その信頼性を確保するた
め、通常、エポキシ樹脂で封止される。このような封止
は、成形材料となる樹脂組酸物を冷開成形して所定形状
のペレットとしたのち、これを溶融加熱によって硬化さ
せたり、l液性または2液性の樹脂をディスペンサで定
量吐出したりして行っている。
このように封止されることにより、IC,トランジスタ
などの半導体チップは、その耐湿信頼性。
などの半導体チップは、その耐湿信頼性。
耐熱衝撃性が確保されている。ところが、セラミック基
板、ガラス−エポキシ基板上のチップの封止には、比較
的信頼性の高い樹脂組成物が知られているのに対して、
紙−エポキシ基板では、良好な封止材料となる樹脂組成
物が知られていない。
板、ガラス−エポキシ基板上のチップの封止には、比較
的信頼性の高い樹脂組成物が知られているのに対して、
紙−エポキシ基板では、良好な封止材料となる樹脂組成
物が知られていない。
その理由としては、つぎのことがあげられる。第1図の
、基板上に取付けた半導体チップを封止したものを示す
断面図において、封止材lと基板2の界面Aおよび封止
材lと半導体チップ3の界面Bの両方について、使用時
、評価試験時に高い密着性が要求される。基板が、セラ
ミック基板、ガラス−エポキシ基板であれば、それらの
線膨張係数が半導体チップの線膨張係数と同じくらい小
さく、界面Aと界面Bとはほぼ同じような性質を有して
おり、封止材料の低線膨張化、低硬化収縮化により、比
較的容易に密着性を出すことが可能である。
、基板上に取付けた半導体チップを封止したものを示す
断面図において、封止材lと基板2の界面Aおよび封止
材lと半導体チップ3の界面Bの両方について、使用時
、評価試験時に高い密着性が要求される。基板が、セラ
ミック基板、ガラス−エポキシ基板であれば、それらの
線膨張係数が半導体チップの線膨張係数と同じくらい小
さく、界面Aと界面Bとはほぼ同じような性質を有して
おり、封止材料の低線膨張化、低硬化収縮化により、比
較的容易に密着性を出すことが可能である。
この上う彦低線膨張化、低硬化収縮化をはかるため、従
来は、充填材を封止用樹脂組成物全組成中に60〜70
vol %となるように配合されていた。
来は、充填材を封止用樹脂組成物全組成中に60〜70
vol %となるように配合されていた。
仁れに対し、紙−エポキシ基板であれば、界面At;t
、紙−エポキシ基板と硬化物(封止材)との界面であり
、界面Bri、シリコンベースの半導体チップと硬化物
との界面であり、界面A、Bは性質が異なる。紙−エポ
キシ基板は、線膨張係数が3X 10 ’ 〜4Xl
O’ [deg−1]とセラミック基板、カラス−エポ
キシ基板よりも大きいうえに、封止材の硬化時、使用時
、評価試験時の熱履歴により収縮が起こるという性質が
ある。すなわち、界面Aでは、適当な大きさの硬化収縮
と線膨張係数を持った硬化物が適するのに対して、界面
Bでは、セラミック基板やガラス−エポキシ基板のとき
と同様に、低硬化収縮、低線膨張の硬化物でないと密着
性が確保されない。
、紙−エポキシ基板と硬化物(封止材)との界面であり
、界面Bri、シリコンベースの半導体チップと硬化物
との界面であり、界面A、Bは性質が異なる。紙−エポ
キシ基板は、線膨張係数が3X 10 ’ 〜4Xl
O’ [deg−1]とセラミック基板、カラス−エポ
キシ基板よりも大きいうえに、封止材の硬化時、使用時
、評価試験時の熱履歴により収縮が起こるという性質が
ある。すなわち、界面Aでは、適当な大きさの硬化収縮
と線膨張係数を持った硬化物が適するのに対して、界面
Bでは、セラミック基板やガラス−エポキシ基板のとき
と同様に、低硬化収縮、低線膨張の硬化物でないと密着
性が確保されない。
このため、従来のように封止用樹脂組成物に充填材を配
合しているだけでは、前記のような性能をもたせること
ができなかった。
合しているだけでは、前記のような性能をもたせること
ができなかった。
この発明は、以上のことに鑑み、紙−エポキシ基板上に
実装するICなどの半導体チップを封止する信頼性の高
い材料を提供することを目的とする。
実装するICなどの半導体チップを封止する信頼性の高
い材料を提供することを目的とする。
この発明は、上記の目的を達成するために、充填材を全
組成中35〜40 vol 4含み、エポキシ樹脂10
0重量部に対して、10〜60重量部の末端カルボキシ
ル液状アクリロニトリル−ブタジエン共重合体を含む封
止用熱硬化性エポキシ樹脂組成物をその要旨としている
。以F1 この発明について詳1−7〈説明する。
組成中35〜40 vol 4含み、エポキシ樹脂10
0重量部に対して、10〜60重量部の末端カルボキシ
ル液状アクリロニトリル−ブタジエン共重合体を含む封
止用熱硬化性エポキシ樹脂組成物をその要旨としている
。以F1 この発明について詳1−7〈説明する。
充填材の含量は、樹脂組成物全組成中35〜40vol
%とすることが必要である。これによって、樹脂の線
膨張係数が1紙−エポキシ基板のそれに近似するように
なり、前記界面Aでの密着性、すなわち紙−エポキシ基
板との密着性が確保できる材料となる。充填材の含量が
40 vol 4を超えると、封止材の線膨張や硬化収
縮が小さくなりすぎ紙−エポキシ基板との密着性が悪く
なる。充填材としては、高純度で得ら几る、結晶ブリ力
、浴融シリカ、アルミナ、水酸化アルミニウムなどが用
いられる。
%とすることが必要である。これによって、樹脂の線
膨張係数が1紙−エポキシ基板のそれに近似するように
なり、前記界面Aでの密着性、すなわち紙−エポキシ基
板との密着性が確保できる材料となる。充填材の含量が
40 vol 4を超えると、封止材の線膨張や硬化収
縮が小さくなりすぎ紙−エポキシ基板との密着性が悪く
なる。充填材としては、高純度で得ら几る、結晶ブリ力
、浴融シリカ、アルミナ、水酸化アルミニウムなどが用
いられる。
熱硬化性エポキシ樹1旨は、液状、粉状、ペレット状な
ど形態は問わない。その形態に応じて、ビスフェノール
型エポキシ、ノボラック型エポキシ。
ど形態は問わない。その形態に応じて、ビスフェノール
型エポキシ、ノボラック型エポキシ。
クレゾールノボラック型エポキシ、脂環式エポキシなど
を樹脂として用いることができる。硬化剤・とじては、
アミン類、酸無水物類、−1ミダゾール類、ジシアンジ
アミド、ヒドラジド化合物、アミンイミド化合物、ポリ
アミド類などを用いることができる。必要なら、イミダ
ゾール類、VJ三級アミンなどの硬化促進剤や滑剤、希
釈剤、カップリング剤、顔料、界面活性剤その他の添加
剤を用いてもよい。
を樹脂として用いることができる。硬化剤・とじては、
アミン類、酸無水物類、−1ミダゾール類、ジシアンジ
アミド、ヒドラジド化合物、アミンイミド化合物、ポリ
アミド類などを用いることができる。必要なら、イミダ
ゾール類、VJ三級アミンなどの硬化促進剤や滑剤、希
釈剤、カップリング剤、顔料、界面活性剤その他の添加
剤を用いてもよい。
末端カルボキシル液状アクリロニトリル−ブタジエン共
重合体(以下、CTBNと表示する)Fi、エボキン樹
脂100重量部に対してlO〜60重量部含まれるよう
にする必要がある。これは、前記界面B1すなわち半導
体チップとの界面において、CTBNの添加による封止
材の応力分散、低ヤング率化で、膨張、収縮時に密着性
確保が可能であるためと考えられる。CTBNの含量が
10重量部より少ないと前記効果がみられないし、60
重量部よりも多いと硬化物がゴム状となり、ガラス転移
点が低下(すなわち耐熱性が低下)するのでよくない。
重合体(以下、CTBNと表示する)Fi、エボキン樹
脂100重量部に対してlO〜60重量部含まれるよう
にする必要がある。これは、前記界面B1すなわち半導
体チップとの界面において、CTBNの添加による封止
材の応力分散、低ヤング率化で、膨張、収縮時に密着性
確保が可能であるためと考えられる。CTBNの含量が
10重量部より少ないと前記効果がみられないし、60
重量部よりも多いと硬化物がゴム状となり、ガラス転移
点が低下(すなわち耐熱性が低下)するのでよくない。
単なるNBR(アクリロニトリル−ブタ、 ジエンゴム
)、すなわち、末端にカルボキシル基を有しないNBR
では、Tg (ガラス転移点)も低下してしまい、耐熱
性の点から見て不適当である。
)、すなわち、末端にカルボキシル基を有しないNBR
では、Tg (ガラス転移点)も低下してしまい、耐熱
性の点から見て不適当である。
アクリロニトリルを共重合させることによって、エポキ
シm脂との相溶性が増那しており、一般的には、アクリ
ロニトリル含有量は、重合体中の5〜40係が好ましt
、−=、CTBNは、エポキシ樹月旨との分散性から室
温で液状であることが好ましい。
シm脂との相溶性が増那しており、一般的には、アクリ
ロニトリル含有量は、重合体中の5〜40係が好ましt
、−=、CTBNは、エポキシ樹月旨との分散性から室
温で液状であることが好ましい。
その他、基板としては、紙−エポキシ基板であれば特に
限定されない、エツチングCuをそのままパターンとし
て用いる場合もあるし、その場合には、ソルダーレジス
トも塗布されている部分があってもかまわない。また、
CuパターンをAuその他の金属メッキを施している場
合もこの兄明の樹脂組成物が封止材料としてそのま1使
える。
限定されない、エツチングCuをそのままパターンとし
て用いる場合もあるし、その場合には、ソルダーレジス
トも塗布されている部分があってもかまわない。また、
CuパターンをAuその他の金属メッキを施している場
合もこの兄明の樹脂組成物が封止材料としてそのま1使
える。
以下、実施例および比較例を7・六す。
(実施例1)
エポキシ樹脂(シェル化学(株) 製:エビコート82
8)100重量部に対して、アジピン酸ジヒドラジドを
17重量部、イミダゾール1 o、 3重量部配合し、
3本ロールを用いて均一に分散したのち、カップリング
剤としてエポキシシランA−187(日本ユニカー(株
)製)を0.5重量部およびCTBN(グツドリッチ社
lll: 1300X8)、充填材として溶融シリカ(
電気化学(株)g:F−9o)iそれぞれ第1表に示す
ような割合で配合し、3本ロールで混練し液状封止材料
を得た・この封止材料を用いて、紙−エポキシ積層板(
松下電工(株)製: R−1720> 上に実装した
ICをディスペンサを使って封止し、160℃で3時間
加熱硬化させ封止物を得た。
8)100重量部に対して、アジピン酸ジヒドラジドを
17重量部、イミダゾール1 o、 3重量部配合し、
3本ロールを用いて均一に分散したのち、カップリング
剤としてエポキシシランA−187(日本ユニカー(株
)製)を0.5重量部およびCTBN(グツドリッチ社
lll: 1300X8)、充填材として溶融シリカ(
電気化学(株)g:F−9o)iそれぞれ第1表に示す
ような割合で配合し、3本ロールで混練し液状封止材料
を得た・この封止材料を用いて、紙−エポキシ積層板(
松下電工(株)製: R−1720> 上に実装した
ICをディスペンサを使って封止し、160℃で3時間
加熱硬化させ封止物を得た。
(実施例2,3および比較例1〜4)
実施例1の組成物において、CTBNおよび浴融シリカ
をそれぞれ第1表に示すような割合で配合して、実施例
1と同様にして液状封止材料を得た。
をそれぞれ第1表に示すような割合で配合して、実施例
1と同様にして液状封止材料を得た。
実施例2.3および比較例1〜4の封止材料をそれぞれ
用いて、紙−エポキシ基板(松下電工ζ株)製: R−
1720)上に実装したICをディスペンサを使って封
止し、160’Cで3時間加熱硬化させ封止物を得た。
用いて、紙−エポキシ基板(松下電工ζ株)製: R−
1720)上に実装したICをディスペンサを使って封
止し、160’Cで3時間加熱硬化させ封止物を得た。
各例50個ずつの封止物について、133℃。
3気圧でのプレッシャークツカーKm (pressu
recooker test s以下PCTと略す)を
行い、10時間ごとに特性をチェックし、不良率が10
4になる時間を調べた。また、各例九ついて封止物を1
0個ずつとり、気相−55℃、30分−100’c。
recooker test s以下PCTと略す)を
行い、10時間ごとに特性をチェックし、不良率が10
4になる時間を調べた。また、各例九ついて封止物を1
0個ずつとり、気相−55℃、30分−100’c。
30分の熱衝撃試験を50サイクル行って特性をチェッ
クした。結果を第1表に併せて示す。
クした。結果を第1表に併せて示す。
(実施例4)
エポキシ樹脂(シェル化’?−(株)@ll:エビコー
ト1007)70重量部、エポキシ樹脂(シェル化学(
株) 製:エビコート82g)30重量部、イミダゾー
ル化合物(四国化成0株)R1: 2E4MZ−OK)
4重量部、カップリング剤としてエポキシシランA−i
87(日本ユニカーC株)製)を0.5重量部。
ト1007)70重量部、エポキシ樹脂(シェル化学(
株) 製:エビコート82g)30重量部、イミダゾー
ル化合物(四国化成0株)R1: 2E4MZ−OK)
4重量部、カップリング剤としてエポキシシランA−i
87(日本ユニカーC株)製)を0.5重量部。
および、 CTBN (グツトリッチ社製: 1300
X8)。
X8)。
アルミナ(住人アルミc株)製:AC−31)をそれぞ
れ第1表に示すような割合で配合し、O−ルで加熱溶融
したのち粉砕し、冷間成形して所定形状にベレット化し
た。これを用いて実施例1と同様にして封止物を得た。
れ第1表に示すような割合で配合し、O−ルで加熱溶融
したのち粉砕し、冷間成形して所定形状にベレット化し
た。これを用いて実施例1と同様にして封止物を得た。
ただし、このときの硬化条件は、150℃92時間+1
20℃、16時間とした。
20℃、16時間とした。
(実施例5,6および比較例5)
実施例4の組成物において、CTBNおよびアルミナを
それぞれ第1表に示すような割合で配合して、実施例4
と同様りこしてペレット状封止材料を得た。
それぞれ第1表に示すような割合で配合して、実施例4
と同様りこしてペレット状封止材料を得た。
実施例5,6および比較例5の封止材料をそれぞれ用い
て、実施例4と同様にして、封止物を得た。硬化条件も
実施例4と同様であった。
て、実施例4と同様にして、封止物を得た。硬化条件も
実施例4と同様であった。
実施例4−6および比較例5で得られた封止物について
上記と同様に試験を行った。結果を第1表に併せて示す
・ (以 下 余 白) 第1表に見るように、CTBNの添加により前記界面B
(第1図参照)の密着性が増加し、耐湿信頼性を示すP
CT結来が良好になっている。CTBNの含有量が樹脂
100重量部に対し60重量部を超えるとTgが低下し
、耐熱性が低下している。また、−充填材の含有量を調
節することにより、前記界面A(第1図参照)の密着性
が増加し、熱衝撃性にも優れた封止材となっている。
上記と同様に試験を行った。結果を第1表に併せて示す
・ (以 下 余 白) 第1表に見るように、CTBNの添加により前記界面B
(第1図参照)の密着性が増加し、耐湿信頼性を示すP
CT結来が良好になっている。CTBNの含有量が樹脂
100重量部に対し60重量部を超えるとTgが低下し
、耐熱性が低下している。また、−充填材の含有量を調
節することにより、前記界面A(第1図参照)の密着性
が増加し、熱衝撃性にも優れた封止材となっている。
この発明の対土用樹脂組成物は、充填材含有量が調節さ
れているので、紙−エポキシ基板に用いれば、その基板
との密着性が増加し、熱衝撃性にも優れた封止物が得ら
れ、また、この発明の封止用樹脂は、CTBNを含有し
ているため、半導体チップとの密着性も良好で耐湿信頼
性も優れた封止物が得られる・
れているので、紙−エポキシ基板に用いれば、その基板
との密着性が増加し、熱衝撃性にも優れた封止物が得ら
れ、また、この発明の封止用樹脂は、CTBNを含有し
ているため、半導体チップとの密着性も良好で耐湿信頼
性も優れた封止物が得られる・
第1図は、封止物の断面図である。
l・・・封止材 2・・・基板 3・・・半導体テップ
A・・・封止材°と基板との界面 B・・・封止材と
半導体チップとの界面 代理人 弁理士 松 本 武 彦 第1図 零ト糸六ネ甫正書(自発) 昭和59年11月 1日 2、発明の名称 封止用エポキシ樹脂組成物 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 柱 所 大阪府門真市大字門真1048番地
名 称(583)松下電工株式会社 代表者 代表取締役 小 林 郁44代理人 な し 6、補正の対象 明細書 7、 補正の内容 (1)明細書第4頁第13行にr3X10−6〜4X1
0’Jとあるを、r3X10−5〜4X10−5」と訂
正する。 (2)明細書第10頁第5行にr2E4MZ−OKゴと
あるを、r2E4MZ−AJと訂正する。 (3)明細書第10頁第9行にrAC−31Jとあるを
、rAL−31jと訂正する。
A・・・封止材°と基板との界面 B・・・封止材と
半導体チップとの界面 代理人 弁理士 松 本 武 彦 第1図 零ト糸六ネ甫正書(自発) 昭和59年11月 1日 2、発明の名称 封止用エポキシ樹脂組成物 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 柱 所 大阪府門真市大字門真1048番地
名 称(583)松下電工株式会社 代表者 代表取締役 小 林 郁44代理人 な し 6、補正の対象 明細書 7、 補正の内容 (1)明細書第4頁第13行にr3X10−6〜4X1
0’Jとあるを、r3X10−5〜4X10−5」と訂
正する。 (2)明細書第10頁第5行にr2E4MZ−OKゴと
あるを、r2E4MZ−AJと訂正する。 (3)明細書第10頁第9行にrAC−31Jとあるを
、rAL−31jと訂正する。
Claims (1)
- (1)充填材を全組成中35〜40vol%含み、エポ
キシ樹脂100重量部に対して、10〜60重量部の末
端カルボキシル液状アクリロニトリル−ブタジエン共重
合体を含む封止用熱硬化性エポキシ樹脂組成物。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15615684A JPS6134018A (ja) | 1984-07-25 | 1984-07-25 | 封止用エポキシ樹脂組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15615684A JPS6134018A (ja) | 1984-07-25 | 1984-07-25 | 封止用エポキシ樹脂組成物 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6134018A true JPS6134018A (ja) | 1986-02-18 |
Family
ID=15621570
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15615684A Pending JPS6134018A (ja) | 1984-07-25 | 1984-07-25 | 封止用エポキシ樹脂組成物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6134018A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014003044A1 (ja) * | 2012-06-29 | 2014-01-03 | 太陽ホールディングス株式会社 | 熱硬化型樹脂組成物および熱硬化型樹脂フィルム |
-
1984
- 1984-07-25 JP JP15615684A patent/JPS6134018A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014003044A1 (ja) * | 2012-06-29 | 2014-01-03 | 太陽ホールディングス株式会社 | 熱硬化型樹脂組成物および熱硬化型樹脂フィルム |
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