JP4994743B2 - フィルム状接着剤及びそれを使用する半導体パッケージの製造方法 - Google Patents
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- OFOXGADZNGVZOX-UHFFFAOYSA-N CCC1C(CC2)CC2C1CC Chemical compound CCC1C(CC2)CC2C1CC OFOXGADZNGVZOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Description
XD-1000(ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、軟化点 約70℃、日本化薬社製)60g、YP-50S(フェノキシ樹脂、Tg約100℃、東都化成社製)20g、エピコート828(ビスフェノールA型エポキシ樹脂、東都化成社製) 44gを秤量し、70gのMIBKを溶剤として500mlのセパラブルフラスコ中、110℃で2時間加熱攪拌して樹脂ワニスを得た。この溶液187gを800mlのプラネタリーミキサーに秤量し、FB-3SDX(球状シリカ、平均粒径 3μm 、粒子径の比=2.4、デンカ社製) 72gを加えて混合したものを3本ロールで混練した。この混合物に、AH-150(ジシアンジアミド、味の素社製) 6g、HX-3722 (マイクロカプセル型イミダゾール系潜在性硬化剤、旭化成エポキシ社製) 2gを加えてプラネタリーミキサーで攪拌混合後、真空脱泡して混合ワニスを得た。上記ワニスを厚さ50μmの離型処理されたPETフィルム上に塗布後、80℃/10min、150℃/1minで熱風乾燥させ、30μmの接着シート、すなわちフィルム状接着剤を得た。
ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂として、HP-7200H(ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、軟化点約80℃、大日本インキ化学工業製)60g を使用した他は、実施例1と同様にして接着シートを製造し、評価した。
球状シリカとして、FB-3SDXを134g 使用した他は、実施例1と同様にして接着シートを製造し、評価した。
球状シリカとして、FB-3SDXを314g使用した他は、実施例1と同様にして接着シートを製造し、評価した。
球状シリカとして、FB-3SDXを58g、SO-25R(龍森社製、微粒子球状シリカ、平均粒径0.5μm、粒子径の比=4.3)を14g使用した他は、実施例1と同様にして接着シートを製造し、評価した。
エポキシ樹脂として、YDCN-702H(クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、軟化点約75℃、東都化成社製) を60g 使用した他は、実施例1と同様にして接着シートを製造し、評価した。
エポキシ樹脂として、EPPN-501H(トリフェニルメタン型エポキシ樹脂、軟化点約55℃、日本化薬社製)を60g使用した他は、実施例1と同様にして接着シートを製造し、評価した。
球状シリカを配合しない他は、実施例1と同様にして接着シートを製造し、評価した。
実施例1〜4、比較例1〜4の組成及び評価結果をまとめて表1に示す。
XD-1000(ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂)60g、YP-50S(フェノキシ樹脂)20g、エピコート828(ビスフェノールA型エポキシ樹脂) 44gを秤量し、70gのMIBKを溶剤として500mlのセパラブルフラスコ中、110℃で2時間加熱攪拌して樹脂ワニスを得た。この溶液187gを800mlのプラネタリーミキサーに秤量し、FB-3SDX(球状シリカ) 72gを加えて混合したものを真空脱泡して混合ワニスを得た。上記ワニスを厚さ50μmの離型処理されたPETフィルム上に塗布後、80℃/10min、150℃/1minで熱風乾燥させ、30μmの接着シート、すなわちフィルム状接着剤を得た。このフィルムの硬化前の溶融粘度を測定した(図1参照)。なお、本実施例においては未硬化状態における溶融粘度を測定するため、エポキシ樹脂硬化剤は配合していない。
球状シリカとして、FB-3SDXを36g、SO-25Rを36g使用した他は、実施例5と同様にして接着シートを製造し、このフィルムの溶融粘度を測定した(図1参照)。
球状シリカとして、SO-25Rを72g使用した他は、実施例5と同様にして接着シートを製造し、このフィルムの硬化前の溶融粘度を測定した(図1参照)。
混合配合系の粒子径の比=(フィラーAの配合割合×フィラーAの[体積平均粒子径]/[個数平均粒子径])+(フィラーBの配合割合×フィラーBの[体積平均粒子径]/[個数平均粒子径])
Claims (5)
- (A)ジシクロペンタジエン骨格含有エポキシ樹脂、(B)平均粒径3〜20μmであり、体積平均粒子径/個数平均粒子径の比が3以下である球状シリカ、(C)フェノキシ樹脂、及び(D)エポキシ樹脂硬化剤を必須成分とし、(B)球状シリカ含有量が30〜80重量%であるフィルム状接着剤。
- 厚さが10〜150μmのフィルム状である請求項1又は2に記載のフィルム状接着剤。
- 多数の半導体素子が形成されたウェハ裏面に請求項1〜3のいずれかに記載のフィルム状接着剤層を設ける工程、ダイシングテープをフィルム状接着剤層側に貼り合せる工程、フィルム状接着剤層とウェハを同時にダイシングして、フィルム状接着剤付き半導体素子とする工程、フィルム状接着剤付き半導体素子をダイシングテープから剥がし、被着体のインターポーザー基板とダイアタッチする工程を含む半導体パッケージの製造方法。
- 請求項4に記載の半導体パッケージの製造方法により製造された半導体パッケージ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006218241A JP4994743B2 (ja) | 2006-08-10 | 2006-08-10 | フィルム状接着剤及びそれを使用する半導体パッケージの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008038111A JP2008038111A (ja) | 2008-02-21 |
JP4994743B2 true JP4994743B2 (ja) | 2012-08-08 |
Family
ID=39173502
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006218241A Active JP4994743B2 (ja) | 2006-08-10 | 2006-08-10 | フィルム状接着剤及びそれを使用する半導体パッケージの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4994743B2 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5345313B2 (ja) * | 2007-12-19 | 2013-11-20 | 新日鉄住金化学株式会社 | フィルム状接着剤、それを用いた半導体パッケージ、及びその製造方法 |
JP2010070653A (ja) * | 2008-09-18 | 2010-04-02 | Sekisui Chem Co Ltd | 絶縁シート及び積層構造体 |
JP5126239B2 (ja) * | 2008-09-30 | 2013-01-23 | 東洋紡株式会社 | 接着剤用樹脂組成物、これを含有する接着剤、接着シートおよびこれを用いて接着したプリント配線板用積層体 |
JP5160380B2 (ja) * | 2008-11-12 | 2013-03-13 | 新日鉄住金化学株式会社 | フィルム状接着剤、それを用いた半導体パッケージ及びその製造方法 |
JP5421626B2 (ja) * | 2009-03-19 | 2014-02-19 | 積水化学工業株式会社 | 接着シート及びダイシング−ダイボンディングテープ |
JP2011159793A (ja) * | 2010-02-01 | 2011-08-18 | Murata Mfg Co Ltd | 巻線コイル部品の製造方法 |
US9583453B2 (en) | 2012-05-30 | 2017-02-28 | Ormet Circuits, Inc. | Semiconductor packaging containing sintering die-attach material |
JP5901715B1 (ja) * | 2014-09-05 | 2016-04-13 | 古河電気工業株式会社 | フィルム状接着剤、フィルム状接着剤を用いた半導体パッケージ及びその製造方法 |
CN111039255B (zh) * | 2019-12-06 | 2023-10-20 | 上海航天控制技术研究所 | 降低mems惯性器件封装应力的方法及mems器件 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3700243B2 (ja) * | 1996-05-08 | 2005-09-28 | 東レ株式会社 | Tab用接着剤付きテープおよび半導体装置 |
JPH10120873A (ja) * | 1996-10-14 | 1998-05-12 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 半導体用絶縁樹脂ペースト |
JP2000204324A (ja) * | 1999-01-08 | 2000-07-25 | Nagase Chiba Kk | エポキシ樹脂系シ―ト状接着剤組成物 |
JP4537555B2 (ja) * | 2000-09-11 | 2010-09-01 | 新日鐵化学株式会社 | 半導体パッケージの製造方法及び半導体パッケージ |
JP2003055632A (ja) * | 2001-08-21 | 2003-02-26 | Lintec Corp | 粘接着テープ |
JP2003268337A (ja) * | 2002-03-15 | 2003-09-25 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 粘接着剤組成物及び粘接着シート |
JP4536660B2 (ja) * | 2003-07-08 | 2010-09-01 | リンテック株式会社 | ダイシング・ダイボンド用粘接着シートおよび半導体装置の製造方法 |
JP2005191069A (ja) * | 2003-12-24 | 2005-07-14 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 半導体用接着フィルムおよび半導体装置 |
-
2006
- 2006-08-10 JP JP2006218241A patent/JP4994743B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008038111A (ja) | 2008-02-21 |
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