JPS6131801B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6131801B2 JPS6131801B2 JP12840878A JP12840878A JPS6131801B2 JP S6131801 B2 JPS6131801 B2 JP S6131801B2 JP 12840878 A JP12840878 A JP 12840878A JP 12840878 A JP12840878 A JP 12840878A JP S6131801 B2 JPS6131801 B2 JP S6131801B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- pattern
- laser beam
- board
- patterns
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は積層用プリント板のパターンの欠陥を
検知するための積層用プリント板パターン検知法
に関するものである。
検知するための積層用プリント板パターン検知法
に関するものである。
積層用プリント板１は、第１図に示すように、
半透明プラスチツクの基板２の表裏にそれぞれ異
なつたパターン３，４を形成してなる。
半透明プラスチツクの基板２の表裏にそれぞれ異
なつたパターン３，４を形成してなる。
このような積層用プリント板のパターンの欠陥
を検知する作業は従来顕微鏡等を用いて行なつて
いるが、パターンが微小サイズのものでしかも基
板の表裏に形成されているため、大変面倒で、改
善が要望されている。
を検知する作業は従来顕微鏡等を用いて行なつて
いるが、パターンが微小サイズのものでしかも基
板の表裏に形成されているため、大変面倒で、改
善が要望されている。
本発明は上述の要望を実現するためのもので、
確実かつ容易にパターンの検知を行なうことので
きる積層用プリント板パターン検知法を提供する
ことを目的としている。
確実かつ容易にパターンの検知を行なうことので
きる積層用プリント板パターン検知法を提供する
ことを目的としている。
次に第２図乃至第７図に関連して本発明の実施
例を説明する。
例を説明する。
第２図に本発明を実施するための検知装置を示
す。図中、５はレーザ発信器、６はレンズ系、７
は反射ミラ、８は集光器、９は光検知器、１０は
アンプ、１１は出力観測器である。集光器８は広
い開口をもつたものである。
す。図中、５はレーザ発信器、６はレンズ系、７
は反射ミラ、８は集光器、９は光検知器、１０は
アンプ、１１は出力観測器である。集光器８は広
い開口をもつたものである。
いま、レーザ発信器５より出射されレンズ系
６、反射ミラ７を通り収束したレーザ光１２を、
第３図に示すように、裏面にパターン４のある部
分の基板２に入射させると、レーザ光は基板２内
に散乱し、この散乱光はパターン４の外側から基
板２外に透過する。この透過光は第４図に示すよ
うに集光器８により集光され、光検知器９に入
る。この場合、パターン４上に直接入射する光は
ここでほぼ完全に止められ、集光器８には入射し
ない。光検知器９はこの集光器８により集光され
た光を検知してアンプ１０に出力信号を送る。こ
の出力信号はアンプ１０で増幅され、出力観測器
１１により測定される。またレーザ光１２が第５
図に示すようにパターン３上に入射した時は、レ
ーザ光１２はここでほぼ完全に止められ、集光器
８には入射しない。さらにまた、レーザ光１２が
表、裏にパターンのない場所で基板２に入射した
場合は、より狭い範囲の散乱を受けた光もパター
ン３，４に遮られないため、出力観測器１１で測
定される出力は一番大きくなる。
６、反射ミラ７を通り収束したレーザ光１２を、
第３図に示すように、裏面にパターン４のある部
分の基板２に入射させると、レーザ光は基板２内
に散乱し、この散乱光はパターン４の外側から基
板２外に透過する。この透過光は第４図に示すよ
うに集光器８により集光され、光検知器９に入
る。この場合、パターン４上に直接入射する光は
ここでほぼ完全に止められ、集光器８には入射し
ない。光検知器９はこの集光器８により集光され
た光を検知してアンプ１０に出力信号を送る。こ
の出力信号はアンプ１０で増幅され、出力観測器
１１により測定される。またレーザ光１２が第５
図に示すようにパターン３上に入射した時は、レ
ーザ光１２はここでほぼ完全に止められ、集光器
８には入射しない。さらにまた、レーザ光１２が
表、裏にパターンのない場所で基板２に入射した
場合は、より狭い範囲の散乱を受けた光もパター
ン３，４に遮られないため、出力観測器１１で測
定される出力は一番大きくなる。
従つて、第６図のイ→ロ→ハ→ニ→ホの順にレ
ーザ光１２が積層用プリント板１上を走査する
と、出力観測器１１は第７図実線で示すような出
力（光強度）の測定結果を得る。
ーザ光１２が積層用プリント板１上を走査する
と、出力観測器１１は第７図実線で示すような出
力（光強度）の測定結果を得る。
パターン３，４に欠陥がある場合は、パターン
欠落部はレーザ光を透過するため、ロ，ニの出力
は例えば第７図に鎖線で示すような異常値となつ
て測定され、パターンの欠陥の有無は確実かつ容
易に検知できる。
欠落部はレーザ光を透過するため、ロ，ニの出力
は例えば第７図に鎖線で示すような異常値となつ
て測定され、パターンの欠陥の有無は確実かつ容
易に検知できる。
以上述べたように、本発明によれば、積層用プ
リント板のパターンの欠陥の有無を確実かつ容易
に検知することが可能である。
リント板のパターンの欠陥の有無を確実かつ容易
に検知することが可能である。
第１図は積層用プリント板の平面図である。第
２図乃至第７図は本発明に係る積層用プリント板
パターン検知法の実施例を示すもので、第２図は
パターン検知装置の概要を示す斜視図、第３図は
裏側にパターンのある部分に入射したレーザ光の
透過説明図、第４図は透過光の検知説明図、第５
図は表側のパターンに入射したレーザ光の不透過
説明図、第６図はレーザ光走査要領図、第７図は
出力観測器の測定結果を示すグラフである。 図中、１は積層用プリント板、２は基板、３，
４はパターン、５はレーザ発信器、６はレンズ
系、７は反射ミラ、８は集光器、９は光検知器、
１０はアンプ、１１は出力観測器、１２はレーザ
光である。
２図乃至第７図は本発明に係る積層用プリント板
パターン検知法の実施例を示すもので、第２図は
パターン検知装置の概要を示す斜視図、第３図は
裏側にパターンのある部分に入射したレーザ光の
透過説明図、第４図は透過光の検知説明図、第５
図は表側のパターンに入射したレーザ光の不透過
説明図、第６図はレーザ光走査要領図、第７図は
出力観測器の測定結果を示すグラフである。 図中、１は積層用プリント板、２は基板、３，
４はパターン、５はレーザ発信器、６はレンズ
系、７は反射ミラ、８は集光器、９は光検知器、
１０はアンプ、１１は出力観測器、１２はレーザ
光である。
Claims (1)
- １ 半透明の基板の表裏にそれぞれパターンを形
成してなるプリント板にレーザ光を走査してその
透過光を該基板内で散乱して該基板外に透過する
光を受光できる程度の広い間口をもつた集光器に
入射させ、該集光器よりの出射光を光検知器によ
り検知して前記パターンの検知を行なうことを特
徴とする積層用プリント板パターン検知法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12840878A JPS5555204A (en) | 1978-10-20 | 1978-10-20 | Pattern detection method of printed board for lamination |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12840878A JPS5555204A (en) | 1978-10-20 | 1978-10-20 | Pattern detection method of printed board for lamination |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5555204A JPS5555204A (en) | 1980-04-23 |
| JPS6131801B2 true JPS6131801B2 (ja) | 1986-07-23 |
Family
ID=14984034
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12840878A Granted JPS5555204A (en) | 1978-10-20 | 1978-10-20 | Pattern detection method of printed board for lamination |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5555204A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5970947A (ja) * | 1982-10-15 | 1984-04-21 | Hitachi Ltd | 印刷配線基板のパタ−ン検出方法 |
| JPS59232344A (ja) * | 1983-06-16 | 1984-12-27 | Hitachi Ltd | 配線パタ−ン検出装置 |
-
1978
- 1978-10-20 JP JP12840878A patent/JPS5555204A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5555204A (en) | 1980-04-23 |
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