JPS6131687A - スクリユ−真空ポンプ - Google Patents

スクリユ−真空ポンプ

Info

Publication number
JPS6131687A
JPS6131687A JP15281884A JP15281884A JPS6131687A JP S6131687 A JPS6131687 A JP S6131687A JP 15281884 A JP15281884 A JP 15281884A JP 15281884 A JP15281884 A JP 15281884A JP S6131687 A JPS6131687 A JP S6131687A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vacuum pump
intake
pressure
rotor
intake valve
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP15281884A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0631627B2 (ja
Inventor
Riichi Uchida
利一 内田
Katsumi Matsubara
松原　克躬
Seiji Tsuru
誠司 鶴
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP59152818A priority Critical patent/JPH0631627B2/ja
Priority to US06/758,032 priority patent/US4664601A/en
Publication of JPS6131687A publication Critical patent/JPS6131687A/ja
Publication of JPH0631627B2 publication Critical patent/JPH0631627B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C28/00—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids
    • F04C28/08—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids characterised by varying the rotational speed
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C28/00—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids
    • F04C28/06—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids specially adapted for stopping, starting, idling or no-load operation
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2240/00—Components
    • F04C2240/40—Electric motor
    • F04C2240/403—Electric motor with inverter for speed control

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明はスクリュ一式真空ポンプに係り、特に高速で運
転することが必要なオイルフリースクリユー真空ポンプ
に関する。
第１図、第２図は従来のオイルフリースクリユー圧縮機
を示したものである。スクリュー圧縮機のケーシングは
Ｄケーシング１、動力入力側に固設されるＳケーシング
２、その反対側に固設されるエンドカバー３からなる。
Ｄケーシング］内には雄ロータ４、雌ロータ５が微小す
きまを有して互いにはまり合うように納めである。これ
らのロータ４，５はＤケーシング１の端部及びＳケーシ
ング２に取り付けたスラフィングボックス６内に設けた
ころ軸受７に支持されており、かつこれらのロータ４，
５は玉軸受８によって軸方向の移動を拘束している。９
はシールで、ロータ軸とケーシング間に設けられ、Ｄケ
ーシング１内の圧縮気体の漏れを防止すると共に、軸受
７，８の給油がＤケーシング１内に浸入するのを防止し
ている。
雄ロータ４の動力入力側軸端にはピニオン１０が取り付
けられ、このピニオン１０はモータ１１と一体となって
回転するプルギヤ１２と噛合する。
ロータ４，５の一方の軸端には両ロータを連動させ、か
つこれらのロータが非接触で回転するように雄タイミン
グギヤ１３とこれに噛合する雌タイミングギヤ１４が取
り付けである。プルギヤ１２とピニオン１０はギヤケー
シング１５に納められ、圧縮機、モータ１１共、ギヤケ
ーシング１５にオーバハングした状態で取り付けである
。Ｄケーシング１には吸入ボート１６、と吐出ボート１
７がある。
このスクリュー圧縮機において、プルギヤ１２が回転す
るとプルギヤ１２とピニオン１０の噛合により雄ロータ
４が回転し、さらにタイミングギヤ１３，１４の噛合に
よって雌ロータも回転する。
その結果、吸入ボート１６から気体を吸い込み、ロータ
４，５の噛合によって圧縮を行い、圧縮した気体を吐出
ボート１７から排出する。
第１図、第２図の構造から明らかなように、スクリュー
圧縮機は吸入ボートを真空槽に結ぶことによって真空ポ
ンプとして作動させることも可能である。
オイルフリースクリユー圧縮機はロータ間、ロータ・ケ
ーシング間からの漏れが大きく、それを防ぐため通常圧
縮機とモータ間に増速機を介して高速でロータを回転し
ている。一般に始動は、吸気弁を全開にした状態で行い
、定常時のロータ周速は６０〜１２０ｍ／ｓである。
スクリュー圧縮機を真空ポンプとして作動させたとき、
定常状態でのトルクは圧縮機として作動させたときに比
べて非常に小さくなる。しかしながら、起動直後は吸気
側が大気圧のため、スクリュー特有の内部圧縮が生じ、
定常時のトルクの数倍となる。第３図は真空ポンプして
作動させたときの起動からの経過時間とトルクの関係を
示したもので、実線が吸気側全開のとき、破線が吸気側
全開のときを示す。図から明らかなように吸気弁を設け
ても直入起動では起動トルクは不十分である。したがっ
て、起動トルクに打ち勝つモータが必要があり、モータ
の容量が太きなる欠点があった。しかも、従来のように
増速機を介して周波数一定でモータが回転する方式では
、吸気側の状態によって容易に吸気圧力を一定に維持で
きない欠点があった。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、起動トルクを最小限に押えることがで
きるスクリュー真空ポンプを提供することにある。
〔発明の概要〕
以上述べたように、起動が直入れのスクリュー真空ポン
プでは吸気側を全開にしても内部圧縮が生じ、起動トル
クの増加は避けられない。これは起動後すぐにスクリュ
ーロータが高速で回転するためである。したがって、吸
気圧が大気圧近傍での内部圧縮によって生じるトルクを
減らすためには、ロータによって閉じ込んだ気体を吸気
側に漏らし、圧力の上昇を少なくさせればよい。そこで
本発明は、起動は低速、定常運転は高速の２通りの運転
をとったものである。
第４図は起動時のＰ−ｖ線図を示したもので。
実線が直入れ起動のとき、破線が低周波起動のときを示
してあり、低周波（低速）起動では圧力の上昇がほとん
どなく、従って、トルクも小さくな〔発明の実施例〕 以下、本発明の一実施例を第５図、第６図により説明す
る。なお、スクリュー真空ポンプ本体は第１図に示した
圧縮機構造と同じであるので、ここでの説明は省略する
。
真空ポンプ５１はカップリング５２を介して高周波モー
タ５３に結合している。真空ポンプ５１の上流側には吸
気弁５４を設け、真空ポンプ５１と吸気弁５４の間には
圧力センサ５５を設けている。変換器５６は圧力センサ
５５の信号を吸気弁５４の開度を制御する信号に変換す
ると同時に、インバータ５７の発生する周波数を制御す
る信号に変換する作用をする。
次に、真空ポンプの運転手順に従って各部の動作を説明
する。真空ポンプ５１が停止状態では吸気弁５４は全開
状態にある。このＴ。の状態で電源が投入されると、イ
ンバータ５７は電圧に比例した周波数が発生し、高周波
モータ５３を低周波で始動させ、これにともない真空ポ
ンプ５１は低速で回転する。その結果、吸気弁５４と真
空ボンプ５１間の圧力は低下し上限設定圧力となったと
き（Ｔｉ　）　、圧力センサ５５の信号を変換器５６の
作用で吸気圧力に連動する吸気弁５４の開度制御信号に
変換し、吸気弁５４の開度を連続的に開放する。さらに
圧力が低下し、下限設定圧力となる（Ｔ２）と、変換器
５６の信号がインバータ５７に送られ、下限設定圧力と
等しい吸気圧力となるように真空ポンプ５１の回転速度
、すなわち高周波モータ５３の回転速度となるような周
波数をインバータ５７で発生させ、吸気圧力を一定に保
つ。この様に定常運転状態では吸気圧力が下限設定圧力
と等しくなるように運転する。また停止する際には、電
源切断に連動して吸気弁を全閉し、排圧が吸気側に漏れ
込むことによる吸気圧の上昇を防止する。
第７図は前記した内容を図で表わしたもので、横軸に時
間、縦軸に吸気圧力、吸入弁開度、真空ポンプの回転速
度を示す。図中矢印の方向を正とする。尚、ＴｏからＴ
１′　までの回転速度は、段階的に増加させてもよい。
本発明の実施例によれば、起動時のトルクを低く押える
ことが可能であり、また、吸気圧力を一定に保つことが
できる。
また、本発明は、スクリュー形だけでなく、スクロール
形などの他の回転容積形真空ポンプにも適用でき、同等
の効果が期待できる。
〔発明の効果〕
以−にのように、本発明によれば、吸気圧力が高い状態
での圧縮がなくなるため、トルクを最小限に押えること
ができる。また、定常運転状態では吸気圧力を一定にす
ることができるので、安定な真空を提供することができ
る。
【図面の簡単な説明】
第１図、第２図は従来のオイルフリースクリユー圧縮機
の説明図、第３図は、起動からの経過時間とトルクとの
関係を示す線図、第４図は、起動時のＰ−ｖ線図、第５
図、第６図は本発明の一実施例の説明図であって、第５
図は本体の正面図、第６図は系統図、第７図は、時間と
回転速度、吸気弁の開度および吸気圧力との関係を示す
線図である。 ５１・・・真空ポンプ、５２・・・カップリング、５３
・・・高周波モータ、５４・・・吸気弁、５５・・圧力
センサ、５６・・変換器、５７・・・インバータ。 ＼−−レ・ 第　ｌ　図 第　２　目 時間− 第　　５　　目 第６０ Ｓ７ 第　７　ｌ Ｕ年Ｍ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １、外周に螺旋状に形成された凸条、凹条をそれぞれ有
    する雄、雌ロータを、これらの凸条、凹条がロータ対向
    部にて隙間を保つて互いにかみ合うようにケーシングに
    収容し、各ロータの軸端には一方の回転力を他方に伝達
    するタイミングギヤを取り付け、可変速モータで駆動す
    るものにおいて、始動は、吸入側に設置した吸気弁を全
    閉とし、かつ低速で運転し定常時は、吸気圧力が実質的
    に一定となるように回転速度を制御する装置を設けたこ
    とを特徴とするスクリュー真空ポンプ。
JP59152818A 1984-07-25 1984-07-25 回転容積形真空ポンプ装置 Expired - Lifetime JPH0631627B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59152818A JPH0631627B2 (ja) 1984-07-25 1984-07-25 回転容積形真空ポンプ装置
US06/758,032 US4664601A (en) 1984-07-25 1985-07-23 Operation control system of rotary displacement type vacuum pump

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59152818A JPH0631627B2 (ja) 1984-07-25 1984-07-25 回転容積形真空ポンプ装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6131687A true JPS6131687A (ja) 1986-02-14
JPH0631627B2 JPH0631627B2 (ja) 1994-04-27

Family

ID=15548825

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP59152818A Expired - Lifetime JPH0631627B2 (ja) 1984-07-25 1984-07-25 回転容積形真空ポンプ装置

Country Status (2)

Country Link
US (1) US4664601A (ja)
JP (1) JPH0631627B2 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5261802A (en) * 1991-09-27 1993-11-16 Ebara Corporation Screw vacuum pump
JPH09156709A (ja) * 1995-12-13 1997-06-17 Japan Steel & Tube Constr Co Ltd ごみ連続排出装置
KR20200021937A (ko) * 2017-08-28 2020-03-02 아틀라스 캅코 에어파워, 남로체 벤누트삽 스크류 압축기

Families Citing this family (38)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4835114A (en) * 1986-02-19 1989-05-30 Hitachi, Ltd. Method for LPCVD of semiconductors using oil free vacuum pumps
JPS62243982A (ja) * 1986-04-14 1987-10-24 Hitachi Ltd ２段型真空ポンプ装置およびその運転方法
CA1281896C (en) * 1986-04-23 1991-03-26 Hiroyoshi Nozaki Method of and apparatus for supplying coating agent to coating robot
US5417246A (en) * 1989-10-27 1995-05-23 American Cyanamid Company Pneumatic controls for ophthalmic surgical system
US5154951A (en) * 1990-03-26 1992-10-13 Eastman Kodak Company Method and apparatus for use in bead coating a web with liquid composition
US5141403A (en) * 1990-12-07 1992-08-25 Cornell Research Foundation, Inc. Two-level vacuum system controller with adjustable speed drive
US5242404A (en) * 1992-02-12 1993-09-07 American Cyanamid Company Aspiration control system
BE1007135A6 (nl) * 1993-06-16 1995-04-04 Atlas Copco Airpower Nv Regelinrichting met start- en stopinrichting voor schroefkompressoren, en daarbij gebruikte start- en stopinrichting.
US5624394A (en) * 1994-10-28 1997-04-29 Iolab Corporation Vacuum system and a method of operating a vacuum system
US5810766A (en) * 1995-02-28 1998-09-22 Chiron Vision Corporation Infusion/aspiration apparatus with removable cassette
US6053703A (en) * 1995-06-19 2000-04-25 Ebara Corporation Control method for displacement-type fluid machine, and apparatus thereof
SE504483C2 (sv) * 1995-06-26 1997-02-17 Tetra Laval Holdings & Finance Förfarande för reglering av vakuumnivån i en mjölkningsanläggning och mjölkningsanläggning
US5845599A (en) * 1997-02-10 1998-12-08 Smartenergy Services, Inc. Vacuum controller and method of controlling vacuum in a dairy milking systems
US5960736A (en) * 1997-04-17 1999-10-05 Cornell Research Foundation, Inc. Vacuum level control system using variable frequency drive
BE1011782A3 (nl) * 1998-03-10 2000-01-11 Atlas Copco Airpower Nv Compressoreenheid en daarbij gebruikte regelinrichting.
JP3668616B2 (ja) * 1998-09-17 2005-07-06 株式会社日立産機システム オイルフリースクリュー圧縮機
JP3837278B2 (ja) * 2000-08-10 2006-10-25 株式会社神戸製鋼所 圧縮機の運転方法
JP2003155981A (ja) * 2001-11-21 2003-05-30 Toyota Industries Corp 真空ポンプにおける運転制御方法及び運転制御装置
JP4111728B2 (ja) * 2002-03-20 2008-07-02 株式会社リコー 真空ポンプの制御装置及び真空装置
CN1675469A (zh) * 2002-08-20 2005-09-28 株式会社荏原制作所 真空泵及其起动方法
ITTO20030392A1 (it) * 2003-05-28 2004-11-29 Varian Spa Sistema di pompaggio per vuoto.
US8152485B2 (en) * 2005-01-10 2012-04-10 Hsia-Yuan Hsu DC brushless motor pump
US20060153714A1 (en) * 2005-01-10 2006-07-13 Hsiang-Yuan Hsu Brushless motor pump
GB0513498D0 (en) * 2005-06-30 2006-03-29 Bae Systems Plc Fibre materials
US7438705B2 (en) * 2005-07-14 2008-10-21 Boehringer Technologies, L.P. System for treating a wound with suction and method detecting loss of suction
US20090112370A1 (en) * 2005-07-21 2009-04-30 Asm Japan K.K. Vacuum system and method for operating the same
BE1016727A4 (nl) * 2005-08-17 2007-05-08 Atlas Copco Airpower Nv Verbeterde inrichting voor het regelen van het debiet van een mobiele oliegeinjecteerde schroefcompressor.
DE102009017887A1 (de) 2009-04-17 2010-10-21 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Grobpumpverfahren für eine Verdrängerpumpe
KR101548842B1 (ko) * 2011-03-11 2015-08-31 울박 키코 인코포레이션 진공 펌프, 진공 배기 장치 및 진공 펌프의 운전 방법
DE102013000316A1 (de) * 2013-01-10 2014-07-10 Brückner Maschinenbau GmbH & Co. KG Vorrichtung zum Entgasen von Polymerschmelzen
DK178041B1 (da) * 2014-06-25 2015-04-07 Hvidtved Larsen As J Mobil slamsuger samt fremgangsmåde
BE1022715B1 (nl) * 2015-01-15 2016-08-23 Atlas Copco Airpower Naamloze Vennootschap Werkwijze voor het regelen van de snelheid van een compressor/vacuümpomp
WO2016112441A1 (en) * 2015-01-15 2016-07-21 Atlas Copco Airpower, Naamloze Vennootschap Method for controlling the speed of a compressor/vacuum pump
EP3245403B1 (en) * 2015-01-15 2022-03-09 Atlas Copco Airpower, Naamloze Vennootschap Method for controlling the speed of a compressor/vacuum pump
TW201638470A (zh) 2015-02-16 2016-11-01 Ａｃ（澳門離岸商業服務）有限公司 用於空氣壓縮機的進氣口控制技術
US9903358B2 (en) * 2015-04-06 2018-02-27 Alltrade Tools Llc Portable air compressor
EP3508727B1 (de) 2015-10-06 2020-05-13 Pfeiffer Vacuum Gmbh Scrollpumpe und verfahren zum betreiben einer scrollpumpe
GB2592573A (en) * 2019-12-19 2021-09-08 Leybold France S A S Lubricant-sealed vacuum pump, lubricant filter and method.

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55164792A (en) * 1979-06-11 1980-12-22 Mayekawa Mfg Co Ltd Driving mechanism for screw compressor
JPS5733290U (ja) * 1980-08-05 1982-02-22

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3890063A (en) * 1973-11-16 1975-06-17 Worthington Cei Compressor start and warm-up control system
DE2430314C3 (de) * 1974-06-24 1982-11-25 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Flüssigkeitsring-Vakuumpumpe mit vorgeschaltetem Verdichter
SE396445B (sv) * 1975-06-23 1977-09-19 Atlas Copco Ab Forfarande och en anordning for reglering av trycket hos ett arbetsmedium levererat av en av en drivmotor deriven kompressor
US4068980A (en) * 1976-10-01 1978-01-17 Gardner-Denver Company Compressor startup control
US4219312A (en) * 1978-10-20 1980-08-26 Hitachi, Ltd. Volume control system for compressor unit
CH660100A5 (fr) * 1981-12-18 1987-03-13 Cerac Inst Sa Dispositif d'entrainement d'un compresseur.
CH651111A5 (fr) * 1982-07-28 1985-08-30 Cerac Inst Sa Installation de pompage et procede de mise en action de celle-ci.
JPS5945614U (ja) * 1982-09-10 1984-03-26 三菱電機株式会社 圧力保持装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55164792A (en) * 1979-06-11 1980-12-22 Mayekawa Mfg Co Ltd Driving mechanism for screw compressor
JPS5733290U (ja) * 1980-08-05 1982-02-22

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5261802A (en) * 1991-09-27 1993-11-16 Ebara Corporation Screw vacuum pump
JPH09156709A (ja) * 1995-12-13 1997-06-17 Japan Steel & Tube Constr Co Ltd ごみ連続排出装置
KR20200021937A (ko) * 2017-08-28 2020-03-02 아틀라스 캅코 에어파워, 남로체 벤누트삽 스크류 압축기

Also Published As

Publication number Publication date
US4664601A (en) 1987-05-12
JPH0631627B2 (ja) 1994-04-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6131687A (ja) スクリユ−真空ポンプ
JP2956509B2 (ja) スクロール気体圧縮機
US4770609A (en) Two-stage vacuum pump apparatus and method of operating the same
WO1991018207A1 (en) Scroll compressor
US4932211A (en) Internal combustion engine charging unit
KR20010015358A (ko) 압축 매질용 용적식 기계
JPS6325394A (ja) スクロ−ル圧縮機
JP2000329078A (ja) スクロール圧縮機
US4823758A (en) Mechanical supercharger
JPH0631629B2 (ja) 回転式圧縮機
KR20040090340A (ko) 스크롤 압축기의 역방향 운전방지장치
JP4185598B2 (ja) 油冷式スクリュー圧縮機
JPH06288369A (ja) スクリュー圧縮機の吸入ポート
JPH06100188B2 (ja) オイルフリースクリュー真空ポンプ
JPS61265376A (ja) スクロ−ル圧縮機
CN218266344U (zh) 一种无油螺杆鼓风机的组合式密封装置
JP4402237B2 (ja) スクロール型流体機械
JPH05231356A (ja) スクロール型圧縮機
JPH11280679A (ja) スクロール圧縮機
JPH0814054A (ja) スクリュー式過給機
JPS62113884A (ja) スクリユ−真空ポンプの起動法
JP2531193Y2 (ja) 機械駆動式過給機
JPH0726625B2 (ja) ２段スクリュー真空ポンプ
JPH0248716Y2 (ja)
JP2976074B2 (ja) 吸水ポンプ用２軸式ガスタービン

Legal Events

Date Code Title Description
EXPY Cancellation because of completion of term