JPS6130240U - ダイボンダ− - Google Patents

ダイボンダ−

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JPS6130240U
JPS6130240U JP11466484U JP11466484U JPS6130240U JP S6130240 U JPS6130240 U JP S6130240U JP 11466484 U JP11466484 U JP 11466484U JP 11466484 U JP11466484 U JP 11466484U JP S6130240 U JPS6130240 U JP S6130240U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
die bonder
chip
position correction
correction table
guibonder
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Granted
Application number
JP11466484U
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JPH0525235Y2 (ja
Inventor
保美 小山
秀作 佐藤
康雄 八田
博隆 秋好
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富士通株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案にかかる位置補正テーブルの側面を示す
図、第２図はダイボンダーの概要平面図、第３図は従来
の位置補正テーブルの側面を示す図である。 図において、１は位置補正テーブル、２はフイーダ、３
はボンデイングヘッド４はチップテーブル、５はトラン
スフアヘッド６はテレビカメラ、３１．５１はグイコレ
ット、１１．１２はチツプ載置部、１２はＸ方向補正パ
ルスモータ、１３はＹ方向補正パルスモータ、１４は角
度（θ）補正パルスモータ、ＣＰはチッフ、ＰＣはパッ
ケーシ、を示している。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 被ボンデイングチップが複数戴置されるチップテーブル
    と、ボンデイング位置との間に戴置されたチップの位置
    を光学的に認識し、その位置を補正するための位置補正
    テーブルを具備し、該位置補正テーブルの表面が着色セ
    ラミック材からなることを特徴とするグイボンダー。
JP11466484U 1984-07-26 1984-07-26 ダイボンダ− Granted JPS6130240U (ja)

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JP11466484U JPS6130240U (ja) 1984-07-26 1984-07-26 ダイボンダ−

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JP11466484U JPS6130240U (ja) 1984-07-26 1984-07-26 ダイボンダ−

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Publication Number Publication Date
JPS6130240U true JPS6130240U (ja) 1986-02-24
JPH0525235Y2 JPH0525235Y2 (ja) 1993-06-25

Family

ID=30673674

Family Applications (1)

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JP11466484U Granted JPS6130240U (ja) 1984-07-26 1984-07-26 ダイボンダ−

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JP (1) JPS6130240U (ja)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5753950A (ja) * 1980-09-17 1982-03-31 Fujitsu Ltd Peretsutobondeingusochi
JPS58147037A (ja) * 1982-02-25 1983-09-01 Fuji Electric Co Ltd 混成集積回路

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5753950A (ja) * 1980-09-17 1982-03-31 Fujitsu Ltd Peretsutobondeingusochi
JPS58147037A (ja) * 1982-02-25 1983-09-01 Fuji Electric Co Ltd 混成集積回路

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0525235Y2 (ja) 1993-06-25

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