JPS61294831A - ウエハチツプの検出方法 - Google Patents
ウエハチツプの検出方法Info
- Publication number
- JPS61294831A JPS61294831A JP60135930A JP13593085A JPS61294831A JP S61294831 A JPS61294831 A JP S61294831A JP 60135930 A JP60135930 A JP 60135930A JP 13593085 A JP13593085 A JP 13593085A JP S61294831 A JPS61294831 A JP S61294831A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer chip
- image
- silhouette image
- reduced
- chip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
本発明はウェハチップの検出方法に関する。
（背景技術）
電子部品の自動実装機の中で特に位置精度が要求される
ウェハチップのダイボンダ等においては、その精度を満
たすため視覚認識による位置形状の確認が必要とされる
。
ウェハチップのダイボンダ等においては、その精度を満
たすため視覚認識による位置形状の確認が必要とされる
。
第３図は実装前のウェハチップの状態を示したものであ
り、ウェハチップ１は接着剤付き透明シート３に載せた
シリコンスライスを縦横に格子状に切断した後、エキス
バンドリング４により拡げて分離することにより得られ
る。また、ウェハチップ１には不良品に予めバッドマー
ク２が付されている。
り、ウェハチップ１は接着剤付き透明シート３に載せた
シリコンスライスを縦横に格子状に切断した後、エキス
バンドリング４により拡げて分離することにより得られ
る。また、ウェハチップ１には不良品に予めバッドマー
ク２が付されている。
ところで、ダイボンダにおけるチップの認識は、
■チップの形状（欠け１割れ等）判定
■バッドマークの検出
■良品チップの位置測定
の手順に従って行われろ。
次に、従来の認識方法を説明すると、
（ｉ）第４図（イ）の如く透過照明によるウェハチップ
のシルエット像１ ｅ ｉ Ｔ Ｖカメラにより撮像す
る。
のシルエット像１ ｅ ｉ Ｔ Ｖカメラにより撮像す
る。
［ｉｉｌそのシルエット像Ｉによりウエハチップの形状
および位置姿勢を測定する（第４図（ロ））。
および位置姿勢を測定する（第４図（ロ））。
一次に形状が良品であると判定されたウェハチップにつ
いて、表面のバッドマーク２を検出するための検出エリ
アＳをウェハチップの相対位置に作る（第４図（ハ））
。
いて、表面のバッドマーク２を検出するための検出エリ
アＳをウェハチップの相対位置に作る（第４図（ハ））
。
叫照明を落射照明に切り換え、ウェハチップを撮像し、
検出エリアＳ内にバッドマーク２があるかどうかでバッ
ドマーク２の検出を行う。
検出エリアＳ内にバッドマーク２があるかどうかでバッ
ドマーク２の検出を行う。
このように従来方式ではバッドマークの検出を行うため
に、各ウェハチップの相対位置に検出エリアを設定する
か検出エリアの位置補正を行う必要があり、その処理に
時間を要していた。
に、各ウェハチップの相対位置に検出エリアを設定する
か検出エリアの位置補正を行う必要があり、その処理に
時間を要していた。
（発明の目的）
本発明は上記の点に鑑み提案されたものであり、その目
的とするところは、バッドマークの検出のための検出エ
リアの作成を容易にし、ハードウェアおよびソフトウェ
アの簡略化ならびに検出の高速化を可能とすることにあ
る。
的とするところは、バッドマークの検出のための検出エ
リアの作成を容易にし、ハードウェアおよびソフトウェ
アの簡略化ならびに検出の高速化を可能とすることにあ
る。
（発明の開示）
以下、本発明によるチップ認識の方法を図に沿って説明
する。
する。
第１図は本発明を具体化した検出装置の構成を示したも
のである。図において、１はウェハチップであり、ウェ
ハリング５上に載置されており、予め不良のチップには
バッドマーク２が付されている。一方、８はｉＴＶカメ
ラであり、透過照明６もしくは落射照明７により照明を
行ってウェハチップを撮像する。ｉＴＶカメラ８より得
られるビデオ信号は二値化部（Ａ ／Ｄ ） ９におい
て二値化され、ゲート１１を経て演算部１２および縮小
回路１３に入力されるようになっている。
のである。図において、１はウェハチップであり、ウェ
ハリング５上に載置されており、予め不良のチップには
バッドマーク２が付されている。一方、８はｉＴＶカメ
ラであり、透過照明６もしくは落射照明７により照明を
行ってウェハチップを撮像する。ｉＴＶカメラ８より得
られるビデオ信号は二値化部（Ａ ／Ｄ ） ９におい
て二値化され、ゲート１１を経て演算部１２および縮小
回路１３に入力されるようになっている。
なお、ゲート１１の一端には検出エリア発生部１０から
信号が与えられており、必要なエリア内の画像のみがゲ
ート１１を通過するようになっている。また、演算部１
２は得られた二値化像から形状判定を行うものであり、
画像処理により得られた演算値はそのまま良品レベルと
比較され形状の判定が行われる。
信号が与えられており、必要なエリア内の画像のみがゲ
ート１１を通過するようになっている。また、演算部１
２は得られた二値化像から形状判定を行うものであり、
画像処理により得られた演算値はそのまま良品レベルと
比較され形状の判定が行われる。
縮小回路１°３は本発明の特徴的な部分であり、透過照
明６により撮像したウェハチップ１のシルエット像を設
定画素数だけ縮小し、縮小シルエット像をフレームメモ
リ１４に記憶するようになっている。次いで、フレーム
メモリ１４に記憶された縮小シルエット像はゲート１５
の一端に与えられ、落射照明７によゆ撮像を行いバッド
マーク２を検出する際の検出エリアとして転用されるよ
うになっている。そして、演算部１６はゲート１５を通
過してきた信号から画像処理を行い、得られた演算値か
らバッドマーク２が存在するかどうかを判定するもので
ある。
明６により撮像したウェハチップ１のシルエット像を設
定画素数だけ縮小し、縮小シルエット像をフレームメモ
リ１４に記憶するようになっている。次いで、フレーム
メモリ１４に記憶された縮小シルエット像はゲート１５
の一端に与えられ、落射照明７によゆ撮像を行いバッド
マーク２を検出する際の検出エリアとして転用されるよ
うになっている。そして、演算部１６はゲート１５を通
過してきた信号から画像処理を行い、得られた演算値か
らバッドマーク２が存在するかどうかを判定するもので
ある。
しかして、動作を順に列挙すると、
（ｉ）先ず、第２図（イ）の如く透過照明６によるウェ
ハチップ１のシルエット像１１ｔｉＴＶカメラ８により
撮像する。
ハチップ１のシルエット像１１ｔｉＴＶカメラ８により
撮像する。
ｆｉｉ）シルエット像■により演算部１２においてウェ
ハチップ１の形状および位置姿勢を測定する（第２図（
ロ））。
ハチップ１の形状および位置姿勢を測定する（第２図（
ロ））。
（財）次に、シルエット像■を縮小回路１３において縮
小し、縮小シルエット像１′を作成し、フレームメモリ
１４に記憶する。
小し、縮小シルエット像１′を作成し、フレームメモリ
１４に記憶する。
Ｇψ記憶した縮小シルエット像Ｉ′を検出エリア■”と
して転用し、落射照明７によりｌＴＶカメラ８で撮像し
た画像からバッドマーク２の検出を行う。
して転用し、落射照明７によりｌＴＶカメラ８で撮像し
た画像からバッドマーク２の検出を行う。
となる。
（発明の効果）
以上のように本発明にあっては、ウェハチップのシルエ
ット像を縮小して検出エリアを作成するようにしたので
、従来、チップの相対位置に検出エリアを作成するため
に、ソフトウェアあるいはハードウェアによる特別な手
段および時間を必要としたものが不要となり、簡易なハ
ードウェアによる高速検出が可能となる効果がある。
ット像を縮小して検出エリアを作成するようにしたので
、従来、チップの相対位置に検出エリアを作成するため
に、ソフトウェアあるいはハードウェアによる特別な手
段および時間を必要としたものが不要となり、簡易なハ
ードウェアによる高速検出が可能となる効果がある。
第１図は本発明を具体化した検出装置の構成図、第２図
はその動作説明図、第３図はウェハチップの説明図、第
４図は従来の検出方法の説四回である。 １・・・・・ウェハチップ、２・・・・・・バッドマー
ク、５・・・・・・ウニ八リング、６・・・・・・透過
照明、７・・・・・・落射照明、８・・・・・用ＴＶカ
メラ、９・・・・・・二値化部（Ａ／ＤＪ、１０！・・
・・・検出エリア発生部、１１．１５・・・・・・ゲー
ト、１２．１６・・・・・・演算部、１３・・・・・・
縮小回路、１４−−０−ｙレームメモリ、■・・・・・
・シルエット像、１′・・・・・縮小シルエット像、ｌ
”・・・・・・転用検出エリア ほか１名
はその動作説明図、第３図はウェハチップの説明図、第
４図は従来の検出方法の説四回である。 １・・・・・ウェハチップ、２・・・・・・バッドマー
ク、５・・・・・・ウニ八リング、６・・・・・・透過
照明、７・・・・・・落射照明、８・・・・・用ＴＶカ
メラ、９・・・・・・二値化部（Ａ／ＤＪ、１０！・・
・・・検出エリア発生部、１１．１５・・・・・・ゲー
ト、１２．１６・・・・・・演算部、１３・・・・・・
縮小回路、１４−−０−ｙレームメモリ、■・・・・・
・シルエット像、１′・・・・・縮小シルエット像、ｌ
”・・・・・・転用検出エリア ほか１名
Claims (1)
- ウェハチップの形状良否を判定すると共に、表面に記さ
れた不良を示すバッドマークを検出し、良品チップの位
置データを検出するウェハチップの検出方法において、
形状良否の判定を行う際にテレビカメラにより撮像した
ウェハチップのシルエット像もしくは設定画素数だけ縮
小したシルエット像をフレームメモリに記憶し、記憶さ
れた縮小シルエット像をバッドマークの検出の際の検出
エリアとして転用することを特徴としたウェハチップの
検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60135930A JPS61294831A (ja) | 1985-06-24 | 1985-06-24 | ウエハチツプの検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60135930A JPS61294831A (ja) | 1985-06-24 | 1985-06-24 | ウエハチツプの検出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61294831A true JPS61294831A (ja) | 1986-12-25 |
| JPH0523062B2 JPH0523062B2 (ja) | 1993-03-31 |
Family
ID=15163167
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60135930A Granted JPS61294831A (ja) | 1985-06-24 | 1985-06-24 | ウエハチツプの検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61294831A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01161485A (ja) * | 1987-12-17 | 1989-06-26 | Nichiden Mach Ltd | 微小ワーク片の認識方法 |
-
1985
- 1985-06-24 JP JP60135930A patent/JPS61294831A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01161485A (ja) * | 1987-12-17 | 1989-06-26 | Nichiden Mach Ltd | 微小ワーク片の認識方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0523062B2 (ja) | 1993-03-31 |
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