JP2008145171A - リードフレームの検査方法及びその装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】リードフレームの保護テープが貼られているほうの面を撮像し、前記撮像位置に対して前記リードフレームを挟んで反対側の面から前記リードフレームに照射光を照射する透過光学系により、かつ、前記保護テープの透過率が高い波長域または低い波長域のいずれかを選択して検査する波長域選択手段を有する透過光学系により、前記リードフレームに前記照射光を照射し前記リードフレームを撮像する撮像段階と、前記撮像段階で得られた画像データに対して不良箇所の抽出処理を行なう画像データ処理段階とを備えるリードフレームの検査方法。
【選択図】図11
Description
題があった。
ームに照射光を照射する透過光学系により、かつ、前記保護テープの透過率が高い波長域または低い波長域のいずれかを選択して検査する波長域選択手段を有する前記透過光学系により、前記リードフレームに前記照射光を照射し前記リードフレームを撮像する撮像段階と、前記撮像段階で得られた画像データに対して不良箇所の抽出処理を行なう画像データ処理段階と、前記リードフレームの前記保護テープが貼られているほうの面を撮像し、前記撮像位置に対して前記リードフレームの同じ側の面から前記リードフレームに照射光を照射する反射光学系により、かつ、前記保護テープの透過率が高い波長域または低い波長域のいずれかを選択して検査する波長域選択手段を有する前記反射光学系により、前記リードフレームに前記照射光を照射し前記リードフレームを撮像する撮像段階と、前記撮像段階で得られた画像データに対して不良箇所の抽出処理を行なう画像データ処理段階とを備えることを特徴とするリードフレームの検査方法である。
レーム生材41を形成する。このリードフレーム生材41は、ダイパッド42、吊りリード42a、インナーリード43、アウターリード44、ダムバー45、フレーム部46からなる金属パターンを有している。また、この金属パターン形成により金属が除去された部分を、以下では空間部49と呼ぶ。
本発明の第1の実施形態の検査装置の概略構成を、図4に示す。本実施形態は、検査対象物であるリードフレーム40は検査ステージ50上に置かれ、その下面から光照射手段10が照明を行なう、透過光学系70となっている。光照射手段10は、動作に必要な電力を電源11から供給され、光源としてはハロゲンランプ、メタルハライドランプ、LEDなどを用いることが出来る。また光照射手段10は、リードフレームに均一な強度で光を照射可能であれば、形状および個数に制限はなく、ライン形状、リング形状、平面状およびこれらの組み合わせなどの様々な形態が考えられる。
(ステップS4)リードフレーム40に形成されている全ての金属パターン部および保護テープ部に対してステップS3を実行し、終了する。
なお、比較のため、図9と同様の実施形態において、波長選択手段である短波長を通過させるバンドパスフィルタを撮像レンズ22前面に装着させ撮像した場合の、保護テープ部を含むリード部の画像例を図10(a)に、その画像の輝度をZ軸にとって3次元的に表した鳥瞰図を図10(b)にそれぞれ示す。
本発明の第2の実施形態の検査装置の概略構成を、図5に示す。本実施形態は、検査対象物であるリードフレーム40は検査ステージ50上に置かれ、その上面から光照射手段10が照明を行なう、反射光学系71となっている。それ以外の構成要素の機能や動作は、本発明の第1の実施形態の場合と同様である。
本発明の第3の実施形態の検査装置の概略構成を、図6に示す。本実施形態は、検査対象物であるリードフレーム40は検査ステージ50上に置かれ、その上面から光照射手段10が照明を行なう反射光学系71と、下面から光照射手段10が照明を行なう透過光学系70とを併せ持ち、2つ以上の撮像手段20と、1つ以上の画像処理・不良判定手段を有する構成となっている。
11……光照射手段の電源
20……撮像手段
21……カメラ
22……撮像レンズ
30……画像処理・不良判定手段
40……リードフレーム
41……リードフレーム生材
42……ダイパッド
42a……吊りリード
43……インナーリード
44……アウターリード
45……ダムバー
46……フレーム部
47……メッキ
48……保護テープ
48a……異物や疵
48b……異物や疵
48c……突起・欠け不良
48d……ショート不良
49……空間部
50……検査ステージ
60……表示装置
70……透過光学系
71……反射光学系
Claims (6)
- 片面の全体または一部分に保護テープが貼られているリードフレームの検査方法であって、前記リードフレームの前記保護テープが貼られているほうの面を撮像し、前記撮像位置に対して前記リードフレームを挟んで反対側の面から前記リードフレームに照射光を照射する透過光学系により、かつ、前記保護テープの透過率が高い波長域または低い波長域のいずれかを選択して検査する波長域選択手段を有する前記透過光学系により、前記リードフレームに前記照射光を照射し前記リードフレームを撮像する撮像段階と、前記撮像段階で得られた画像データに対して不良箇所の抽出処理を行なう画像データ処理段階とを備えることを特徴とするリードフレームの検査方法。
- 片面の全体または一部分に保護テープが貼られているリードフレームの検査方法であって、前記リードフレームの前記保護テープが貼られているほうの面を撮像し、前記撮像位置に対して前記リードフレームの同じ側の面から前記リードフレームに照射光を照射する反射光学系により、かつ、前記保護テープの透過率が高い波長域または低い波長域のいずれかを選択して検査する波長域選択手段を有する前記反射光学系により、前記リードフレームに前記照射光を照射し前記リードフレームを撮像する撮像段階と、前記撮像段階で得られた画像データに対して不良箇所の抽出処理を行なう画像データ処理段階とを備えることを特徴とするリードフレームの検査方法。
- 片面の全体または一部分に保護テープが貼られているリードフレームの検査方法であって、前記リードフレームの前記保護テープが貼られているほうの面を撮像し、前記撮像位置に対して前記リードフレームを挟んで反対側の面から前記リードフレームに照射光を照射する透過光学系により、かつ、前記保護テープの透過率が高い波長域または低い波長域のいずれかを選択して検査する波長域選択手段を有する前記透過光学系により、前記リードフレームに前記照射光を照射し前記リードフレームを撮像する撮像段階と、前記撮像段階で得られた画像データに対して不良箇所の抽出処理を行なう画像データ処理段階と、前記リードフレームの前記保護テープが貼られているほうの面を撮像し、前記撮像位置に対して前記リードフレームの同じ側の面から前記リードフレームに照射光を照射する反射光学系により、かつ、前記保護テープの透過率が高い波長域または低い波長域のいずれかを選択して検査する波長域選択手段を有する前記反射光学系により、前記リードフレームに前記照射光を照射し前記リードフレームを撮像する撮像段階と、前記撮像段階で得られた画像データに対して不良箇所の抽出処理を行なう画像データ処理段階とを備えることを特徴とするリードフレームの検査方法。
- 片面の全体または一部分に保護テープが貼られているリードフレームの検査装置であって、前記リードフレームの前記保護テープが貼られているほうの面から撮像し前記リードフレームの画像データを得る撮像手段を有し、前記撮像位置に対して前記リードフレームを挟んで反対側の面から前記リードフレームに照射光を照射する透過光学系を有し、前記保護テープの透過率が高い波長域または低い波長域のいずれかを選択して検査する波長域選択手段を有し、前記画像データに対して不良箇所の抽出処理を行なう画像データ処理手段を有することを特徴とするリードフレームの検査装置。
- 片面の全体または一部分に保護テープが貼られているリードフレームの検査装置であって、前記リードフレームの前記保護テープが貼られているほうの面から撮像し前記リードフレームの画像データを得る撮像手段を有し、前記撮像位置に対して前記リードフレームの同じ側の面から前記リードフレームに照射光を照射する反射光学系を有し、前記保護テープの透過率が高い波長域または低い波長域のいずれかを選択して検査する波長域選択手段を有し、前記画像データに対して不良箇所の抽出処理を行なう画像データ処理手段を有することを特徴とするリードフレームの検査装置。
- 片面の全体または一部分に保護テープが貼られているリードフレームの検査装置であって、前記リードフレームを前記保護テープが貼られているほうの面から撮像し第1の画像データを読み込む第1の撮像手段を有し、前記第1の撮像手段の撮像位置に対して前記リードフレームを挟んで反対側の面から前記リードフレームに照射光を照射する透過光学系を有し、前記保護テープの透過率が高い波長域または低い波長域のいずれかを選択して検査する第1の波長域選択手段を有し、前記リードフレームを前記保護テープが貼られているほうの面から撮像し第2の画像データを読み込む第2の撮像手段を有し、前記第2の撮像手段の撮像位置に対して前記リードフレームの同じ側の面から前記リードフレームに照射光を照射する反射光学系を有し、前記保護テープの透過率が高い波長域または低い波長域のいずれかを選択して検査する第2の波長域選択手段を有し、前記第1の画像データおよび前記第2の画像データに対して不良箇所の抽出処理を行なう画像データ処理手段を有することを特徴とするリードフレームの検査装置。
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